CN204957798U - 搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种搬运装置，即便支承构件的高度存在偏差，也能够稳定地搬运较薄的板状体。在使板状体从大致矩形形状的板状的支承构件的上表面浮起并沿着搬运方向搬运板状体时，在第一区域或者第二区域中向所述支承构件的方向抽吸板状体的力，与在第三区域中向支承构件的方向抽吸板状体的力不同，其中，该第一区域是支承构件的与搬运方向大致正交的边即第一边的附近的区域，该第二区域是与该第一边大致平行的第二边的附近的区域，该第三区域是支承构件的第一区域以及第二区域以外的区域。

Description

搬运装置

技术领域

本实用新型涉及搬运装置。

背景技术

专利文献1中公开有一种浮起单元，该浮起单元具备：腔室，其具备抽吸气体的负压室；槽部，其形成于腔室的顶壁，且具有沿着腔室长度方向延伸的竖槽以及与竖槽交叉的横槽；气体供给路，其贯穿槽部的槽底；吸气孔，其以贯穿顶壁而与负压室连通的方式配设；以及多孔板，其固定于顶壁，且具有与吸气孔连通的抽吸孔，并且喷出从气体供给路经由槽部而进入的气体，其中，横槽的末端未与其他槽相连。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2010-260715号公报

发明要解决的课题

在专利文献1所记载的发明中，在多孔板的端部处未形成槽而仅设置有吸气孔。因此，在专利文献1所记载的发明中，多孔板的外周区域的正压比多孔板的中央区域低，即工件(板状体)从多孔板的浮起高度变低。这种现象在工件的厚度与通常的情况(例如大致0.7mm左右)相比较薄时(例如大致0.2～0.5mm左右)尤为显著。

通常，由于组装误差而使多孔板在高度方向上产生安装误差。因此，如专利文献1所记载的发明那样，在多孔板的外周区域中的工件的浮起高度与多孔板的中央区域相比变低的情况下，由于邻接的多孔板的高度存在偏差而可能使工件与多孔板抵接。

实用新型内容

本实用新型正是鉴于这种情况而完成的，其目的在于，提供即便支承构件的高度存在偏差、也能够稳定地搬运较薄的板状体的搬运装置。

解决方案

为了解决上述技术问题，本实用新型所涉及的搬运装置的特征在于，例如具备：矩形形状的板状的支承构件；以及搬运部，其使板状体从所述支承构件的上表面浮起并沿着搬运方向搬运所述板状体，且该搬运部具有：设置于所述支承构件的多个吹出构造；经由所述吹出构造而从所述支承构件的下表面朝向上表面吹出空气的吹出部；设置于所述支承构件的多个抽吸孔；以及经由所述抽吸孔而将所述支承构件的上表面的空气朝向所述支承构件的下表面抽吸的抽吸部，在第一区域或者第二区域中向所述支承构件的方向抽吸所述板状体的力，与在第三区域中向所述支承构件的方向抽吸所述板状体的力不同，其中，所述第一区域是所述支承构件的与所述搬运方向正交的边即第一边的附近的区域，所述第二区域是与所述第一边平行的第二边的附近的区域，所述第三区域是所述支承构件的所述第一区域以及所述第二区域以外的区域。

根据本实用新型所涉及的搬运装置，在使板状体从矩形形状的板状的支承构件的上表面浮起并沿着搬运方向搬运板状体时，在第一区域或者第二区域中向所述支承构件的方向抽吸板状体的力，与在第三区域中向支承构件的方向抽吸板状体的力不同，其中，所述第一区域是支承构件的与搬运方向正交的边即第一边的附近的区域，所述第二区域是与第一边平行的第二边的附近的区域，所述第三区域是支承构件的第一区域以及第二区域以外的区域。由此，即便支承构件的高度存在偏差，也能够稳定地搬运较薄的板状体。

