JP2010018434A - フィルム状物の浮揚搬送方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルム状物を噴出する流体によって浮揚させつつ搬送する場合に、この流体にフィルム状物を所望位置に復帰させる機能を持たせ、フィルム状物の搬送のときに生ずる蛇行を自動的に修正できるようにする。
【解決手段】チャンバ２の搬送面３は、半円形状の湾曲面３ａ及び当該湾曲面３ａの両端にそれぞれ滑らかに連設された平面３ｂで形成され、このうちの湾曲面３ａの、チャンバ２の長手方向の中央部が中央域Ｐとして、また、この中央域Ｐを隔てて両側部が右方域Ｑ及び左方域Ｒとしてそれぞれ区画され、中央域Ｐ１には無方向性の流れを形成する開口部が、また、右方域Ｑにはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１中で多数の左向きの矢印で示す）の流れを形成する開口部が、更にまた、左方域Ｒにはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１中で多数の右向きの矢印で示す）の流れを形成する開口部がそれぞれ設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープなどのフィルム状の物体、或いはガラス板（液晶用ガラス基板など）や金属板の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、更には板厚の厚めの物体（以下、単にフィルム状物という。）を流体によって自動的に、例えばセンターリングしつつ浮揚搬送する方法及びそれを実現する装置に関するものである。

従来から、フィルム状物をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送する装置、例えばその搬送方向の方向転換を可能にする浮揚方向転換装置はあるが（例えば、特許文献１）、かかる装置自体はセンターリング機能を有していない。
即ち、この装置２００は、図２４，２５に示すように、フィルム状物Ｆを搬送するフィルム搬送面に多数のエア噴出孔２０１ａを有し、横長の中空体を形成してなり、両方の軸２０２端の中空体内に圧縮エアを供給する供給管（図示せず）を接続し、フィルム搬送面のエア噴出孔から当該搬送面に垂直にエアを吹き出し、非接触状態でフィルム状物Ｆを搬送する装置で、上記フィルム搬送面の、当該フィルム状物Ｆの搬送方向を変更する方向変換部分に配置される方向転換部材は、その断面形状が半円弧状面ａで、かつ搬送方向の上流部側（搬入側）表面と下流部側（搬出側）表面がフィルム搬送方向と略並行な直線状面ｂ，ｃにそれぞれ形成され（図２５参照）、上記両軸２０２端に固定されたフランジ２０３間に多数の上記エア噴出孔２０１ａを有した薄板２０１が張設され、更に、所要の開孔率を得るべくフィルム搬送面には紐状物２０４が巻回されているものである。尚、図２５中の矢印は、エアの流れ状況を示し、矢印Ａ１，Ａ２はフィルム状物Ｆの搬送方向を示す。
そして、この装置２００においては、装置自体にセンターリング機能を有していないため、装置２００の付属品として、例えばポジショニングコントロール装置（図示せず）をこの装置１の搬入側又は搬出側に設け、かかる装置によってフィルム状物Ｆの蛇行を修正しつつ搬送する方法が採られている。
尚、ここでの開孔率とは、
開孔率≒（搬送面に対向する全気体噴出孔面積／搬送面積）ｘ１００
としている。
特開平８−２４５０２８号公報

上述した装置は、付属装置としてのポジショニングコントロール装置を設置してフィルム状物Ｆの蛇行を修正しつつ搬送しなければならないので、ポジショニングコントロール装置とのシステム調整を採る必要があり、しかも、搬送に際しては非接触状態で浮揚していてもポジショニングコントロール装置おける修正に際しては、例えば接触式のガイドロールなどで行うため、かかる接触でフィルム状物Ｆに傷が生じたり或いはゴミが付着したりする場合があり、品質上の問題があった。また、上述した装置は、基本的には極短い距離での搬送にしか向いておらず、換言すれば、長い距離の非接触状態での搬送には向いておらず、例えば後述するような、省スペースの乾燥炉内での乾燥に際しフィルム状物Ｆを複数のエアチャンバに巻き掛けて、言わばＳ字を繋ぎ合わせたような長尺の状態にして搬送しつつ乾燥するような場合（図６を参照）には適しておらず、しかも、乾燥炉内のような高温下でのポジショニングコントロール装置の設置は技術的に困難であり、したがって、このような乾燥炉内での搬送に際しては蛇行を修正する手段は皆無であった。

解決しようとする課題は、フィルム状物を噴出する流体によって浮揚させつつ搬送する場合に、かかる流体にフィルム状物を所望位置に復帰させる機能、例えばセンターリング機能を持たせ、フィルム状物の搬送のときに生ずる蛇行を自動的に修正できるようにすることである。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係るフィルム状物の浮揚搬送方法は、フィルム状物をその搬送面に設けられた開口部から噴出する流体によって前記搬送面の所望位置で浮揚させつつ当該フィルム状物の搬送を可能にする搬送方法であって、前記フィルム状物が蛇行して前記所望位置から外れたとき、又は外れようとしたときに前記開口部から噴出する前記流体が、前記フィルム状物を前記所望位置に自動的に復帰させつつ浮揚搬送する方法であり、かかる方法によれば、浮揚搬送されるフィルム状物の蛇行を自動的に修正できるようになるので、従来のポジショニングコントロール装置などの付属装置を設置せずに済み装置の簡素化やコスト低減になることは言うまでもなく、フィルム状物の、非接触状態での高速で安定した浮揚搬送が可能になることにより品質を確保しつつ生産性の向上を図ることができる。
ここで、所望位置での浮揚搬送とは、必ずしも搬送面の中央位置での浮揚搬送とは限らず、その中央位置よりいくらかずれた位置での浮揚搬送をも含む意である。
尚、本方法は、例えば金属箔などのフィルム状物を水などの液体で浮揚しつつ、例えば洗浄や改質、鍍金するような場合にも適宜変更を加えて流用できることは言うまでもない。

また、本発明の請求項２に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、フィルム状物をその第１搬送面に設けられた開口部から噴出する流体によって前記搬送面の所望位置で浮揚させつつ当該フィルム状物の搬送を可能にする装置であって、前記第１搬送面は、横断面視半楕円形状や、楕円弧形状、半円形状、円弧形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な湾曲面で形成され、若しくはこの湾曲面及び当該湾曲面の両端に滑らかにそれぞれ連設された平面で形成され、又は横断面視直線形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な水平面で形成され、このような第１搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで当該フィルム状物の両幅端部付近に位置する一方端区画域及び他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第１搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなす一方、前記一方端区画域と他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすものであり、これにより、浮揚搬送されるフィルム状物の蛇行を自動的に修正できるようになるので、従来のポジショニングコントロール装置などの付属装置を設置せずに済み装置の簡素化やコスト低減になることは言うまでもなく、フィルム状物の、非接触状態での高速で安定した浮揚搬送が可能になることにより品質を確保しつつ生産性の向上を図ることができる。また、かかる装置によれば、上述した、省スペースの乾燥炉内での乾燥に際しフィルム状物を、Ｓ字を繋ぎ合わせたような長尺の状態にして搬送しつつ乾燥するような場合に、フィルム状物の、非接触状態での高速で安定した浮揚搬送が容易に実現できる。
ここで、所望位置での浮揚搬送とは、必ずしも搬送面の中央位置での浮揚搬送とは限らず、その中央位置よりいくらかずれた位置での浮揚搬送をも含む意である。
尚、本装置の基本的構造は、例えば金属箔などのフィルム状物を水などの液体で浮揚しつつ、例えば洗浄や改質、鍍金するための装置にも適宜変更を加えて流用できることは言うまでもない。

また、本発明の請求項３に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、狭幅及び広幅のフィルム状物をその第１搬送面に設けられた開口部から噴出する流体によって前記搬送面の所望位置で浮揚させつつ当該フィルム状物の搬送を可能にする装置であって、前記第１搬送面は、横断面視半楕円形状や、楕円弧形状、半円形状、円弧形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な湾曲面で形成され、若しくはこの湾曲面及び当該湾曲面の両端に滑らかにそれぞれ連設された平面で形成され、又は横断面視直線形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な水平面で形成され、このような第１搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで狭幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第１搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第１の他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなす一方、このような第１搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで広幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第２の一方端区画域及び第２の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第１搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第２の一方端区画域及び前記第１の他方端区画域と第２の他方端区画域にそれぞれ挟まれる一方端中間区画域及び他方端中間区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすものである。かかる装置によっても、浮揚搬送されるフィルム状物の蛇行を自動的に修正できるようになるので、従来のポジショニングコントロール装置などの付属装置を設置せずに済み装置の簡素化やコスト低減になることは言うまでもなく、フィルム状物の、非接触状態での高速で安定した浮揚搬送が可能になることにより品質を確保しつつ生産性の向上を図ることができる。
ここで、所望位置での浮揚搬送とは、必ずしも搬送面の中央位置での浮揚搬送とは限らず、その中央位置よりいくらかずれた位置での浮揚搬送をも含む意である。
尚、本装置の基本的構造は、例えば金属箔などのフィルム状物を水などの液体で浮揚しつつ、例えば洗浄や改質、鍍金するための装置にも適宜変更を加えて流用できることは言うまでもない。

また、本発明の請求項４に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面が第１流体チャンバの湾曲面、又は第１流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、また、前記第１搬送面が第１流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設けるもので、本装置によれば、上記請求項２に係る装置が奏する作用効果に加えて、一方端区画域及び他方端区画域からの噴出流量を制御することにより、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。

また、本発明の請求項５に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面が第１流体チャンバの湾曲面、又は第１流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と中央区画域とのそれぞれの間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、また、前記第１搬送面が第１流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と中央区画域との間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設けるもので、本装置によっても、上記請求項３に係る装置が奏する作用効果に加えて、一方端区画域及び他方端区画域からの噴出流量を制御することにより、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。

