KR100785462B1 - 평판 디스플레이 제조를 위한 기판 처리 장치 - Google Patents

평판 디스플레이 제조를 위한 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이(flat panel display) 제조에 사용되는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 처리 장치는 기판을 반송하기 위한 반송 장치가 배치되어 있는 반송부; 상기 반송부의 일측에 연결되며, 기판들의 온도를 1차로 조절하는 버퍼부; 상기 반송부의 타측에 연결되며, 상기 버퍼부에서 1차로 온도 조절된 기판을 제공받아 기판을 정렬하는 정렬장치를 갖으며, 기판이 상기 정렬장치에서 정렬되는 동안 기판의 온도를 2차로 조절하는 얼라이너부를 포함하며, 상기 얼라이너부는 상부에 설치되어 기판의 상면으로 온도 조절용 공기를 분출하여 기판의 온도를 일정하게 유지시켜주는 상부 블로우와, 측부에 경사지게 설치되어 기판의 상면으로 분출된 온도 조절용 공기가 상기 반송 챔버 방향으로 신속하게 빠져나가도록 기판 표면에 경사각을 갖고 온도 조절용 공기를 분출하는 측면경사 블로우를 포함한다.
온도, 블로우, 노광

Description

평판 디스플레이 제조를 위한 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS FOR MANUFACTURE OF FLAT PANEL DISPLAY}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치가 적용된 포토리소그래피 설비의 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 버퍼부와 반송부를 보여주는 측단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 반송부와 얼라이너부를 보여주는 측단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 분해 사시도이다.
도 5는 얼라이너부에서의 기류 흐름을 보여주는 도면이다.
도 6은 얼라이너부에서의 시간에 따른 글라스 기판의 온도 변화를 보여주는 그래프이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
110 : 코터부 120 : 노광부
140 : 현상부 150 : 세정부
200 : 인터페이스 챔버
210 : 반송부 220 : 버퍼부
230 : 얼라이너부 240,260 : 상부 블로우
250 : 측면 블로우 270 : 측면경사 블로우
본 발명은 기판 처리 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 평판 디스플레이(flat panel display) 제조에 사용되는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 주로 디스플레이 장치로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 표시 소자(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
이들 액정 표시 소자 제작을 위해서 글라스 기판(glass substrate) 상에는 패턴을 형성하는 포토리소그라피 공정이 필수적으로 수반된다.
그러나, 글라스 기판의 사이즈가 대형화함에 따라 포토리소그라피 공정에서 PR(포토레지스트) 코팅후 노광공정까지 PR의 균일한 온도와 습도 유지가 매우 중요하다. 만약, 글라스 기판의 온도와 습도 유지가 안될 경우 PR 패턴 외곡(글라스 기 판의 수축과 팽창)이 발생하여 노광시 얼라인 문제가 발생하며, 셀(cell) 공정시 TFT와 C/F 글라스 간의 얼라인 불량이 발생하여 수율 저하로 이어지게 된다.
예를 들어, 글라스 기판의 온도 균일성이 나쁜 상태에서 패턴 형성기(노광장치)에 들어가면 온도 편차에 따른 노광 위치 불량이 생기게 되고, 이는 글라스 기판의 공정상 수율에 중대한 영향을 미치게 된다. 따라서, 글라스 기판은 패턴 형성기에 들어가기 전에 빠른 시간내에 정밀하게 온도를 조절할 필요가 있다.
본 발명의 목적은 글라스 기판의 신속한 온도 조절이 가능한 기판 처리 장치를 제공하는데 있다. 본 발명의 목적은 글라스 기판의 정밀한 온도 조절이 가능한 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 특징에 의하면, 본 발명의 평판 디스플레이(flat panel display) 제조에 사용되는 기판 처리 장치는 기판을 반송하기 위한 반송 장치가 배치되어 있는 반송부; 상기 반송부의 일측에 연결되며, 기판들의 온도를 1차로 조절하는 버퍼부; 상기 반송부의 타측에 연결되며, 상기 버퍼부에서 1차로 온도 조절된 기판을 제공받아 기판을 정렬하는 정렬장치를 갖으며, 기판이 상기 정렬장치에서 정렬되는 동안 기판의 온도를 2차로 조절하는 얼라이너부를 포함하며, 상기 얼라이너부는 상부에 설치되어 기판의 상면으로 온도 조절용 공기를 분출하여 기판의 온도를 일정하게 유지시켜주는 상부 블로우와, 측부에 경사지게 설치되어 기판의 상면으로 분출된 온도 조절용 공기가 상기 반송 챔버 방향으로 신속하게 빠져나가도 록 기판 표면에 경사각을 갖고 온도 조절용 공기를 