CN107413603B - 真空减压干燥设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种真空减压干燥设备，涉及薄膜晶体管液晶显示器的制造领域，用于解决现有技术中存在的减压干燥制程中基板上光阻及溶剂蒸汽在基板中间区域出现聚集而造成色不均现象的技术问题。本发明的真空减压干燥设备，包括盖板和腔室，盖板上的第一吹气孔阵列和第二吹气孔阵列均包括沿盖板的长边方向分布的吹气孔，因此在破真空过程中，整个腔室内部气流分布更加均匀，且吹气孔的位置离基板的中心区域距离更短，更容易影响到中心区域的气流，防止溶剂蒸汽凝结而造成基板的色不均现象。

Description

真空减压干燥设备
技术领域
本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器的制造领域，特别地涉及一种真空减压干燥设备。
背景技术
现有的真空减压干燥设备(VCD)如图1和图2所示，当基板由机械手(Robot)放至真空减压干燥设备的定位销(Pin)上后，真空减压干燥设备开始进行制程，待制程结束后向盖板内通入干燥空气(CDA)，以恢复腔室内的气压。
由于光阻是由溶剂、感光剂、树酯、添加剂组成，其中溶剂占所有成分的75％以上。当基板涂布上光阻后，基板上的光阻膜层还有较大的流动性。即使经过真空减压干燥设备的减压干燥制程后，光阻仍有较多溶剂存在，并存在一定的流动能力。当减压干燥完成后，需先通过辅助吹气孔(Slow Purge)向腔室内通入少量的干燥空气以缓慢恢复腔室内的气压，防止破片；再通过主吹气孔(Main Purge)向腔室内通入大量的干燥空气来快速恢复气压。由于现有设备中的吹气孔只分布在盖板的短边方向上且靠近盖板侧壁的六个点位处，在破真空过程中，腔室内部气流受到干燥空气的影响，而从盖板短边方向的两侧向中间部位流动，造成基板上光阻及溶剂蒸汽在基板中间区域出现聚集，严重时可造成基板的色不均现象(Mura)。
发明内容
本发明提供一种真空减压干燥设备，用于解决现有技术中存在的减压干燥制程中基板上光阻及溶剂蒸汽在基板中间区域出现聚集而造成色不均现象的技术问题。
本发明提供一种真空减压干燥设备，包括盖板和盖板内部的腔室，基板设置在所述腔室内；所述盖板的长边方向上设置有破真空装置；
所述破真空装置至少包括第一吹气孔阵列和第二吹气孔阵列，所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列均包括沿所述盖板的长边方向设置的多个吹气孔。
在一个实施方式中，第一吹气孔阵列中的多个所述吹气孔沿所述盖板的长边方向等间距设置；
第二吹气孔阵列中的多个所述吹气孔沿所述盖板的长边方向等间距设置。
在一个实施方式中，所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列关于所述盖板的中心对称设置。
在一个实施方式中，所述腔室的内部并排设置有多个用于放置基板的可升降托盘，所述可升降托盘上设置有用于支撑基板的定位销，相邻的两个所述可升降托盘之间设置有间隙。
在一个实施方式中，所述破真空装置上方设置有隔板，所述隔板包括分别设置在所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列上方的第一隔板和第二隔板；
所述可升降托盘处于最低点位置处时，所述第一隔板和所述第二隔板分别设置在靠近所述盖板的两个侧壁处的间隙中。
在一个实施方式中，所述第一隔板与所述吹气孔的上端面之间的距离以及所述第二隔板与所述吹气孔的上端面之间的距离均为1-2cm。
在一个实施方式中，所述吹气孔位于所述可升降托盘的下方，且所述吹气孔的轴线偏离所述间隙的中心。
在一个实施方式中，所述破真空装置与真空源通过真空管路连接，所述真空管路上设置有控制真空气体流量的三通阀。
在一个实施方式中，所述盖板包括上盖板和下盖板，所述吹气孔设置在所述下盖板上。
在一个实施方式中，所述下盖板上还设置有抽气孔，所述抽气孔设置于所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列之间。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
