JPH07328498A - 噴霧処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 被処理基板の上下面にわたって均一で高精度
の噴霧処理が可能であり、しかも不良品の発生を未然に
防止できる噴霧処理装置を提供する。 【構成】 処理槽２２内に水平方向に配置され、その間
に被処理基板を水平方向に搬送する上下搬送ローラ２
６，２７および水平方向に搬送される被処理基板２９の
上下両面に処理液を噴霧させる噴霧手段を備えてなる噴
霧処理装置であって、噴霧手段が上下それぞれ１個また
は搬送路上一定の間隔を置いて直列に配置された複数個
のノズル２０を被処理基板の幅全域を均一に噴霧するの
に必要な幅全域にわたって水平に往復揺動させる水平往
復揺動手段と、水平往復揺動手段に上下それぞれ被処理
基板に向って垂直方向に固着され、水平往復揺動手段に
より被処理基板の幅全域を均一に噴霧するのに必要な幅
全域にわたって水平に往復揺動する噴霧用ノズルとを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線用基板、
半導体装置用リードフレーム、カラーＣＲＴ用シャドウ
マスク等の電子部品の製造における現像処理工程または
エッチング処理工程に適用される噴霧処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術およびその課題】従来、プリント配線用基
板等の製造におけるエッチング処理等に用いられる噴霧
処理装置の１例を図１および図２を参照して説明する。
図１は、従来の処理装置の側面図であり、図２は正面図
である。図１および図２において、処理液は、噴霧ポン
プ１を出て流量調節用バルブ２により流量を調節され、
圧力ゲージ３を通り、処理槽４内に配置された上下噴霧
パイプ５および６に取り付けられた上下ノズル７および
８から、処理槽４内を上下搬送ローラ９および１０によ
り水平方向に搬送される被処理基板１１に向って噴霧さ
れて噴霧処理が行なわれる。使用済み処理液はサブタン
ク１２に送られる。上下の噴霧パイプ５および６は首振
り用モーター１３、クランク１４、連結バー１５および
レバー１６から構成される首振揺動機構により首振り揺
動し、上下ノズル７および８が噴霧パイプ５および６の
揺動に連動して首振り揺動しながら噴霧処理が行なわれ
る。図１および図２からも明らかなように、上下噴霧パ
イプ５および６は上下それぞれ複数個搬送方向に平行に
配列され、各噴霧パイプには複数個のノズルが取り付け
られている。１７は、首振り揺動角度を示し、１８は搬
送方向を示す。近年プリント配線板、半導体装置用リー
ドフレームなどは高密度化および大型化しており、高精
度の製品を製造するため噴霧処理装置の開発が要望され
ている。上記した従来の噴霧処理装置においては、被処
理基板の下面に比べて上面にはノズル間に噴霧後の処理
液が溜り易く、下面に比べ上面の噴霧処理能力が低下
し、上下両面間に噴霧処理能力に差が生じ高精度の噴霧
処理が困難であるという問題があった。また被処理基板
の上面についても、ノズル間に噴霧後の処理液が集まり
易く、上面全域にわたって均一な噴霧処理を行なうこと
が困難であるという問題があった。従来の噴霧処理装置
では、例えば図１および図２に示されるように、各ノズ
ルへの処理液の流量調節は、上下それぞれ１個づつの流
量調節用バルブ２および圧力ゲージ３により行なわれ、
個々の噴霧パイプごとまたはノズルごとの処理液の流量
調節は行なわれず、複数個の噴霧パイプひいては複数個
のノズル全体としての流量調節が行なわれていたため、
何れかの噴霧パイプまたはノズルにゴミなどが詰って処
理液が流れなくなったり、また流量が低下してもそれを
見出す手段がなく結果として不均一な噴霧処理をもたら
し、場合によっては不良品となって製品の歩留まりが低
下するという問題があった。

