JP4203723B2 - 電子部品の反転供給装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の反転供給装置であって、主としてボンディング装置やテーピング装置において電子部品をピックアップし、反転して搬送し、供給する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、電子部品のテーピング装置やボンディング装置において、電子部品を反転して搬送する装置として、特許文献1記載のように往復運動する一つの吸着ノズルによって、ピックアップ位置にて一つの電子部品を吸着し、受け渡し位置に搬送し、上下に反転運動する別の吸着ノズルへ受け渡した後、前者の吸着ノズルは、ピックアップ位置に戻り、後者の吸着ノズルは反転するという動作を繰り返す装置が存在した。
【0003】
しかし、上記電子部品の反転供給装置では処理速度の向上に限界があり、処理速度の向上を目指した開発がなされていた。そこで、特許文献2記載の技術のように、一つのヘッドに複数の吸着ノズルを設け、一度に複数の電子部品を吸着して、反転搬送する装置の開発が行われた。しかし、一つのヘッドに複数の吸着ノズルを備えたものでは、メンテナンスが複雑となる上、電子部品の品種交換時に多数の吸着ノズルを交換しなければならず、電子部品の反転供給装置のコストアップにも繋がってしまうという問題点を有していた。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−196441号公報
【特許文献2】
特開2002−240802号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解決するため、電子部品を反転搬送可能な二つの吸着ノズルを、一つの吸着ノズルが電子部品を搬送中に、他の空の吸着ノズルが戻り動作を行える電子部品の反転供給装置とすることにより、電子部品のピックアップと受け渡しを同時に行うようにして、処理速度の向上を図ると共に、吸着ノズルの個数増大によるコストアップも防止できる電子部品の反転供給装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、上記課題を解決するため、電子部品の反転供給装置に次の手段を採用した。
第1に、吸着ノズルによりピックアップ位置にある電子部品を吸着保持して、ピックアップ位置とは別の受け渡し位置へ表裏を反転すると共に搬送する電子部品の反転供給装置とする。
第2に、二つの吸着ノズルを横移動手段と該横移動手段による移動方向周りに回動する回動手段とを組み合わせた駆動手段に支持する。
第3に、一つの吸着ノズルが吸着した電子部品をピックアップ位置から受け渡し位置まで搬送すると同時に、該搬送中に他の空の吸着ノズルが受け渡し位置からピックアップ位置まで移動するように構成する。
【0007】
第2の発明は、第1の発明の改良に関するものであって、ピックアップ位置にある電子部品を撮影可能な部品認識手段を設けて、一方の吸着ノズルがピックアップ位置から退避し、他方の吸着ノズルがピックアップ位置に移動してくるまでの間に、次の電子部品を認識するようにした電子部品の反転供給装置である。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。図1は、実施例に係るテーピング装置の全体を示す概略説明図で、テーピング装置は、チップ状電子部品(以下チップと略称する。)を凹部を有するキャリアテープ1(以下テープと略称する。)に、収納する装置であって、チップ供給装置2と、ピックアップ反転装置3と、インデックス装置4と、テープ包装装置5等よりなる。
【0010】
実施例でのチップ供給装置2へのチップの供給は、ダイシングシート上に保持された半導体ウエハをダイシングにより個々のチップに分離した状態で行われる。チップ供給装置2には、X−Yテーブル7が備えられており、ダイシングされたウエハは、X−Yテーブル7により移動可能とされている。ピックアップ位置Aの下方で、且つ、チップ供給装置2のX−Yテーブル7の下方の位置に、チップを突き上げる突き上げピン8が配備されている。