(1)由于第一吹气孔阵列和第二吹气孔阵列均包括沿盖板的长边方向分布的吹气孔，因此在破真空过程中，整个腔室内部气流分布更加均匀，且吹气孔的位置离基板的中心区域距离更短，更容易影响到中心区域的气流，防止溶剂蒸汽凝结而造成基板的色不均现象。
(2)由于吹气孔上方设置有隔板，且当可升降托盘处于最低点位置处时，隔板位于两个可升降托盘之间的间隙中，即在进行破真空操作时，隔板的上表面与托盘的上表面齐平，这样可以利用隔板将左右两个托盘连在一起，保证设备在进行破真空时气流只会在中间托盘的空隙区及两侧托盘的外围进行流动避免，使气流分布更加均匀，可明显减少由于气流分布不均而导致的光阻聚集，从而可有效改善相关基板的色不均现象。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。
图1为现有技术中真空减压干燥设备的俯视图；
图2为现有技术中真空减压干燥设备的左视图；
图3为本发明实施例中真空减压干燥设备的俯视图；
图4为本发明实施例中真空减压干燥设备的左视图。
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。
附图标记：
1-盖板； 2-腔室； 3-破真空装置；
4-隔板； 5-可升降托盘； 6-抽气孔；
7-基板； 11-上盖板； 12-下盖板；
31-第一吹气孔阵列； 32-第二吹气孔阵 33-吹气孔；
34-真空管路； 35-三通阀； 41-第一隔板；
42-第二隔板； 51-间隙； 52-定位销。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
如图3所示，本发明提供了一种真空减压干燥设备，其包括：盖板1和盖板1内部的腔室2，基板设置在腔室2内；盖板1的长边方向上设置有破真空装置3；破真空装置3至少包括第一吹气孔阵列31和第二吹气孔阵列32，第一吹气孔阵列31和第二吹气孔阵列32均包括沿盖板1的长边方向设置的多个吹气孔33。吹气孔33用于向腔室2内通入干燥空气(CDA)，以恢复使腔室2内的气压。
如图3所示，第一列吹气孔阵列31靠近盖板1的长边方向的侧壁，第二列吹气孔32靠近盖板1的长边方向的另一侧壁。
在一个实施例中，如图3所示，第一列吹气孔阵列31中的多个吹气孔33沿盖板1的长边方向等间距设置；类似地，第二列吹气孔阵列32中的多个吹气孔33沿盖板1的长边方向等间距设置；使其在破真空过程中，整个腔室2内部气流分布更加均匀。此外，较之现有技术中的设置方式，其辅助吹气孔(Slow Purge)距离基板的中心区域更远，而本发明中吹气孔33距离基板的中心区域距离更近，因此更容易影响到基板的中心区域的气流，防止溶剂蒸汽凝结而造成基板的色不均现象。
进一步地，第一吹气孔阵列31和第二吹气孔阵列32关于盖板1的中心对称设置，以达到稳定气流的效果。
此外，破真空装置3还可包括靠近盖板1的中间区域的第三吹气孔阵列和\或第四吹气孔阵列，第三吹气孔阵列与第四吹气孔阵列与上述的第一吹气孔阵列31以及第二吹气孔阵列32的设置方式类似，在此不再赘述。
如图4所示，腔室2的内部并排设置有多个用于放置基板的可升降托盘5，升降托片5的表面上设置有用于支撑基板的定位销52，相邻的两个可升降托盘5之间设置有间隙51。
另外，可升降托盘5与升降轴相连，以实现升降的功能。
在一个实施例中，为了使腔室2内部的气流更加均匀，在破真空装置3上方设置有隔板4，隔板4包括分别设置在第一吹气孔阵列31和第二吹气孔阵列32上方的第一隔板41和第二隔板42。可升降托盘5处于最低点位置处时，第一隔板41和第二隔板42分别设置在靠近盖板1的两个侧壁处的间隙51中。
即当进行破真空时，可升降托盘5下降，使第一隔板41和第二隔板42分别插入到相应的间隙51中，通过第一隔板41和第二隔板42，能够起到连接左右两个可升降托盘5的作用，使气流的流动方向可控，即：气流只会在靠近盖板1两侧的可升降托盘5以及中间的可升降托盘5的空隙区进行流动，从了保证了腔室2内气流的均匀性。
进一步地，第一隔板41和第二隔板42均与盖板1通过螺纹固定连接。
进一步地，第一隔板41与吹气孔33的上端面之间的距离以及第二隔板42与吹气孔33的上端面之间的距离d均为1-2cm，优选地，该距离为1cm，以保证当可升降托盘5下降到最低点时，其上表面与端板4的上表面齐平。