【０００３】上記した従来技術における問題点を解決す
るために種々の噴霧処理装置が提案されている。例え
ば、特開平５−２２６８１０号公報には、プリント基板
表面に不均一に滞溜するエッチング液がこのプリント板
表面から円滑に移動され、基板各部におけるエッチング
量を均一に維持することを目的として、それぞれ多数の
スプルー用ノズルを有する複数のヘッダーパイプの各ヘ
ッダーパイプ毎にエッチング液の噴射時期を順次周期的
に変化させることを特徴とするプリント基板のエッチン
グ装置が開示されているが、装置が複雑になると共にプ
リント板の中央部に近くなるほどエッチング液の滞溜を
完全に排除することが困難となる欠点がある。

【０００４】特開平５−２４７６７１号公報には、金属
薄板のエッチング面全体を常に疲労度の少ないエッチン
グ液で覆うようにすることを目的として、吸液手段によ
り、スプレイノズルから噴出され金属薄板上に残留する
疲労したエッチング液を吸引して金属薄板上から排除す
るようにしたスプレイエッチング装置が開示されている
が、吸液手段を必要とすることなど装置が複雑になると
共に、吸液手段に用いられる吸液ローラがスプレイ処理
の障害となる欠点がある。

【０００５】本発明は、プリント配線用基板、半導体装
置用リードフレーム、カラーＣＲＴ用シャドウマスク等
の電子部品の製造における現像処理工程またはエッチン
グ処理工程に適用した場合、被処理基板の上下両面間に
噴霧処理能力に差が生ずることなく、また被処理基板の
上面に使用後の処理液が残留することがなく、被処理基
板の上下面にわたって均一で高精度の噴霧処理が可能な
噴霧処理装置を提供することを目的としている。本発明
は、ノズル毎の処理液の流量調節を容易に行なうことが
可能であり、ノズルへのゴミなどの詰りによる問題を未
然に防止して均一で精度の高い噴霧処理が可能であっ
て、不良品の発生が抑制され、製品の歩留まりの高い噴
霧処理装置を提供することを目的としている。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】本発明は、処理槽内に
水平方向に配置され、その間に被処理基板を水平方向に
搬送する上下搬送ローラおよび水平方向に搬送される被
処理基板の上下両面に処理液を噴霧させる噴霧手段を備
えてなる噴霧処理装置であって、該噴霧手段が上下それ
ぞれ１個または搬送路上一定の間隔を置いて直列に配置
された複数個のノズルを被処理基板の幅全域を均一に噴
霧するのに必要な幅全域にわたって水平に往復揺動させ
る水平往復揺動手段と、該水平往復揺動手段に上下それ
ぞれ被処理基板に向って垂直方向に固着され、該水平往
復揺動手段により被処理基板の幅全域を均一に噴霧する
のに必要な幅全域にわたって水平に往復揺動する前記噴
霧用ノズルとを備えてなることを特徴とする前記噴霧処
理装置を提供するものである。

【０００７】本発明に用いる噴霧手段の第１の実施態様
において、該噴霧手段は、搬送路の中央部であって水平
方向に搬送される被処理基板の上下両面からそれぞれ一
定の間隔を置いて、該上下面に向って垂直に伸びる噴霧
パイプをその垂直軸の回りに首振り揺動させる第１のオ
シレーションシステムおよび該第１オシレーションシス
テムにより首振り揺動する噴霧パイプの先端にそれと連
動するよう接続されて水平方向に伸び、一定の長さを有
してその先端部が搬送方向に向って、または対向して搬
送路幅間で水平に往復揺動する噴霧アームを備えてなる
水平往復揺動手段と、該噴霧アームの先端部において、
水平方向に搬送される被処理基板の上下両面に向ってそ
れぞれ垂直方向に固着され、該アームの揺動に連動して
被処理基板の幅全域を均一に噴霧するのに必要な幅全域
にわたって水平に往復揺動する噴霧用ノズルとを備えて
なるものである。

