CN105214918A - 减压干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种减压干燥装置，属于基板制造技术领域。所述装置包括：上盖体；下盖体，与所述上盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述下盖体上设有排气孔和进气孔；支撑平台，设置在所述容纳空间中，用于承载所述待干燥基板；至少一个X射线发生器，安装在所述上盖体上，且位于所述容纳空间内。本发明通过在上盖体的内部安装X射线发生器对空气进行电离，从而产生正负离子，在破真空时，正负离子消除由于干燥空气与基板摩擦产能的静电，防止ESD的发生。
Description
技术领域
本发明涉及基板制造技术领域，特别涉及一种减压干燥装置。
背景技术
减压干燥装置是用于为涂覆有光刻胶、涂料等混合化学品的基板提供减压干燥处理的设备。具体使用时，把刚涂过负性光刻胶的基板置于减压干燥装置中，通过将减压干燥装置内抽成真空的方式，使得负性光刻胶与基板黏附牢固；在抽完真空后的下一动作为破真空，即把减压干燥装置内的真空状态破坏，使之变为常压，然后打开减压干燥装置，取出基板，进入下一工序。
在破真空时，由于干燥空气快速冲向减压干燥装置内，干燥空气会与基板表面摩擦产生静电，容易发生ESD(Electro-StaticDischarge，静电释放)击穿，导致产品不良。
发明内容
为了解决现有技术的问题，本发明实施例提供了一种减压干燥装置。所述技术方案如下：
本发明实施例提供了一种减压干燥装置，所述装置包括：
上盖体；
下盖体，与所述上盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述下盖体上设有排气孔和进气孔；
支撑平台，设置在所述容纳空间中，用于承载所述待干燥基板；
至少一个X射线发生器，安装在所述上盖体上，且位于所述容纳空间内。
在本发明实施例的一种实现方式中，所述X射线发生器为软X射线发生器。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述装置包括6-12个X射线发生器。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述6-12个X射线发生器按矩阵排列在所述上盖体上。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述装置还包括用于控制所述至少一个X射线发生器的控制单元，所述控制单元与所述X射线发生器电连接。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述控制单元设于所述容纳空间外，所述控制单元与所述X射线发生器通过导线连接，所述上盖体上设有通孔，所述通孔内设有密封圈，所述导线穿过所述密封圈。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述支撑平台包括并排间隔设置的多个支撑架。
在本发明实施例的另一种实现方式中，每个所述支撑架包括多个支撑杆和设于支撑杆上的支撑板。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述装置还包括真空泵，所述排气孔与所述真空泵相连接。
在本发明实施例的另一种实现方式中，所述下盖板上设有6个所述排气孔和6个所述进气孔。
本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
通过在上盖体的内部安装X射线发生器对空气进行电离，从而产生正负离子，在破真空时，正负离子可以消除由于干燥空气与基板摩擦产能的静电，防止ESD的发生。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种减压干燥装置的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的另一种减压干燥装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
图1是本发明实施例提供的一种减压干燥装置的结构示意图，参见图1，所述装置包括：
上盖体101；
下盖体102，与上盖体101相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，下盖体102上设有排气孔和进气孔(图未示)；
支撑平台103，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；
至少一个X射线发生器104，安装在上盖体101上，且位于容纳空间内。
本发明实施例通过在上盖体的内部安装X射线发生器对空气进行电离，从而产生正负离子，在破真空时，正负离子消除由于干燥空气与基板摩擦产能的静电，防止ESD的发生。
图2是本发明实施例提供的另一种减压干燥装置的结构示意图，参见图2，装置包括：
上盖体201；
下盖体202，与上盖体201相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，下盖体上设有排气孔和进气孔(图未示)；
支撑平台203，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；
至少一个X射线发生器204，安装在上盖体201上，且位于容纳空间内。
如图2所示，本发明实施例中上盖体201和下盖体202均为盒型，上盖体201和下盖体202相配合形成一长方体容纳空间。当然，本发明实施例中，上盖体201和下盖体202的形状并不限制如此，上盖体201和下盖体202的形状可以根据实际需要设置，例如圆柱状。
具体地，X射线发生器204可以为软X射线发生器，软X射线发生器辐射小，避免了该减压干燥装置工作时对人体产生危害。
在本发明实施例中，减压干燥装置可以包括6-12个X射线发生器204，X射线发生器204发出的X射线为发散状，因此6-12个即可保证X射线能够覆盖设置在支撑平台203上的整个基板，以充分消除静电，又能避免X射线发生器设置过多导致成本增加。
进一步地，6-12个X射线发生器204按矩阵排列在上盖体201上。6-12个X射线发生器204按矩阵排列，从而形成均匀分布，保证X射线覆盖整个基板，从而充分消除静电。
