KR100639533B1

KR100639533B1 - 글라스기판 온도제어용 근접 블로우

Info

Publication number: KR100639533B1
Application number: KR1020040097668A
Authority: KR
Inventors: 차문길
Original assignee: 주식회사 라셈텍
Priority date: 2004-11-25
Filing date: 2004-11-25
Publication date: 2006-10-30
Also published as: KR20060058582A

Abstract

본 발명은 글라스기판 온도제어용 근접 블로우에 관한 것으로, 대면적 글라스기판(14)에 대한 온조 공기의 풍속을 방향에 따라 조절하여 전체적으로 균형을 유지시킴으로서 1분 이내의 짧은 시간 내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도범위로 글라스기판을 정밀하게 온도제어를 실현할 수 있다. 이를 위해 글라스기판(14)의 제조공정중 글라스기판(14)에 대해 온조 공기를 불어 설정온도로 균일하게 유지시키기 위한 글라스기판 온도제어장치에 있어서, 글라스기판(14)의 전면적에 대해 수십 ㎧의 온조 공기를 분출시켜 1분 이내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도로 제어될 수 있도록 상기 글라스기판(14) 위쪽에 위치하면서 온조 공기가 분출되는 다수의 분출구(18a)(18b)가 블로우챔버(16)의 중앙 하부와 좌우 양측으로 형성되되, 중앙 하부에 형성되는 분출구(18a)는 상기 글라스기판(14)에 대해 수직방향으로 위치하면서 좌우 양측으로 형성되는 분출구(18b)는 상기 글라스기판(14)에 대해 일정각도로 경사지게 위치하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

블로우챔버, 척테이블, 글라스기판, 공조기, 분출구, 패턴형성

Description

글라스기판 온도제어용 근접 블로우 {Adjacent blow for controling of glass substrate temperature}

도 1은 본 발명에 따른 근접 블로우 평면도.

도 2는 본 발명에 따른 근접 블로우 측면도.

도 3은 본 발명에 따른 근접 블로우의 블로우챔버 정면도.

도 4는 본 발명에 따른 근접 블로우가 설치된 글라스기판 온도제어장치 구성도.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 근접 블로우에 의해 글라스기판이 1분 이내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도로 제어된 것을 나타낸 그래프.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 클린룸 12 : 척테이블

14 : 글라스기판 16 : 블로우챔버

18a,18b : 분출구 20 : 공조기

22 : 인젝션파이프 24 : 석션파이프

본 발명은 에어의 속도조절이 가능한 근접 블로우로서, 보다 상세하게는 글라스기판의 제조상에 있어서 글라스기판의 온도를 빠른 시간(40초 이내) 내에 균일하게 제어하기 위해, 설정온도 23±0.01℃ 이내로 조절된 온조 공기(에어)를 중앙의 좌우 및 하부의 각도를 달리하여 형성시킨 분출구를 통해 방향에 따라 다른 풍속(수십㎧)으로 불어 냄으로서 빠른 시간 내에 전체 글라스기판의 온도를 균일하게 제어할 수 있는 글라스기판 온도제어용 근접 블로우에 관한 것이다.

글라스기판(통상 LCD, PDP, 유기EL, FPD등 정밀가공을 필요로 하는 글라스)의 사이즈가 대형화함에 따라 패턴 형성공정에 있어서의 위치 정도는 한층 중요시 되고 있다. 따라서 대형 글라스기판 내에서의 온도편차는 글라스기판의 수축 및 팽창에 영향을 주어 패턴 형성에 있어서의 위치가 벗어나는 원인이 되고 있다.

예를 들어 LCD의 경우, 패턴 형성을 하기 전에 포토레지스트의 도포와 포토레지스트막의 경화를 위하여 핫플레이트에서의 경화와 뜨거워진 글라스기판을 다시 쿨플레이트에 넣어 냉각시킨 후에 패턴 형성을 하게 됨에 있어, 글라스기판 내의 온도 균일성이 나쁜 상태로 패턴 형성기에 들어가면 온도편차에 따른 노광 위치의 벗어남이 생기게 되고, 이는 글라스의 공정상 수율에 중대한 영향을 미치게 되었다.

이에 글라스기판의 온도분포를 균일하게 하기 위하여 종래에는 글라스기판에 대해 수직 또는 수평으로 위쪽에서 일정온도의 온조 공기(23±0.01℃)를 불어 글라 스기판의 온도를 제어(Control)하였으나, 글라스기판의 전 면적에 대한 균일한 온도조절에 한계가 있었다. 즉, 글라스기판 자체의 두께가 얇기 때문에 온조 공기의 풍속을 빠르게 하면 대형 글라스기판의 면내 온도분포가 빠른 시간 내에 균일하게 조절되기 곤란하였다.