분출하는 측면경사 블로우를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 얼라이너부는 기판의 온도 조절에 사용된 공기가 상기 반송부로 빠져나가도록 상기 측면경사 블로우와 마주하는 일면에 상기 반송부로 통하는 개방된 입구를 갖는다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 버퍼부는 기판들이 다단으로 적층되어 대기할 수 있는 수납공간을 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 버퍼부는 상기 반송부와 통하도록 개방된 입구를 갖으며, 상기 개방된 입구와 마주하는 측면에는 상기 수납 공간에 다단으로 대기하는 기판들의 온도를 조절한 후 상기 입구쪽으로 플로우되도록 공기를 제공하는 측면 블로우를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 반송부는 상기 버퍼부의 입구를 통해 유입되는 공기와 상기 얼라이너부의 입구를 통해 유입되는 공기가 배기되도록 상부에 온도 조절용 공기를 다운플로우하는 상부 블로우와, 바닥에 다운플로우된 온도 조절용 공기가 배기되는 배기구를 더 포함한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
본 실시예에서 기판은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치가 적용된 포토리소그래피 설비의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 포토리소그래피 설비(100)에서는, 글라스 기판(10) 표면에 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포처리, 글라스 기판에 패턴을 조사(照射)하여 노광하는 노광처리, 노광후의 글라스 기판을 현상(現像)을 하는 현상처리, 도포처리전이나 후에 하는 가열처리, 냉각처리 그리고 노광처리 전에 정렬하는 정렬처리 등이 이루어진다. 이들의 처리는 개별로 설치된 각 처리부에서 이루어지고, 이들의 각 처리부는 상기 일련의 처리를 연속하여 할 수 있도록 하나로 모아져 인-라인 처리 시스템을 구성하고 있다.
포토리소그라피 시스템(100)은 글라스 기판(10)상에 마스크막, 즉 포토레지스트막을 코팅하는 코팅부(112), 코팅된 포토레지스트막을 베이킹하는 베이킹부(114), 포토레지스트막의 온도를 떨어뜨리는 냉각부(116) 등으로 이루어지는 코터부(110), 글라스 기판의 노광처리가 이루어지는 노광부(120), 코터부(110)와 노광부(120)에 인접하여 설치되고 노광부(120)와 코터부(110) 사이에서 기판을 반송하는 인터페이스에 해당되는 그리고 노광하기 전에 글라스 기판의 온도를 조절하는 인터페이스 챔버(200), 노광이 수행된 글라스 기판의 포토레지스트막을 현상하는 현상부(140) 그리고 글라스 기판을 세정하는 세정부(150) 등을 포함하여 구성된다. 참고로, 냉각부(116)는 점유 면적을 줄이기 위해 인터페이스 챔버(200)의 얼라이너부(230) 아래에 배치된다. 도 1에 표시된 화살표는 글라스 기판(10)의 이동 경로를 표시한 것이며, 참조부호 190은 코터부에 설치된 반송 로봇을 가리킨다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 인터페이스 챔버(200)는 글라스 기판(10)의 반송을 위한 반송로봇(212)이 설치되어 있는 반송부(210)와, 글라스 기판(10)의 1차 온도 조절이 이루어지는 버퍼부(220) 그리고 글라스 기판의 2차 온도 조절이 이루어지는 얼라이너부(230)를 포함한다.
반송부(210)는 버퍼부(220)와 얼라이너부(230) 사이에 위치하며, 버퍼부(220)와 얼라이너부(230) 그리고 반송부(210)는 상호 개방된 탁 트인 일체형 챔버 구조로써, 버퍼부(220)와 얼라이너부(230) 각각은 반송부(210)로 통하는 개방된 입구(220a,230a)를 갖는다.
한편, 노광 처리를 위해 대기하는 인터페이스 챔버(200)에는, 글라스 기판에 미립자 등의 불순물이 부착되는 것을 방지하고 글라스 기판의 온도를 23℃로 유지 및 제어하기 위해 온도조절용 공기(23±0.05℃의 항온항습 공기임)를 제공하는 블로우 수단들이 반송부(210)와 버퍼부(220) 그리고 얼라이너부(230) 등에 각각 설치된다.
다시 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 반송부(210)에는 반송 로봇(212)이 설치된다. 반송 로봇(212)은 버퍼부(220), 언라이너부(230), 노광부(120) 그리고 현상부(140) 간의 글라스 기판 반송을 담당한다. 반송 로봇(212)은 평판 디스플레이 제조 공정에 사용되는 적어도 하나 이상의 앤드 이팩터를 구비한 암 구조를 갖는다. 한편, 반송부(210) 상부에는 온도조절용 공기의 다운플로우가 형성되도록 상부 블로우(240)가 구비되며, 바닥에는 다운플로우된 공기가 배기되는 배기구(242)가 구비된다. 배기구(242)를 통해 배기되는 공기는 공조기(300)로 제공된다. 인터페이스 챔버(200)의 외부(또는 배후)에는 공조기(300)가 설치되어 있고, 이 공조기(300)로부터 노광 공정에 알맞은 소정 온도(23±0.1℃) 및 습도로 조절된 온도조절용 공기가 배관(310)을 통하여 상부 블로우(240)로 유입된다. 상부 블로우(240)로 유입된 온도조절용 공기는 상부 블로우(240)의 ULPA 필터(240a)를 거쳐 다운플로우에 의하여 반송부(210)로 공급된다. 이 다운플로우 공기는 반송부(210) 하부의 적당한 장소에 다수 설치되어 있는 배기구(242)들을 통하여 바닥의 배기공간(246)으로 모이고, 이 배기공간(246)으로 모인 공기는 공조기(300)로 다시 회수된다.
