JPH04359598A - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

Info

Publication number
JPH04359598A
JPH04359598A JP3134642A JP13464291A JPH04359598A JP H04359598 A JPH04359598 A JP H04359598A JP 3134642 A JP3134642 A JP 3134642A JP 13464291 A JP13464291 A JP 13464291A JP H04359598 A JPH04359598 A JP H04359598A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
board
suction
mounting
present
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3134642A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3132041B2 (ja
Inventor
Kenichi Nishino
賢一 西野
Akira Kabeshita
朗 壁下
Takeo Ando
安藤 健男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP03134642A priority Critical patent/JP3132041B2/ja
Publication of JPH04359598A publication Critical patent/JPH04359598A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3132041B2 publication Critical patent/JP3132041B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Controlling Sheets Or Webs (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品を基板上に実
装するための基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電子部品を基板に実装するために
基板を搬送する基板搬送装置は図3に示すような構成が
一般的であった。
【0003】以下、その構成について図3を参照しなが
ら説明する。図に示すように、電子部品の基板1(以下
、基板という)はその両端部が搬送ベルト2上に載置さ
れ、搬送ベルト2はモータに連結されたプーリ3とロー
ラ4により一方向に駆動されて基板1を搬送するように
なっている。基板1の両側面1aは搬送ベルト2の側方
に立設されたガイドレール5でガイドされ、搬送方向に
ズレが生じないようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の基板
搬送装置では、基板1の搬送中に基板1の側面1aがガ
イドレール5に擦過して削られ、削り屑が発生して電子
部品実装の信頼性を低下させるという問題があった。
【0005】たとえば、ガラス基板にベアICをダイレ
クト実装するCOG工法では、ガラス基板の搬送中に発
生したガラス屑が空気中を浮遊してベアICの実装面に
付着することがある。そして、もしそのまゝボンディン
グが行われるとボンディング不良を引起すという問題が
あった。
【0006】本発明は上記問題を解決するもので、電子
部品の実装時のボンディング不良を引起す原因を除去す
ることができる基板搬送装置を提供することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、基板を載置して搬送する搬送手段と、前記
搬送時に前記基板の側面をガイドするガイド手段と、前
記基板の塵埃を吸引する吸引手段とを備えた構成とした
ものである。
【0008】
【作用】本発明は上記の構成において、基板の搬送中に
基板の側面とガイド手段との擦過によって発生した削り
屑を搬送中に吸引手段で吸引して除去することとなる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図2および
図3を参照しながら説明する。
【0010】なお、従来例に示したものと同一部品には
同じ符号を付して説明を省略する。 (実施例1)図1は本発明の第1の実施例を示し、基板
1の両側面1aをガイドするガイド手段であるガイドレ
ール5には、基板1の両側面1aに臨む1つまたは複数
の吸引手段である吸引口6が設けられ、チューブ7を介
して図示しない吸塵容器および吸引機に接続されている
【0011】上記構成において、基板1は搬送ベルト2
による搬送中に、その側面1aとガイドレール5とが擦
過して削り屑(塵埃)を発生するが、発生した削り屑は
側面1aに臨んで設けられた吸引口6から吸引されて除
去される。
【0012】吸引口6をガイドレール5に複数列設すれ
ば、ガイドレール5の何れの部分で発生した削り屑も発
生の都度吸引して除去することができる。
【0013】このように本発明の第1の実施例によれば
、基板1をガイドするガイドレール5に基板1の側面1
aに臨ませて吸引口6を設けているので、基板1の側面
1aとガイドレール5との擦過によって発生する削り屑
を浮遊させることなく、また、基板1に付着させること
なく吸引して除去することができるという効果がある。
【0014】(実施例2)図2は本発明の第2の実施例
を示し、搬送される基板1の上下には、基板1の表面に
臨む吸引手段である吸引口8aと裏面に臨む吸引口8b
とが配設され、図示しない吸塵容器および吸引機に接続
されている。
【0015】上記構成において、基板1の側面1bとガ
イドレール5との擦過によって発生し、浮遊して基板1
上に付着した削り屑は吸引口8a,8bから吸引されて
除去される。
【0016】吸引口8a,8bはボンディング工程の前
に配設しても、また、複数配設してもよく、さらに、基
板1の表裏面の一方の面に配設してもよいものである。
【0017】このように本発明の第2の実施例によれば
、基板1の面に臨ませて吸引口8を配設しているので、
基板1の面に付着した削り屑や、その他の塵埃を吸引し
て除去することができるという効果がある。
【0018】
【発明の効果】以上の実施例の説明から明らかなように
、本発明によれば、基板を載置して搬送する搬送手段と
、搬送時に基板の側面をガイドするガイド手段と、基板
の塵埃を吸引する吸引手段とを備えて構成したことによ
り、基板の搬送中に基板の側面とガイド手段との擦過に
よって発生した削り屑は搬送中に吸引手段で吸引して除
去することができ、電子部品の実装時のボンディング不
良を引起す原因を除去することができる基板搬送装置を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の基板搬送装置の第1の実施例
の正面断面図 (b)は同側断面図
【図2】(a)は同第2の実施例の平面図(b)は同正
面断面図
【図3】(a)は従来例の基板搬送装置の正面断面図(
b)は同側断面図
【符号の簡単な説明】
1  電子部品の基板 2  搬送ベルト(搬送手段) 5  ガイドレール(ガイド手段) 6,8  吸引口(吸引手段)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板を載置して搬送する搬送手段と、前記
    搬送時に前記基板の側面をガイドするガイド手段と、前
    記基板の塵埃を吸引する吸引手段とを備えてなる基板搬
    送装置。
  2. 【請求項2】吸引手段の吸引口を基板の側面に臨ませて
    なる請求項1記載の基板搬送装置。
  3. 【請求項3】吸引手段の吸引口を基板の表面および裏面
    の両面または一方の面に臨ませてなる請求項1記載の基
    板搬送装置。
JP03134642A 1991-06-06 1991-06-06 基板搬送装置 Expired - Fee Related JP3132041B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03134642A JP3132041B2 (ja) 1991-06-06 1991-06-06 基板搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03134642A JP3132041B2 (ja) 1991-06-06 1991-06-06 基板搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04359598A true JPH04359598A (ja) 1992-12-11
JP3132041B2 JP3132041B2 (ja) 2001-02-05