在另一个实施例中，吹气孔33位于可升降托盘5的下方，且吹气孔33的轴线偏离间隙51的中心。即吹气孔33并正对着间隙51，而是与间隙51错开设置，使得当吹气孔33向腔室2内通入干燥空气时，气流不会直接经过间隙51并作用到基板上，而是会被可升降托盘5遮挡，已达到缓冲气流的目的，防止定位销52上的基板在气流的作用下被发生移动而产生的破片现象。
如图3所示，破真空装置3与真空源通过真空管路34连接，真空管路34上设置有控制真空气体流量的三通阀35。在现有技术中，通过孔径的不同，分为主吹气孔(Main Purge)和辅助吹气孔(Slow Purge)，但是不同的孔径在加工时会增加难度，并且辅助吹气孔距离基板的中心区域较远，因此本发明中将吹气孔33的孔径设置为相同，并且通过三通阀35控制流入吹气孔33中气体的流量，使加工的难度下降，并且还保证了与基板的中心区域之间的距离更小。
如图4所示，盖板1包括上盖板11和下盖板12，上盖板11和下盖板12的内部形成腔室2，吹气孔33设置在下盖板12上。
此外，下盖板12上还设置有抽气孔6，抽气孔6设置于第一吹气孔阵列31和第二吹气孔阵列32之间。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (8)

1.一种真空减压干燥设备，其特征在于，包括盖板(1)和盖板(1)内部的腔室(2)，基板设置在所述腔室(2)内；所述盖板(1)的长边方向上设置有破真空装置(3)；
所述破真空装置(3)至少包括第一吹气孔阵列(31)和第二吹气孔阵列(32)，所述第一吹气孔阵列(31)和所述第二吹气孔阵列(32)均包括沿所述盖板(1)的长边方向设置的多个吹气孔(33)，所述第一吹气孔阵列靠近所述盖板的长边方向的侧壁，所述第二吹气孔阵列靠近所述盖板的长边方向的另一侧壁；
所述腔室(2)的内部并排设置有多个用于放置基板的可升降托盘(5)，所述可升降托盘(5)上设置有用于支撑基板的定位销(52)，相邻的两个所述可升降托盘(5)之间设置有间隙(51)；
所述破真空装置(3)上方设置有隔板(4)，所述隔板(4)包括分别设置在所述第一吹气孔阵列(31)和所述第二吹气孔阵列(32)上方的第一隔板(41)和第二隔板(42)；
所述可升降托盘(5)处于最低点位置处时，所述第一隔板(41)和所述第二隔板(42)分别设置在靠近所述盖板(1)的两个侧壁处的间隙(51)中。
2.根据权利要求1所述的真空减压干燥设备，其特征在于，第一吹气孔阵列(31)中的多个所述吹气孔(33)沿所述盖板(1)的长边方向等间距设置；
第二吹气孔阵列(32)中的多个所述吹气孔(33)沿所述盖板(1)的长边方向等间距设置。
3.根据权利要求2所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述第一吹气孔阵列(31)和所述第二吹气孔阵列(32)关于所述盖板(1)的中心对称设置。
4.根据权利要求1所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述第一隔板(41)与所述吹气孔(33)的上端面之间的距离以及所述第二隔板(42)与所述吹气孔(33)的上端面之间的距离均为1-2cm。
5.根据权利要求1所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述吹气孔(33)位于所述可升降托盘(5)的下方，且所述吹气孔(33)的轴线偏离所述间隙(51)的中心。
6.根据权利要求1-3中任一权利要求所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述破真空装置(3)与真空源通过真空管路(34)连接，所述真空管路(34)上设置有控制真空气体流量的三通阀(35)。
7.根据权利要求5所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述盖板(1)包括上盖板(11)和下盖板(12)，所述吹气孔(33)设置在所述下盖板(12)上。
8.根据权利要求7所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述下盖板(12)上还设置有抽气孔(6)，所述抽气孔(6)设置于所述第一吹气孔阵列(31)和所述第二吹气孔阵列(32)之间。
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