また、本発明の請求項６に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、前記第２搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで当該フィルム状物の両幅端部付近に位置する一方端区画域及び他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第２搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなす一方、前記一方端区画域と他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすものであり、かかる装置によれば、第１搬送面と第２搬送面との隙間を適宜に狭くするとフィルム状物に対する流体からの作用力が増すので（但し、流体が気体の場合には摩擦力が主体、液体の場合には摩擦力に加え粘性力が加味されるものと考えられる）、蛇行を自動的に修正する効果を上げることができる。

また、本発明の請求項７に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、前記第２搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで狭幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第２搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第１の他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなす一方、このような第２搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで広幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第２の一方端区画域及び第２の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第２搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第２の一方端区画域及び前記第１の他方端区画域と第２の他方端区画域にそれぞれ挟まれる一方端中間区画域及び他方端中間区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすものであり、かかる装置によっても、第１搬送面と第２搬送面との隙間を適宜に狭くするとフィルム状物に対する流体からの作用力が増すので（但し、流体が気体の場合には摩擦力が主体、液体の場合には摩擦力に加え粘性力が加味されるものと考えられる）、蛇行を自動的に修正する効果を上げることができる。

また、本発明の請求項８に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、前記第２搬送面が第２流体チャンバの湾曲面、又は第２流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの、前記一方端区画域の湾曲面に対向する対向湾曲面、前記中央区画域の湾曲面に対向する対向湾曲面、及び前記他方端区画域の湾曲面に対向する対向湾曲面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、また、前記第２搬送面が第２流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの各区画体における適宜な矩形面に前記流体の供給口をそれぞれ設けるものであり、かかる装置によれば、所望位置からのずれ、換言すれば、蛇行を自動的に修正する効果を、所望位置でのポジショニングコントロールされた浮揚搬送において上げることができる。

また、本発明の請求項９に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、前記第２搬送面が第２流体チャンバの湾曲面、又は第２流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と前記中央区画域とのそれぞれの間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と前記一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と前記他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域のそれぞれの湾曲面に対向する対向湾曲面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、また、前記第２搬送面が第２流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と前記中央区画域との間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と前記一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と前記他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの各区画体における適宜な矩形面に前記流体の供給口をそれぞれ設けるもので、かかる装置によっても、所望位置からのずれ、換言すれば、蛇行を自動的に修正する効果を、所望位置でのポジショニングコントロールされた浮揚搬送において上げることができる。

また、本発明の請求項１０に係るフィルム状物の浮揚搬送装置は、前記第１搬送面が第１流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面で形成されるものである場合、又は前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面が設けられ、この第２搬送面が第２流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面で形成されるものである場合に、前記開口部が設けられた湾曲面のところに連設される前記平面部のところに開口部を設け、この開口部からの前記流体の噴出方向は、前記搬送面に沿う態様で前記湾曲面側に向いてなるもので、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になることに加え、フィルム状物Ｆの搬入及び搬出側の平面で形成される搬送面において安定した状態での搬送を行うことができるようになるので、フィルム状物のバタツキに起因する品質不良の発生を無くすことが可能になる。

本発明のフィルム状物の浮揚搬送方法及びその装置は、フィルム状物を噴出する流体によって浮揚させつつ搬送する場合に、浮揚搬送されるフィルム状物の蛇行を自動的に修正できるようになるので、従来のポジショニングコントロール装置などの付属装置を設置せずに済み装置の簡素化やコスト低減になるとともに、フィルム状物の、非接触状態での高速で安定した浮揚搬送が可能になることにより品質を確保しつつ生産性の向上を図ることができる利点がある。

本発明の第１の実施の形態に係るフィルム状物の浮揚搬送装置を図１〜５を参照して説明する。
本装置１は、図１に示すように、その搬送面（第１搬送面）３に後述する開口部６ａ等が多数設けられた横断面視略かまぼこ型をなす長尺のエアチャンバ（第１流体チャンバ）２を本体とし、このチャンバ２の両端面中央に圧縮エアを取り込むための供給口が設けられ、かかる供給口に、本実施の形態では円筒状の供給管４ａ，４ｂがそれぞれ取り付けられるとともに、これら供給管４ａ，４ｂにはブロア装置５が接続され、ブロア装置５からの圧縮エアがチャンバ２に供給されるようになっている（但し、同図では、供給管４ａにのみブロア装置５が接続されるところが描かれている）。そして、本装置１は、フィルム状物Ｆを、チャンバ２の搬送面３に設けられた開口部６ａ等から噴出するエアによって浮揚させつつ、当該フィルム状物Ｆの搬送方向の方向転換、具体的には、同図のような矢印Ａ１からＡ２方向への１８０゜方向転換を可能にするものである。
尚、上述の供給管４ａ，４ｂのうち、例えば供給管４ａから圧縮エアがチャンバ２に供給されるようにし、供給管４ｂを蓋などで閉塞するようにしてもよい。

ここで、チャンバ２の搬送面３に設けられた開口部について説明する。
チャンバ２の搬送面３は、本実施の形態では、上述した横断面視略かまぼこ型の、半円形状の湾曲面３ａ及び当該湾曲面３ａの両端にそれぞれ滑らかに連設された平面３ｂに形成されており、この搬送面３のうちの湾曲面３ａにおいて、当該湾曲面３ａの、チャンバ２の長手方向の中央部が中央域（図１中、実線でハッチングされたところの中央区画域）Ｐとして、また、この中央域Ｐを隔てて両側部が右方域（図１中、エアの噴出方向を示す左向きの矢印が多数描かれたところの一方端区画域）Ｑ及び左方域（図１中、エアの噴出方向を示す右向きの矢印が多数描かれたところの他方端区画域）Ｒとしてそれぞれ区画されており、本実施の形態では、少なくとも右方域Ｑと左方域Ｒの区画幅は同一にされ、右方域Ｑとチャンバ２の右端面との間、及び左方域Ｒとチャンバ２の左端面との間にいくらかスペース（開口部が設けられていないところ）がそれぞれ設けられている。但し、中央域Ｐ、右方域Ｑ及び左方域Ｒの区画幅は、浮揚搬送されるフィルム状物Ｆの幅長などによって適宜選定される。

本実施の形態では、図１に示すように、フィルム状物Ｆを搬送面３上に浮揚させたときに、中央域Ｐが当該フィルム状物Ｆの中央部と重なるように、また、右方域Ｑ及び左方域Ｒの略中央部が、フィルム状物Ｆの搬送方向（図１の矢印Ａ１や矢印Ａ２）に臨んで当該フィルム状物Ｆの幅端部付近とそれぞれ重なる（ズレの許容度はフィルム状物Ｆの幅長の略３％）ように上述した区画幅で設けられている。尚、中央域Ｐの区画幅は、フィルム状物Ｆの幅長の５０〜７０％となるように設けられることが好ましい。
そして、中央域Ｐに設けられた開口部６ａは、所定の大きさで矩形状をなし、本実施の形態では、図２（Ａ）に示すように、この中央域Ｐで区画される搬送面３の裏面に突設された半円柱状の突状部６の、当該突状部６の突設の際に形成される半円型スリット状の吐出孔６ｂ，６ｃと連通されるように形成されている。このような吐出孔６ｂ，６ｃを備えたものにあっては、これら吐出孔６ｂからのエアと吐出孔６ｃからのエアとが開口部６ａの直下でぶつかり合って流速が弱められ、流速が弱められたエアは、開口部６ａから四方八方に拡散する流れを形成して（矢印はエアの流れを示す）、フィルム状物Ｆを押し上げることになる。このように中央域Ｐにおいては、言わば、搬送面３から無方向に四方八方に拡散する、無方向性の流れ（基本的には、フィルム状物Ｆの面に対し垂直な流れを主体とする）が形成される。但し、上記開孔率における全吐出孔の面積は、全吐出孔６ｂと全吐出孔６ｃとの和であり、これに基づく開孔率が３％を越えないもの、好ましくは１％以下のものとされることが好ましい。

尚、図２（Ａ）の場合では、長方形状をなす開口部６ａは、半円柱状の突状部６の半円型スリット状の吐出孔６ｂ，６ｃと連通する態様のものであったが、これに限らず同図（Ｂ）や（Ｃ）の態様のものであってもよい。同図（Ｂ）の場合は、突状部７が三角柱状をなし、吐出孔７ｂ，７ｃが三角形型スリット状をなすもので、開口部７ａは、突状部７の、当該突状部７の突設の際に形成される吐出孔７ｂ，７ｃと連通するように形成される。また、同図（Ｃ）の場合は、突状部８が四角柱状をなし、吐出孔８ｂ，８ｃが長方形型スリット状をなすもので、開口部８ａは、突状部８の、当該突状部８の突設の際に形成される吐出孔８ｂ，８ｃと連通するように形成される。

一方、右方域Ｑに設けられた開口部９ａは、本実施の形態では、所定の大きさで二等辺三角形状をなし、図３（Ａ）に示すように、この右方域Ｑで区画される搬送面３の裏面に突設された三角錐状の突状部９の、当該突状部９の突設の際に形成される三角錐型スリット状の吐出孔９ｂと連通されるように形成されている。尚、開口部９ａは、図４に示すように、三角錐をなす突状部９の底面に相当するところであることは言うまでもないが、その頂点９ｃが中央域Ｐ側の方に配置され、且つ、この頂点９ｃから当該頂点９ｃの対辺９ｄに垂直に下した仮想直線がフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直をなすような態様で、突状部９の底面として形成されている。したがって、このような吐出孔９ｂを備えたものにあっては、この吐出孔９ｂから開口部９ａを介して右方域Ｑにおいて噴出するエアの流れは、右方域Ｑの搬送面に沿って、フィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な方向で、中央域Ｐに向かう流れになっている（図１参照）。ここで、上記開孔率における全吐出孔９ｂの面積は、これに基づく開孔率が３％を越えないもの、好ましくは１％以下のものとされることが好ましい。