在此，也可以为，所述抽吸孔具有：形成于所述第一区域的第一抽吸孔；形成于所述第二区域的第二抽吸孔；以及形成于所述第三区域的第三抽吸孔，所述抽吸部具有：经由所述第一抽吸孔而抽吸空气的第一抽吸部；经由所述第二抽吸孔而抽吸空气的第二抽吸部；以及经由所述第三抽吸孔而抽吸空气的第三抽吸部，所述第一抽吸部抽吸空气的抽吸力或者所述第二抽吸部抽吸空气的抽吸力与所述第三抽吸部抽吸空气的抽吸力不同。由此，即便在抽吸孔的数量、配置位置等与以往相同的情况下，也能够稳定地搬运较薄的板状体。

在此，也可以为，所述吹出构造具有：形成于所述第一区域的第一吹出构造；形成于所述第二区域的第二吹出构造；以及形成于所述第三区域的第三吹出构造，所述抽吸孔具有：形成于所述第一区域的第一抽吸孔；形成于所述第二区域的第二抽吸孔；以及形成于所述第三区域的第三抽吸孔，所述第一抽吸孔的数量相对于所述第一吹出构造的数量之比或所述第二抽吸孔的数量相对于所述第二吹出构造的数量之比，与所述第三抽吸孔的数量相对于所述第三吹出构造的数量之比不同，或者，所述第一抽吸孔的面积相对于所述第一吹出构造的面积之比或所述第二抽吸孔的面积相对于所述第二吹出构造的面积之比，与所述第三抽吸孔的面积相对于所述第三吹出构造的面积之比不同。由此，不使控制系统与现有的构造不同就能够稳定地搬运较薄的板状体。

在此，也可以为，所述抽吸孔或所述吹出构造设置在与所述支承构件的同所述搬运方向正交的边平行的线上，在所述平行的线中的、最靠近所述支承构件的和所述搬运方向正交的边的线上，设置有所述抽吸孔和所述吹出构造这两者。由此，在板状体通过支承构件与支承构件之间时，能够防止板状体的前端浮起或落下。

实用新型效果

根据本实用新型，即便支承构件的高度存在偏差，也能够稳定地搬运较薄的板状体。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的曝光装置1的概要结构的主视图。

图2是板状体搬运机构10的俯视图(从上方(+z方向)观察到的图)。

图3是图2的A-A剖视图。

图4是详细表示支承构件11以及搬运部12的示意图。

图5是表示支承构件11中的正压槽13以及负压孔15的配置的示意图。

图6是用于说明支承构件11中的区域11f、11g、11h的位置的示意图。

图7是用于说明上表面11a的高度方向产生了偏差时的板状体W的行为的图，且示出移动目的地的支承构件11β的上表面11a比移动源的支承构件11α的上表面11a高的情况。

图8是用于说明上表面11a的高度方向产生了偏差时的板状体W的行为的图，且示出移动目的地的支承构件11β的上表面11a比移动源的支承构件11α的上表面11a低的情况。

图9是变形例所涉及的支承构件11A的示意图。

图10是详细表示第二实施方式所涉及的曝光装置2的支承构件11B以及搬运部12A的示意图。

图11是表示支承构件11B中的正压槽13以及负压孔15A的配置的示意图。

图12是变形例所涉及的支承构件11C的示意图。

图13是变形例所涉及的支承构件11D的示意图。

附图标号说明如下：

1、2：曝光装置

10：板状体搬运机构

11、11A、11B、11C：支承构件

12、12A：搬运部

13、13A：正压槽

14：吹出部

14a：供给管

15、15A、15B：负压孔

16、16A：抽吸部

16a、16b、16c、16d：排气管

17a、17b、17c、17d：阀

18a、18b、18c、18d：压力传感器

19：压力调整单元

19a：存储器

19b：运算部

19c：驱动部

20：曝光部

21：光源

22：反射镜

30：掩膜保持部

31：掩膜保持构件

32：掩膜驱动部

33：x方向驱动部

34：y方向驱动部

35：θ方向驱动部

36：z方向驱动部

具体实施方式

以下，参照附图，对本实用新型的实施方式详细进行说明。

<第一实施方式>

图1是表示第一实施方式所涉及的曝光装置1的概要结构的主视图。曝光装置1对涂敷了感光性物质的板状体(例如，基板)经由光掩膜而照射曝光光束，从而形成规定的曝光图案。

曝光装置1主要具备板状体搬运机构10、曝光部20以及掩膜保持部30。

板状体搬运机构10使玻璃的板状体W(例如，玻璃基板)浮起恒定量(例如作为设计值的H1)并对该玻璃的板状体W保持，并且沿规定方向(例如，x方向)搬运玻璃的板状体W。板状体搬运机构10主要具备支承构件11、和使板状体从支承构件11的上表面浮起并沿着搬运方向搬运所述板状体的搬运部12(图1中未图示，参照图4)。