在本发明实施例中，X射线发生器204设置在上盖体201的顶部，且低于其侧壁，使得上盖体201的侧壁可以对X射线发生器204起到一定的保护作用。
如图2所示，该装置还包括用于控制至少一个X射线发生器204的控制单元205，控制单元205与X射线发生器204电连接。控制单元205用于控制至少一个X射线发生器204在容纳空间破真空时开启。控制单元205使得X射线发生器204只在破真空时开启，从而减少电能消耗。
进一步地，该装置还包括真空泵，排气孔与真空泵相连接。
控制单元205可以与真空泵相连，控制单元205可以用于控制真空泵将容纳空间抽成真空。
在本发明实施例中，进气孔用于将空气重新注入到容纳空间内，从而打破容纳空间内真空状态。该装置还包括设置在进气孔上的空气阀门，打开空气阀门即可实现破真空。
控制单元205还可以对空气阀门进行控制，同时在空气阀门打开时控制至少一个X射线发生器204开启。
在本发明实施例的一种实现方式中，控制单元205设于容纳空间外，控制单元205与X射线发生器204通过导线2041连接，上盖体201上设有通孔2011，通孔2011内设有密封圈，导线2041穿过密封圈。
具体地，可以在每个X射线发生器204上方的上盖体201上设置一个通孔2011，以供一个X射线发生器204与控制单元205连接的导线穿过。当然，也可以只设置一个通孔2011，供所有X射线发生器204与控制单元205连接的导线穿过，从而防止通孔过多导致上盖板的密封性能下降。
在本发明实施例的另一种实现方式中，控制单元205设于容纳空间内部，当控制单元205设于容纳空间内部时，可以采用遥控方式实现对控制单元205的控制。
如图2所示，支撑平台203包括并排间隔设置的多个支撑架2031。支撑平台203高于下盖体202的侧壁，便于取放支撑平台203上的基板。
进一步地，每个支撑架2031包括多个支撑杆2311和设于支撑杆2311上的支撑板2312。如图2所示，各个支撑架2031的支撑板2312大小可以不同，具体各个支撑架2031的支撑板2312大小可以根据实际需要设置。
具体地，下盖板202上可以设有6个排气孔，6个排气孔可以通过管路连接一台真空泵，当然6个排气孔也可以通过管路与多台真空泵连接。6个排气孔可以较好地保证抽真空，同时又不会因为排气孔数量多，造成过多的管路设置。
基于同样的理由，本发明实施例中进气孔的数量也优选为6个。
当然上述排气孔的数量只是作为优选值，排气孔的数量还可以是其他数值，例如4、8等等。
本发明实施例通过在上盖体的内部安装X射线发生器对空气进行电离，从而产生正负离子，在破真空时，正负离子消除由于干燥空气与基板摩擦产能的静电，防止ESD的发生。
以上仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种减压干燥装置，其特征在于，所述装置包括：
上盖体；
下盖体，与所述上盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述下盖体上设有排气孔和进气孔；
支撑平台，设置在所述容纳空间中，用于承载所述待干燥基板；
至少一个X射线发生器，安装在所述上盖体上，且位于所述容纳空间内。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述X射线发生器为软X射线发生器。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括6-12个X射线发生器。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述6-12个X射线发生器按矩阵排列在所述上盖体上。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括用于控制所述至少一个X射线发生器的控制单元，所述控制单元与所述X射线发生器电连接。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制单元设于所述容纳空间外，所述控制单元与所述X射线发生器通过导线连接，所述上盖体上设有通孔，所述通孔内设有密封圈，所述导线穿过所述密封圈。
7.根据权利要求1-6任一项所述的装置，其特征在于，所述支撑平台包括并排间隔设置的多个支撑架。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，每个所述支撑架包括多个支撑杆和设于支撑杆上的支撑板。
9.根据权利要求1-6任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括真空泵，所述排气孔与所述真空泵相连接。
10.根据权利要求1-6所述的装置，其特征在于，所述下盖板上设有6个所述排气孔和6个所述进气孔。
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| CN201510532506.1A CN105214918A (zh) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | 减压干燥装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN107413603A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-12-01 | 武汉华星光电技术有限公司 | 真空减压干燥设备 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101404852A (zh) * | 2008-11-14 | 2009-04-08 | 上海安平静电科技有限公司 | 一种用光离子消除静电的方法及其装置 |
| CN201815456U (zh) * | 2010-10-09 | 2011-05-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 减压干燥室结构 |
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- 2015-08-26 CN CN201510532506.1A patent/CN105214918A/zh active Pending
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