JP2015101428A - 浮上搬送装置 - Google Patents

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Akihiko Ito
彰彦 伊藤
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Abstract

【課題】転動体の、搬送対象および搬送面との衝突を防止しつつ、転動体の駆動力を搬送対象に効率的に伝達可能な浮上搬送装置を低コストで提供する。【解決手段】噴出口４１が複数形成された搬送面４０は、搬送対象９をＹ軸方向に送る搬送ローラ５０毎に１以上の旋回流生成部４４を有する。ポンプからの圧縮気体Ａ３の供給により、噴出口４１から圧縮気体Ａ１が噴出するとともに、旋回流生成部４４の円筒室４４１内に内周面接線方向の圧縮気体Ａ４が噴出し、気体の旋回流Ｂが生成される。噴出口４１からの圧縮気体Ａ１により浮上しながら搬送され、円筒室４４１の上部に進入した搬送対象９は、その前端面９１が搬送ローラ５０の頂上部５３上を通過してから円筒室４４１上部全域を覆うと、これにより旋回流Ｂの中心部に生じる負圧で搬送面４０側に吸引される。【選択図】図４

Description

本発明は、搬送物を、搬送面から浮上させながら、搬送ローラ等の転動体の駆動力により搬送方向に搬送する浮上搬送装置に関し、特に、搬送対象の、転動体および搬送面との衝突を防止しつつ、転動体の駆動力を効率的に搬送対象に伝達可能な浮上搬送装置に関する。
基板を、搬送面から浮上させながら、搬送ローラの駆動力で搬送する装置として、例えば、特許文献１に記載の浮上搬送装置が知られている。
この浮上搬送装置の搬送面には、基板を浮上させるための圧縮気体を噴出する複数の浮上ユニットが搬送方向および搬送幅方向（搬送方向に直交する方向）に配列されている。さらに、搬送方向に並ぶ浮上ユニット列の間には、浮上ユニットからの圧縮気体の噴出により搬送面から浮上した基板を搬送方向に搬送するための複数のローラ駆動ユニットが搬送方向に沿って配列されている。
各ローラ駆動ユニットは、それぞれ、搬送方向に基板を搬送する搬送ローラと、モータと、モータの回転を搬送ローラに伝達するベルト機構と、これらを収容するユニットケースと、ユニットケース内部から空気を吸引する吸引ファンと、を有している。ユニットケースの上面には開口が形成されており、搬送ローラの外周は、この開口からユニットケースの上面より上方（基板側）に突き出して、搬送面から浮上した基板の裏面を支持する。ここで、吸引モータの作動によってユニットケース内部に負圧域が形成されると、搬送面から浮上した基板がユニットケース側に引き寄せられる。これにより基板の裏面と搬送ローラの外周面とが密着するため、モータの作動により搬送ローラが回転すると、搬送ローラの駆動力が効率的に基板に伝達し、基板は、搬送面から浮上しながら搬送方向に効率よく搬送される。
特開２０１１−１８４１９２号公報
ところが、上記従来の浮上搬送装置においては、各ローラ駆動ユニットのユニットケース内部を負圧状態にするために、ローラ駆動ユニットごとに吸引ファンを設ける必要がある。このため、その分、浮上搬送装置の製造コストが増大する。
また、搬送中の基板は、ローラ駆動ユニットのユニットケースの開口上へ進入すると、ユニットケース内の負圧域にただちに引き寄せられる。このため、例えば、吸引ファンでユニットケース内部の空気を吸引しすぎると、搬送中の基板の前端部が、搬送ローラ上に乗る前に、ユニットケース上面からの搬送ローラの突出高さよりも低い位置までユニットケース側に引き寄せられて、搬送面や搬送ローラに衝突する可能性がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その第一の目的は、搬送対象の、転動体および搬送面との衝突を防止しつつ、転動体の駆動力を効率的に搬送対象に伝達可能な浮上搬送装置を提供することにある。また、第二の目的は、このような浮上搬送装置を低コストで提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明においては、搬送対象を浮上させるための圧縮気体を噴出する噴出口が複数形成された搬送面上に負圧発生手段を配置することにより、噴出口からの圧縮気体の噴出により浮上した搬送対象の前端面が、搬送面から転動体が最も突き出した位置上を通過してから、その搬送対象を搬送面側に引き寄せる。
例えば、本発明の一態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
前記搬送方向に対して前記転動体収容口の両側に、前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を前記負圧生成口により発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記転動体の外周面は、前記負圧発生手段が前記転動体収容口の両側に有する負圧生成口の間に挟まれる、前記搬送方向と直交する方向の領域において、前記搬送面から最も突き出す。