尚、本実施の形態では、三角形状をなす開口部９ａは、三角錐状の突状部９に形成された三角型スリット状の吐出孔９ｂと連通する態様のものであったが、これに限らず図３（Ｂ）や（Ｃ）の態様のものであってもよい。同図（Ｂ）の場合は、突状部１０が変形された三角錐状をなし、吐出孔１０ｂが円弧型スリット状をなすもので、開口部１０ａは、突状部１０の、当該突状部１０の突設の際に形成される吐出孔１０ｂと連通するように形成される。また、同図（Ｃ）の場合は、突状部１１が変形された三角錐状をなし、吐出孔１１ｂが長方形型スリット状をなすもので、開口部１１ａは、突状部１１の、当該突状部１１の突設の際に形成される吐出孔１１ｂと連通するように形成される。

ところで、左方域Ｒに設けられた開口部、及び当該開口部や吐出孔が設けられる突状部は、本実施の形態では、右方域Ｑに設けられた開口部９ａ、及び当該開口部９ａや吐出孔９ｂが設けられた突状部９と同一形状をなしているが、両者の異なるところは、左方域Ｒに設けられた突状部が右方域Ｑに設けられた突状部９に対向する態様で、換言すれば、左方域Ｒに設けられた開口部の頂点側が右方域Ｑに設けられた開口部９ａの頂点９ｃ側と互いに向き合う態様で設けられる点である。したがって、左方域Ｒにおける突状部の吐出孔から開口部を介して噴出するエアの流れは、左方域Ｒの搬送面に沿って、フィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な方向で、中央域Ｐに向かう流れとなり、上述した右方域Ｑにおけるエアの流れとは互いに対向する流れであり、エアの流量は、本実施の形態では、上述の右方域Ｑにおける流量と互いに等しくなる（図１参照）。ここで、上記開孔率における全吐出孔の面積は、これに基づく開孔率が３％を越えないもの、好ましくは１％以下のものとされることが好ましい。
尚、左方域Ｒの、三角形状をなす開口部もまた、三角錐状の突状部に形成された三角型スリット状の吐出孔と連通する態様のものに限らず、図３（Ｂ）や（Ｃ）の態様のものであってもよいことはもちろんである。

次に、本装置１の、浮揚搬送されるフィルム状物Ｆの蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる動作について、図５を参照して説明する。尚、図５において、図１中の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
図５（Ａ）は、フィルム状物Ｆの浮揚搬送に際し、理想的な搬送面３の区画域でフィルム状物Ｆが浮揚搬送されている状態を示している。即ち、搬送面３の中央域Ｐが当該フィルム状物Ｆの中央部と重なり、また、搬送面３の右方域Ｑ及び左方域Ｒの略中央部が、フィルム状物Ｆの幅端部付近とそれぞれ重なるような位置での浮揚搬送が行われている（以下、この位置を搬送面の中央位置（所望位置）と称することにする）。しかるに、何らかの原因によりフィルム状物Ｆが右方域Ｑ側に蛇行して搬送面３に対するフィルム状物Ｆの相対位置が、例えば同図（Ｂ）に示すような位置になったとする。かかる位置においては、フィルム状物Ｆが右方域Ｑにおいて当該右方域Ｑのおよそ８０％（中央位置では５０％）を占め、左方域Ｒにおいて当該左方域Ｒのおよそ２０％（中央位置では５０％）を占めているものとしている。このような状態のときには、右方域Ｑからの噴出エアと左方域Ｒからの噴出エアとの差分に相当する摩擦力が、フィルム状物Ｆに作用するので、フィルム状物Ｆに対し当初の中央位置への復帰動作を生ぜしめる。そして、フィルム状物Ｆが中央位置に近づくに従って上記差分に相当する摩擦力も漸次減少して行き、最終的には中央位置に復帰する。即ち、本装置１においては、フィルム状物Ｆの蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる機能、本実施の形態ではセンターリング機能が備わっていることになる。尚、フィルム状物Ｆが左方域Ｒにおいて当該左方域Ｒのおよそ８０％を占め、右方域Ｑにおいて当該右方域Ｑのおよそ２０％を占めている状態のときにも、上述同様の復帰動作が行われフィルム状物Ｆの蛇行が自動的に修正されることは言うまでもない。

ここで、本装置１の具体的な用途例の概略を図６，７を参照して説明する。
まず、図６は、本装置１を省スペースの乾燥炉に用いた用途例を示す概略構成図である。本装置１を乾燥炉２０内に、上下に平行に、且つ、上下が互い違いの状態になるように複数配置し、これら複数の本装置１にフィルム状物Ｆを巻き掛けて、言わばＳ字が繋ぎ合わされたような長尺の状態にして図６中の矢印方向に浮揚搬送しつつ乾燥するものであり、本装置１への圧縮エアの供給（但し、図６では本装置１の一つの装置に供給されているところが描かれている）は、乾燥炉２０内からフィルタ２１を介してブロア２２により吸引されたエアをヒーター２３で高温にして行われる。この用途例から解かるように、本装置１は、省スペースの乾燥炉２０内での長尺なフィルム状物Ｆの乾燥に際してその蛇行を修正する手段として特に有用であり、フィルム状物Ｆの、非接触状態での高速で安定した浮揚搬送を可能にしている。尚、符号２４は圧力計であり、また、符号２５は、搬送面（第１搬送面）が１／４円弧形状の湾曲面で形成された本発明に係る浮揚搬送装置である。

次に、図７は、本発明に係る浮揚搬送装置を酸やアルカリ、水溶液が充填された液槽での洗浄に際して用いた用途例に係る概略構成図である。本装置２６を、図６における装置１の用途例とは異なり、液体が充填された液槽２７内に上下に平行に、且つ、上下が互い違いの状態になるように複数配置し、これら複数の本装置に金属箔のフィルム状物Ｆを巻き掛けて、言わばＳ字が繋ぎ合わされたような状態にして浮揚搬送しつつ洗浄するものであり、本装置への昇圧された液体の供給は、液槽２７内から吸液するポンプ２８により行われる。尚、液槽２７の槽外、及び液槽２７内の液面の上方に配置された装置２９は、フィルム状物Ｆの浮揚に圧縮エアを用いた、搬送面（第１搬送面）が１／４円弧形状の湾曲面で形成された本発明に係る浮揚搬送装置である。

ところで、上述した装置１等は、圧縮エアを取り込むための供給管４ａ，４ｂがチャンバ２の両端面に取り付けられるものであったが、図８に示すような供給管３６〜３８が取り付けられるようにした装置３０であってもよい。尚、図８において、図１〜５の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
即ち、本装置３０は、搬送面３の湾曲面３ａの、右方域（一方端区画域）Ｑ、中央域（中央区画域）Ｐ、左方域（他方端区画域）Ｒに応じてチャンバ２を仕切る仕切板３４，３５を、右方域Ｑと中央域Ｐとの間及び中央域Ｐと左方域Ｒとの間にそれぞれ設け、これら仕切板３４，３５で区画されたチャンバ２の各区画体３１〜３３の適宜な面、本実施の形態では、区画体３１にあっては中央域Ｐの湾曲面に対向する矩形面２ａ、区画体３２にあっては右方域Ｑの湾曲面に対向する矩形面２ｂ、区画体３３にあっては左方域Ｒの湾曲面に対向する矩形面２ｃのそれぞれにエアの供給口が設けられており、これら供給口には供給管３６〜３８がそれぞれ取り付けられるとともに、これら供給管３６〜３８にはブロア装置５ｐ〜５ｒがそれぞれ接続される。そして、このチャンバ２の長手方向の、搬送面３の所望位置で搬送する場合に適した位置で、且つ、本実施の形態ではチャンバ２の矩形面２ｃから適宜に離隔した位置に縦断面視コ字型形状のエッジセンサ３９を設置するとともに、このセンサ３９のコ字状切欠部３９ａをフィルム状物Ｆの両幅端部の一方端部が通過するように設置する。
尚、図８のブロア装置５ｐ〜５ｒは、上記ブロア装置５と同一のものであるが、下記説明の都合上別符号で表されている。

このような装置３０においては、上記装置１と同様に、何らかの原因によりフィルム状物Ｆが蛇行したときに、かかる蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる機能を持たせることができる。即ち、フィルム状物Ｆが蛇行したときに、その蛇行をセンサ３９により検知し、この情報が制御装置（図示せず）に送信され、かかる制御装置において、この情報に基づきブロア装置５ｑ，５ｒの、例えば回転速度を適宜に変更する制御信号を発するようにすることで、右方域Ｑ及び左方域Ｒからの噴出流量を、蛇行が修正されるように変化させることができ、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。