【0011】
ピックアップ反転装置3は、本発明における電子部品の反転供給装置に相当する装置であって、ピックアップ位置Aにてチップ供給装置2の突き上げピン8にて突き上げられたチップを、吸着ノズル9で吸着保持し、該吸着保持されたチップを反転させ、受け渡し位置Bにてインデックス装置4のインデックスノズル18に受け渡すための装置である。
【0012】
従って、ピックアップ反転装置3は、チップを吸着保持する吸着ノズル9、19と、吸着ノズル9,19を反転させる反転装置10と、吸着ノズル9,19をピックアップ位置Aと受け渡し位置Bとの間で往復移動させる横移動装置11と、チップ吸着保持のため吸着ノズル9,19を上下動させる上下移動装置12と、次の吸着チップを認識するための部品認識カメラ13とを有している。
【0013】
吸着ノズル9,19は、相対する方向に向けて二つ配備される。従って、図1及び図4に示されるように一方の吸着ノズル9が下向きに位置する場合には、他方の吸着ノズル19は上向きに位置する。
【0014】
吸着ノズル9,19は図示されていない真空源と接続されており、図5に示されるようにピックアップ位置Aにて負圧を得て、チップCを吸着し、受け渡し位置Bにて真空破壊され、チップCをインデックス装置4のインデックスノズル18へと受け渡す。
【0015】
横移動装置11は、軸受にて回転可能に支持された円筒ドラム14と、その円筒ドラム14の内部の長手方向に、モータM1に連結されるボールねじ15と、ボールねじ15に噛合されるナット部材17と、該ナット部材17に取り付けられてピックアップ位置Aと受け渡し位置Bの長手方向外側に配設した一対のタイミングプーリ16a,16bに巻掛けられた無端状のタイミングベルト16が配備されたものであり、円筒ドラム14には、後述する支持部材31,33の移動を案内する側長窓が左右長手方向に形成されている。尚、モータM1は正逆転可能なものが用いられる。
【0016】
一方の吸着ノズル19はナット部材17に支持部材33を介して取り付けられている。また、もう一方の吸着ノズル9は、ナット部材17の支持部材31の取付側とは反対側に取り付けられたタイミングベルト16に支持部材31を介して取り付けられている。尚、各支持部材31,33は、円筒ドラム14の側長窓に係合するとともに外部に突出している。
【0017】
吸着ノズル9,19は、図2及び図3に示されるように一方の吸着ノズル9が、ピックアップ位置Aに位置するとき、他方の吸着ノズル19が受け渡し位置Bに位置するよう横移動装置11に取り付けられている。
【0018】
モータM1を一方向に回転(正回転)するとボールねじ15が回転し、ナット部材17に取り付けられた吸着ノズル19は、左方(図2中下方)へ移動する。このときタイミングベルト16を介して取り付けられている吸着ノズル9は逆方向へ走行する。モータM1は正逆転可能なものであるので、モータM1を逆転させることで、吸着ノズル9,19を反対方向へ走行させることができる。
【0019】
反転装置10は、正逆回転可能な減速機付のモータM2と反転ユニット30よりなり、モータM2の出力軸が1回転することにより、反転ユニット30は、円筒ドラム14を2分の1回転させるように設定されている。そして、円筒ドラム14が2分の1回転すると、その円筒ドラム14の側長窓に係合する支持部材31,33を介して吸着ノズル9,19を反転するように構成されている。この反転装置10及び横移動装置11を正逆に作動させることにより、二つの吸着ノズル9,19がピックアップ位置Aと受け渡し位置Bの間で往復運動するように構成されている。尚、ここにおけるモータM2は正逆転可能なものでなくても良い。また、反転装置10と横移動装置11は、別々のモータM1,M2により駆動させるようにしているが適宜動力伝達機構を用いることにより、一つの駆動源で駆動させるようにしても良い。
【0020】