따라서 본 발명은 이러한 사정을 감안하여 개발된 것으로, 대면적 글라스기판에 대한 온조 공기의 풍속을 방향에 따라 조절하여 전체적으로 균형을 유지시킴으로서 1분 이내의 짧은 시간 내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도범위로 글라스기판을 정밀하게 온도제어를 실현할 수 있는 글라스기판 온도제어용 근접 블로우를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 글라스기판 온도제어용 근접 블로우는, 글라스기판의 제조공정중 글라스기판에 대해 온조 공기를 불어 설정온도로 균일하게 유지시키기 위한 글라스기판 온도제어장치에 있어서, 글라스기판의 전면적에 대해 수십 ㎧의 온조 공기를 분출시켜 1분 이내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도로 제어될 수 있도록 상기 글라스기판 위쪽에 위치하면서 온조 공기가 분출되는 다수의 분출구가 블로우챔버의 중앙 하부와 좌우 양측으로 형성되되, 중앙 하부에 형성되는 분출구는 상기 글라스기판에 대해 수직방향으로 위치하면서 좌우 양 측으로 형성되는 분출구는 상기 글라스기판에 대해 일정각도로 경사지게 위치하도록 구성된다.

특히 상기 블로우챔버에 형성되는 분출구는 글라스기판의 작업조건에 따라 온조 공기의 풍속이 조절되되, 중앙 하부쪽에 비해 좌우 양측을 통한 온조 공기의 풍속이 2-3배 정도 빠르게 작동될 수 있도록 구성된다. 또한 상기 블로우챔버의 좌우 양측에 형성되는 분출구는 글라스기판의 작업조건에 따라 각도가 조절되도록 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 글라스기판 온도제어용 근접 블로우의 바람직한 실시예를 첨부된 예시 도면에 의거하여 상세히 설명하기로 하며, 이하의 설명으로부터 상술한 본 발명의 기술적 구현원리가 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.

도 1과 도 2는 본 발명에 따른 근접 블로우의 평면구조 및 측면구조를 도시한 것이고, 도 3은 본 발명에 따라 좌우 양측의 분출구(18b)가 일정각도로 경사지게 구성된 블로우챔버(16)의 정면구조를 도시한 것이다. 또한 도 4는 본 발명에 따른 근접 블로우가 설치된 글라스기판 온도제어장치의 전체적인 구성관계를 도시한 것이다.

도면에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따라 글라스기판(14)의 전면적에 대해 수십 ㎧의 온조 공기를 분출시켜 1분 이내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도로 제어될 수 있도록, 상기 글라스기판(14) 위쪽에 위치하면서 공조기(20)로부터의 온조 공기가 분출되는 다수의 분출구(18a)(18b)가 상기 글라스기판(14)에 대해 수직 방향과 일정각도로 경사지게 블로우챔버(16)의 중앙 하부와 좌우 양측에 일정간격으로 구성된다. 이때 이들 분출구(18a)(18b) 간의 이웃하는 간격은 크기(Size)가 2,000×2,160×0.7㎜를 기본으로 한 글라스기판(14)을 기준으로 20-100㎜를 형성됨이 바람직하다.

또한 블로우챔버(16)에 형성되는 분출구(18a)(18b)는 글라스기판(14)의 작업조건에 따라 온조 공기의 풍속이 조절되도록, 중앙 하부쪽의 분출구(18a)에 비해 좌우 양측의 분출구(18b)가 온조 공기의 풍속이 2-3배 정도 빠르게 작동될 수 있도록 구성됨이 바람직하다. 즉 중앙 하부의 분출구(18a)로부터 분출되는 온조 공기의 풍속이 10㎧일 때 좌우 양측의 분출구(18b)로부터 분출되어 글라스기판(14)의 측방으로 퍼져나가는 온조 공기의 풍속은 26㎧을 유지함을 기본으로 한다. 아울러 본 발명에 적용된 블로우챔버의 분출구(18a)(18b)는 좌우 양측의 분출구(18b)가 글라스기판(14)의 작업조건에 따라 각도가 조절될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.