ところで、図８の装置３０において、右方域Ｑ及び左方域Ｒからの噴出流量の可変は、ブロア装置５ｑ，５ｒの回転速度制御により行うものであったが、図９の装置３０においてなされるような制御方法を採ってもよい。尚、図９において、図８の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
図９の装置３０の場合は、本装置３０の供給管３６〜３８に一台の上記ブロア装置５が接続され、これら供給管３６〜３８とブロア装置５とを接続する配管の、供給管３６〜３８に近接するところに電磁バルブ３６ａ〜３８ａ（但し、電磁バルブ３６ａは、例えば手動式のバルブであってもよい）が設けられてなるものであり、この場合には、フィルム状物Ｆが蛇行したときに、その蛇行をセンサ３９により検知し、この情報を受信した制御装置（図示せず）において、この情報に基づき電磁バルブ３７ａ，３８ａのバルブ開度を適宜に変更する制御信号を発するようにすることで、右方域Ｑ及び左方域Ｒからの噴出流量を、蛇行が修正されるように変化させることができる。したがって、このような制御方法によっても、所望位置でのポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。
また、ブロア装置５ｑ，５ｒの回転速度制御や電磁バルブ３７ａ，３８ａのバルブ開度制御に代えて、例えば図９中の矢印方向にチャンバ２を移動させることにより、結果としてフィルム状物Ｆに対する右方域Ｑ及び左方域Ｒからの噴出流量を変化させる制御方法を採ってもよい。

また、上述した、例えば装置１や３０は、エアチャンバ２の形状が横断面視略かまぼこ型をなし、このチャンバ２の搬送面３が、その横断面視略かまぼこ型の、半円形状の湾曲面３ａ及び当該湾曲面３ａの両端にそれぞれ滑らかに連設された平面３ｂに形成される浮揚搬送装置であったが、図１０に示すような、エアチャンバ（第１流体チャンバ）４１が長尺な直方体形状をなし、このチャンバ４１の搬送面（第１搬送面）４２が、この直方体形状の、横断面視直線形状をなす水平面に形成される浮揚搬送装置４０を用いる場合がある。この装置４０におけるチャンバ４１の搬送面４２には、上述したエアチャンバ２に準じて、当該搬送面４２の中央部に中央域（中央区画域）Ｐ１、この中央域Ｐ１を隔てて、図１０（Ａ）を視たときに上下部に上方域（一方端区画域）Ｑ１及び下方域（他方端区画域）Ｒ１がそれぞれ区画され（本実施の形態でも、少なくとも上方域Ｑ１と下方域Ｒ１の区画幅は同一にしてある）、中央域Ｐ１には無方向性の流れ（図１０（Ｂ）中の矢印で示す）を形成する開口部６ａが、また、上方域Ｑ１にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１０中で多数の下向きの矢印で示されている）の流れを形成する開口部（例えば、上記右方域Ｑの開口部９ａのようなもの）が、更にまた、下方域Ｒ１にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１０中で多数の上向きの矢印で示されている）の流れを形成する開口部（例えば、上記左方域Ｒの開口部のようなもの）がそれぞれ設けられ、上方域Ｑ１におけるエアの流れと下方域Ｒ１におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、上方域Ｑ１と下方域Ｒ１のエアの流量は、本実施の形態では互いに等しくなる。本装置４０においても、上記装置１の動作に準じて、フィルム状物Ｆの蛇行を自動的に修正できる。
尚、圧縮エアをチャンバ４１に取り込むための供給管４３ａは、本実施の形態ではチャンバ４１の搬送面４２と対向する底面（矩形面）４３の、搬送面４２の中央域Ｐ１に対向するところに取り付けられている。

ところで、上述した装置４０は、圧縮エアを取り込むための供給管４３ａがチャンバ４１の底面４３に取り付けられるものであったが、図１１に示すような供給管５７〜５９が取り付けられた装置５０であってもよい。尚、図１１において、図１０の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
即ち、本装置５０は、搬送面４２の水平面の、上方域（一方端区画域）Ｑ１、中央域（中央区画域）Ｐ１、下方域（他方端区画域）Ｒ１に応じてチャンバ４１を仕切る仕切板５４，５５を、上方域Ｑ１と中央域Ｐ１との間及び中央域Ｐ１と下方域Ｒ１との間のそれぞれに設け、これら仕切板５４，５５で区画されたチャンバ４１の各区画体５１〜５３の適宜な面、本実施の形態では、区画体５１にあっては、中央域Ｐ１の水平面に垂直で、且つ、チャンバ４１の長尺方向に垂直な一方側面５１ａ、区画体５２にあっては、上方域Ｑ１の水平面に垂直で、且つ、チャンバ４１の長尺方向に垂直な一方側面５２ａ、区画体５３にあっては、下方域Ｒ１の水平面に垂直で、且つ、チャンバ４１の長尺方向に垂直な一方側面５３ａにそれぞれエアの供給口が設けられており、これら供給口には供給管５７〜５９がそれぞれ取り付けられるとともに、これら供給管５７〜５９にはブロア装置５がそれぞれ接続される。
このような装置４０においては、上記装置３０と同様に、何らかの原因によりフィルム状物Ｆが蛇行したときに、かかる蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる機能を持たせることができ、上述したような方法で上方域Ｑ１及び下方域Ｒ１からの噴出流量を制御することにより、所望位置でのポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。

上述した第１の実施の形態に係る装置の第１搬送面に対向して第２搬送面を配設した装置について図１２，１３を参照して説明する。但し、図１３（Ａ）は、図１２の装置の透視図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
尚、図１２，１３において、図１〜５の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
本装置６０は、その搬送面（第１搬送面）６２に上述した開口部６ａ等が多数設けられた横断面視略底浅茶碗型をなす長尺のエアチャンバ（第１流体チャンバ）６１を第１本体とし、この搬送面６２は、その横断面視略底浅茶碗型の、所定円弧角の湾曲面及び当該湾曲面の両端にそれぞれ滑らかに所定傾斜角をなして連設された平面に形成されており、この搬送面６２には、上記搬送面３の湾曲面３ａと同様に、当該搬送面６２の、チャンバ６１の長手方向の中央部が中央域（図１３（Ａ）中、実線でハッチングされたところの中央区画域）Ｐ２として、また、この中央域Ｐ２を隔てて両側部が右方域（図１３（Ａ）中、左向きの矢印が多数描かれたところの一方端区画域）Ｑ２及び左方域（図１３（Ａ）中、右向きの矢印が多数描かれたところの他方端区画域）Ｒ２としてそれぞれ区画され、中央域Ｐ２には無方向性の流れ（図１３（Ｂ）参照）を形成する開口部６ａが、また、右方域Ｑ２にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１３（Ａ）中、左向きの矢印で示されている）の流れを形成する開口部９ａが、更にまた、左方域Ｒ２にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１３（Ａ）中、右向きの矢印で示されている）の流れを形成する開口部がそれぞれ設けられ、右方域Ｑ２におけるエアの流れと左方域Ｒ２におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、右方域Ｑ２と左方域Ｒ２のエアの流量は、本実施の形態では互いに等しくなる。

そして、本装置６０には、第１本体のチャンバ６１に加えて第２本体であるエアチャンバ（第２流体チャンバ）６３を備えており、このチャンバ６３の搬送面（第２搬送面）６４がチャンバ６１の搬送面６２に対し所定の隙間を隔てて対向する態様で配設され、このチャンバ６３の、搬送面６４に対向する湾曲面６５（チャンバ６３の外表面を形成する湾曲面）の中央に圧縮エアの供給口が設けられ、この供給口に円筒状の供給管６６が取り付けられおり、この供給管６６に接続されるブロア装置５からの圧縮エアがチャンバ６３に供給されるようになっている。
このチャンバ６３の搬送面６４には、上記チャンバ６１の搬送面６２に対向する態様で、搬送面６２の中央域Ｐ２に対して図示しない中央域（中央区画域）Ｐ３が、また、この中央域Ｐ３を隔てて両側部に、右方域Ｑ２に対して図示しない右方域（一方端区画域）Ｑ３及び左方域Ｒ２に対して図示しない左方域（他方端区画域）Ｒ３がそれぞれ区画され、中央域Ｐ３には無方向性の流れ（図１３（Ｂ）参照）を形成する開口部６ａが、また、右方域Ｑ３にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１３（Ａ）中、左向きの矢印で示される向きと同一）の流れを形成する開口部９ａが、更にまた、左方域Ｒ３にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１３（Ａ）中、右向きの矢印で示される向きと同一）の流れを形成する開口部がそれぞれ設けられ、右方域Ｑ３におけるエアの流れと左方域Ｒ３におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、右方域Ｑ３と左方域Ｒ３のエアの流量は、本実施の形態では互いに等しくなる。
本装置５０は、これら搬送面６２と搬送面６４との隙間を通ってフィルム状物Ｆを浮揚させつつ搬送可能にするものであるが、上記隙間を適宜に狭くするとフィルム状物Ｆに対する流体からの摩擦力が増すので、蛇行を自動的に修正するセンターリング効果を上げることができる、という更なる利点が備わる。

ところで、上述した装置６０は、チャンバ６３に圧縮エアを取り込むための供給管６６が当該チャンバ６３の湾曲面６５中央に取り付けられるものであったが、図１４に示すような供給管７４〜７６が取り付けられた装置７０であってもよい。尚、図１４において、図１２，１３の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
即ち、本装置７０は、搬送面６４の湾曲面の、右方域（一方端区画域）Ｑ３、中央域（中央区画域）Ｐ３、左方域（他方端区画域）Ｒ３に応じてチャンバ６３を仕切る仕切板７２，７３を、右方域Ｑ３と中央域Ｐ３との間及び中央域Ｐ３と左方域Ｒ３との間にそれぞれ設け、これら仕切板７２，７３で区画されたチャンバ６３の、右方域Ｑ３の湾曲面に対向する湾曲面（対向湾曲面）６５ｂ、中央域Ｐ３の湾曲面に対向する湾曲面（対向湾曲面）６５ａ、左方域Ｒ３の湾曲面に対向する湾曲面（対向湾曲面）６５ｃにそれぞれエアの供給口が設けられており、これら供給口には供給管７４〜７６がそれぞれ取り付けられるとともに、これら供給管７４〜７６にはブロア装置５ｐ〜５ｒ（ブロア装置５ｐ〜５ｒは、上記ブロア装置５と同一のものであるが、説明の都合上別符号で表されている）がそれぞれ接続される。そして、本装置７０においても、上記装置３０に準じて、本実施の形態ではブロア装置５ｑ，５ｒの回転速度を適宜に変更することで、右方域Ｑ３及び左方域Ｒ３からの噴出流量を変化させることができる。