上下移動装置12は、ローラ押さえ20、ローラ押さえ20を上下動させるボールねじ21とナット部材22、ナット部材22の移動をガイドするガイドレール23、ボールねじ21を回転させるモータM3よりなる。尚、吸着ノズル9は、支持部材31において上下方向に移動可能に支持され、図示しないスプリングによって上方へ付勢されて、ストッパ32によって上方への移動を規制されている。また、吸着ノズル9にはローラ24が一体に取り付けられており、ローラ24を下方へ押圧することにより吸着ノズル9は下降するようになっている。そして、吸着ノズル19は、支持部材31と同様な支持部材33に支持されている。尚、モータM3は正逆転可能なものが用いられ、フレームに固定されている。
【0021】
チップのピックアップの時に、ローラ24がローラ押さえ20の下端部に当接した状態でモータM3が回転し、ボールねじ21を回転させる。ボールねじ21の回転により、回転が規制されているナット部材22は下降し、ナット部材22に取り付けられているローラ押さえ20を下降させ、吸着ノズル9をチップに接近させチップを吸着する。その後、元の位置に復帰させる。
【0022】
認識カメラ13は、本発明における部品認識手段に相当するもので、ピックアップ位置Aにある電子部品たるチップを撮影可能なカメラであり、一方の吸着ノズル9がピックアップ位置Aから退避し、他方の吸着ノズル19がピックアップ位置Aに移動してくるまでの間に、X−Yテーブル7によって次の電子部品たるチップを認識カメラ13の直下位置に移動した後に、認識するよう制御される。この認識カメラ13は、フレーム40に固定されている。
【0023】
インデックス装置4は、インデックステーブル25に、チップを保持し、移送する保持手段としてインデックスノズル18を円周方向等間隔に複数個配置したものであり、インデックステーブル25は、図示しない回転装置により、1ピッチ分(インデックスノズル18と次のインデックスノズル18の間隔分)ごとに図中時計回り方向に回転停止する正転と、反時計回り方向に回転停止する逆転が可能である。停止位置には、チップの受け渡しが行われる受け渡し位置B,チップの挿入が行われる挿入位置、不良チップの破棄が行われる排出位置等が設定されている。
【0024】
テープ包装装置5は、電子部品たるチップが挿入可能な凹部が等ピッチに形成されたテープ1を供給する供給リール26と、カバーテープ27と、ヒートシール部28と、巻き取りリール29を有している。尚、テープ包装装置5のチップ挿入位置とヒートシール部28との間で挿入位置近傍の上方にチップ検査カメラ6が設けられている。
【0025】
以下、本実施例の動作について説明する。先ず、チップ供給装置2のピックアップ位置Aでは、突き上げピン8によって、順次チップが突き上げられる。このとき、上下移動装置12のモータM3が回転し、ボールねじ21を回転させる。ボールねじ21の回転により、回転が規制されているナット部材22は下降し、ナット部材に取り付けられているローラ押さえ20を下降させ、ローラ24を押し下げ、吸着ノズル9をチップに接近させチップを吸着する。その後、ローラ押さえ20は上昇させられ、吸着ノズル9に与えられていた上方への付勢力により、元の位置に復帰させる。
【0026】
続いて横移動装置11のモータM1が一方向に回転(正回転)するとボールねじ15が回転し、ナット部材17に取り付けられた吸着ノズル19(空の吸着ノズル)は、左方(図2中下方)へ移動する。このときもう一方の吸着ノズル9は逆方向、すなわち受け渡し位置Bに向かって走行する。
【0027】
また、横移動装置11の作動と同時に反転装置10が作動し、チップを吸着保持した吸着ノズル9は反転し、インデックステーブル25のある受け渡し位置Bまで搬送される。このとき空の吸着ノズル19は、ピックアップ位置Aに到着している。この移動中にX−Yテーブル7によって、次に取り出すチップをピックアップ位置Aに移動させた後、認識カメラ13により、ピックアップ位置Aにある次の電子部品を認識する。
【0028】
受け渡し位置Bで、インデックス装置4が下降し、ピックアップ反転装置3の吸着ノズル9からチップをインデックス装置4のインデックスノズル18が受け取る。受け渡し位置Bで上記受け渡し動作が行われている間に、ピックアップ位置Aでは前記ピックアップ動作が行われている。
【0029】