버퍼부(220)는 글라스 기판(10)의 1차 온도 조절이 이루어지는 곳으로, 버퍼부(220)에는 다수의 글라스 기판(10)들이 다단으로 적층되어 대기할 수 있는 수납공간(222)을 갖는다. 수납 공간(222)에는 글라스 기판(10)들이 놓여지는 다수의 슬롯(224)들이 구비되어 있으며, 버퍼부(220)의 개방된 입구(220a)와 마주하는 버퍼부(220)의 측면에는 측면 블로우(250)가 설치되어 있다. 측면 블로우(250)는 수납 공간(222)에 수납되어 있는 기판(10)들의 온도를 소정 온도(23.2℃)로 1차 조절하기 위해 23±0.05℃의 온도조절용 공기를 공급한다. 여기서, 측면 블로우(250)는 수평한 방향으로 온도조절용 공기를 수납공간(222)으로 제공하며, 글라스 기판(10)들의 1차 온도조절에 사용된 온도조절용 공기는 버퍼부(220)의 개방된 입구(220a)를 통해 반송부(210)로 빠져나가며, 반송부(210)로 빠져나간 온도조절용 공기는 반송부(210)의 다운플로우에 의해 배기구(242)들을 향해 흐르게 되어 배기구(242)를 통해 배기공간(246)과 공조기(300)로 흘러간다. 한편, 글라스 기판(10)은 버퍼부(220)에서 통상 180초 정도 대기하게 되면서 23.2℃ 정도의 온도로 1차 조절된다. 예컨대, 냉각부(116)에서 냉각되어 버퍼부(220)로 제공되는 글라스 기판의 온도는 25도이다.
얼라이너부(230)에는 글라스 기판(10)이 놓여지는 정렬 장치(232)와, 정렬 장치(232)에서 정렬중인 글라스 기판의 온도를 2차 조절하기 위한 상부 블로우(260)와 측면경사 블로우(270)를 갖는다. 정렬 장치(232)는 글라스 기판(10)의 저면을 지지하는 다수의 지지핀(232a)들을 갖으며, 지지핀(232a)들에 의해 지지되어 있는 글라스 기판(10)을 X방향 및 Y방향 그리고 Z방향으로 이동시키는 그리고 Z축선의 둘레에 각도를 갖고 회전되는 얼라인먼트부(232b)를 갖는다.
상부 블로우(260)는 얼라이너부(230) 상부에 설치된다. 상부 블로우(260)는 버퍼부(220)에서 23.2℃의 1차 온도로 조절된 글라스 기판(10)을 23±0.1℃의 2차 온도로 조절하기 위해 23±0.05℃의 온도조절용 공기를 글라스 기판(10) 표면으로 분사한다. 측면경사 블로우(270)는 얼라이너부(230)의 개방된 입구(230a)와 마주하는 얼라이너부의 측면에 설치되어 있다. 측면경사 블로우(270)는 상부 블로우(260)에서 제공된 온도조절용 공기가 글라스 기판(10)의 온도를 조절한 이후에 신속하게 얼라이너부(230)에서 반송부(210)로 빠져나갈 수 있도록 글라스 기판(10) 표면에 경사각을 갖고 온도조절용 공기를 분사하여, 도 5에서와 같은 측방향 기류를 제공하게 된다. 측방향 기류에 의해 글라스 기판(10)의 온도 조절에 사용된 온도조절용 공기가 신속하게 반송부(210)로 빠져나가게 되고, 그 빠져나가는 글라스 기판(10) 상부에는 새로운 온도조절용 공기가 제공되면서 글라스 기판을 23±0.1℃의 온도로 신속하게 조절할 수 있게 된다.
도 6에는 얼라이너부에서의 시간에 따른 글라스 기판의 온도 변화를 보여주는 그래프이다. 도 6에서와 같이, 글라스 기판(10)은 최초 23.1℃에서 60초가 지난 이후에는 23.0114℃로 온도가 변화되는 것을 알 수 있다. 이처럼, 측면경사 블로우(270)에서 제공되는 측방향 기류는 글라스 기판(10)의 냉각 속도를 향상시켜준다.
도 2 및 도 3에는 반송부(210)에 설치되는 상부 블로우(240)와 버퍼부(220)에 설치되는 측면 블로우(250) 그리고 얼라이너부(230)에 설치되는 상부 블로우(260)와 측면경사 블로우(270)는 각각의 공조기(300)를 통해 온도조절용 공기를 제공받는 것으로 도시하고 설명하였으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 온도조절용 공기는 필요한 경우 하나의 공조기에서 각각의 블로우로 제공될 수 있다. 한편, 각각의 블로우(240,250,260)는 온도조절용 공기가 유입되는 박스 형상의 케이스와, 그 내부에 설치되는 ULPA필터를 갖는다.
이처럼, 인터페이스 챔버(200)는 측면경사 블로우(270)에서 글라스 기판(10)의 표면을 따라 온도조절용 공기가 흘러 맞은편 입구를 통해 반송부(210)로 배출될 수 있도록 경사각을 갖는데 있다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 인터페이스 챔버는 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명은 글라스 기판의 신속한 온도 조절이 가능하다. 본 발명은 글라스 기판의 정밀한 온도 조절이 가능하다.