ここで、本装置７０における、供給管７４〜７６が取り付けられたチャンバ６３に対し対向する態様で配設されるエアチャンバ（第１流体チャンバ）７１について説明する。
チャンバ７１は、例えば図１２，１３に示すような、その両端面に供給管４ａ，４ｂがそれぞれ取り付けられたチャンバ６１と同じものであってもよい。この場合には、本装置７０のチャンバ６３側での噴出流量の制御による所望位置でのポジショニングコントロールされた浮揚搬送において、所望位置からのずれ、換言すれば、蛇行を自動的に修正する効果を上げることができる。
また、チャンバ７１は、例えば図８，９に示すような、その矩形面２ａ〜２ｃに供給管３６〜３８がそれぞれ取り付けられたチャンバ２に準じたものであってもよい。この場合には、本装置７０のチャンバ５３側及びチャンバ６１側の一方又は双方での噴出流量の制御による所望位置でのポジショニングコントロールされた浮揚搬送において、所望位置からのずれ、換言すれば、蛇行を自動的に修正する効果を上げることができる。

本発明の第２の実施の形態に係るフィルム状物の浮揚搬送装置を図１５を参照して説明する。
尚、図１５において、図１〜５の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
本装置８０が上記装置１と異なるところは、装置１ではその搬送面３の中央域Ｐに無方向性の流れを生ぜしめる開口部６ａが設けられていたが、本装置８０の中央域Ｐ４には、開口部が設けられておらず、したがって、中央域Ｐ４からのエア（流体）の流れを有しない点である。即ち、本装置８０において、そのチャンバ８１の搬送面８２は、本実施の形態では、上述した横断面視略かまぼこ型の、半円形状の湾曲面８２ａ及び当該湾曲面８２ａの両端にそれぞれ滑らかに連設された平面８２ｂに形成されており、この搬送面８２のうちの湾曲面８２ａにおいて、当該湾曲面８２ａの、チャンバ８１の長手方向の中央部が中央域（図１５中、白色の無地表示されたところの中央区画域）Ｐ４として、また、この中央域Ｐ４を隔てて両側部が右方域（図１５中、エアの噴出方向を示す左向きの矢印が多数描かれたところの一方端区画域）Ｑ４及び左方域（図１５中、エアの噴出方向を示す右向きの矢印が多数描かれたところの他方端区画域）Ｒ４としてそれぞれ区画されており、本実施の形態では、少なくとも右方域Ｑ４と左方域Ｒ４の区画幅は同一にされ、これらは、フィルム状物Ｆを搬送面８２上に浮揚させたときに、中央域Ｐ４が当該フィルム状物Ｆの中央部と重なるように、また、右方域Ｑ４及び左方域Ｒ４の略中央部が、フィルム状物Ｆの搬送方向（図１５の矢印Ａ１や矢印Ａ２）に臨んで当該フィルム状物Ｆの幅端部付近とそれぞれ略重なる（ズレの許容度はフィルム状物Ｆの幅長の略３％）ようにされた区画幅で設けられている。
尚、中央域Ｐ４の区画幅は、フィルム状物Ｆの幅長の５０〜７０％となるように設けられることが好ましい。但し、これら中央域Ｐ４、右方域Ｑ４及び左方域Ｒ４の区画幅は、浮揚搬送されるフィルム状物Ｆの幅長などによって適宜選定される。

本装置８０の、浮揚搬送されるフィルム状物Ｆの蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる動作は、上記装置１とほぼ同様であり、何らかの原因によりフィルム状物Ｆが右方域Ｑ４側或いは左方域Ｒ４側に蛇行して搬送面３に対するフィルム状物Ｆの相対位置にズレが生ずると、このズレを修正すべく右方域Ｑ４からの噴出エアと左方域Ｒ４からの噴出エアとの差分に相当する摩擦力がフィルム状物Ｆに作用し、当該フィルム状物Ｆに対し当初の中央位置への復帰動作を生ぜしめる。即ち、本装置８０においても、フィルム状物Ｆの蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる機能、本実施の形態ではセンターリング機能が備わっていることになる。

上記装置８０は、圧縮エアを取り込むための供給管４ａ，４ｂがチャンバ８１の両端面に取り付けられるものであったが、図１６に示すような供給管３７，３８が取り付けられるようにした装置９０であってもよい。尚、図１６において、図８，１５の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
本装置９０は、搬送面８２の湾曲面８２ａの、右方域（一方端区画域）Ｑ４、中央域（中央区画域）Ｐ４、左方域（他方端区画域）Ｒ４に応じて、例えば図８の装置３０で用いた仕切板３４，３５を、右方域Ｑ４と中央域Ｐ４との間及び中央域Ｐ４と左方域Ｒ４との間にそれぞれ設ける代わりに、本実施の形態では、中央域Ｐ４の中央に一枚の仕切板８５を設け、かかる仕切板８５で区画されたチャンバ８１の区画体８３，８４、即ち、右方域Ｑ４を含むところの区画体８３及び左方域Ｒ４を含むところの区画体の適宜な面、本実施の形態では、区画体８３にあっては右方域Ｑ４の湾曲面に対向する矩形面８１ａ、区画体８４にあっては左方域Ｒ４の湾曲面に対向する矩形面８１ｂのそれぞれにエアの供給口が設けられており、これら供給口には供給管３７，３８がそれぞれ取り付けられるとともに、これら供給管３７，３８にはブロア装置５ｑ，５ｒがそれぞれ接続される。
このような装置９０においても、上記装置８０と同様に、何らかの原因によりフィルム状物Ｆが蛇行したときに、かかる蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆを所望位置に復帰させる機能を持たせることができ、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。
尚、上記装置９０においては、右方域Ｑ４及び左方域Ｒ４からの噴出流量の可変は、ブロア装置５ｑ，５ｒの回転速度制御により行うものであった。しかし、説明は割愛するが、例えば図９の装置３０においてなされるような制御方法を採ってもよいことはもちろんである。

上述した第２の実施の形態に係る装置の第１搬送面に対向して第２搬送面を配設した装置について図１７を参照して説明する。
尚、図１７において、図１５，１６の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
本装置１００は、その基本的な構造は上述した装置６０に準ずるものであり、その搬送面（第１搬送面）１０２に開口部６ａ等が多数設けられた横断面視略底浅茶碗型をなす長尺のエアチャンバ（第１流体チャンバ）１０１を第１本体とし、この搬送面１０２は、その横断面視略底浅茶碗型の、所定円弧角の湾曲面及び当該湾曲面の両端にそれぞれ滑らかに所定傾斜角をなして連設された平面に形成されており、この搬送面１０２には、上記装置８０の搬送面８２の湾曲面８２ａと同様に、当該搬送面１０２の湾曲面１０２ａの、チャンバ１０１の長手方向の中央部が中央域（図１７中、白色の無地表示されたところの中央区画域）Ｐ４として、また、この中央域Ｐ４を隔てて両側部が右方域（図１７中、左向きの矢印が多数描かれたところの一方端区画域）Ｑ４及び左方域（図１７中、右向きの矢印が多数描かれたところの他方端区画域）Ｒ４としてそれぞれ区画され、右方域Ｑ４にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１７中、左向きの矢印で示されている）の流れを形成する開口部９ａが、また、左方域Ｒ４にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１７中、右向きの矢印で示されている）の流れを形成する開口部がそれぞれ設けられ、右方域Ｑ４におけるエアの流れと左方域Ｒ４におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、右方域Ｑ４と左方域Ｒ４のエアの流量は、本実施の形態では互いに等しくなる。尚、中央域Ｐ４には、開口部が設けられておらず、したがって、中央域Ｐ４からのエアの流れを有しないことは言うまでもない。

そして、本装置１００には、第１本体のチャンバ１０１に加えて第２本体であるエアチャンバ（第２流体チャンバ）１０３を備えており、このチャンバ１０３の搬送面（第２搬送面）１０４がチャンバ１０１の搬送面１０２に対し所定の隙間を隔てて対向する態様で配設され、このチャンバ１０３の、搬送面１０４に対向する湾曲面１０５（チャンバ１０３の外表面を形成する湾曲面）の、例えば中央に圧縮エアの供給口（図示せず）が設けられ、この供給口に円筒状の供給管（図示せず）が取り付けられており、この供給管に接続されるブロア装置（図示せず）からの圧縮エアがチャンバ１０３に供給されるようになっている。
このチャンバ１０３の搬送面１０４には、上記チャンバ１０１の搬送面１０２に対向する態様で、搬送面１０２の中央域Ｐ４に対して、図示しない中央域（中央区画域）Ｐ５が、また、この中央域Ｐ５を隔てて両側部に、右方域Ｑ４に対して図示しない右方域（一方端区画域）Ｑ５及び左方域Ｒ４に対して図示しない左方域（他方端区画域）Ｒ５がそれぞれ区画され、右方域Ｑ５にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１７中、左向きの矢印で示される向きと同一）の流れを形成する開口部９ａが、また、左方域Ｒ５にはフィルム状物Ｆの搬送方向と垂直な噴出方向（図１７中、右向きの矢印で示される向きと同一）の流れを形成する開口部がそれぞれ設けられ、右方域Ｑ５におけるエアの流れと左方域Ｒ５におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、右方域Ｑ５と左方域Ｒ５のエアの流量は、本実施の形態では互いに等しくなる。尚、中央域Ｐ５には、開口部が設けられておらず、したがって、中央域Ｐ５からのエアの流れがないことは言うまでもない。

本装置１００は、その搬送面１０２と搬送面１０４との隙間を通ってフィルム状物Ｆを浮揚させつつ搬送可能にするものであり、上記隙間を適宜に狭くするとフィルム状物Ｆに対する流体からの摩擦力が増すので、蛇行を自動的に修正するセンターリング効果を上げることができる、という更なる利点を備えている。
ところで、本装置１００は、チャンバ１０３に圧縮エアを取り込むための供給管が当該チャンバ１０３の湾曲面１０５中央に取り付けられるものであった。しかし、説明は割愛するが、本装置１００を、例えば図１４に示されるような装置７０に準ずる構造としてもよいことはもちろんである。
また、本装置１００を含めて上記装置８０，９０は、フィルム状物（これをこの例では、広幅のフィルム状物Ｆとした。）を対象としていたが、例えばフィルム状物Ｆの幅長の略１／２のフィルム状物（これを、狭幅のフィルム状物Ｆ_１として区別する。）をも対象とする場合には、図１５の装置８０に対して図１８に示すような装置１１０にする必要がある。即ち、装置１１０では、当該装置１１０における中央域Ｐ４−１の区画幅が装置８０のそれよりも狭くする必要がある（右方域Ｑ４−１及び左方域Ｒ４−１の区画幅が装置８０のそれよりも広くなる）。例えば、幅長１０００ｍｍの広幅のフィルム状物Ｆと幅長５００ｍｍの狭幅のフィルム状物Ｆ_１とを対象とするときには、中央域Ｐ４_１の区画幅が５０〜２００ｍｍの適宜な区画幅とすることが必要である。

本発明の第３の実施の形態に係るフィルム状物の浮揚搬送装置を図１９を参照して説明する。
尚、図１９において、図１〜５の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
本装置１２０は、上記装置１１０とは異なる構成で狭幅及び広幅のフィルム状物を浮揚搬送できるようにした装置であり、上記装置１と異なるところは、装置１の右方域Ｑ及び左方域Ｒの略中央辺りに中間区画域をそれぞれ設け、この中間区画域、具体的には下記中間域Ｑ６−１及び中間域Ｒ６−１に無方向性の流れを生ぜしめる開口部６ａを追加したような構成とした点である。即ち、本装置１２０においては、チャンバ１２１の搬送面１２２は、本実施の形態では、上述した横断面視略かまぼこ型の、半円形状の湾曲面１２２ａ及び当該湾曲面１２２ａの両端にそれぞれ滑らかに連設された平面１２２ｂに形成されており、この搬送面１２２のうちの湾曲面１２２ａにおいて、当該湾曲面１２２ａの、チャンバ１２１の長手方向の中央部が中央域（図１９中、実線でハッチングされたところの中央区画域）Ｐ６として、また、この中央域Ｐ６を隔てて両側部が第１の右方域（図１９中、エアの噴出方向を示す左向きの矢印が多数描かれたところの第１の一方端区画域）Ｑ６及び第１の左方域（図１９中、エアの噴出方向を示す右向きの矢印が多数描かれたところの第１の他方端区画域）Ｒ６としてそれぞれ区画されており、そして、右方域Ｑ６と左方域Ｒ６の区画幅は同一にして設けられ、右方域Ｑ６と左方域Ｒ６の中央部が狭幅のフィルム状物Ｆ_１の両幅端部付近に略位置するように設けられている。

また、この湾曲面１２２ａにおいては、チャンバ１２１の長手方向の両最端寄りに第２の右方域（図１９中、エアの噴出方向を示す左向きの矢印が多数描かれたところの第２の一方端区画域）Ｑ６−２及び第２の左方域（図１９中、エアの噴出方向を示す右向きの矢印が多数描かれたところの第２の他方端区画域）Ｒ６−２としてそれぞれ区画されており、そして、右方域Ｑ６−２と左方域Ｒ６−２の区画幅は同一にして設けられ、右方域Ｑ６−２と左方域Ｒ６−２の中央部が広幅のフィルム状物Ｆの両幅端部付近に略位置するように設けられている。更に、この湾曲面１２２ａにおいては、第１の右方域Ｑ６と第２の右方域Ｑ６−２及び第１の左方域Ｒ６と第２の左方域Ｒ６−２にそれぞれ挟まれるところが中間域（図１９中、実線でハッチングされたところの一方端中間区画域）Ｑ６−１及び中間域（図１９中、実線でハッチングされたところの他方端中間区画域）Ｒ６−１としてそれぞれ区画されており、そして、中間域Ｑ６−１と中間域Ｒ６−１の区画幅は同一にして設けられている。尚、この湾曲面１２２ａにおいては、右方域Ｑ６−２の区画幅が右方域Ｑ６のそれより広く、また、左方域Ｒ６−２の区画幅が左方域Ｒ６のそれより広く設けられている。但し、中央域Ｐ６等を含めてこれらの区画幅は、浮揚搬送されるフィルム状物Ｆ，Ｆ_１の幅長などによって適宜選定される。

本装置１２０の、浮揚搬送される狭幅のフィルム状物Ｆ_１及び広幅のフィルム状物Ｆの蛇行を自動的に修正して所望位置に復帰させる動作は、上記装置１に準じており、狭幅のフィルム状物Ｆ_１については、当該フィルム状物Ｆ_１が右方域Ｑ６側或いは左方域Ｒ６側に蛇行して搬送面１２２に対するフィルム状物Ｆ_１の相対位置にズレが生ずると、このズレを修正すべく右方域Ｑ６からの噴出エアと左方域Ｒ６からの噴出エアとの差分に相当する摩擦力がフィルム状物Ｆ_１に作用し、当該フィルム状物Ｆ_１に対し当初の中央位置への復帰動作を生ぜしめる。この場合、中間域Ｑ６−１及び中間域Ｒ６−１は、フィルム状物Ｆ_１に対する右方域Ｑ６−２及び左方域Ｒ６−２からの噴出エアの影響を遮断する機能を果たす。また、広幅のフィルム状物Ｆについては、当該フィルム状物Ｆが右方域Ｑ６−２側或いは左方域Ｒ６−２側に蛇行して搬送面１２２に対するフィルム状物Ｆの相対位置にズレが生ずると、このズレを修正すべく右方域Ｑ６−２からの噴出エアと左方域Ｒ６−２からの噴出エアとの差分に相当する摩擦力がフィルム状物Ｆに作用し、当該フィルム状物Ｆに対し当初の中央位置への復帰動作を生ぜしめる。この場合、右方域Ｑ６及び左方域Ｒ６からの噴出エアは、フィルム状物Ｆに対し力学的にバランスが取れた力を与えることとなるので、中央位置への復帰動作に影響を与えない。
即ち、本装置１２０においても、フィルム状物Ｆ，Ｆ_１の蛇行を自動的に修正して所望位置に復帰させる機能、本実施の形態ではセンターリング機能が備わっていることになる。

上記装置１２０は、圧縮エアを取り込むための供給管４ａ，４ｂがチャンバ１２１の両端面に取り付けられるものであったが、図２０に示すような供給管等が取り付けられるようにした装置１３０であってもよい。尚、図２０において、図８，１９の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。また、図２０において、フィルム状物Ｆ，Ｆ_１は省略されている。
本装置１３０は、搬送面１２２の湾曲面１２２ａの、第１の右方域（第１の一方端区画域）Ｑ６及び第１の左方域（第１の一方端区画域）Ｒ６、中央域（中央区画域）Ｐ６、第２の右方域（第２の一方端区画域）Ｑ６−２及び第２の左方域（第２の他方端区画域）Ｒ６−２、中間域（一方端中間区画域）Ｑ６−１及び中間域（他方端中間区画域）Ｒ６−１に応じてチャンバ１２１を仕切る仕切板を設け、具体的には、右方域Ｑ６及び左方域Ｒ６と中央域Ｐ６とのそれぞれの間に仕切板１３２ａ，１３２ｂを、右方域Ｑ６及び右方域Ｑ６−２と中間域Ｑ６−１とのそれぞれの間に仕切板１３２ｃ，１３２ｄを、左方域Ｒ６及び左方域Ｒ６−２と中間域Ｒ６−１とのそれぞれの間に仕切板１３２ｅ，１３２ｆを設け、これら仕切板１３２ａ〜１３２ｆで区画されたチャンバ１２１の各区画体１３１ａ〜１３１ｇにおける適宜な面、本実施の形態では、例えば区画体１３１ａにあっては中央域Ｐ６の湾曲面に対向する矩形面１２１ａにエアの供給口が設けられており、この供給口には供給管１３３が取り付けられるとともに、この供給管１３３にはブロア装置１３４が接続される（説明は割愛するが、他の区画体１３１ｂ〜１３１ｇについても、図２０に示すように、各区画体１３１ｂ〜１３１ｇの矩形面に供給管・ブロア装置が接続されている）。
このような装置１３０においても、上記装置１２０と同様に、何らかの原因によりフィルム状物Ｆ，Ｆ_１が蛇行したときに、かかる蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物Ｆ，Ｆ_１を所望位置に復帰させる機能を持たせることができ、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。
尚、上記装置１３０においては、右方域Ｑ６及び左方域Ｒ６等からの噴出流量の可変は、ブロア装置１３４等の回転速度制御により行うものであった。しかし、説明は割愛するが、例えば図９の装置３０においてなされるような制御方法を採ってもよいことはもちろんである。

上述した第３の実施の形態に係る装置の第１搬送面に対向して第２搬送面を配設した装置について図２１を参照して説明する。
尚、図２１において、図１９，２０の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。また、図２１において、フィルム状物Ｆ，Ｆ_１は省略されている。
本装置１４０は、その基本的な構造は上述した装置６０に準ずるものであり、その搬送面（第１搬送面）１４２に開口部６ａ等が多数設けられた横断面視略底浅茶碗型をなす長尺のエアチャンバ（第１流体チャンバ）１４１を第１本体とし、この搬送面１４２は、その横断面視略底浅茶碗型の、所定円弧角の湾曲面及び当該湾曲面の両端にそれぞれ滑らかに所定傾斜角をなして連設された平面に形成されており、この搬送面１４２には、上記装置１２０の搬送面１２２の湾曲面１２２ａと同様に、当該搬送面１４２の湾曲面１４２ａの、チャンバ１４１の長手方向の中央部が中央域（図２１中、実線でハッチングされたところの中央区画域）Ｐ６として、また、この中央域Ｐ６を隔てて両側部が第１の右方域（図２１中、エアの噴出方向を示す左向きの矢印が多数描かれたところの第１の一方端区画域）Ｑ６及び第１の左方域（図２１中、エアの噴出方向を示す右向きの矢印が多数描かれたところの第１の他方端区画域）Ｒ６としてそれぞれ区画されており、そして、右方域Ｑ６と左方域Ｒ６の区画幅は同一にして設けられ、右方域Ｑ６と左方域Ｒ６の中央部が狭幅のフィルム状物Ｆ_１の両幅端部付近に略位置するように設けられている。

また、この湾曲面１４２ａにおいては、チャンバ１２１の長手方向の両最端寄りに第２の右方域（図２１中、エアの噴出方向を示す左向きの矢印が多数描かれたところの第２の一方端区画域）Ｑ６−２及び左方域（図２１中、エアの噴出方向を示す右向きの矢印が多数描かれたところの第２の他方端区画域）Ｒ６−２としてそれぞれ区画されており、そして、右方域Ｑ６−２と左方域Ｒ６−２の区画幅は同一にして設けられ、右方域Ｑ６−２と左方域Ｒ６−２の中央部が広幅のフィルム状物Ｆの両幅端部付近に略位置するように設けられている。更に、この湾曲面１４２ａにおいては、第１の右方域Ｑ６と第２の右方域Ｑ６−２及び第１の左方域Ｒ６と第２の左方域Ｒ６−２にそれぞれ挟まれるところが中間域（図２１中、実線でハッチングされたところの一方端中間区画域）Ｑ６−１及び中間域（図２１中、実線でハッチングされたところの他方端中間区画域）Ｒ６−１としてそれぞれ区画されており、そして、中間域Ｑ６−１と中間域Ｒ６−１の区画幅は同一にして設けられている。尚、この湾曲面１２２ａにおいては、右方域Ｑ６−２の区画幅が右方域Ｑ６のそれより広く、また、左方域Ｒ６−２の区画幅が左方域Ｒ６のそれより広く設けられている。但し、但し、中央域Ｐ６等を含めてこれらの区画幅は、浮揚搬送されるフィルム状物Ｆ，Ｆ_１の幅長などによって適宜選定される。

そして、本装置１４０には、第１本体のチャンバ１４１に加えて第２本体であるエアチャンバ（第２流体チャンバ）１４３を備えており、このチャンバ１４３の搬送面（第２搬送面）１４４がチャンバ１４１の搬送面１４２に対し所定の隙間を隔てて対向する態様で配設され、このチャンバ１４３の、搬送面１４４に対向する湾曲面１４５（チャンバ１４３の外表面を形成する湾曲面）の、例えば中央に圧縮エアの供給口（図示せず）が設けられ、この供給口に円筒状の供給管（図示せず）が取り付けられおり、この供給管に接続されるブロア装置（図示せず）からの圧縮エアがチャンバ１４３に供給されるようになっている。
このチャンバ１４３の搬送面１４４には、上記チャンバ１４１の搬送面１４２に対向する態様で、搬送面１４２の中央域Ｐ６に対して、図示しない中央域（中央区画域）Ｐ７が、また、この中央域Ｐ７を隔てて両側部に、右方域Ｑ６に対して図示しない右方域（一方端区画域）Ｑ７及び左方域Ｒ６に対して図示しない左方域（他方端区画域）Ｒ７がそれぞれ区画され、右方域Ｑ７にはフィルム状物Ｆ，Ｆ_１の搬送方向と垂直な噴出方向（図２１中、左向きの矢印で示される向きと同一）の流れを形成する開口部９ａが、また、左方域Ｒ７にはフィルム状物Ｆ，Ｆ_１の搬送方向と垂直な噴出方向（図２１中、右向きの矢印で示される向きと同一）の流れを形成する開口部がそれぞれ設けられ、右方域Ｑ７におけるエアの流れと左方域Ｒ７におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、そして、右方域Ｑ７と左方域Ｒ７の区画幅は同一にして設けられ、したがって、右方域Ｑ７と左方域Ｒ７のエアの流量は互いに等しくなる。

また、この搬送面１４４においては、チャンバ１４３の長手方向の両最端寄りに図示しない第２の右方域（第２の一方端区画域）Ｑ７−２及び第２の左方域（第２の他方端区画域）Ｒ７−２としてそれぞれ区画され、右方域Ｑ７−２と左方域Ｒ７−２の区画幅は同一にして設けられ、右方域Ｑ７−２と左方域Ｒ７−２の中央部が広幅のフィルム状物Ｆの両幅端部付近に略位置するように設けられている。更に、この搬送面１４４においては、第１の右方域Ｑ７と第２の右方域Ｑ７−２及び第１の左方域Ｒ７と第２の左方域Ｒ７−２にそれぞれ挟まれるところが中間域（一方端中間区画域）Ｑ７−１及び中間域（他方端中間区画域）Ｒ７−１としてそれぞれ区画され、中間域Ｑ７−１と中間域Ｒ７−１の区画幅は同一にして設けられている。そして、右方域Ｑ７−２には、右方域Ｑ６−２と同一向きの流れを形成する開口部９ａが、また、左方域Ｒ７−２には、左方域Ｒ６−２と同一向きの流れを形成する開口部がそれぞれ設けられ、右方域Ｑ７−２におけるエアの流れと左方域Ｒ７−２におけるエアの流れとは互いに対向する流れをなし、そして、右方域Ｑ７−２と左方域Ｒ７−２の区画幅は同一にして設けられ、したがって、右方域Ｑ７−２と左方域Ｒ７−２のエアの流量は互いに等しくなる。

本装置１４０は、その搬送面１４２と搬送面１４４との隙間を通ってフィルム状物Ｆ，Ｆ_１を浮揚させつつ搬送可能にするものであり、上記隙間を適宜に狭くするとフィルム状物Ｆ，Ｆ_１に対する流体からの摩擦力が増すので、蛇行を自動的に修正するセンターリング効果を上げることができる、という更なる利点を備えていることはもちろんである。
ところで、本装置１４０は、チャンバ１４３に圧縮エアを取り込むための供給管が当該チャンバ１４３の湾曲面１４５中央に取り付けられるものであった。しかし、説明は割愛するが、本装置１４０を、例えば図１４に示されるような装置７０に準ずる構造としてもよいことはもちろんである。

ところで、上述した装置１２０〜１４０は、狭幅及び広幅のフィルム状物を浮揚搬送できるようにした装置で、このうちの装置１２０で言えば中央域Ｐ６並びに中間域Ｑ６−１と中間域Ｒ６−１から無方向性の流れを生ぜしめる装置であったが、例えば図２２に示す装置１５０のように、中央域Ｐ６に相当する中央域Ｐ８、並びに中間域Ｑ６−１に相当する中間域Ｑ８−１及び中間域Ｒ６−１に相当する中間域Ｒ８−１の開口部を閉塞した構造、換言すれば、これらには開口部を設けない構造としたものであっても、狭幅及び広幅のフィルム状物が蛇行したときに、かかる蛇行を自動的に修正して当該フィルム状物を所望位置に復帰させる機能を持たせることができ、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になる。
尚、図２２中、図１９等の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。

本発明の第４の実施の形態に係るフィルム状物の浮揚搬送装置を図２３を参照して説明する。尚、図２３中、図１等の構成要素と同一のものについては同一番号を付し、その説明は割愛する。
本装置１６０は、そのチャンバ２の搬送面３を構成する湾曲面３ａ及び平面３ｂのうちの平面３ｂに、例えば上記開口部９ａのような形状で、当該開口部９ａからのエア（流体）噴出方向が搬送面３に沿う態様で湾曲面３ａ側に向いてなるような開口部（図示せず）を設け、詳細には、フィルム状物Ｆの、搬送面３への搬入側に位置する平面３ｂにおいては図２３の矢印で示すようにフィルム状物Ｆの搬入方向と同一方向に向いてなる開口口を、また、フィルム状物Ｆの、搬送面３への搬出側に位置する平面３ｂにおいてはフィルム状物Ｆの搬出方向とは逆方向に向いてなる開口口を設けたものである。これにより、本装置１６０は、上述した、所望位置での所謂ポジショニングコントロールされた浮揚搬送が可能になることに加え、フィルム状物Ｆの搬入及び搬出側の平面３ｂでの安定した状態での搬送を行うことができるようになるのでフィルム状物Ｆのバタツキに起因する品質不良の発生を無くすことが可能になる。