【０００８】本発明に用いる噴霧手段の第２の実施態様
において、該噴霧手段は、搬送路の中央部であって水平
方向に搬送される被処理基板の上下両面からそれぞれ一
定の間隔を置いて、該上下面に向って垂直に伸びる揺動
パイプをその垂直軸の回りに首振り揺動させる第２のオ
シレーションシステムおよび第２オシレーションシステ
ムにより首振り揺動する揺動パイプの先端にそれと連動
するように接続されて水平方向に伸び、一定の長さを有
してその先端部が搬送方向に向ってまたは対向して搬送
路幅間で水平に往復揺動する揺動アーム、搬送方向に平
行に伸び、該揺動アームの先端がスライド式に接続さ
れ、揺動アームの水平往復揺動に連動して搬送路幅間で
水平に往復揺動する第１のスライドガイド、処理液用フ
レキシブルパイブに接続されて搬送方向と平行に配置さ
れ、該第１スライドガイドに固着され、該第１スライド
ガイドの水平往復揺動に連動して搬送路幅間で水平往復
揺動する噴霧パイプおよび該噴霧パイプの両端部がそれ
ぞれ可動式に接続され、搬送路幅にわたって水平に配置
され該噴霧パイプの水平往復揺動をガイドする一対の噴
霧パイプガイドアームを備えてなる水平往復揺動手段
と、水平方向に搬送される被処理基板の上下両面に向っ
て垂直方向に該噴霧パイプに固着された上下それぞれ１
個または一定の間隔を置いて直列に配置された複数個の
噴霧用ノズルとを備えてなるものである。

【０００９】本発明に用いる噴霧手段の第３の実施態様
において、該噴霧手段は、モーターの回転に伴って回転
する第１のスプロケット、搬送路の中央部であって、水
平方向に搬送される被処理基板に対して一定の間隔を置
いて水平に配置され、第１スプロケットの回転がチエー
ンによって伝達されて垂直軸の回りに回転する第２スプ
ロケット、該第２スプロケットに固着され、その回転に
連動して垂直軸の回りに水平に回転する一定の径を有す
るフライホイール、搬送方向に平行に伸び、該フライホ
イールがその中心から一定の間隔を置いた周辺部におい
て、スライド式に接続され、該フライホイールの回転に
連動して搬送路幅間を水平に往復揺動する第２のスライ
ドガイド、処理液用フレキシブルパイプに接続されて搬
送方向と平行に配置され、該第２スライドガイドに固着
され、該第２スライドガイドの水平往復揺動に連動して
搬送路幅間で水平往復揺動する噴霧パイプおよび該噴霧
パイプの両端部がそれぞれ可動式に接続され、搬送路幅
にわたって水平に配置され該噴霧パイプの水平往復揺動
をガイドする一対の噴霧パイプガイドアームを備えてな
る水平往復揺動手段と、水平方向に搬送される被処理基
板の上下両面に向って該噴霧パイプに固着された上下そ
れぞれ１個または一定の間隔を置いて直列に配置された
複数個の噴霧用ノズルとを備えてなるものである。

【００１０】本発明に用いられる水平往復揺動手段の他
の態様として、モーターの回転に連結された回転駆動腕
の端部に、一方端部を処理液用フレキシブルパイプに接
続された噴霧パイプに枢着せしめた枢動腕の端部を枢着
せしめて構成されるものを使用することが可能である。

【００１１】本発明の噴霧用ノズルとしては、噴霧面が
円錐形で従来公知のものならびに噴霧面が扇形で従来公
知のものを使用することができるが、本発明において
は、さらに噴霧面が扇形のものであって、噴霧角が従来
公知のものに比べて大きく例えば７０〜１２０°程度の
ものであって、ノズル１個当りの処理液処理量が従来の
ノズルの５〜１５個分に相当する広角ノズルを使用する
ことも可能である。

【００１２】本発明において、上記広角ノズルを用いた
場合、上下それぞれ複数個のノズルについて、各ノズル
毎にオシレーションシステム、圧力ゲージおよび特殊の
流量調節用ネジ式バルブを設けて処理液流量および／ま
たはノズルの揺動速度をノズル毎に調節することを容易
に行なうことが可能となる。

【００１３】本発明において上記広角ノズルを用いた場
合、上下それぞれ複数個のノズルについて、各ノズル毎
に圧力ゲージおよび特殊の流量調節用ネジ式バルブを設
けて処理液流量をノズル毎に調節すると共に、複数個の
ノズルを共通のオシレーションシステムにより一定の揺
動速度で同時に揺動させることが容易に行なわれる。