支承构件11由具有许多细微空孔的长方体状的烧结体形成。支承构件11是大致矩形形状的板状的构件。图2是板状体搬运机构10的俯视图(从+z方向观察到的图)。如图2所示，板状体搬运机构10具有沿着x方向以及y方向设置的多个支承构件11。支承构件11以长度方向与搬运方向(x方向)大致平行的方式，与邻接的支承构件11分离规定的距离而设置。

图3是图2的A-A剖视图。如图3所示，支承构件11以上表面11a的高度恒定的方式组装。然而，由于组装误差，使上表面11a的高度(z方向上的位置)在每个支承构件11中具有微小的偏差H2(例如，约10μm左右)。如后详述，本实施方式中的板状体搬运机构10在即便存在组装误差的情况下也能够稳定地搬运板状体W。

图4是详细表示支承构件11以及搬运部12的示意图。需要说明的是，图4是将图1的一部分(尤其是板状体搬运机构10的一部分)放大后的图。搬运部12主要具有：设置于支承构件11的正压槽13、经由正压槽13从支承构件11的下表面朝向上表面吹出空气的吹出部14、以贯穿支承构件11的方式设置的多个负压孔15(15a、15b、15c)、以及经由负压孔15朝向支承构件11的下表面11b对支承构件11的上表面11a附近的空气进行抽吸的多个抽吸部16(16a、16b、16c)。

板状体W通过由被吹出部14从正压槽13吹出的空气和被抽吸部16从负压孔15抽吸的空气形成的气流，而从支承构件11的上表面11a浮起。然后，板状体W在浮起的状态下被向搬运方向(x方向)搬运。

图5是表示支承构件11中的正压槽13以及负压孔15的配置的示意图。图5是从上方(+z方向)观察一个支承构件11而得到的图。其中，为了简化附图，在图4中，省略示出正压槽13、吹出部14、负压孔15以及抽吸部16的一部分。

正压槽13遍布在支承构件11的大致整个面上。正压槽13具有多个槽13a和多个槽13b。各个槽13a和槽13b与其他槽13a以及其他槽13b的至少一方连结。各个槽13a平行于支承构件11的与搬运方向正交的边11c、11d。各个槽13b平行于支承构件11的与搬运方向平行的边11e。由槽13a和槽13b形成大致矩形的区域，在该区域的内部形成负压孔15。

负压孔15设置在与支承构件11的同搬运方向正交的边11c、11d大致平行的线上。另外，负压孔15设置在与支承构件11的同搬运方向平行的边11e大致平行的线上。在图5所示的例子中，与边11c、11d大致平行的线上所设置的槽13a以及负压孔15的列为列L。列L从-x方向起为列L1、L2…L27，最靠近边11c的列为列L1，最靠近边11d的列为列L27。另外，与边11e大致平行的线上所设置的槽13a以及负压孔15的列为列K，列K从-y方向起为列K1、K2、K3、K4。需要说明的是，表示列L、列K的线并不是实际形成于支承构件11的结构，因此图中以单点划线显示。

需要说明的是，在列K与列K之间设置有槽13b。这是为了连结槽13a而形成一个正压槽13，槽13b并不是必须的。另外，作为正压槽13，能够采用各种方式的吹出构造。例如，槽13a也可以不是长条状，例如在未连结槽13a而形成一个正压槽13的情况下，槽13a也可以是与负压孔15相同的贯通孔。另外，负压孔15只要是贯穿支承构件11的贯通孔即可，并不限定于圆孔。