Family

ID=15133142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03134642A Expired - Fee Related JP3132041B2 (ja) 1991-06-06 1991-06-06 基板搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3132041B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019220636A1 (ja) * 2018-05-18 2019-11-21 ヤマハ発動機株式会社 基板搬送装置及び部品実装装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019220636A1 (ja) * 2018-05-18 2019-11-21 ヤマハ発動機株式会社 基板搬送装置及び部品実装装置
JPWO2019220636A1 (ja) * 2018-05-18 2021-02-12 ヤマハ発動機株式会社 基板搬送装置及び部品実装装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3132041B2 (ja) 2001-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5332406A (en) Apparatus for producing semiconductor device
JP2000232080A (ja) 被加工物の分割システム及びペレットの移し替え装置
JP4203723B2 (ja) 電子部品の反転供給装置
JPH04359598A (ja) 基板搬送装置
KR20120020855A (ko) 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법
JP2000254605A (ja) 可撓性基板の洗浄装置
JPH08155753A (ja) プリント基板の塵埃除去装置
JP3817926B2 (ja) チップ部品の自動分離供給装置
JP2000337843A (ja) 外観検査装置
JP3425101B2 (ja) 軽量物品のための保持搬送装置及び検査装置
JPH058835A (ja) プリント基板搬送制御方法
JP3410050B2 (ja) 電子部品搬送装置
JP5031675B2 (ja) 基板搬送装置及び電子部品装着装置
CN111169900A (zh) 一种板材输送装置
JP3671051B2 (ja) 電子部品のボンディング装置およびボンディング方法
JPH01172120A (ja) ウエハ搬送機
JPS6043895A (ja) 基板洗浄装置
JPH06163660A (ja) 半導体装置の外観検査装置
KR100366128B1 (ko) 다이 본더 장비의 웨이퍼 링 세트 이송장치
JP2751067B2 (ja) 搬送装置
JP2011119635A (ja) ウェハのコンベヤ台
JP2002308425A (ja) 板形状物搬送装置
JPH02160448A (ja) 基板搬送装置
JP4087578B2 (ja) 基板搬送装置および基板搬送方法
JPS5943712A (ja) 基板搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees