TW201536656A - 上浮式搬運裝置 - Google Patents

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Hikaru Sato
Takahiro Yasuda
Akihiko Ito
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Oiles Industry Co Ltd
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Abstract

本發明係提供一種低成本的上浮式搬運裝置，能夠一邊防止滾動體之與搬運對象及搬運面的碰撞，同時一邊將滾動體之驅動力有效率地傳遞至搬運對象。 形成有複數個噴出口(41)的搬運面(40)，係在將搬運對象(9)往Y軸方向傳送的每一搬運輥(50)具有一個以上的渦流生成部(44)。利用來自泵浦之壓縮氣體(A3)的供應，使壓縮氣體(A1)從噴出口(41)噴出，並且使內周面切線方向之壓縮氣體(A4)噴出至渦流生成部(44)之圓筒室(441)內，藉此可生成氣體之渦流(B)。利用來自噴出口(41)之壓縮氣體(A1)一邊上浮一邊搬運，且進入到圓筒室(441)之上部的搬運對象(9)，係當其前端部(91)通過搬運輥(50)之頂端部(53)上之後覆蓋圓筒室(441)上部全區域時，藉此而利用在渦流(B)之中心部產生的負壓來使之被吸引至搬運面(40)側。

Description

上浮式搬運裝置
本發明係關於一種使搬運物一邊從搬運面上浮，一邊利用搬運輥等之滾動體的驅動力往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，尤其是關於一種能夠一邊防止搬運對象之與滾動體及搬運面的碰撞，同時一邊有效率地將滾動體之驅動力傳遞至搬運對象的上浮式搬運裝置。
已知的有一種例如專利文獻1所記載的上浮式搬運裝置，作為使基板一邊從搬運面上浮一邊利用搬運輥之驅動力來搬運的裝置。
在該上浮式搬運裝置之搬運面，係在搬運方向及搬運寬度方向(正交於搬運方向的方向)排列有將用以使基板上浮之壓縮氣體予以噴出的複數個上浮單元。再者，在並排於搬運方向的上浮單元列之間，係沿著搬運方向排列有複數個輥子驅動單元，該複數個輥子驅動單元係用以將利用來自上浮單元之壓縮氣體的噴出而從搬運面上浮的基板往搬運方向搬運。
各輥子驅動單元，係分別具有：搬運輥，其 係往搬運方向搬運基板；及皮帶機構，其係將馬達之旋轉傳遞至搬運輥；及單元箱(unit case)，其係用以容納上述搬運輥及皮帶機構；以及抽吸風扇，其係從單元箱內部抽吸空氣。在單元箱之上面係形成有開口，搬運輥之外周係從該開口朝向比單元箱之上面還靠上方(基板側)突出，以支撐從搬運面上浮的基板之背面。在此，當藉由抽吸馬達之動作而在單元箱內部形成有負壓區時，從搬運面上浮的基板就會被拉往單元箱側。因藉此可使基板之背面和搬運輥之外周面密接，故而當搬運輥藉由馬達之動作而旋轉時，搬運輥之驅動力就會有效率地傳遞至基板，而基板可一邊從搬運面上浮一邊效率佳地往搬運方向搬運。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
專利文獻1：日本特開2011-184192號公報
可是，在上述以往的上浮式搬運裝置中，為了使各輥子驅動單元的單元箱內部成為負壓狀態，而有必要在每一輥子驅動單元設置抽吸風扇。因此，該構成將會增大上浮式搬運裝置的製造成本。
又，搬運中的基板，當進入輥子驅動單元的單元箱之開口上方時，就會立即被拉往單元箱內之負壓 區。因此，例如，當用抽吸風扇過度抽吸單元箱內部之空氣時，搬運中的基板之前端部，就會在乘載於搬運輥上之前，被拉往單元箱側直至比搬運輥從單元箱上面突出之高度更低的位置為止，而有碰撞到搬運面或搬運輥的可能性。
本發明係有鑑於上述情事而開發完成者，其第一目的，係在於提供一種能夠一邊防止搬運對象之與滾動體及搬運面的碰撞，同時一邊有效率地將滾動體之驅動力傳遞至搬運對象的上浮式搬運裝置。又，第二目的，係在於提供一種低成本的此種上浮式搬運裝置。
為了解決上述課題，在本發明中，係在形成有複數個噴出口的搬運面上配置負壓產生手段，該噴出口係噴出用以使搬運對象上浮的壓縮氣體，藉此使藉由來自噴出口之壓縮氣體的噴出而上浮的搬運對象之前端面，在通過滾動體從搬運面最為突出的位置上之後，將該搬運對象拉往搬運面側。