【００１４】噴霧面が円錐形の従来公知のノズル、噴霧
面が扇形の従来公知のノズルおよび噴霧面が扇形の上記
した広角ノズルの何れの場合も、上下それぞれ複数個の
ノズルの処理液量および揺動速度をそれぞれ同時に調節
することもできる。

【００１５】本発明で用いられる流量調節用ネジ式バル
ブは、従来の流量調節用バルブ２はボール式のものであ
ったが、本発明の装置においてはその取り付けが困難で
あるため、ネジによって流路を開閉する構造のネジ式と
して改良されたものである。

【００１６】

【作用】本発明の噴霧用ノズルは、従来の被処理基板に
向って首振り揺動することなく、水平方向に搬送される
被処理基板に向って垂直方向に固着され、かつ水平方向
に揺動する構成となっているのでサイドエッチングなど
の問題が起り難い。また上下それぞれ複数個の噴霧用ノ
ズルが搬送路内で直列に配置され、従来の如く複数列に
配置されていないため、特に被処理基板上面においてノ
ズル間に使用後の処理液が集まって滞留することがな
い。上下それぞれ１個または直列に配置された複数個の
ノズルが、被処理基板の幅全域にわたって水平往復揺動
するので、特に被処理基板上面において使用後の処理液
が速かにしかも完全に掃き流されるためいわゆる液溜ま
りの問題が解消される。

【００１７】

【発明の効果】本発明によれば、プリント配線用基板、
半導体装置用リードフレーム、カラーＣＲＴ用シャドウ
マスク等の電子部品の製造における現像処理工程または
エッチング処理工程に適用した場合、被処理基板の上下
両面間に噴霧処理能力に差が生ずることなく、また被処
理基板の上面に使用後の処理液が残留することがなく、
被処理基板の上下面にわたって均一で高精度の噴霧処理
が可能な噴霧処理装置が提供される。本発明によれば、
ノズル毎の処理液の流量調節を容易に行なうことが可能
であり、ノズルへのゴミなどの詰りによる問題を未然に
防止して均一で精度の高い噴霧処理が可能であって、不
良品の発生が抑制され、製品の歩留まりの高い噴霧処理
装置が提供される。

【００１８】

【実施例】図面を参照する実施例により本発明をさらに
詳しく説明する。

【００１９】実施例１ 図３〜図８を参照し、本発明の噴霧手段の第１の実施態
様について説明する。図３は、上下それぞれ複数個のノ
ズルを共通の第１オシレーションシステムにより同時に
水平往復揺動させる場合の側面図であり、図４は、上下
それぞれ複数個のノズルを用いた場合の平面図であり、
図５は上下それぞれ２個のノズルを用い、上下それぞれ
２個のノズルを同時に水平往復揺動させる第１オシレー
ションシステムの概略平面図であり、図６は上下それぞ
れ１個のノズルを水平往復揺動させる第１オシレーショ
ンシステムの概略平面図であり、図７は図５または図６
の部分拡大側面図であり、図８は図７の部分拡大断面図
である。

【００２０】図３および図４において、処理液は、噴霧
ポンプ２１を出て、処理槽２２中央部に水平に伸び、次
いで分枝して、垂直に伸びる噴霧パイプ２３の垂直部分
に設けられた第１オシレーションシステムにより垂直軸
の回り首振り揺動する噴霧パイプの垂直部分を通過し、
次いで該噴霧パイプの垂直部分の先端にその首振り揺動
に連動して水平方向で搬送路幅全域にわたって揺動する
噴霧アーム２４を通り、該噴霧アーム２４の先端に取り
付けられた噴霧用ノズル２５から処理槽２２内に水平に
設けられた上下搬送ローラ２６および２７により水平方
向２８に搬送される被処理基板２９に向って噴霧され、
使用後の処理液はサブタンク３０に送られる。３１はオ
シレーションモーターであり３２は圧力ゲージである。
ノズル２５は被処理基板２９に向って垂直方向に噴霧ア
ーム２４の先端に固着されている。