本浮揚搬送装置は、フィルム状物の浮揚搬送のときに生ずる蛇行を自動的に修正できるようにした点で利用可能性が高く、また、付属装置としてのポジショニングコントロール装置を設置せずに済み装置自体の簡素化が図れる点においても利用可能性が高い。

本発明の第１の実施の形態に係る浮揚搬送装置の斜視図である。 図１の中央域Ｐに設けられる突状部の斜視図である。 図１の右方域Ｑ及び左方域Ｒに設けられる突状部の斜視図である。 図３（Ａ）の突状部の詳細断面図である。 図１の装置の動作説明図である。 図１の装置の用途例に係る概略構成図である。 図１の装置で用いる流体とは異なる流体で動作する装置の用途例に係る概略構成図である。 図１の装置に対して所望位置でのポジショニングコントロール可能な装置の斜視図である。 図８の装置における噴出流量の制御方法とは異なる制御方法の説明図である。 図１の装置の搬送面とは異なる搬送面を備えた装置の概略構成図である。 図１０の装置に対して所望位置でのポジショニングコントロール可能な装置の概略構成図である。 図１の装置の第１搬送面に対向して第２搬送面を配設した装置の斜視図である。 図１２の装置の詳細説明図である。 図１２の装置に対してポジショニングコントロール可能な装置の斜視図である。 本発明の第２の実施の形態に係る浮揚搬送装置の斜視図である。 図１５の装置に対して所望位置でのポジショニングコントロール可能な装置の斜視図である。 図１５の装置の第１搬送面に対向して第２搬送面を配設した装置の斜視図である。 図１５の装置に対して２種類のフィルム状物の浮揚搬送を可能にする浮揚搬送装置の斜視図である。 本発明の第３の実施の形態に係る浮揚搬送装置の斜視図である。 図１９の装置に対して所望位置でのポジショニングコントロール可能な装置の斜視図である。 図１９の装置の第１搬送面に対向して第２搬送面を配設した装置の斜視図である。 図１９の装置において無方向性の流れを生ぜしめるところの開口部を閉塞した構造をなす浮揚搬送装置の斜視図である。 本発明の第４の実施の形態に係る浮揚搬送装置の斜視図である。 従来の浮揚方向転換装置の構成図である。 図２４の装置でのエアの流れ状況を示す模式図である。

１，３０〜１６０ 浮揚搬送装置
２，４１，５１，６１，７１ エアチャンバ（第１流体チャンバ）
８１，１０１，１２１，１４１ エアチャンバ（第１流体チャンバ）
３，３２，４２，５２，６２ 搬送面（第１搬送面）
８２，１０２，１２２，１４２ 搬送面（第１搬送面）
９，１０，１１ 突状部
９ａ，１０ａ，１１ａ 開口部
３４，３５，５４，５５，７２，７３ 仕切板
８５，１３２ａ〜１３２ｆ 仕切板
６３，１０３，１４３ エアチャンバ（第２流体チャンバ）
６４，１０４，１４４ 搬送面（第２搬送面）
Ｆ，Ｆ_１ フィルム状物
Ｐ，Ｐ１〜Ｐ８ 中央域（中央区画域）
Ｑ，Ｑ１〜Ｑ５ 右方域（一方端区画域）
Ｒ，Ｒ１〜Ｒ５ 左方域（他方端区画域）
Ｑ６〜Ｑ８ 第１の右方域（第１の一方端区画域）
Ｒ６〜Ｒ８ 第１の左方域（第１の他方端区画域）
Ｑ６−１〜Ｑ８−１ 中間域（一方端中間区画域）
Ｒ６−１〜Ｒ８−１ 中間域（他方端中間区画域）
Ｑ６−２〜Ｑ８−２ 第２の右方域（第２の一方端区画域）
Ｒ６−２〜Ｒ８−２ 第２の左方域（第２の他方端区画域）

Claims (10)

1. フィルム状物をその搬送面に設けられた開口部から噴出する流体によって前記搬送面の所望位置で浮揚させつつ当該フィルム状物の搬送を可能にする搬送方法であって、前記フィルム状物が蛇行して前記所望位置から外れたとき、又は外れようとしたときに前記開口部から噴出する前記流体が、前記フィルム状物を前記所望位置に自動的に復帰させつつ浮揚搬送することを特徴とするフィルム状物の浮揚搬送方法。
2. フィルム状物をその第１搬送面に設けられた開口部から噴出する流体によって前記搬送面の所望位置で浮揚させつつ当該フィルム状物の搬送を可能にする装置であって、前記第１搬送面は、横断面視半楕円形状や、楕円弧形状、半円形状、円弧形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な湾曲面で形成され、若しくはこの湾曲面及び当該湾曲面の両端に滑らかにそれぞれ連設された平面で形成され、又は横断面視直線形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な水平面で形成され、このような第１搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで当該フィルム状物の両幅端部付近に位置する一方端区画域及び他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第１搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなす一方、前記一方端区画域と他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすことを特徴とするフィルム状物の浮揚搬送装置。
3. 狭幅及び広幅のフィルム状物をその第１搬送面に設けられた開口部から噴出する流体によって前記搬送面の所望位置で浮揚させつつ当該フィルム状物の搬送を可能にする装置であって、前記第１搬送面は、横断面視半楕円形状や、楕円弧形状、半円形状、円弧形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な湾曲面で形成され、若しくはこの湾曲面及び当該湾曲面の両端に滑らかにそれぞれ連設された平面で形成され、又は横断面視直線形状をなし、且つ、前記搬送方向に垂直な方向に長尺な水平面で形成され、このような第１搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで狭幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第１搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第１の他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなす一方、このような第１搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで広幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第２の一方端区画域及び第２の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第１搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第２の一方端区画域及び前記第１の他方端区画域と第２の他方端区画域にそれぞれ挟まれる一方端中間区画域及び他方端中間区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすことを特徴とするフィルム状物の浮揚搬送装置。
4. 前記第１搬送面が第１流体チャンバの湾曲面、又は第１流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、
   また、前記第１搬送面が第１流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設けることを特徴とする請求項２に記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。
5. 前記第１搬送面が第１流体チャンバの湾曲面、又は第１流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と中央区画域とのそれぞれの間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、
   また、前記第１搬送面が第１流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第１流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と中央区画域との間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第１流体チャンバの各区画体における適宜な面に前記流体の供給口をそれぞれ設けることを特徴とする請求項３に記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。
6. 前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、前記第２搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで当該フィルム状物の両幅端部付近に位置する一方端区画域及び他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第２搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなす一方、前記一方端区画域と他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすことを特徴とする請求項２又は４のいずれかに記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。
7. 前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、前記第２搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで狭幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第２搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第１の他方端区画域とに挟まれる中央区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなす一方、このような第２搬送面の、前記フィルム状物の搬送方向に臨んで広幅のフィルム状物の両幅端部付近に位置する第２の一方端区画域及び第２の他方端区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは、前記第２搬送面に沿う態様で、且つ、互いに対向する、前記搬送方向に垂直な流れをなすとともに、前記第１の一方端区画域と第２の一方端区画域及び前記第１の他方端区画域と第２の他方端区画域にそれぞれ挟まれる一方端中間区画域及び他方端中間区画域に設けられた前記開口部からの前記流体の流れは無方向性の流れをなすことを特徴とする請求項３又は５に記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。
8. 前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、
   前記第２搬送面が第２流体チャンバの湾曲面、又は第２流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの、前記一方端区画域の湾曲面に対向する対向湾曲面、前記中央区画域の湾曲面に対向する対向湾曲面、及び前記他方端区画域の湾曲面に対向する対向湾曲面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、
   また、前記第２搬送面が第２流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記一方端区画域、前記中央区画域、前記他方端区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記一方端区画域と前記中央区画域との間及び前記中央区画域と前記他方端区画域との間にそれぞれ設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの各区画体における適宜な矩形面に前記流体の供給口をそれぞれ設けることを特徴とする請求項６に記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。
9. 前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面を設け、これら第１搬送面と第２搬送面との前記隙間を通って前記フィルム状物を浮揚させつつ搬送可能にする装置であって、
   前記第２搬送面が第２流体チャンバの湾曲面、又は第２流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面に形成されるものである場合には、前記湾曲面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と前記中央区画域とのそれぞれの間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と前記一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と前記他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域のそれぞれの湾曲面に対向する対向湾曲面に前記流体の供給口をそれぞれ設け、
   また、前記第２搬送面が第２流体チャンバの水平面に形成されるものである場合には、前記水平面の、前記第１及び第２の一方端区画域、前記中央区画域、前記第１及び第２の他方端区画域、前記一方端中間区画域及び他方端中間区画域に応じて前記第２流体チャンバを仕切る仕切板を、前記第１の一方端区画域及び第１の他方端区画域と前記中央区画域との間、前記第１の一方端区画域及び第２の一方端区画域と前記一方端中間区画域とのそれぞれの間、前記第１の他方端区画域及び第２の他方端区画域と前記他方端中間区画域とのそれぞれの間に設け、これら仕切板で区画された前記第２流体チャンバの各区画体における適宜な矩形面に前記流体の供給口をそれぞれ設けることを特徴とする請求項７に記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。
10. 前記第１搬送面が第１流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面で形成されるものである場合、又は前記第１搬送面に所定の隙間を隔てて対向させて第２搬送面が設けられ、この第２搬送面が第２流体チャンバの湾曲面及び当該湾曲面に連設された前記平面で形成されるものである場合に、前記開口部が設けられた湾曲面のところに連設される前記平面部のところに開口部を設け、この開口部からの前記流体の噴出方向は、前記搬送面に沿う態様で前記湾曲面側に向いてなることを特徴とする請求項２〜９のいずれかに記載のフィルム状物の浮揚搬送装置。

Images