在列L1、L2…L27中，槽13a以至少与一个负压孔15邻接的方式配置。在本实施方式中，槽13a以及负压孔15分别被设置为相同的数量。例如，列L1、列L15、列L27在靠近边11e的位置设置有两个槽13a，在中央部处设置有两个负压孔15。另外，例如列L20在靠近边11e的位置设置有两个负压孔15，在中央部处设置有两个槽13a。

这样，通过在列L1、L2…L27中设置槽13a以及负压孔15这两者，从而能够防止板状体W沿着与搬运方向正交的方向弯曲或起伏。另外，由于在列K1～K4中交替地设置正压槽13以及负压孔15，因此能够防止板状体W沿着搬运方向弯曲或起伏。

返回到图4的说明。吹出部14主要具有供给管14a和未图示的送气鼓风机。正压槽13与一根供给管14a连结。供给管14a用于向正压槽13供给例如压缩空气，其一端与正压槽13连接，另一端与送气鼓风机连接。

经由供给管14a供给的空气从正压槽13朝向支承构件11的上表面吹出。从正压槽13吹出的空气通过位于支承构件11的内部的许多细微空孔而向支承构件11整体扩散。由此，空气从支承构件11的大致整个面以大致均等的压力喷出。

负压孔15中的负压孔15a、15c分别设置于支承构件11的与搬运方向正交的两个边11c、11d的附近的区域11f、11g。另外，负压孔15中的负压孔15b设置于支承构件11的区域11f、11g以外的区域11h(在此为支承构件11的中央部的区域)。需要说明的是，区域11f、11g可以包含边11c、11d，也可以不包含边11c、11d。

图6是用于说明支承构件11中的区域11f、11g、11h的位置的示意图。区域11f、11g、11h分别是沿着支承构件11的与搬运方向正交的短边方向的带状区域。需要说明的是，表示区域11f、11g、11h的线并不是实际形成于支承构件的结构，因此图中以单点划线显示。

区域11f、11g被设定为，包含使板状体W的浮起高度稳定的最低限度的列L的数量。该最低限度的列L的数量例如是2～5列左右。在本实施方式中，区域11f包含列L1～L3这3列，区域11g包含列L25～L27这3列。

将区域11f所包含的负压孔15设为负压孔15a，将区域11h所包含的负压孔15设为负压孔15b，将区域11g所包含的负压孔15设为负压孔15c。

返回到图4的说明。抽吸部16主要具有排气管16a、16b、16c和未图示的吸气鼓风机。负压孔15a连接有排气管16a的一端，负压孔15b连接有排气管16b的一端，负压孔15c连接有排气管16c的一端。排气管16a、16b、16c的另一端分别与吸气鼓风机连接。

与排气管16a、16b、16c分别连接的吸气鼓风机将分别经由负压孔15a、15b、15c而从支承构件11的上表面11a抽吸出的空气朝向下表面10b排气。

在排气管16a、16b、16c的中途分别设置有阀17a、17b、17c。阀17a、17b、17c用于调整排气流量并且能够导入外部空气，例如是根据电信号进行开闭的电磁阀。

在排气管16a、16b、16c的内部分别设置有压力传感器18a、18b、18c。压力传感器18a、18b、18c分别用于检测排气管16a、16b、16c内部的压力。

阀17a、17b、17c以及压力传感器18a、18b、18c与压力调整单元19电连接。压力调整单元19对阀17a、17b、17c分别进行控制来调整外部空气的导入量，从而将负压孔15a、15b、15c内部的压力维持为规定的压力。压力调整单元19主要具有存储器19a、运算部19b以及驱动部19c。

存储器19a存储要设定的压力的值(目标值)。另外，存储器19a存储对上表面11a与板状体W之间的间隔进行测定而得到的测定值h(以下称为测定值h)与压力之间的关系。

运算部19b获取压力传感器18a、18b、18c的输出值、以及设置于曝光装置1的外部的用于检测外部气压的压力传感器(未图示)的输出值，并分别计算上述输出值的差压。另外，运算部19b对计算出的差压与从存储器19a读出的目标值之间的偏差量进行运算，来决定阀17a、17b、17c的开闭时机以及开闭量。另外，运算部19b使用未图示的相机、传感器等，对测定值h进行测定。

运算部19b基于测定出的测定值h、以及存储于存储器19a的测定值h与压力之间的关系，分别决定负压孔15a、15b、15c内部的压力。然后，运算部19b基于决定出的压力，来决定阀17a、17b、17c的开闭时机以及开闭量。针对该处理的详细内容，之后详述。

驱动部19c基于运算部19b的运算结果，分别驱动阀17a、17b、17c进行开闭。需要说明的是，能够根据板状体W的大小、刚性而任意地设定规定的范围。

对于存储器19a而言，能够使用已知的各种存储装置。另外，运算部19b、驱动部19c能够使用已知的各种技术来进行上述处理。

这样，在本实施方式中，排气管16a、16b、16c分别与不同的吸气鼓风机连接，并且分别独立地被控制，因此能够从负压孔15a、15b、15c以分别不同的压力来抽吸空气。

需要说明的是，图4～6中的正压槽13、吹出部14、负压孔15以及抽吸部16的数量以及位置是例示，并不局限于图示的方式。

返回到图1的说明。在支承构件11的上方(+z方向)设置有曝光部20和掩膜保持部30。

曝光部20经由光掩膜(未图示)而向板状体W照射曝光光束。曝光部20主要具有光源21、反射镜22、光学积分器(未图示)以及快门(未图示)。作为光源21，能够使用例如超高压水银灯、疝气灯或者紫外线发光激光。从光源21照射出的光EL被反射镜22折射后，朝向下方(-z方向)照射。

掩膜保持部30主要具有分别保持多个掩膜M的掩膜保持构件31、和驱动掩膜保持构件31的掩膜驱动部32。

掩膜保持构件31将掩膜M保持为与支承构件11的上表面11a平行。掩膜驱动部32具有：沿着x方向驱动掩膜保持构件31的x方向驱动部33、沿着y方向驱动掩膜保持构件31的y方向驱动部34、在θ方向(绕xy平面上的法线)上驱动掩膜保持构件31旋转的θ方向驱动部35、以及沿着z方向驱动掩膜保持构件31的z方向驱动部36。由此，掩膜保持构件31能够被掩膜驱动部32分别在x方向、y方向、z方向、θ方向上驱动。另外，掩膜驱动部32还可以具有z方向上的倾斜机构。

需要说明的是，曝光装置1具有曝光部20、和用于控制掩膜保持部30等的控制部(未图示)，但能够使用公知的各种技术，故省略说明。

接着，对这样构成的曝光装置1的动作进行说明。

利用从正压槽13吹出的空气和从负压孔15抽吸出的空气，使板状体W从支承构件11浮起。伴随板状体W的移动，板状体W逐渐将正压槽13以及负压孔15覆盖。利用压力传感器18a、18b、18c来检测负压孔15内部的压力的下降，并将压力传感器18a、18b、18c的输出送至运算部19b。在运算部19b中，对压力传感器18a、18b、18c的检测值与外部气压进行比较并求出差压，基于该差压对驱动部19c进行驱动而使阀17a、17b、17c开闭。由此，将负压孔15a、15b、15c内部与外部空气的差压保持为恒定，从而均匀地或大致均匀地保持板状体W的高度。

当板状体W通过掩膜M的下方时，经由掩膜M而照射来自光源21的光EL。由此，将掩膜M的图案转印到涂敷在板状体W表面上的感光性物质上。

当在搬运方向上搬运板状体W时，板状体W通过支承构件11与支承构件11之间的间隙。此时，利用相机(未图示)从下方(-z方向)观察板状体W。另外，此时，利用位移传感器等，对支承构件11的上表面11a与板状体W之间的间隔进行测定。

需要说明的是，在本实施方式中，板状体W从上表面11a浮起的高度H1为大致30μm(参照图1)，与此相对地，上表面11a的高度方向(z方向)的误差H2为大致±10μm左右，最大为大致20μm左右(参照图3)。因此，板状体搬运机构10在从某个支承构件11上向其他支承构件11上搬运板状体W时，调整板状体W与上表面11a之间的距离。