例如，本發明之一態樣，係一種使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及 滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往前述搬運方向移動；以及負壓產生手段，其係相對於前述搬運方向而在前述滾動體容納口之兩側，具有在前述搬運面中呈開口的負壓生成口，且利用前述負壓生成口使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓，前述滾動體之外周面，係在被包夾於：前述負壓產生手段在前述滾動體容納口之兩側所具有的負壓生成口之間之與前述搬運方向正交的方向的區域中，從前述搬運面最為突出。
又，本發明之另一態樣，係一種使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往前述搬運方向移動；以及 負壓產生手段，其係具有在前述搬運面中呈開口的負壓生成口，且利用前述負壓生成口使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓，在前述搬運面中，前述負壓生成口，係相對於前述搬運方向而配置於前述滾動體容納口之單側的區域，前述滾動體之外周面，係在與前述負壓生成口之軸心的距離之前述搬運方向成分為未滿前述負壓生成口之半徑的區域中從前述搬運面最為突出。
又，本發明之更另一態樣，係一種使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往前述搬運方向移動；以及第一負壓產生手段，其係具有在前述搬運面中呈開口的負壓生成口，且利用前述負壓生成口使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓，前述負壓生成口，係在從前述搬運面上觀察的情況下，配置於該負壓生成口之開口、和在與前述搬運方向正 交的方向通過前述滾動體之外周面從前述搬運面最為突出的位置之直線所交叉的位置。
又，本發明之更另一態樣，係一種使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往單向移動；以及負壓產生手段，其係用以產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓，在前述搬運面中，前述負壓產生手段，係比前述滾動體之外周面從前述搬運面最為突出的位置，更配置於藉由前述滾動體而致使的前述搬運對象之移動方向側。
在此等的上浮式搬運裝置中，前述負壓產生手段，也可為具有在前述搬運面中呈開口的圓筒狀凹部，作為前述負壓生成口，且在該圓筒狀凹部內，噴出壓縮氣體並生成氣體之渦流來使前述負壓產生。
例如，在前述空氣板之內部，係形成有通氣 路，該通氣路係與前述複數個噴出口連接，可從壓縮氣體供應源供應使從該複數個噴出口噴出的壓縮氣體，前述圓筒狀凹部，也可與該通氣路連接，且利用經由該通氣路而從前述壓縮氣體供應源供應的壓縮空氣來形成前述渦流。
依據本發明，從搬運面上浮的搬運對象，係能在其前端面，通過滾動體從搬運面最為突出的位置之後利用負壓拉往搬運面側。因此，可以一邊防止滾動體及搬運面與搬運對象之碰撞，同時一邊使搬運對象之背面和滾動體之外周面利用適度的壓力確實地接觸，而將滾動體之驅動力有效率地傳遞至搬運對象。又，只要利用壓縮氣體之噴出來生成渦流，就可以將用以使搬運對象從搬運面上浮的壓縮氣體和供應源共通化，該渦流係用以產生將從搬運面上浮的搬運對象予以拉引的負壓。在此情況下，因沒有必要另外設置用以生成負壓的抽吸風扇或抽吸泵浦等之裝置，故而可以降低上浮式搬運裝置的製造成本。
1‧‧‧上浮式搬運裝置
2‧‧‧搬運線
3‧‧‧泵浦
4‧‧‧空氣板
5‧‧‧輥子搬運機構
9‧‧‧搬運對象
30‧‧‧供氣軟管
40‧‧‧搬運面
41‧‧‧噴出口
42‧‧‧排氣口
43‧‧‧搬運輥容納口
44、44A、44B‧‧‧渦流生成部
45‧‧‧搬運面之Y軸方向的邊
46‧‧‧通氣路
47‧‧‧空氣板背面
50‧‧‧搬運輥
51‧‧‧搬運輥之外周面
52‧‧‧搬運輥之旋轉軸
53‧‧‧搬運輥之頂端部
60‧‧‧直線
90‧‧‧搬運對象之背面
91‧‧‧搬運對象之前端面
92‧‧‧搬運對象之前端部
441‧‧‧圓筒室
442‧‧‧圓筒室之內周面
443‧‧‧渦流用壓縮氣體噴出口
444‧‧‧圓筒室之開口部
A1、A3、A4‧‧‧壓縮氣體
A2‧‧‧排出氣體
B‧‧‧渦流
C1、C2‧‧‧帶狀區域
D‧‧‧距離
L‧‧‧Y軸方向寬度
M1‧‧‧搬運方向上游區域
M2‧‧‧搬運方向下游區域
O1、O2‧‧‧軸心
P‧‧‧抽吸力
R‧‧‧半徑
W‧‧‧X軸方向寬度
第1圖係本發明之一實施形態的上浮式搬運裝置1之概略構成圖。
第2圖(A)係第1圖之搬運輥容納口形成部分之A- A剖面的放大圖，第2圖(B)係用以說明搬運面40內的搬運輥50與渦流生成部44之位置關係的示意圖。
第3圖(A)係空氣板4之搬運面40上的渦流生成部44之形成部分的放大圖，第3圖(B)係該渦流生成部44之B-B剖視圖。
第4圖(A)及(B)係用以說明利用本發明之一實施形態的上浮式搬運裝置1而搬運的搬運對象9之上浮狀態的示意圖。
第5圖係本發明之另一實施形態的空氣板4之搬運面40上的渦流生成部44之形成部分的放大圖。
第6圖(A)及第6圖(B)係用以說明搬運面40內的搬運輥50與渦流生成部44之位置關係之另一例的示意圖。
第7圖(A)及第7圖(B)係用以說明將搬運對象9往單向搬運的情況之搬運面40內的搬運輥50與渦流生成部44之位置關係之例的示意圖。
以下，參照圖式說明本發明之一實施形態。
第1圖係本實施形態的上浮式搬運裝置1之概略構成圖，第2圖(A)係第1圖之搬運輥容納口形成部分之A-A剖面的放大圖。另外，為了方便說明起見，在第1圖及第2圖(A)中，係定義具有沿著搬運方向之Y軸、沿著鉛直方向之Z軸、垂直於Z軸及Y軸之X軸 的座標系，即便是在其他圖中，仍適宜利用該座標系。
如圖所示，本實施形態之上浮式搬運裝置1，係具有：搬運線2，其係使例如使用於液晶顯示面板、電漿顯示面板等之平面顯示面板之所謂大型玻璃基板等的薄片狀之搬運對象9，一邊利用例如壓縮空氣等之壓縮氣體A1(參照第4圖)的噴出從搬運面40上浮，一邊往Y軸方向之單向或雙向搬運；以及泵浦3，其係將用以使搬運對象9上浮的壓縮氣體A1供應至搬運線2。
搬運線2，係由空氣板4及輥子搬運機構5等所組成，該空氣板4係具有被配置於XY面內的搬運面40，該輥子搬運機構5係由將從空氣板4之搬運面40上浮的搬運對象9往Y軸方向(單向或雙向)搬運的複數個搬運輥50等所構成。雖然第1圖係例示使用一片空氣板4的情況，但是也可將與搬運對象9之搬運距離相應的片數之空氣板4沿著Y軸方向並排成一列，且將如此的空氣板4之列，按照搬運對象9之X軸方向的寬度W，排列複數列於X軸方向。
在空氣板4之內部，係形成有與可供泵浦3之供氣軟管30連結的供氣口(未圖示)連接的通氣路46，在空氣板4之搬運面40全區域，係以既定之布局形成有：複數個噴出口41，其係與該通氣路46連接，用以將通過通氣路46而供應的壓縮氣體A3朝向搬運對象9噴出；以及排氣口42，其係將中介存在於搬運對象9之背面90與搬運面40之間的壓縮氣體A1從空氣板4之搬運 面40側朝向背面(搬運面40之相反側的面)47側排氣(參照第4圖)。在第1圖中，為了簡化起見，僅對一部分之噴出口41及一部分之排氣口42附記符號。
當從泵浦3開始壓縮氣體A3之供應時，該壓縮氣體A3，就會經由供氣口及通氣路46而從噴出口41，作為朝向空氣板4之搬運面40上的搬運對象9之背面(與搬運面40相向的面)90的壓縮氣體A1來噴出，且通過搬運面40與搬運對象9之背面90之間而從排氣口42作為排出氣體A2來排出(參照第4圖)。藉此，可在搬運對象9之背面90與搬運面40之間形成壓縮氣體層，使搬運對象9從搬運面40上浮。另外，噴出口41之調節的形式並未被特別限定，可為自成調節、孔口(orifice)調節等，又可為多孔質調節等。
又，在空氣板4之搬運面40，係形成有複數個沿著Y軸方向的槽(slot)狀之貫通孔43，作為可供輥子搬運機構5之搬運輥50插入的搬運輥容納口43。在空氣板4之搬運面40內的Y軸方向之帶狀區域(例如，比搬運面40之Y軸方向中心線，更靠搬運面40之Y軸方向的各邊45側之區域)，此等的搬運輥容納口43，係每隔比搬運對象9之Y軸方向寬度L更窄的距離，沿著Y軸方向並排成列狀。
輥子搬運機構5，係具有：複數個搬運輥50，其係具有沿著X軸方向而配置的旋轉軸52；及未圖示之旋轉軸支撐構件，其係將搬運輥50之旋轉軸52保持 成能夠旋轉；以及未圖示之馬達，其係使搬運輥50旋轉，該輥子搬運機構5係設置於空氣板4之背面47側。搬運輥50，係從空氣板4之背面47側逐個插入搬運輥容納口43，搬運輥50之外周面51，是從空氣板4之搬運面40，僅以與搬運對象9之上浮量相應的既定之距離D朝向Z軸方向突出。搬運輥50之外周面51，係以如下方式所配置：在從空氣板4之搬運面40朝向Z軸方向最為突出的位置(搬運輥50之外周面51的圓周方向之切線朝向Y軸方向的位置：以下，稱為頂端部)53，利用來自噴出口41之壓縮氣體A1的噴出和來自排氣口42之排出氣體A2的排氣來與從搬運面40上浮的搬運對象9之背面90接觸。當馬達動作時，搬運輥50，就一邊用搬運輥50之外周面51的頂端部53來支撐從搬運面40上浮的搬運對象9之背面90，一邊繞X軸旋轉，而使該搬運對象9沿著Y軸方向移動。
在此，在利用來自噴出口41之壓縮氣體A1的噴出和來自排氣口42之排出氣體A2的排氣時，有可能在搬運對象9之背面90與搬運輥50之外周面51之間，不產生所期望的壓力。因此，在空氣板4之搬運面40，係在每一搬運輥容納口43之周邊，形成有各二個以下之渦流生成部44，該各二個渦流生成部44係與搬運輥容納口43內之搬運輥50以既定之位置關係所配置。
第2圖(B)係用以說明空氣板4之搬運面40內的搬運輥50與渦流生成部44之位置關係的示意 圖。又，第3圖(A)係空氣板4之搬運面40內的渦流生成部44之形成部分的放大圖，第3圖(B)係該渦流生成部44之B-B剖視圖。
如圖所示，在渦流生成部44，係形成有：圓筒狀之凹部(以下，稱為圓筒室)441，其係在空氣板4之搬運面40側開口成圓狀作為負壓產生口；以及一個以上的渦流用壓縮氣體噴出口443，其係在圓筒室441之內周面442的圓周方向之切線方向用以將壓縮氣體A4噴出至圓筒室441之內部。渦流用壓縮氣體噴出口443，係連接於與噴出口41連接的通氣路46，而從泵浦3供應至通氣路46的壓縮氣體A3，不僅從噴出口41噴出，也從渦流用壓縮氣體噴出口443噴出。具體而言，當從泵浦3開始壓縮氣體A3之供應時，壓縮氣體A4，就從渦流用壓縮氣體噴出口443朝向圓筒室441之內周面442的圓周方向之切線方向噴出，且一邊沿著圓筒室441之內周面442的圓周方向迴旋，一邊從圓筒室441之上部的開口部444，朝向空氣板4之搬運面40上的搬運對象9之背面90流出。可利用此種氣體之流動而形成氣體之渦流B。當沿著Y軸方向而移動中的搬運對象9覆蓋圓筒室441之上部的開口部444全區域時，氣體之渦流B的中心部分(圓筒室441之軸心O2附近)，就會成為比移動中的搬運對象9上更為低壓的狀態(負壓的狀態)。因此，正通過圓筒室441之開口部444上的搬運對象9，係利用噴出至空氣板4之搬運面40與搬運對象9之背面90之間的壓縮氣體 A1，一邊維持來自搬運面40之上浮狀態，一邊以搬運對象9覆蓋了圓筒室441之上部的開口部444全區域的時序，利用藉由該氣體之渦流B的中心部分之負壓而致使的抽吸力P(參照第4圖)之產生被拉往搬運面40側。
如此的渦流生成部44，係對每一搬運輥容納口43配置各二個。此等二個渦流生成部44之圓筒室441，係隔著搬運輥50而沿著X軸方向並排，而被插入搬運輥容納口43的搬運輥50，係將旋轉軸52以朝向X軸方向之姿勢，定位於此等二個圓筒室441之間。然後，搬運輥50之旋轉軸52的軸心O1，係定位於與此等二個圓筒室441各自之軸心O2的距離之Y軸方向成分為未滿圓筒室441之半徑R的區域(從一方的圓筒室441之軸心O2朝向Y軸方向離開圓筒室441之半徑R的從上游側位置至下游側位置的X軸方向之帶狀區域C1、和從另一方的圓筒室441之軸心O2朝向Y軸方向離開圓筒室441之半徑R的從上游側位置至下游側位置的X軸方向之帶狀區域C2所重疊的區域)內。換句話說，從搬運面40上觀察的情況，搬運輥50之旋轉軸52的軸心O1，係配置於由二個圓筒室441所包夾的區域(上述二個帶狀區域C1、C2所重疊的區域)。因此，在搬運面40內，二個圓筒室441，係相對於Y軸方向而定位於搬運輥50之兩側，而搬運輥50之外周面52的頂端部53，係配置於由此等二個圓筒室441所包夾的區域(上述二個帶狀區域C1、C2所重疊的區域)內。較佳為：在如此的區域內之 二個圓筒室441，從搬運面40上觀察的情況下，係配置於各自的圓筒室441之軸心O2和通過搬運輥50之外周面51的頂端部53的X軸方向之直線(在搬運輥50之旋轉軸52並未傾斜於X軸向的情況，搬運輥50之旋轉軸52之軸心O1的延長線)60所交叉的位置。
因搬運輥50、和隔著搬運輥50而配置於搬運輥50之X軸方向之兩側的二個渦流生成部44是以上述之位置關係配置，故而搬運中的搬運對象9，係在搬運方向前方側的搬運對象9之端面91(參照第1圖：以下，稱為前端面)通過搬運輥50之旋轉軸52的軸心O1之後，會覆蓋此等二個渦流生成部44之圓筒室441之上部的開口部444全區域。因而，在搬運中的搬運對象9之前端面91通過搬運輥50之外周面51的頂端部53之後，在隔著搬運輥50而位於X軸方向之兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441內所產生的氣體之渦流B的中心部分(圓筒室441之軸心O2附近)會產生負壓。因此，如以下所示，能夠不使搬運對象9之前端面91碰撞於搬運輥50，而使搬運對象9順利地乘載於搬運輥50之外周面51的頂端部53上，且可以將搬運輥50之驅動力有效率地傳遞至搬運對象9。另外，作為隔著搬運輥50而配置於X軸方向之兩側的二個渦流生成部44，也可使用渦流之產生方向不同的二個渦流生成部44，並相對於搬運輥50而在X軸方向之一方側，配置使之產生右旋轉方向之渦流的渦流生成部44，且在另一方側，配置使之產生左旋轉方向之渦流 的渦流生成部44，藉此抵銷作用於被搬運於空氣板4之搬運面40上的搬運對象9之力矩(moment)以取得平衡。
第4圖係用以說明利用上浮式搬運裝置1而搬運的搬運對象9之上浮狀態的示意圖。另外，第4圖(A)係觀念性地顯示搬運對象9之前端部92乘載於位在搬運方向前方之下一個搬運輥50之前的狀態，第4圖(B)係觀念性地顯示搬運對象9之前端部92乘載於位在搬運方向前方之下一個搬運輥50之後的狀態。
如前述般，搬運對象9，係一邊利用來自複數個噴出口41之壓縮氣體A1的噴出從空氣板4之搬運面40上浮，一邊利用由馬達所旋轉驅動的搬運輥50當中之至少一個的外周面51和搬運對象9之背面90的接觸往Y軸方向搬運。如第4圖(A)所示，即便搬運中的搬運對象9之前端面91，到達位在搬運方向前方的下一個搬運輥50之外周面51的頂端部53上，因搬運對象9仍未覆蓋渦流生成部44之圓筒室441之上部的開口部444全區域，故而搬運對象9之前端部92，係維持從該搬運輥50之外周面51上浮的狀態。
當該搬運對象9更往搬運方向搬運時，如第4圖(B)所示，搬運對象9之前端面91，就會進入位在搬運方向前方的下一個搬運輥50之X軸方向兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441上。之後，該搬運對象9，係在其前端面91，通過搬運輥50之外周面51的頂端部53 上之後，覆蓋位在該搬運輥50之X軸方向兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441之上部的開口部444全區域。因在此等渦流生成部44之圓筒室441內，係利用壓縮氣體A4朝向其內周面442之圓周方向之切線方向的噴出而生成有氣體之渦流B，故而各自的渦流生成部44之圓筒室441的軸心O2附近(氣體之渦流B的中心部分)，係當各自的圓筒室441之上部的開口部444全區域由搬運對象9所覆蓋時就會成為負壓狀態。搬運中的搬運對象9，係當利用從噴出口41朝向搬運對象9之背面90與空氣板4之搬運面40之間的壓縮氣體A1之噴出和來自排氣口42之排出氣體A2的排氣，一邊維持來自搬運面40之上浮狀態，同時一邊覆蓋渦流生成部44之圓筒室441上部的開口部444全區域時，就會利用依藉此而在氣體之渦流B的中心部分生成之負壓所產生的抽吸力P拉往空氣板4之搬運面40側。
因而，可以使搬運中的搬運對象9之前端部92，不與空氣板4之搬運面40或位在搬運方向前方的下一個搬運輥50碰撞，而順利地乘載於搬運輥50之外周面51上。又，因能夠使搬運對象9之前端部92的背面90，以適度的壓力確實地與位在搬運方向前方的下一個搬運輥50之外周面51接觸，故而也能從位在搬運方向前方的下一個搬運輥50有效率地將其驅動力傳遞至搬運對象9。
以上，已就本發明之實施形態加以說明。
依據本實施形態之上浮式搬運裝置1，則正通 過渦流生成部44之圓筒室441之上部的搬運對象9，係一邊利用從圓筒室441朝向搬運對象9之背面90與空氣板4之搬運面40之間的壓縮氣體A1之噴出和來自排氣口42的排出氣體A2之排氣而維持來自搬運面40之上浮狀態，同時一邊在搬運對象9之前端面91通過搬運輥50之外周面51的頂端部53之後覆蓋圓筒室441之上部的開口部444。藉此，搬運對象9之背面90，就可利用依在氣體之渦流B的中心部分產生之負壓而產生的抽吸力P，被拉往搬運面40側，並能夠以適度的壓力確實地與搬運輥50之外周面51接觸。因此，可以使搬運對象9不碰撞於搬運面40或搬運輥50而順利地乘載於搬運輥50上，且防止搬運對象9之背面90與搬運輥50之外周面51的滑移(slip)，而可以有效率地將搬運輥50之驅動力傳遞至搬運對象9。
又，在搬運面40內，因僅在搬運輥50之周邊區域配置渦流生成部44之圓筒室441，且將僅具有朝向搬運對象9噴出壓縮氣體A1之作用的噴出口41配置於其他的區域，故而比在搬運面40全區域配置渦流生成部44的情況，更可以增大來自搬運面40之搬運對象9的上浮量。藉此，例如，在將複數片空氣板4並排於Y軸方向的情況下，可以防止搬運對象9，越過相鄰的空氣板4間之間隙時，碰撞到下一個空氣板4之端部。
又，因利用來自泵浦3之壓縮氣體A4來生成氣體之渦流B，以使之產生將搬運對象9拉往搬運面40 側的負壓，該泵浦3係作為用以使搬運對象9從搬運面40上浮的壓縮氣體A1之供應源，故而沒有必要另外設置用以生成此種負壓的特別裝置(例如，抽吸風扇、抽吸泵浦等)。又，供應源(泵浦3)也可用一個來完成。因此，可以降低上浮式搬運裝置1的製造成本
又，例如，在以往的上浮式搬運裝置中，欲將從搬運面40上浮的搬運對象9，在其前端面91通過搬運輥50之外周面51的頂端部53上之後拉往搬運面40側的情況下，係有必要按照搬運中的搬運對象9之位置來控制抽吸風扇的驅動時序(timing)。相對於此，依據本實施形態之上浮式搬運裝置1，因不需要此種複雜的時序控制，故而可以更降低製造成本。
另外，本發明並非被限定於上述之實施形態，能夠在其要旨之範圍內做多種的變化。
例如，在上述之實施形態中，雖然是將渦流生成部44之圓筒室441及渦流用噴出口443直接形成於空氣板4之搬運面40，但是也可藉由將具有圓筒室和朝向圓筒室之內周面之切線方向的噴嘴之渦流用尖錐(swirling flow tip)埋入空氣板4之搬運面40來形成渦流生成部44。
又，在上述之實施形態中，雖然為了支撐從搬運面40上浮的搬運對象9，且將該搬運對象9往搬運方向傳送，而使用搬運輥50，但是也可使用搬運輥50以外的滾動體。
又，在上述之實施形態中，雖然是相對於搬運輥50而在X軸方向兩側配置同樣的渦流生成部44，但是位在搬運輥50之X軸方向兩側的二個渦流生成部44，也可為具有直徑互為不同的圓筒室。又，位在搬運輥50之X軸方向兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441，雖然是從搬運輥50朝向X軸方向配置於大致等間隔的位置，但是此等的圓筒室441與搬運輥50之X軸方向的間隔也可為不同。
又，在上述之實施形態中，雖然在搬運面40內的二個圓筒室441是隔著搬運輥50而並排於X軸方向，但是只要通過各自的圓筒室441之中心的X軸方向直線間之距離為未滿圓筒室441之直徑的距離，則二個圓筒室441之位置也可朝向Y軸方向偏移。如第6圖(A)所示，位在搬運輥50之X軸方向兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441，係從搬運面40上觀察，只要配置於通過搬運輥50之外周面51的頂端部53之X軸方向的直線60(在搬運輥50之旋轉軸52並未傾斜於X軸方向的情況下，搬運輥50之旋轉軸52的軸心O1之延長線)與此等二個圓筒室441之各自的開口444交叉的位置即可。較佳為：如第6圖(B)所示，位在搬運輥50之X軸方向兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441，係配置於與搬運輥50之外周面51的頂端部53之最頂點呈點對稱關係的位置(在搬運輥50之旋轉軸52並未傾斜於X軸方向的情況下，從搬運輥50之旋轉軸52的軸心O1之延長線60起 算大致等間隔的位置)。即便是在如此的情況下，只要搬運輥50之外周面51的頂端部53是位在二個圓筒室441之開口部444於Y軸方向重疊的X軸方向之帶狀區域61內，搬運對象9，就會在通過搬運輥50之外周面51的頂端部53上之後，利用依各自之圓筒室441而生成的氣體之渦流B之中心部分的負壓被拉往搬運面40側。
又，在上述之實施形態中，雖然為了將搬運對象9拉往搬運面40側而使用利用氣體之渦流來產生負壓的渦流生成部44作為負壓生成手段，但是並不一定需要如此。例如，也可形成在搬運面40中呈開口的抽吸口作為負壓產生口，且將該抽吸口與抽吸泵浦連接，藉此使用負壓生成部作為負壓生成手段，以取代渦流生成部44，該負壓生成部係以搬運中的搬運對象9覆蓋抽吸口之開口部444全區域的時序來產生負壓，該負壓係產生使搬運對象9之背面90與搬運輥50之外周面51的頂端部53接觸的適度之抽吸力。
又，在上述之實施形態中，雖然是在每一搬運輥50配置二個渦流生成部44，但是在能利用一個渦流生成部44獲得使搬運對象9之背面90和搬運輥50之外周面51以適當的壓力接觸的充分之抽吸力P的情況下，也可省略其中任一方的渦流生成部44。在無法僅用二個渦流生成部44來獲得使搬運對象9之背面90和搬運輥50之外周面51以適當的壓力接觸的充分之抽吸力P的情況下，也可在搬運面40內的各搬運輥容納口43之周邊區 域，追加與渦流生成部44同樣的渦流生成部。例如，也可在與上述之渦流生成部44並排於Y軸方向的位置，配置與渦流生成部44同樣的渦流生成部。將在Y軸方向的渦流生成部44之兩側，配置有與上述之渦流生成部44同樣的渦流生成部44A、44B之例顯示於第5圖。
如圖所示，在搬運輥容納口43之搬運方向上游側端部431(在雙向搬運的情況為端部431、432)的位置，使一對渦流生成部44A(在雙向搬運的情況為二對渦流生成部44A、44B)隔著搬運輥容納口43而並排於X軸方向的情況下，也可在此等的渦流生成部44A(在雙向搬運的情況為二對渦流生成部44A、44B)之圓筒室441的內周面，形成隔著搬運輥容納口43而相對向的渦流用壓縮氣體噴出口443，且從此等的渦流用壓縮氣體噴出口443，朝向搬運輥容納口43側噴出壓縮氣體A4。藉此，因搬運輥容納口43之搬運方向上游區域M1(在雙相搬運的情況為區域M1、M2)成為負壓狀態，故而搬運對象9，在從該區域M1(在雙相搬運的情況為區域M1、M2)進入搬運輥容納口43上時會被拉往搬運面40側。在搬運輥容納口43之搬運方向下游側端部432的位置，一對渦流生成部44B隔著搬運輥容納口43而並排於X軸方向的情況下，也可在此等的渦流生成部44B之圓筒室441的內周面，形成隔著搬運輥容納口43而相對向的渦流用壓縮氣體噴出口443，且從此等的渦流用壓縮氣體噴出口443，朝向搬運輥容納口43側噴出壓縮氣體A4。藉此， 因搬運輥容納口43之搬運方向下游區域M2成為負壓狀態，故而搬運對象9，在通過該區域M2時會適度地被拉往搬運面40側。
又，在將搬運對象9僅往單向搬運的情況下，因使搬運對象9之背面90和搬運輥50之外周面51以適當之壓力接觸的抽吸力P只要是在比搬運輥50之外周面51的頂端部53還靠搬運方向下游(搬運對象9之移動方向側的位置)產生即可，故而渦流生成部44之圓筒室441，並沒有必要與搬運輥50之外周面51的頂端部53具有上述的位置關係，也可配置於比搬運輥50之外周面51的頂端部53還靠搬運方向下游。例如，如第7圖(A)所示，也可將相對於Y軸方向而配置於搬運輥50之兩側的二個渦流生成部44之圓筒室441，定位在比搬運輥50之外周面51的頂端部53更靠搬運方向下游。在此情況下，在能利用一個渦流生成部44來獲得使搬運對象9之背面90和搬運輥50之外周面51以適當之壓力接觸的充分之抽吸力P的情況下，也可省略其中任一方的渦流生成部44。又，渦流生成部44之圓筒室441，並不限於相對於Y軸方向而配置於搬運輥50之兩側，如第7圖(B)所示，也可以與搬運輥50並排於Y軸方向的方式，配置於比搬運輥50還靠搬運方向下游。
如此，在將渦流生成部44之圓筒室441，配置於比搬運輥50之外周面51的頂端部53更靠搬運方向側之位置的情況下，為了利用藉由渦流生成部44所生成 之負壓而致使的拉引使搬運對象9之背面90和搬運輥50之外周面51以適當的壓力接觸，渦流生成部44之圓筒室441與搬運輥50之外周面51的頂端部53之間隔，只要按照抽吸力P之大小、搬運對象9之板厚、搬運輥50之外周面51的頂端部53與搬運對象9之背面90的間隔等來決定即可。又，即便是在將搬運對象9僅往單向搬運的情況下，仍可在比搬運輥50之外周面51的頂端部53更靠搬運方向側之位置形成抽吸口，且將該抽吸口連接於抽吸泵浦，以取代渦流生成部44。
9‧‧‧搬運對象
40‧‧‧搬運面
41‧‧‧噴出口
42‧‧‧排氣口
43‧‧‧搬運輥容納口
44‧‧‧渦流生成部
46‧‧‧通氣路
47‧‧‧空氣板背面
50‧‧‧搬運輥
51‧‧‧搬運輥之外周面
52‧‧‧搬運輥之旋轉軸
53‧‧‧搬運輥之頂端部
90‧‧‧搬運對象之背面
91‧‧‧搬運對象之前端面
92‧‧‧搬運對象之前端部
441‧‧‧圓筒室
444‧‧‧圓筒室之開口部
A1、A3‧‧‧壓縮氣體
A2‧‧‧排出氣體
B‧‧‧渦流
P‧‧‧抽吸力

Claims (14)

  1. 一種上浮式搬運裝置，係使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往前述搬運方向移動；以及第一負壓產生手段，其係相對於前述搬運方向而在前述滾動體容納口之兩側，具有在前述搬運面中呈開口的負壓生成口，且利用前述負壓生成口使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓，前述滾動體之外周面，係在被包夾於：前述第一負壓產生手段在前述滾動體容納口之兩側所具有的負壓生成口之間之與前述搬運方向正交的方向的區域中，從前述搬運面最為突出。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的上浮式搬運裝置，其中，前述第一負壓生成手段，係在從前述搬運面上所觀察的情況下，使前述滾動體容納口之兩側的負壓生成口，對前述滾動體之外周面從前述搬運面最為突出之位置而言是配置於呈對稱的位置。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述的上浮式搬運裝置，其中，更具有：第二負壓產生手段，其係配置於前述滾動體容納口之搬運方向上游側或是搬運方向下游側的位置，在前述搬運面中呈開口的圓筒狀凹部內，噴出壓縮氣體並生成氣體之渦流，使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的上浮式搬運裝置，其中，前述第二負壓產生手段，係相對於前述搬運方向而配置於前述滾動體容納口之兩側，且在前述圓筒狀凹部之內部，從隔著前述滾動體容納口而相對向的位置朝向前述滾動體容納口側噴出壓縮氣體。
  5. 一種上浮式搬運裝置，係使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往前述搬運方向移動；以及第一負壓產生手段，其係具有在前述搬運面中呈開口的負壓生成口，且利用前述負壓生成口使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓， 在前述搬運面中，前述負壓生成口，係相對於前述搬運方向而配置於前述滾動體容納口之單側的區域，前述滾動體之外周面，係在與前述負壓生成口之軸心的距離之前述搬運方向成分為未滿前述負壓生成口之半徑的區域中從前述搬運面最為突出。
  6. 一種上浮式搬運裝置，係使搬運對象一邊上浮一邊往搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及用以噴出使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往前述搬運方向移動；以及第一負壓產生手段，其係具有在前述搬運面中呈開口的負壓生成口，且利用前述負壓生成口使之產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓，前述負壓生成口，係在從前述搬運面上觀察的情況下，配置於該負壓生成口之開口、和在與前述搬運方向正交的方向通過前述滾動體之外周面從前述搬運面最為突出的位置之直線所交叉的位置。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的上浮式搬運裝置，其中，前述負壓生成口，係在從前述搬運面上觀察的情況 下，配置於該負壓生成口之軸心和前述直線所交叉的位置。
  8. 如申請專利範圍第1、2、4、5、6及7項中任一項所述的上浮式搬運裝置，其中，前述第一負壓產生手段，係具有在前述搬運面中呈開口的圓筒狀凹部，作為前述負壓生成口，且在該圓筒狀凹部內，噴出壓縮氣體並生成氣體之渦流來使前述負壓產生。
  9. 如申請專利範圍第3項所述的上浮式搬運裝置，其中，前述第一負壓產生手段，係具有在前述搬運面中呈開口的圓筒狀凹部，作為前述負壓生成口，且在該圓筒狀凹部內，噴出壓縮氣體並生成氣體之渦流來使前述負壓產生。
  10. 一種上浮式搬運裝置，係使搬運對象一邊上浮一邊搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為，具有：空氣板，其係具有搬運面，該搬運面係形成有滾動體容納口、及噴出用以使前述搬運對象上浮之壓縮氣體的複數個噴出口；及滾動體，其係從前述滾動體容納口朝向前述搬運對象側將外周面從前述搬運面突出所配置，且利用來自前述噴出口之前述壓縮氣體的噴出使前述外周面一邊與從前述搬運面上浮的前述搬運對象接觸一邊旋轉，並使前述搬運對象往單向移動；以及負壓產生手段，其係用以產生將從前述搬運面上浮的前述搬運對象拉往前述搬運面側的負壓， 在前述搬運面中，前述負壓產生手段，係比前述滾動體之外周面從前述搬運面最為突出的位置，更在藉由前述滾動體而致使的前述搬運對象之移動方向側來使前述負壓產生。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的上浮式搬運裝置，其中，前述負壓產生手段，係在前述搬運面中呈開口的圓筒狀凹部內，噴出壓縮氣體並生成氣體之渦流來使前述負壓產生。
  12. 如申請專利範圍第8項所述的上浮式搬運裝置，其中，在前述空氣板之內部，係形成有通氣路，該通氣路係與前述複數個噴出口連接，可從壓縮氣體供應源供應使從該複數個噴出口噴出的壓縮氣體，前述負壓產生手段之圓筒狀凹部，係與該通氣路連接，且利用經由該通氣路而從前述壓縮氣體供應源供應的壓縮空氣來形成前述渦流。
  13. 如申請專利範圍第9項所述的上浮式搬運裝置，其中，在前述空氣板之內部，係形成有通氣路，該通氣路係與前述複數個噴出口連接，可從壓縮氣體供應源供應使從該複數個噴出口噴出的壓縮氣體，前述負壓產生手段之圓筒狀凹部，係與該通氣路連接，且利用經由該通氣路而從前述壓縮氣體供應源供應的壓縮空氣來形成前述渦流。
  14. 如申請專利範圍第11項所述的上浮式搬運裝置，其中，在前述空氣板之內部，係形成有通氣路，該通 氣路係與前述複數個噴出口連接，可從壓縮氣體供應源供應使從該複數個噴出口噴出的壓縮氣體，前述負壓產生手段之圓筒狀凹部，係與該通氣路連接，且利用經由該通氣路而從前述壓縮氣體供應源供應的壓縮空氣來形成前述渦流。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7857121B2 (en) * 2005-09-15 2010-12-28 Coreflow Scientific Solutions Ltd. System and method for enhancing conveying performance of conveyors
JP6076606B2 (ja) * 2012-02-14 2017-02-08 オイレス工業株式会社 浮上搬送装置および浮上搬送方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI575641B (zh) * 2016-06-02 2017-03-21 盟立自動化股份有限公司 溼式製程設備

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