また、本発明の他の態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を前記負圧生成口により発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記搬送面において、前記負圧生成口は、前記搬送方向に対して前記転動体収容口の片側の領域に配置され、前記転動体の外周面は、前記負圧生成口の中心軸との距離の前記搬送方向成分が前記負圧生成口の半径未満となる領域において前記搬送面から最も突き出す。
また、本発明のさらに他の態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口および前記搬送対象を浮上させるための圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を一方向に移動させる転動体と、
前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記搬送面において、前記負圧発生手段は、前記転動体の外周面が前記搬送面から最も突き出した位置よりも、前記転動体による前記搬送対象の移動方向側に配置される。
これらの浮上搬送装置において、
前記負圧発生手段は、前記負圧生成口として、前記搬送面において開口する円筒状凹部を有し、当該円筒状凹部内に、圧縮気体を噴出して気体の旋回流を生成して前記負圧を発生するものであってもよい。
例えば、前記エアプレートの内部には、前記複数の噴出口につながり、当該複数の噴出口から噴出させる圧縮気体が圧縮気体供給源から供給される通気路が形成されており、
前記円筒状凹部は、当該通気路につながり、当該通気路を介して前記圧縮気体供給源から供給される圧縮空気により前記旋回流を形成してもよい。
本発明によれば、搬送面から浮上した搬送対象は、その前端面が、搬送面から転動体が最も突き出した位置を通過してから負圧により搬送面側に引き寄せられる。このため、転動体および搬送面と搬送対象との衝突を防止しつつ、搬送対象の裏面と転動体の外周面とを適度な圧力で確実に接触させ、転動体の駆動力を効率的に搬送対象に伝達することができる。また、搬送面から浮上した搬送対象を引き寄せる負圧を生じさせる旋回流を圧縮気体の噴出により生成すれば、搬送対象を搬送面から浮上させるための圧縮気体と供給源を共通化することができる。この場合、負圧を生成するための吸引ファンや吸引ポンプ等の装置を別途設ける必要がないため、浮上搬送装置の製造コストを低減させることができる。
図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１の概略構成図である。 図２（Ａ）は、図１の搬送ローラ収容口形成部分のＡ−Ａ断面の拡大図であり、図２（Ｂ）は、搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係を説明するための図である。 図３（Ａ）は、エアプレート４の搬送面４０上における旋回流生成部４４の形成部分の拡大図であり、図３（Ｂ）は、この旋回流生成部４４のＢ−Ｂ断面図である。 図４は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１により搬送される搬送対象９の浮上状態を説明するための図である。 図５は、本発明の他の実施の形態に係るエアプレート４の搬送面４０上における旋回流生成部４４の形成部分の拡大図である。 図６（Ａ）および図６（Ｂ）は、搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係の他の例を説明するための図である。 図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、搬送対象９を一方向に搬送する場合における、搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係の例を説明するための図である。
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本実施の形態に係る浮上搬送装置１の概略構成図であり、図２（Ａ）は、図１の搬送ローラ収容口形成部分のＡ−Ａ断面の拡大図である。なお、説明の便宜上、図１および図２（Ａ）においては、搬送方向に沿ったＹ軸、鉛直方向に沿ったＺ軸、Ｚ軸およびＹ軸に垂直なＸ軸を有する座標系を定義し、他の図においても、適宜、この座標系を利用する。
図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置１は、例えば、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられる大型ガラス基板等といったシート状の搬送対象９を、例えば圧縮空気等の圧縮気体Ａ１（図４参照）の噴出により搬送面４０から浮上させながら、Ｙ軸方向の一方向または両方向に搬送する搬送ライン２と、搬送対象９を浮上させるための圧縮空気Ａ１を搬送ライン２に供給するポンプ３と、有している。
搬送ライン２は、ＸＹ面内に配置される搬送面４０を有するエアプレート４、エアプレート４の搬送面４０から浮上した搬送対象９をＹ軸方向（一方向または両方向）に搬送する複数の搬送ローラ５０等により構成されているローラ搬送機構５等、により構築されている。図１には、１枚のエアプレート４を用いた場合を例示しているが、搬送対象９の搬送距離に応じた枚数のエアプレート４をＹ軸方向に沿って一列に並べ、このようなエアプレート４の列を、搬送対象９のＸ軸方向の幅Ｗに応じて複数列、Ｘ軸方向に配列してもよい。
エアプレート４の内部には、ポンプ３の給気ホース３０が連結される給気口（不図示）につながる通気路４６が形成されており、エアプレート４の搬送面４０全域には、この通気路４６につながり、通気路４６を通って供給される圧縮空気Ａ３を搬送対象９に向けて噴出する複数の噴出口４１と、搬送対象９の裏面９０と搬送面４０との間に介在する圧縮空気Ａ１をエアプレート４の搬送面４０側から裏面（搬送面４０の反対側の面）４７側に排気する排気口４２と、が所定のレイアウトで形成されている（図４参照）。図１においては、簡略化のため、一部の噴出口４１および一部の排気口４２にのみ符号を付してある。
ポンプ３から圧縮気体Ａ３の供給を開始すると、この圧縮気体Ａ３は、給気口および通気路４６を介して噴出口４１から、エアプレート４の搬送面４０上の搬送対象９の裏面（搬送面４０に対向する面）９０に向かう圧縮気体Ａ１として噴出し、搬送面４０と搬送対象９の裏面９０との間を通過して排気口４２から排出気体Ａ２として排出される（図４参照）。これにより、搬送対象９の裏面９０と搬送面４０との間に圧縮気体層が形成され、搬送対象９が搬送面４０から浮上する。なお、噴出口４１の絞りの形式は特に限定されず、自成絞り、オリフィス絞り等であってもよいし、多孔質絞りであってもよい。
また、エアプレート４の搬送面４０には、ローラ搬送機構５の搬送ローラ５０が挿入される搬送ローラ収容口４３として、Ｙ軸方向に沿ったスロット状の貫通穴４３が複数形成されている。エアプレート４の搬送面４０内のＹ軸方向の帯状領域（例えば、搬送面４０のＹ軸方向中心線よりも、搬送面４０のＹ軸方向の各辺４５側の領域）において、これらの搬送ローラ収容口４３は、搬送対象９のＹ軸方向幅Ｌよりも狭い距離おきに、Ｙ軸方向に沿って列状に並べられている。
ローラ搬送機構５は、Ｘ軸方向に沿って配置された回転軸５２を有する複数の搬送ローラ５０と、搬送ローラ５０の回転軸５２を回転可能に保持する不図示の回転軸支持部材と、搬送ローラ５０を回転させる不図示のモータと、を有し、エアプレート４の裏面４７側に設置されている。搬送ローラ５０は、エアプレート４の裏面４７側から搬送ローラ収容口４３に１つずつ挿入され、搬送ローラ５０の外周面５１が、エアプレート４の搬送面４０から、搬送対象９の浮上量に応じた所定の距離ＤだけＺ軸方向に突き出している。搬送ローラ５０の外周面５１は、エアプレート４の搬送面４０からＺ軸方向に最も突き出た位置（搬送ローラ５０の外周面５１の周方向の接線がＹ軸方向に向く位置：以下、頂上部と呼ぶ）５３で、噴出口４１からの圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気とにより搬送面４０から浮上した搬送対象９の裏面９０に接触するように配置されている。モータが作動すると、搬送ローラ５０は、搬送面４０から浮上した搬送対象９の裏面９０を搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３で支持しながらＸ軸周りに回転し、この搬送対象９をＹ軸方向に沿って移動させる。
ここで、噴出口４１から圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気では、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１との間に、所望する圧力が生じない可能性がある。そこで、エアプレート４の搬送面４０には、搬送ローラ収容口４３ごとに、その周辺に２つずつ、搬送ローラ収容口４３内の搬送ローラ５０と所定の位置関係で配置された以下の旋回流生成部４４が形成されている。
図２（Ｂ）は、エアプレート４の搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係を説明するための図である。また、図３（Ａ）は、エアプレート４の搬送面４０内における旋回流生成部４４の形成部分の拡大図であり、図３（Ｂ）は、この旋回流生成部４４のＢ−Ｂ断面図である。
図示するように、旋回流生成部４４には、負圧発生口としてエアプレート４の搬送面４０側に円状に開口する円筒状の凹部（以下、円筒室と呼ぶ）４４１と、円筒室４４１の内部にその内周面４４２の周方向の接線方向に圧縮気体Ａ４を噴出する１つ以上の旋回流用圧縮気体噴出口４４３と、が形成されている。旋回流用圧縮気体噴出口４４３は、噴出口４１につながる通気路４６につながっており、ポンプ３から通気路４６に供給される圧縮気体Ａ３は、噴出口４１だけでなく、旋回流用圧縮気体噴出口４４３からも噴出する。具体的には、ポンプ３から圧縮気体Ａ３の供給を開始すると、圧縮気体Ａ４が、旋回流用圧縮気体噴出口４４３から円筒室４４１の内周面４４２の周方向の接線方向に噴出し、円筒室４４１の内周面４４２の周方向に沿って旋回しながら、円筒室４４１の上部の開口部４４４から、エアプレート４の搬送面４０上の搬送対象９の裏面９０に向かって流れ出る。このような気体の流れにより気体の旋回流Ｂが形成される。Ｙ軸方向に沿って移動中の搬送対象９が円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆うと、気体の旋回流Ｂの中心部分（円筒室４４１の中心軸Ｏ２付近）が、移動中の搬送対象９上よりも低圧の状態（負圧の状態）となる。このため、円筒室４４１の開口部４４４上を通過中の搬送対象９は、エアプレート４の搬送面４０と搬送対象９の裏面９０との間に噴出する圧縮気体Ａ１により、搬送面４０からの浮上状態を維持しながら、搬送対象９が円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆ったタイミングで、この気体の旋回流Ｂの中心部分の負圧による吸引力Ｐ（図４参照）の発生により搬送面４０側に引き寄せられる。
このような旋回流生成部４４は、搬送ローラ収容口４３ごとに２つずつ配置されている。これら２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向に沿って並んでおり、搬送ローラ収容口４３に挿入された搬送ローラ５０は、回転軸５２をＸ軸方向に向けた姿勢で、これら２つの円筒室４４１の間に位置付けられている。そして、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１は、これら２つの円筒室４４１それぞれの中心軸Ｏ２との距離のＹ軸方向成分が円筒室４４１の半径Ｒ未満となる領域（一方の円筒室４４１の中心軸Ｏ２からＹ軸方向に円筒室４４１の半径Ｒ離れた上流側位置から下流側位置までのＸ軸方向の帯状領域Ｃ１と、他方の円筒室４４１の中心軸Ｏ２からＹ軸方向に円筒室４４１の半径Ｒ離れた上流側位置から下流側位置までのＸ軸方向の帯状領域Ｃ２とが重なる領域）内に位置付けられている。つまり、搬送面４０上から見た場合、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１は、２つの円筒室４４１に挟まれる領域（上記２つの帯状領域Ｃ１、Ｃ２が重なる領域）に配置されている。このため、搬送面４０内において、２つの円筒室４４１は、Ｙ軸方向に対して搬送ローラ５０の両側に位置付けられており、搬送ローラ５０の外周面５２の頂上部５３は、これら２つの円筒室４４１に挟まれる領域（上記２つの帯状領域Ｃ１、Ｃ２が重なる領域）内に配置されている。好ましくは、このような領域内において２つの円筒室４４１は、搬送面４０上から見た場合に、それぞれの円筒室４４１の軸心Ｏ２と搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過するＸ軸方向の直線（搬送ローラ５０の回転軸５２がＸ軸方向に対して傾斜していない場合には、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１の延長線）６０とが交差する位置に配置されている。
搬送ローラ５０と、搬送ローラ５０を挟んで搬送ローラ５０のＸ軸方向の両側に配置された２つの旋回流生成部４４とが上述の位置関係で配置されているため、搬送中の搬送対象９は、搬送方向前方側の搬送対象９の端面９１（図１参照：以下、前端面）が搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１を通過してから、これら２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆う。したがって、搬送中の搬送対象９の前端面９１が搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過した後に、搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向の両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１内に生成される気体の旋回流Ｂの中心部分（円筒室４４１の中心軸Ｏ２付近）に負圧が発生する。このため、以下に示すように、搬送対象９の前端面９１を搬送ローラ５０に衝突させずに、搬送対象９を搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上にスムーズに乗せることが可能となり、搬送ローラ５０の駆動力を効率的に搬送対象９に伝達することができる。なお、搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向の両側に配置される２つの旋回流生成部４４として、旋回流の発生方向が異なる２つの旋回流生成部４４を用いて、搬送ローラ５０に対してＸ軸方向の一方側に、右回り方向の旋回流を発生させる旋回流生成部４４を配置し、他方側に、左回り方向の旋回流を発生させる旋回流生成部４４を配置することにより、エアプレート４の搬送面４０上を搬送される搬送対象９に作用するモーメントを打ち消すようにしてバランスを取ってもよい。
図４は、浮上搬送装置１により搬送される搬送対象９の浮上状態を説明するための図である。なお、図４（Ａ）は、搬送対象９の前端部９２が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０に乗る前の状態を観念的に示しており、図４（Ｂ）は、搬送対象９の前端部９２が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０に乗った状態を観念的に示している。
前述したように、搬送対象９は、複数の噴出口４１からの圧縮気体Ａ１の噴出によりエアプレート４の搬送面４０から浮上しながら、モータで回転駆動された搬送ローラ５０のうちの少なくとも１つの外周面５１と搬送対象９の裏面９０との接触によりＹ軸方向に搬送されている。図４（Ａ）に示すように、搬送中の搬送対象９の前端面９１が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上に到達しても、搬送対象９が旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆っていないため、搬送対象９の前端部９２は、この搬送ローラ５０の外周面５１から浮き上がった状態を維持する。
この搬送対象９が搬送方向にさらに搬送されると、図４（Ｂ）に示すように、搬送対象９の前端面９１が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１上に進入する。その後、この搬送対象９は、その前端面９１が、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上を通過してから、この搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆う。これらの旋回流生成部４４の円筒室４４１内には、その内周面４４２の周方向の接線方向への圧縮気体Ａ４の噴出により気体の旋回流Ｂが生成されているため、それぞれの旋回流生成部４４の円筒室４４１の中心軸Ｏ２付近（気体の旋回流Ｂの中心部分）は、それぞれの円筒室４４１の上部の開口部４４４全域が搬送対象９で覆われると負圧状態となる。搬送中の搬送対象９は、噴出口４１から搬送対象９の裏面９０とエアプレート４の搬送面４０との間への圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気とにより、搬送面４０からの浮上状態を維持しつつ、旋回流生成部４４の円筒室４４１上部の開口部４４４全域を覆うと、これにより気体の旋回流Ｂの中心部分に生じた負圧により発生した吸引力Ｐによりエアプレート４の搬送面４０側に引き寄せられる。したがって、搬送中の搬送対象９の前端部９２を、エアプレート４の搬送面４０や搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０と衝突させずに、搬送ローラ５０の外周面５１上にスムーズに乗せることができる。そして、搬送対象９の前端部９２の裏面９０を、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０の外周面５１に適度な圧力で確実に接触させることが可能となるため、搬送対象９には、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０からもその駆動力が効率的に伝達される。
以上、本発明の実施の形態について説明した。
本実施の形態に係る浮上搬送装置１によれば、旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部を通過中の搬送対象９は、円筒室４４１から搬送対象９の裏面９０とエアプレート４の搬送面４０との間への圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気とによって搬送面４０からの浮上状態を維持しつつ、搬送対象９の前端面９１が搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過した後に円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆うこととなる。これにより、気体の旋回流Ｂの中心部分に生じる負圧により発生する吸引力Ｐで搬送対象９の裏面４７が、搬送面４０側に引き寄せられて、搬送ローラ５０の外周面５１に適度な圧力で確実に接触することが可能となる。このため、搬送対象９を搬送面４０や搬送ローラ５０に衝突させずに搬送ローラ５０上にスムーズに乗せることができ、かつ、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とのスリップを防止して、搬送ローラ５０の駆動力を搬送対象９に効率的に伝達することができる。
また、搬送面４０内には、搬送ローラ５０の周辺領域にのみ旋回流生成部４４の円筒室４４１を配置し、搬送対象９に向けて圧縮気体Ａ１を噴出する作用のみを有する噴出口４１をその他の領域に配置しているため、搬送面４０全域に旋回流生成部４４を配置した場合よりも、搬送面４０からの搬送対象９の浮上量を大きくすることができる。これにより、例えば、複数枚のエアプレート４をＹ軸方向に並べた場合に、搬送対象９が、隣り合うエアプレート４間の隙間を乗り越える際に、つぎのエアプレート４の端部に衝突するのを防止することができる。
また、搬送対象９０を搬送面４０から浮上させるための圧縮気体Ａ１の供給源であるポンプ３からの圧縮気体Ａ４により気体の旋回流Ｂを生成して、搬送対象９を搬送面４０側に引き寄せる負圧を発生させるため、このような負圧を生成するための特別な装置（例えば、吸引ファン、吸引ポンプ等）を別途設ける必要がない。また、供給源（ポンプ３）も一つで済む。このため、浮上搬送装置１の製造コストを低減させることができる。
また、例えば、従来の浮上搬送装置において、搬送面４０から浮上している搬送対象９を、その前端面９１が搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上を通過してから搬送面４０側に引き寄せようとする場合には、搬送中の搬送対象９の位置に応じて吸引ファンの駆動タイミングを制御する必要がある。これに対して、本実施の形態に係る浮上搬送装置１によれば、このような複雑なタイミング制御を必要としないため、製造コストをさらに低減させることができる。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、旋回流生成部４４の円筒室４４１および旋回流用噴出口４４３をエアプレート４の搬送面４０に直接形成しているが、円筒室と円筒室の内周面の接線方向に向けられたノズルとを有する旋回流チップをエアプレート４の搬送面４０に埋め込むことによって旋回流生成部４４を形成してもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送面４０から浮上した搬送対象９を支持し、これを搬送方向に送るために、搬送ローラ５０を用いているが、搬送ローラ５０以外の転動体を用いてもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送ローラ５０に対してＸ軸方向両側に同様な旋回流生成部４４、４４Ａ、４４Ｂを配置しているが、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４は、互いに径の異なる円筒室を有するものであってもよい。また、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０からＸ軸方向にほぼ等間隔の位置に配置されているが、図６（Ａ）に示すように、これらの円筒室４４１と搬送ローラ５０とのＸ軸方向の間隔Ｔ１、Ｔ２が異なっていてもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送面４０内において２つの円筒室４４１が搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向に並んでいるが、それぞれの円筒室４４１の中心Ｏ２を通るＸ軸方向直線間の距離が円筒室４４１の直径未満の距離であれば、２つの円筒室４４１の位置がＹ軸方向にずれていてもよい。図６（Ａ）に示すように、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送面４０上から見て、これら２つの円筒室４４１のそれぞれの開口４４４に、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過するＸ軸方向の直線６０（搬送ローラ５０の回転軸５２がＸ軸方向に対して傾斜していない場合には、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１の延長線）が交差する位置に配置されていればよい。好ましくは、図６（Ｂ）に示すように、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３の最頂点に関して点対称な位置（搬送ローラ５０の回転軸５２がＸ軸方向に対して傾斜していない場合には、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１の延長線６０からほぼ等間隔の位置）に配置される。このような場合であっても、２つの円筒室４４１の開口部４４４がＹ軸方向において重なるＸ軸方向の帯状領域６１内に搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３が位置していれば、搬送対象９は、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上を通過してから、それぞれの円筒室４４１により生成される気体の旋回流Ｂの中心部分の負圧によって搬送面４０側に引き寄せられる。