이와 같이 분출구(18a)(18b)의 구성이 중앙 하부와 좌우 양측이 달라지고 공조기(20)로부터 온조 공기의 풍속도 달리하여 글라스기판 전 면적에 대한 온도편차를 균일화시키는 본 발명은 도 4에서 보는 것처럼, 상기 분출구(18a)(18b)가 설치된 블로우챔버(16)가 클린룸(10)이 상측에 구성되고 상기 블로우챔버(16) 아래쪽에는 글라스기판(14)이 장착되는 척테이블(12)이 구성된다. 그리고 상기 블로우챔버(16)는 공조기(20)의 인젝션파이프(22)와 연결되고 상기 클린룸(10)의 하부로는 상기 공조기(20)로부터의 석션파이프(24)가 연결된다.

이러한 본 발명의 근접 블로우가 설치된 글라스기판 온도제어장치는, 공조기 (20)를 통해 일정한 온도의 온조 공기가 클린룸(10) 상측에 설치된 블로우챔버(16)를 통해 척테이블(12) 위에 장착된 글라스기판(14)의 전 면적으로 분출된다. 물론 상기 블로우챔버(16)의 분출구(18a)(18b)를 통한 글라스기판(14)에 대한 온조 공기의 분출 속도는 당연히 상기 글라스기판(14)의 중앙쪽과 측방쪽이 차별화되게 도달된다.

즉, 글라스기판(14)의 중앙쪽으로는 블로우챔버(16) 중앙 하부의 분출구(18a)로부터 10㎧의 풍속으로 온조 공기가 분출되며, 동시에 글라스기판(14)의 측방쪽으로는 블로우챔버(16) 좌우 양측의 분출구(18b)로부터 은 26㎧의 풍속으로 온조 공기가 분출되는 온조 공기의 풍속 환경이 유지된다.

이와 같은 분출구(18a)(18b)의 다른 풍속조건으로 글라스기판(14)에 대해 온조 공기가 분출되면, 도 5 및 도 6의 그래프에서 보는 것과 같이 척테이블(12) 위에 장착된 상기 글라스기판(14)의 온도가 처음 25℃ 정도에서 1분 이내의 빠른 시간 내에 23±0.01℃의 설정온도 범위로 균일하게 온도 유지될 수 있다.

즉, 본 발명은 일정온도로 유지된 온조 공기를 근접 블로우방식으로 글라스기판 제조상에 있어서, 글라스기판의 온도를 빠른 시간(40초 이내) 내에 크게는 23±0.05℃를 초과하지 않고 보다 정밀하게는 23±0.01℃ 이내로 조절된 온조 공기를 중앙 하부의 수직방향 및 좌우 양측의 경사방향의 구성된 분출구를 통해 풍속 수십㎧의 바람을 불어 냄으로서 글라스기판의 온도를 균일하게 제어할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 글라스기판 온도제어용 근접 블로우에 의하면, 빠른 시간 내에 글라스기판의 면내 온도분포를 균일하게 함으로써 패턴형성 장치에 있어서의 위치 정도에 보다 정밀한 제어가 가능할 수 있도록 하며, 이는 결과적으로 생산성 저하 없이 글라스기판 등의 수율 향상에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

Claims

글라스기판(14)의 제조공정중 글라스기판(14)에 대해 온조 공기를 불어 설정온도로 균일하게 유지시키기 위한 글라스기판 온도제어장치에 있어서,

글라스기판(14)의 전면적에 대해 수십 ㎧의 온조 공기를 분출시켜 1분 이내에 설정온도 23±0.01℃의 균일한 온도로 제어될 수 있도록 상기 글라스기판(14) 위쪽에 위치하면서 온조 공기가 분출되는 다수의 분출구(18a)(18b)가 블로우챔버(16)의 중앙 하부와 좌우 양측으로 형성되되, 중앙 하부에 형성되는 분출구(18a)는 상기 글라스기판(14)에 대해 수직방향으로 위치하면서 좌우 양측으로 형성되는 분출구(18b)는 상기 글라스기판(14)에 대해 일정각도로 경사지게 위치하도록 구성된 것을 특징으로 하는 글라스기판 온도제어용 근접 블로우.
제 1항에 있어서,

상기 블로우챔버(16)에 형성되는 분출구(18a)(18b)는 글라스기판(14)의 작업조건에 따라 온조 공기의 풍속이 조절되되, 중앙 하부쪽에 비해 좌우 양측을 통한 온조 공기의 풍속이 2-3배 정도 빠르게 작동될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 글라스기판 온도제어용 근접 블로우.
제 1항에 있어서,

상기 블로우챔버(16)의 좌우 양측에 형성되는 분출구(18b)는 글라스기판(14)의 작업조건에 따라 각도가 조절되도록 구성된 것을 특징으로 하는 글라스기판 온도제어용 근접 블로우.