图7是用于说明上表面11a的高度方向产生了偏差时的板状体W的行为的图，且示出移动目的地的支承构件11β的上表面11a比移动源的支承构件11α的上表面11a高的情况，图8是用于说明上表面11a的高度方向产生了偏差时的板状体W的行为的图，且示出移动目的地的支承构件11β的上表面11a比移动源的支承构件11α的上表面11a低的情况。

如图7所示，在支承构件11β的上表面11a高的情况下，支承构件11α和支承构件11β的大致中间处的测定值h小于板状体W从上表面11a浮起的高度H1。因此，运算部19b决定阀17a、17b、17c的开闭时机以及开闭量，以使得支承构件11β的负压孔15a的压力小于支承构件11α以及支承构件11β的负压孔15b的压力。

由此，支承构件11β的区域11f中将板状体W向上表面11a侧(向下，-z方向)拉伸的力小于支承构件11α以及支承构件11β的区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力。

另外，在该情况下，运算部19b决定阀17a、17b、17c的开闭时机以及开闭量，以使得支承构件11α的负压孔15c的压力小于支承构件11α以及支承构件11β的负压孔15b的压力。

由此，支承构件11α的区域11g中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力小于支承构件11α以及支承构件11β的区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力。

其结果是，如图7中以单点划线所示，在支承构件11β的区域11f中，上表面11a与板状体W的前端Wa(搬运方向前方侧的一端)之间的距离比测定值h大。然后，按照板状体W的前端Wa比板状体W的其他部分高(位于+z方向)的姿势，从支承构件11α向支承构件11β搬运板状体W。

需要说明的是，在图7所示的情况下，并非要必须进行如下两种情形：即，使支承构件11β的区域11f中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力小于支承构件11α以及支承构件11β的区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力，以及使支承构件11α的区域11g中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力小于支承构件11α以及支承构件11β的区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力，也可以进行其中任意一种情形。

如图8所示，在支承构件11α的上表面11a高的情况下，支承构件11α和支承构件11β的大致中间处的测定值h大于板状体W从上表面11a浮起的高度H1。因此，运算部19b决定阀17a、17b、17c的开闭时机以及开闭量，以使得支承构件11β的负压孔15a的压力大于支承构件11α以及支承构件11β的负压孔15b的压力。

由此，支承构件11β的区域11f中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力大于支承构件11α的区域11h、11g以及支承构件11β的区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力。其结果是，如图8中以单点划线所示，在支承构件11β的区域11f中，上表面11a与板状体W的前端Wa(搬运方向前方侧的一端)之间的距离比测定值h小。然后，以板状体W的前端Wa比板状体W的其他部分低(位于-z方向)的姿势，从支承构件11α朝向支承构件11β搬运板状体W。

需要说明的是，区域11f、11g包含使板状体W的浮起高度稳定的最低限度的列L的数量，因此在板状体W的前端Wa到达支承构件11β的区域11h时，如图7、8中以双点划线所示，测定值h与高度H1大致相同。因此，运算部19b决定阀17b的开闭时机以及开闭量，以使得支承构件11α的负压孔15b的压力与支承构件11β的负压孔15b的压力大致相同。

根据本实施方式，能够使在沿着支承构件11的与搬运方向正交的两个边的区域(区域11f、11g)中向支承构件11抽吸板状体W的力，与在支承构件11的区域11f、11g以外的区域(区域11h)中向支承构件11抽吸板状体W的力不同。由此，即便因支承构件的组装误差等而使支承构件的高度存在偏差，也能够稳定地搬运较薄的板状体。

另外，根据本实施方式，在与支承构件11的和搬运方向正交的边(11c，11d)大致平行的列L中的、最靠近支承构件11的和搬运方向正交的边的列(本实施方式中为L1、L27)中，设置有槽13a和负压孔15这两者，因此在板状体W的前端Wa从支承构件11出去时(或者前端Wa搭到支承构件11上时)，能够对板状体W施加将板状体W向上(+z方向)推起的力和向下(-z方向)拉伸的力这两者的力。由此，能够防止前端Wa浮起或落下，并且能够抑制板状体W的高度(z方向)的变动。