Claims (5)

  1. 평판 디스플레이(flat panel display) 제조에 사용되는 기판 처리 장치에 있어서:
    기판을 반송하기 위한 반송 장치가 배치되어 있는 반송부;
    상기 반송부의 일측에 연결되며, 기판들의 온도를 1차로 조절하는 버퍼부;
    상기 반송부의 타측에 연결되며, 상기 버퍼부에서 1차로 온도 조절된 기판을 제공받아 기판을 정렬하는 정렬장치를 갖으며, 기판이 상기 정렬장치에서 정렬되는 동안 기판의 온도를 2차로 조절하는 얼라이너부를 포함하며,
    상기 얼라이너부는
    상부에 설치되어 기판의 상면으로 온도 조절용 공기를 분출하여 기판의 온도를 일정하게 유지시켜주는 상부 블로우와, 측부에 경사지게 설치되어 기판의 상면으로 분출된 온도 조절용 공기가 상기 반송 챔버 방향으로 신속하게 빠져나가도록 기판 표면에 경사각을 갖고 온도 조절용 공기를 분출하는 측면경사 블로우를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 얼라이너부는 기판의 온도 조절에 사용된 공기가 상기 반송부로 빠져나가도록 상기 측면경사 블로우와 마주하는 일면에 상기 반송부로 통하는 개방된 입구를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 버퍼부는 기판들이 다단으로 적층되어 대기할 수 있는 수납공간을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 버퍼부는 상기 반송부와 통하도록 개방된 입구를 갖으며, 상기 개방된 입구와 마주하는 측면에는 상기 수납 공간에 다단으로 대기하는 기판들의 온도를 조절한 후 상기 입구쪽으로 플로우되도록 공기를 제공하는 측면 블로우를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 반송부는 상기 버퍼부의 입구를 통해 유입되는 공기와 상기 얼라이너부의 입구를 통해 유입되는 공기가 배기되도록 상부에 온도 조절용 공기를 다운플로우하는 상부 블로우와, 바닥에 다운플로우된 온도 조절용 공기가 배기되는 배기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0133698Y1 (ko) * 1995-12-28 1999-01-15 윤종용 음극선관의 펀넬 건조장치
JP2002357798A (ja) 2001-06-01 2002-12-13 Sony Corp 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
KR100515040B1 (ko) 1998-10-01 2005-11-25 삼성전자주식회사 열처리 장치
KR20060058582A (ko) * 2004-11-25 2006-05-30 주식회사 라셈텍 글라스기판 온도제어용 근접 블로우

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0133698Y1 (ko) * 1995-12-28 1999-01-15 윤종용 음극선관의 펀넬 건조장치
KR100515040B1 (ko) 1998-10-01 2005-11-25 삼성전자주식회사 열처리 장치
JP2002357798A (ja) 2001-06-01 2002-12-13 Sony Corp 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
KR20060058582A (ko) * 2004-11-25 2006-05-30 주식회사 라셈텍 글라스기판 온도제어용 근접 블로우

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102008509B1 (ko) 2019-06-14 2019-08-07 ㈜ 엘에이티 디스플레이용 글라스 기판 온도조절시스템

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