また、上記の実施の形態においては、搬送対象９を搬送面４０側に引き寄せるために気体の旋回流により負圧を発生させる旋回流生成部４４を負圧生成手段として用いているが、必ずしも、このようにする必要はない。例えば、搬送面４０において開口する吸引口を負圧発生口として形成し、この吸引口を吸引ポンプにつなぐことにより、旋回流生成部４４に代えて、搬送中の搬送対象９が吸引口の開口部４４４全域を覆ったタイミングで搬送対象９の裏面９０を搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３に接触させる適度な吸引力を生じる負圧を発生する負圧生成部を負圧生成手段として用いてもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送ローラ５０ごとに２つの旋回流生成部４４を配置しているが、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる十分な吸引力Ｐが１つの旋回流生成部４４で得られる場合には、いずれか一方の旋回流生成部４４を省略してもよい。搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる十分な吸引力Ｐが２つの旋回流生成部４４だけでは得られない場合には、旋回流生成部４４と同様な旋回流生成部を、搬送面４０内の各搬送ローラ収容口４３の周辺領域に追加してもよい。例えば、上述の旋回流生成部４４とＹ軸方向に並ぶ位置に、旋回流生成部４４と同様な旋回流生成部を配置してもよい。Ｙ軸方向における旋回流生成部４４の両側に、上述の旋回流生成部４４と同様な旋回流生成部４４Ａ、４４Ｂを配置した例を図５に示す。
図示するように、搬送ローラ収容口４３の搬送方向上流側端部４３１（双方向搬送の場合には端部４３１、４３２）の位置において、一対の旋回流生成部４４Ａ（双方向搬送の場合には二対の旋回流生成部４４Ａ、４４Ｂ）が搬送ローラ収容口４３を挟んでＸ軸方向に並んでいる場合には、これらの旋回流生成部４４Ａ（双方向搬送の場合には二対の旋回流生成部４４Ａ、４４Ｂ）の円筒室４４１の内周面に、搬送ローラ収容口４３を挟んで向かい合う旋回流用圧縮気体噴出口４４３を形成し、これらの旋回流用圧縮気体噴出口４４３から、搬送ローラ収容口４３側に向けて圧縮気体Ａ４を噴出するようにしてもよい。これにより、搬送ローラ収容口４３の搬送方向上流領域Ｍ１（双方向搬送の場合には領域Ｍ１、Ｍ２）が負圧状態となるため、搬送対象９は、この領域Ｍ１（双方向搬送の場合には領域Ｍ１、Ｍ２）から搬送ローラ収容口４３上に進入する際に搬送面４０側に引き寄せられる。搬送ローラ収容口４３の搬送方向下流側端部４３２の位置において、一対の旋回流生成部４４Ｂが搬送ローラ収容口４３を挟んでＸ軸方向に並んでいる場合には、これらの旋回流生成部４４Ｂの円筒室４４１の内周面に、搬送ローラ収容口４３を挟んで向かい合う旋回流用圧縮気体噴出口４４３を形成し、これらの旋回流用圧縮気体噴出口４４３から、搬送ローラ収容口４３側に向けて圧縮気体Ａ４を噴出するようにしてもよい。これにより、搬送ローラ収容口４３の搬送方向下流領域Ｍ２が負圧状態となるため、搬送対象９は、この領域Ｍ２を通過する際に搬送面４０側に適度に引き寄せられる。
また、搬送対象９を一方向にのみ搬送する場合には、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる吸引力Ｐが搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３より搬送方向下流（搬送対象９の移動方向側の位置）で生じればよいため、旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３と上述の位置関係を有する必要はなく、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３より搬送方向下流に配置されていてもよい。例えば、図７（Ａ）に示すように、Ｙ軸方向に対して搬送ローラ５０の両側に配置される２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１を、ローラ５０の外周面５１の頂上部５３よりも搬送方向下流に位置付けてもよい。この場合において、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる十分な吸引力Ｐが１つの旋回流生成部４４で得られる場合には、いずれか一方の旋回流生成部４４を省略してもよい。または、旋回流生成部４４の円筒室４４１は、Ｙ軸方向に対して搬送ローラ５０の両側に限らず、図７（Ｂ）に示すように、搬送ローラ５０とＹ軸方向に並ぶように、搬送ローラ５０より搬送方向下流に配置されてもよい。