例如，如现有例那样若在L1、L27仅设置正压槽13或负压孔15，则当板状体W的前端Wa从支承构件11出去时(或者前端Wa搭到支承构件11上时)，前端Wa从支承构件11浮起或落下。因此，在支承构件11与支承构件11之间，测定值h可能会较大地变动。然而，在本实施方式中，能够抑制这种测定值h的变动，从而稳定地搬运板状体W。

需要说明的是，在本实施方式中，在列L1、L27等中，从-y方向朝向+y方向依次排列槽13a、负压孔15、负压孔15、槽13a，但槽13a以及负压孔15的配置并不局限于此。例如，也可以如图9所示的支承构件11A那样，在列L1、L27等中交替地配置槽13a和负压孔15。

另外，在本实施方式中，列L为27列且列K为4列，但列L以及列K的数量并不局限于此。但是，为了抑制板状体W的变动，优选将列K的数量设为偶数，将列L中的槽13a的数量与负压孔15的数量设为相同数量。

<第二实施方式>

在第一实施方式中，通过分别将负压孔15a、15b、15c与不同的吸气鼓风机连接而独立进行控制，从而使区域11f、11g、11h抽吸空气的压力不同，但使区域11f、11g、11h抽吸空气的压力不同的方式并不局限于此。

第二实施方式是通过使正压槽13与负压孔15的数量之比不同、从而使区域11f、11g、11h抽吸空气的压力不同的方式。以下，对第二实施方式所涉及的曝光装置2进行说明。需要说明的是，针对与第一实施方式所涉及的曝光装置1相同的部分标注相同的附图标记，并省略说明。

图10是详细表示支承构件11B以及搬运部12A的示意图。搬运部12A主要具有：设置于支承构件的正压槽13、从正压槽13朝向支承构件11B的上表面吹出空气的吹出部14、设置于支承构件11B的多个负压孔15A、以及经由负压孔15A朝向支承构件11B的下表面对支承构件11的上表面11a的空气进行抽吸的抽吸部16A。负压孔15和负压孔15A仅数量以及配置位置不同。另外，抽吸部16和抽吸部16A仅数量以及配置位置不同。

抽吸部16A主要具有一组排气管16d和未图示的吸气鼓风机。负压孔15A连接有排气管16d的一端。排气管16d的另一端连接有吸气鼓风机。在排气管16d的中途设置有阀17d。在排气管16d的内部设置有用于检测排气管16d内部的压力的压力传感器18d。

图11是表示支承构件11B中的正压槽13以及负压孔15A的配置的示意图。在区域11f以及区域11g中，负压孔15A的数量相对于槽13a的数量较少。例如，在列L2、L26中未设置负压孔15A。由此，能够使区域11f以及区域11g中的负压孔15B的数量相对于槽13a的数量之比小于区域11h中的负压孔15B的数量相对于槽13a的数量之比。

因此，区域11f中的负压孔15A的数量相对于槽13a的数量之比以及区域11g中的负压孔15A的数量相对于槽13a的数量之比，与区域11h中的负压孔15A的数量相对于槽13a的数量之比不同。其结果是，能够使区域11f以及区域11g中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力与区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力不同。

另外，如图12所示的支承构件11C那样，通过以减少槽13a的数量的方式形成槽13A，也能够使区域11f以及区域11g中的负压孔15B的数量相对于槽13a的数量之比大于区域11h中的负压孔15B的数量相对于槽13a的数量之比。需要说明的是，负压孔15A和负压孔15B仅数量以及配置位置不同。

此外，如图13所示，通过改变从上方(+z方向)观察支承构件11D时的槽13B、负压孔15A的面积，能够使区域11f以及区域11g中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力与区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力不同。

例如，图13所示的支承构件11D是如下的方式：即，使从上方观察支承构件11D时的、区域11f以及区域11g中的负压孔15B的面积相对于槽13a的面积之比小于区域11h中的负压孔15B的面积相对于槽13a的面积之比。支承构件11B与支承构件11D仅列L1、L27的结构不同。