【００２１】図３および図４における第１オシレーショ
ンシステムの詳細を図５および図６を参照して説明す
る。上下それぞれ複数個のノズル２５を使用する場合の
第１オシレーションシステムは、図５に示されるよう
に、オシレーションモーター３１、クランク３３、リン
ク３５、Ｌ金具３６および揺動コントロールバー３４に
より構成されており、上下１個のノズル２５を使用する
場合、図６に示されるようにオシレーションモーター３
１、クランク３３および揺動コントロールバー３４によ
り構成されている。図５および図６において、２３は噴
霧パイプの垂直部分であり、その詳細を図７で説明する
と、処理液流量は流量調節用ネジ式バルブ３７により調
節される。図７における流量調節用ネジ式バルブ３７の
詳細が図８に示されており、図８には、噴霧パイプ２３
の垂直部分の流路２３がネジ式バルブ３７により大部分
閉じられた状態を示している。

【００２２】実施例２ 図９〜図１１を参照し、本発明の噴霧手段の第２の実施
態様について説明する。図９は本発明の噴霧手段の第２
の実施態様を説明するための略図であり、図１０は図９
の噴霧パイプと第１スライドガイドの接続部分を説明す
るための側面図であり、図１１は図１０における第２オ
シレーションシステムとの接続部分の部分拡大図であ
る。図９において、ポンプ４１を出た処理液は流量調節
用バルブ４２により流量を調節され、フレキシブルパイ
プ４３を通り、処理槽４４内で搬送方向に平行で水平に
配置された噴霧パイプ４５に、水平に搬送される被処理
基板４６に向って垂直方向に固着された上下それぞれ１
個または搬送方向に直列に配置された複数個のノズル４
７から、被処理基板４６に噴霧される。使用後の処理液
はサブタンク４８に送られる。４９は第２オシレーショ
ンシステムであって、噴霧パイプおよび流量調節用ネジ
式バルブが組み込まれていない以外は、図６に示される
オシレーションシステムと同様であって、オシレーショ
ンモーター、クランクおよび揺動コントロールバーによ
り構成されている。５０はオシレーションアームであっ
て、処理液が通っていない以外図６の噴霧アーム２４と
同様に４９に接続されて搬送路の幅全域にわたって水平
に往復揺動できる構成となっている。オシレーションア
ーム５０の先端は噴霧パイプ４５に固着された第１スラ
イドガイド５１にスライド可能に接続され、オシレーシ
ョンアーム５０の水平往復揺動に連動して噴霧パイプ４
５および噴霧用ノズル４７が搬送路の幅全域にわたって
水平に往復揺動できる構成となっており、５２は噴霧パ
イプ４５の水平往復揺動をガイドする１対の噴霧パイプ
ガイドアームである。

【００２３】図９における噴霧パイプ４５と第１スライ
ドガイド５１との接続部分を図１０により説明すると、
図１０において、５３は被処理基板であり、５４および
５５は、それぞれ上下の搬送ローラであり、５０はオシ
レーションアーム５０の先端部であり、５６は固定ボル
トである。図１０におけるオシレーションアーム５０の
先端部と第１スライドガイド５１との接続部分の詳細を
図１１により説明すると、図１１において、オシレーシ
ョンアームの先端部５０と固定ボルトの間にスライドカ
ラー５７が設けられている。５８は搬送方向を示す。

【００２４】実施例３ 図１２および図１３を参照し、本発明の噴霧手段の第３
の実施態様について説明する。図１２は本発明の噴霧手
段の第３の実施態様を説明するための略図であり、図１
３は図１２における噴霧パイプと第２スライドガイドの
接続部分を説明するための側面図である。図１２および
図１３において、ポンプ６１を出た処理液は流量調節用
バルブ６２により流量を調節され、フレキシブルパイプ
６３を通り、処理槽６４内で搬送方向に平行で水平に配
置された噴霧パイプ６５に上下搬送ローラ６６および６
７により水平に搬送される被処理基板６８に向って垂直
方向に固着され、上下それぞれ１個または搬送方向に直
列に配置された複数個のノズル６９から被処理基板６８
に噴霧される。使用後の処理液はサブタンク７０に送ら
れる。

