JP2014165193A - 基板搬送装置及び基板搬送処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各複数の下部ローラ47に基板Wの幅方向の端部を支持する循環走行可能な無端状の下部搬送ベルト51が巻回され、各複数の上部ローラ53に下部搬送ベルト51と協働して基板Wの幅方向の端部を上下方向から挟持する循環走行可能な無端状の上部搬送ベルト57が巻回され、各複数の下部ローラ47のうち駆動用下部ローラ47Dの回転軸47Ds同士、及び各複数の上部ローラ53のうち駆動用上部ローラ53Dの回転軸53Ds同士は、下部連結軸59、一対のカップリング61、4つのタイミングプーリ63、及び2つのタイミングベルト65を介して連動連結されている。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施形態について図1から図8を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「R」は、右方向、「L」は、左方向である。
本発明の実施形態の変形例について図9を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「R」は、右方向、「L」は、左方向である。
3 送出ロール
5 巻取ロール
15 基板処理装置
17 上流側の基板搬送装置
19 下流側の基板搬送装置
21 装置ベース
23 下部サポート部材
25 上部サポート部材
27 第1連結リンク
33 第2連結リンク
35 第1昇降エアシリンダ
41 第2昇降エアシリンダ
47 下部ローラ
47s 下部ローラの回転軸
47D 駆動用下部ローラ
47Ds 駆動用下部ローラの回転軸
51 下部搬送ベルト
53 上部ローラ
53s 上部ローラの回転軸
53D 駆動用上部ローラ
53Ds 駆動用上部ローラの回転軸
57 上部搬送ベルト
67 共通の走行モータ
67s 共通の走行モータの出力軸
73 下部ベルトガイド
73f 下部ベルトガイドの下部支持面
77 下部チャンバー
79 空気供給源
81 下部ノズル孔
83 上部ベルトガイド
83f 上部ベルトガイドの上部支持面
87 上部チャンバー
89 上部ノズル孔
91 リブ
93 強化繊維
95 リブ
97 強化繊維
Claims (7)
- 帯状の基板を搬送方向へ搬送しかつ基板に対して処理を行う基板搬送処理システムに用いられ、基板を前記搬送方向へ搬送する基板搬送装置において、
装置ベースに前記搬送方向に直交する搬送幅方向に離隔して立設された一対の下部サポート部材と、
各下部サポート部材の上方側に昇降可能に設けられた上部サポート部材と、
各下部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の下部ローラと、
各複数の下部ローラに巻回され、少なくとも上側部分が前記搬送方向へ延びてあって、基板の幅方向の端部を下方向から支持する循環走行可能な無端状の下部搬送ベルトと、
各上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の上部ローラと、
前記複数の上部ローラに巻回され、少なくとも下側部分が前記搬送方向へ延びてあって、前記下部搬送ベルトと協働して基板の幅方向の端部を上下方向から挟持する循環走行可能な無端状の上部搬送ベルトと、を具備し、
各前記複数の下部ローラのうち駆動用下部ローラの回転軸同士が連動連結され、各前記複数の上部ローラのうち駆動用上部ローラの回転軸同士が連動連結され、一対の前記下部搬送ベルトを循環走行させる下部搬送ベルト用走行モータが設けられ、前記下部搬送ベルト用走行モータの出力軸が一方の前記複数の下部ローラのうち前記駆動用下部ローラの回転軸に連動連結され、一対の前記上部搬送ベルトを循環走行させる上部搬送ベルト用走行モータが設けられ、前記上部搬送ベルト用走行モータの出力軸が一方の前記複数の上部ローラのうち前記駆動用上部ローラの回転軸に連動連結されていることを特徴とする基板搬送装置。 - 各前記複数の下部ローラのうち前記駆動用下部ローラの回転軸と対応する前記複数の上部ローラのうち前記駆動用上部ローラの回転軸が連動連結され、前記下部搬送ベルト用走行モータ及び前記上部搬送ベルト用走行モータが共通の走行モータであることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 各下部サポート部材と対応する前記上部サポート部材との間に連結するように設けられ、下端部が前記下部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に連結され、上端部が前記上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に連結された第1連結リンクと、
各前記下部サポート部材と対応する前記上部サポート部材との間に連結するように設けられ、下端部が前記下部サポート部材に前記搬送幅方向へ平行な軸心周りに回転可能に連結され、上端部が前記上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に連結され、前記第1連結リンクに対して平行運動する第2連結リンクと、を具備し、
各複数の下部ローラのうち前記駆動用下部ローラの回転軸の軸心が前記第1平行リンクの下端部の回転軸心と同心上に位置し、各複数の上部ローラのうち前記駆動上部ローラの回転軸の軸心が前記第1平行リンクの上端部の回転軸心と同心上に位置してあることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置。 - 各下部サポート部材に設けられ、前記搬送方向へ延びてあって、前記下部搬送ベルトの上側部分を前記搬送方向へ案内支持する下部支持面を有した下部ベルトガイドと、
各上部サポート部材に設けられ、前記搬送方向へ延びてあって、前記上部搬送ベルトの下側部分を前記搬送方向へ案内支持する上部支持面を有した上部ベルトガイドと、を具備したことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項の請求項に記載の基板搬送装置。 - 各下部ベルトガイドの前記下部支持面に前記下部搬送ベルトの上側部分へ向かってガスを噴射する下部ノズル孔が開口形成され、各下部ベルトガイドの前記下部ノズル孔がガスを供給するガス供給源に接続可能であって、各上部ベルトガイドの前記上部支持面に前記上部搬送ベルトの下側部分へ向かってガスを噴射する上部ノズル孔が開口形成され、各上部ベルトガイドの前記上部ノズル孔が前記ガス供給源に接続可能であることを特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。
- 各下部搬送ベルト及び各上部搬送ベルトとして、丸ベルト、或いは外周側に無端状のリブを有しかつ強化繊維を内包したリブ付き平ベルトを用いたことを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれか1項の請求項に記載の基板搬送装置。
- 帯状の基板を搬送方向へ搬送しかつ基板に対して処理を行う基板搬送処理システムにおいて、
基板に対して処理を行う基板処理装置と、
前記基板処理装置の前記搬送方向の上流側及び下流側にそれぞれ配設された請求項1から請求項6のうちのいずれか1項の請求項に記載の基板搬送装置と、を具備したことを特徴とする基板搬送処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013032156A JP2014165193A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 基板搬送装置及び基板搬送処理システム |
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JP2013032156A JP2014165193A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 基板搬送装置及び基板搬送処理システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014165193A true JP2014165193A (ja) | 2014-09-08 |
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Family Applications (1)
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JP2013032156A Pending JP2014165193A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 基板搬送装置及び基板搬送処理システム |
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2013
- 2013-02-21 JP JP2013032156A patent/JP2014165193A/ja active Pending
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