他方、インデックスノズル18がチップを吸着保持するとインデックス装置4は上昇し、インデックステーブル25は1ピッチ分正の方向に回転し、次の空のインデックスノズル18が受け渡し位置Bの上方に至り停止する。その間に横移動装置11及び反転装置10が逆転して、チップを吸着保持した吸着ノズル19が受け渡し位置Bへ、空の吸着ノズル9がピックアップ位置Aへ、それぞれ搬送され、受け渡し動作、ピックアップ動作がそれぞれ行われる。このようにして、順次インデックスノズル18へチップが受け渡されていく。
【0030】
インデックステーブル25の停止位置では、予め定められた各位置でそれぞれの処理が行われ、挿入位置で、インデックスノズル18からチップが、テープ1の凹部に挿入される。テープ1は正方向に搬送され、検査位置にてチップが検査カメラ6により検査される。
【0031】
検査にて適正と判断されたチップは、テープ1の凹部に挿入されたまま搬送され、カバーテープ27を被された上、ヒートシール部28でシールされ、巻き取りリール29に巻き取られる。
【0032】
【発明の効果】
本発明は、吸着ノズルによりピックアップ位置にある電子部品を吸着保持して、別の受け渡し位置へ表裏を反転すると共に搬送する電子部品の反転供給装置において、二つの吸着ノズルを横移動手段と該横移動手段による移動方向周りに回動する回動手段とを組み合わせた駆動手段に支持し、一つの吸着ノズルが吸着した電子部品をピックアップ位置から受け渡し位置まで搬送すると同時に、該搬送中に他の空の吸着ノズルが受け渡し位置からピックアップ位置まで移動するように構成したものであるので、従前の処理に比べて倍の処理速度を備えさせることが可能となった。更に、複数の吸着ノズルを準備するものではないので、反転供給装置のコストアップを押さえることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例に係るテーピング装置の全体を示す概略説明図
【図2】横移動装置平面断面説明図
【図3】反転装置と横移動装置を示す平面説明図
【図4】上下移動装置を示す側面説明図
【図5】ピックアップ位置の吸着ノズル近傍の拡大説明図
【符号の説明】
1......テープ
2......チップ供給装置
3......ピックアップ反転装置
4......インデックス装置
5......テープ包装装置
6......検査カメラ
7......X−Yテーブル
8......突き上げピン
9,19....吸着ノズル
10.....反転装置
11.....横移動装置
12.....上下移動装置
13.....認識カメラ
14.....円筒ドラム
15,21.....ボールねじ
16.....タイミングベルト
16a,16b...タイミングプーリ
17,22.....ナット部材
18.....インデックスノズル
20.....ローラ押さえ
23.....ガイドレール
24.....ローラ
25.....インデックステーブル
26.....供給リール
27.....カバーテープ
28.....ヒートシール部
29.....巻き取りリール
30.....反転ユニット
31,33...支持部材
32.....ストッパ
A......ピックアップ位置
B......受け渡し位置
C......チップ
M1,M2,M3...駆動モータ
Claims (2)
- 吸着ノズルによりピックアップ位置にある電子部品を吸着保持して、ピックアップ位置とは別の受け渡し位置へ表裏を反転すると共に搬送する電子部品の反転供給装置において、二つの吸着ノズルを横移動手段と該横移動手段による移動方向周りに回動する回動手段とを組み合わせた駆動手段に支持し、一つの吸着ノズルが吸着した電子部品をピックアップ位置から受け渡し位置まで搬送すると同時に、該搬送中に他の空の吸着ノズルが受け渡し位置からピックアップ位置まで移動するように構成したことを特徴とする電子部品の反転供給装置。
- 前記ピックアップ位置にある電子部品を撮影可能な部品認識手段を設けて、一方の吸着ノズルがピックアップ位置から退避し、他方の吸着ノズルがピックアップ位置に移動してくるまでの間に、次の電子部品を認識するようにした請求項1記載の電子部品の反転供給装置。
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