【００２５】図１２において、７１はモータであり、７
２はモーター７１の回転に伴なって回転する第１スプロ
ケットであり、７３はチェーン４により第１スプロケッ
トに連動して回転する第２スプロケットであり、７５は
第２スプロケット７３に固着して第２スプロケット７３
と共に垂直軸の回りに回転するフライホイールである。
該フライホイール７５は、その周辺部において噴霧パイ
プ６５に固着された第２スライドガイド７６にスライド
式に接続され、第２スプロケット７３の回転に連動して
噴霧パイプ６５が搬送路の幅全域にわたって水平に往復
揺動し、同時にノズル６９も搬送路の幅全域にわたって
水平に往復揺動する構成になっている。７７は、噴霧パ
イプ６５の水平往復揺動をガイドする一対の噴霧パイプ
ガイドアームである。図１３において７８は固定ボルト
であり、７９はスペーサーである。８０は搬送方向を示
す。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の処理装置の１例を示す側面図である。

【図２】従来の処理装置の１例を示す正面図である。

【図３】本発明の噴霧手段の第１の実施態様を説明する
側面図である。

【図４】本発明の噴霧手段の第１の実施態様を説明する
平面図である。

【図５】本発明の第１オシレーションシステムの１例を
説明する略図である。

【図６】本発明の第１オシレーションシステムの１例を
説明する略図である。

【図７】本発明の第１オシレーションシステムの詳細を
説明する部分拡大図である。

【図８】本発明に用いるネジ式バルブを説明するための
断面図である。

【図９】本発明の噴霧手段の第２の実施態様を説明する
略図である。

【図１０】本発明の噴霧手段の第２の実施態様を説明す
るための部分拡大図である。

【図１１】本発明の噴霧手段の第２の実施態様を説明す
るための部分拡大図である。

【図１２】本発明の噴霧手段の第３の実施態様を説明す
るための略図である。

【図１３】本発明の噴霧手段の第３の実施態様を説明す
るための部分拡大側面図である。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理槽内に水平方向に配置され、その間
   に被処理基板を水平方向に搬送する上下搬送ローラおよ
   び水平方向に搬送される被処理基板の上下両面に処理液
   を噴霧させる噴霧手段を備えてなる噴霧処理装置であっ
   て、 該噴霧手段が上下それぞれ１個または搬送路上一定の間
   隔を置いて直列に配置された複数個のノズルを被処理基
   板の幅全域を均一に噴霧するのに必要な幅全域にわたっ
   て水平に往復揺動させる水平往復揺動手段と、該水平往
   復揺動手段に上下それぞれ被処理基板に向って垂直方向
   に固着され、該水平往復揺動手段により被処理基板の幅
   全域を均一に噴霧するのに必要な幅全域にわたって水平
   に往復揺動する前記噴霧用ノズルとを備えてなることを
   特徴とする前記噴霧処理装置。
2. 【請求項２】 該噴霧手段が、搬送路の中央部であって
   水平方向に搬送される被処理基板の上下両面からそれぞ
   れ一定の間隔を置いて、該上下面に向って垂直に伸びる
   噴霧パイプをその垂直軸の回りに首振り揺動させる第１
   のオシレーションシステムおよび該第１オシレーション
   システムにより首振り揺動する噴霧パイプの先端にそれ
   と連動するよう接続されて水平方向に伸び、一定の長さ
   を有してその先端部が搬送方向に向って、または対向し
   て搬送路幅間で水平に往復揺動する噴霧アームを備えて
   なる水平往復揺動手段と、該噴霧アームの先端部におい
   て、水平方向に搬送される被処理基板の上下両面に向っ
   てそれぞれ垂直方向に固着され、該アームの揺動に連動
   して被処理基板の幅全域を均一に噴霧するのに必要な幅
   全域にわたって水平に往復揺動する噴霧用ノズルとを備