槽13B具有槽13a、槽13b以及槽13c。槽13c以使槽13c的面积与两条槽13a的面积大致相同的方式，即以使从上方观察支承构件11D时的槽13a的面积与从上方观察支承构件11D时的槽13c的面积大致相同的方式，以槽13a的大致一半的粗细且槽13a的大致4倍的长度形成。这样，通过使从上方观察支承构件11D时的、区域11f中的负压孔15B的面积相对于槽13a的面积之比以及从上方观察支承构件11D时的、区域11g中的负压孔15B的面积相对于槽13a的面积之比与从上方观察支承构件11D时的、区域11h中的负压孔15B的面积相对于槽13a的面积之比不同，从而能够使区域11f以及区域11g中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力与区域11h中将板状体W向上表面11a侧拉伸的力不同。

以上，参照附图，详细叙述了该实用新型的实施方式，但具体的结构并不局限于该实施方式，还包含不脱离该实用新型的宗旨的范围内的设计变更等。

另外，在本实用新型中，所谓“大致”不仅是指严格相同的情况，还包含不丧失相同性的程度的误差或变形。例如，所谓大致平行、大致正交不局限于严格平行、正交的情况。另外，例如，在仅表现为平行、正交等的情况下，也不仅指严格平行、正交等的情况，还包含大致平行、大致正交等的情况。另外，在本实用新型中，所谓“附近”，例如在A的附近时，是指A的近旁，可以包含A也可以不包含A。

Claims (4)

1.一种搬运装置，其特征在于，

所述搬运装置具备：

矩形形状的板状的支承构件；以及

搬运部，其使板状体从所述支承构件的上表面浮起并沿着搬运方向搬运所述板状体，且该搬运部具有：设置于所述支承构件的多个吹出构造；经由所述吹出构造而从所述支承构件的下表面朝向上表面吹出空气的吹出部；设置于所述支承构件的多个抽吸孔；以及经由所述抽吸孔而将所述支承构件的上表面的空气朝向所述支承构件的下表面抽吸的抽吸部，

在第一区域或者第二区域中向所述支承构件的方向抽吸所述板状体的力，与在第三区域中向所述支承构件的方向抽吸所述板状体的力不同，其中，所述第一区域是所述支承构件的与所述搬运方向正交的边即第一边的附近的区域，所述第二区域是与所述第一边平行的第二边的附近的区域，所述第三区域是所述支承构件的所述第一区域以及所述第二区域以外的区域。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述抽吸孔具有：形成于所述第一区域的第一抽吸孔；形成于所述第二区域的第二抽吸孔；以及形成于所述第三区域的第三抽吸孔，

所述抽吸部具有：经由所述第一抽吸孔而抽吸空气的第一抽吸部；经由所述第二抽吸孔而抽吸空气的第二抽吸部；以及经由所述第三抽吸孔而抽吸空气的第三抽吸部，

所述第一抽吸部抽吸空气的抽吸力或者所述第二抽吸部抽吸空气的抽吸力与所述第三抽吸部抽吸空气的抽吸力不同。

3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述吹出构造具有：形成于所述第一区域的第一吹出构造；形成于所述第二区域的第二吹出构造；以及形成于所述第三区域的第三吹出构造，

所述抽吸孔具有：形成于所述第一区域的第一抽吸孔；形成于所述第二区域的第二抽吸孔；以及形成于所述第三区域的第三抽吸孔，

所述第一抽吸孔的数量相对于所述第一吹出构造的数量之比或所述第二抽吸孔的数量相对于所述第二吹出构造的数量之比，与所述第三抽吸孔的数量相对于所述第三吹出构造的数量之比不同，或者，从上方观察所述支承构件时的、所述第一抽吸孔的面积相对于所述第一吹出构造的面积之比或从上方观察所述支承构件时的、所述第二抽吸孔的面积相对于所述第二吹出构造的面积之比，与从上方观察所述支承构件时的、所述第三抽吸孔的面积相对于所述第三吹出构造的面积之比不同。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的搬运装置，其特征在于，

所述抽吸孔或所述吹出构造设置在与所述支承构件的同所述搬运方向正交的边平行的线上，

在所述平行的线中的、最靠近所述支承构件的同所述搬运方向正交的边的线上，设置有所述抽吸孔和所述吹出构造这两者。