   えてなることを特徴とする請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 該噴霧手段が、搬送路の中央部であって
   水平方向に搬送される被処理基板の上下両面からそれぞ
   れ一定の間隔を置いて、該上下面に向って垂直に伸びる
   揺動パイプをその垂直軸の回りに首振り揺動させる第２
   のオシレーションシステムおよび第２オシレーションシ
   ステムにより首振り揺動する揺動パイプの先端にそれと
   連動するように接続されて水平方向に伸び、一定の長さ
   を有してその先端部が搬送方向に向ってまたは対向して
   搬送路幅間で水平に往復揺動する揺動アーム、搬送方向
   に平行に伸び、該揺動アームの先端がスライド式に接続
   され、揺動アームの水平往復揺動に連動して搬送路幅間
   で水平に往復揺動する第１のスライドガイド、処理液用
   フレキシブルパイプに接続されて搬送方向と平行に配置
   され、該第１スライドガイドに固着され、該第１スライ
   ドガイドの水平往復揺動に連続して搬送路幅間で水平往
   復揺動する噴霧パイプおよび該噴霧パイプの両端部がそ
   れぞれ可動式に接続され、搬送路幅にわたって水平に配
   置され該噴霧パイプの水平往復揺動をガイドする一対の
   噴霧パイプガイドアームを備えてなる水平往復揺動手段
   と、水平方向に搬送される被処理基板の上下両面に向っ
   て垂直方向に該噴霧パイプに固着された上下それぞれ１
   個または一定の間隔を置いて直列に配置された複数個の
   噴霧用ノズルとを備えてなることを特徴とする請求項１
   記載の装置。
4. 【請求項４】 該噴霧手段がモーターの回転に伴って回
   転する第１のスプロケット、搬送路の中央部であって水
   平方向に搬送される被処理基板に対して一定の間隔を置
   いて水平に配置され、第１スプロケットの回転がチエー
   ンによって伝達されて垂直軸の回りに回転する第２のス
   プロケット、該第２スプロケットに固着され、その回転
   に連動して垂直軸の回りに水平に回転する一定の径を有
   するフライホイール、搬送方向に平行に伸び、該フライ
   ホイールがその中心から一定の間隔を置いた周辺部にお
   いてスライド式に接続され、該フライホイールの回転に
   連動して搬送路幅間を水平に往復揺動する第２のスライ
   ドガイド、処理液用フレキシブルパイプに接続されて搬
   送方向と平行に配置され、該第２スライドガイドに固着
   され、該第２スライドガイドの水平往復揺動に連動して
   搬送路幅間で水平往復揺動する噴霧パイプおよび該噴霧
   パイプの両端部がそれぞれ可動式に接続され、搬送路幅
   にわたって水平に配置され、該噴霧パイプの水平往復揺
   動をガイドする一対の噴霧パイプガイドアームを備えて
   なる水平往復揺動手段と、水平方向に搬送される被処理
   基板の上下両面に向って該噴霧パイプに固着された上下
   それぞれ１個または一定の間隔を置いて直列に配置され
   た複数個の噴霧用ノズルとを備えてなることを特徴とす
   る請求項１記載の装置。
5. 【請求項５】 上下それぞれ複数個のノズルであり、該
   ノズルが扇形の噴霧面を有する広角ノズルであって、各
   ノズル毎にオシレーションシステム、圧力ゲージおよび
   流量調節用ネジ式バルブを設けて処理液流量および／ま
   たはノズルの揺動速度をノズル毎に調節する請求項１記
   載の装置。
6. 【請求項６】 上下それぞれ複数個のノズルであり、該
   ノズルが扇形の噴霧面を有する広角ノズルであって、各
   ノズル毎に圧力ゲージおよび流量調節用ネジ式バルブを
   設けて処理液流量をノズル毎に調節すると共に複数個の
   ノズルを共通のオシレーションシステムにより一定の揺
   動速度で同時に揺動させる請求項１記載の装置。
7. 【請求項７】 上下それぞれ複数個のノズルの処理液量
   および揺動速度がそれぞれ同時に調節される請求項１記
   載の装置。