このように、旋回流生成部４４の円筒室４４１を、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３よりも搬送方向側の位置に配置する場合、旋回流生成部４４が生成する負圧による引き寄せで搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とが適当な圧力で接触するように、旋回流生成部４４の円筒室４４１と搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３との間隔は、吸引力Ｐの大きさ、搬送対象９の板厚、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３と搬送対象９の裏面９０との間隔等に応じて定めればよい。また、搬送対象９を一方向にのみ搬送する場合においても、旋回流生成部４４に代えて、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３よりも搬送方向側の位置に吸引口を形成し、この吸引口を吸引ポンプにつないでもよい。
１：浮上搬送装置、 ２：搬送ライン、 ３：ポンプ、 ４：エアプレート、 ５：ローラ搬送機構、 ９：搬送対象、 ４０：搬送面、 ４１：噴出口、 ４２：排気口、 ４３：搬送ローラ収容口、 ４４、４４Ａ、４４Ｂ：旋回流生成部、 ４５：搬送面のＹ軸方向の辺、 ４６：通気路、 ４７：エアプレート裏面、 ５０：搬送ローラ、 ５１：搬送ローラの外周面、 ５２：搬送ローラの回転軸、 ５３：搬送ローラの頂上部、 ９０：搬送対象の裏面、 ９１：搬送対象の前端面、 ９２：搬送対象の前端部、 ４４１：円筒室、 ４４２：円筒室の内周面、 ４４３：旋回流用圧縮気体噴出口、４４４：円筒室の開口部
本発明は、搬送物を、搬送面から浮上させながら、搬送ローラ等の転動体の駆動力により搬送方向に搬送する浮上搬送装置に関し、特に、搬送対象の、転動体および搬送面との衝突を防止しつつ、転動体の駆動力を効率的に搬送対象に伝達可能な浮上搬送装置に関する。
基板を、搬送面から浮上させながら、搬送ローラの駆動力で搬送する装置として、例えば、特許文献１に記載の浮上搬送装置が知られている。
この浮上搬送装置の搬送面には、基板を浮上させるための圧縮気体を噴出する複数の浮上ユニットが搬送方向および搬送幅方向（搬送方向に直交する方向）に配列されている。さらに、搬送方向に並ぶ浮上ユニット列の間には、浮上ユニットからの圧縮気体の噴出により搬送面から浮上した基板を搬送方向に搬送するための複数のローラ駆動ユニットが搬送方向に沿って配列されている。
各ローラ駆動ユニットは、それぞれ、搬送方向に基板を搬送する搬送ローラと、モータと、モータの回転を搬送ローラに伝達するベルト機構と、これらを収容するユニットケースと、ユニットケース内部から空気を吸引する吸引ファンと、を有している。ユニットケースの上面には開口が形成されており、搬送ローラの外周は、この開口からユニットケースの上面より上方（基板側）に突き出して、搬送面から浮上した基板の裏面を支持する。ここで、吸引モータの作動によってユニットケース内部に負圧域が形成されると、搬送面から浮上した基板がユニットケース側に引き寄せられる。これにより基板の裏面と搬送ローラの外周面とが密着するため、モータの作動により搬送ローラが回転すると、搬送ローラの駆動力が効率的に基板に伝達し、基板は、搬送面から浮上しながら搬送方向に効率よく搬送される。
特開２０１１−１８４１９２号公報
ところが、上記従来の浮上搬送装置においては、各ローラ駆動ユニットのユニットケース内部を負圧状態にするために、ローラ駆動ユニットごとに吸引ファンを設ける必要がある。このため、その分、浮上搬送装置の製造コストが増大する。
また、搬送中の基板は、ローラ駆動ユニットのユニットケースの開口上へ進入すると、ユニットケース内の負圧域にただちに引き寄せられる。このため、例えば、吸引ファンでユニットケース内部の空気を吸引しすぎると、搬送中の基板の前端部が、搬送ローラ上に乗る前に、ユニットケース上面からの搬送ローラの突出高さよりも低い位置までユニットケース側に引き寄せられて、搬送面や搬送ローラに衝突する可能性がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その第一の目的は、搬送対象の、転動体および搬送面との衝突を防止しつつ、転動体の駆動力を効率的に搬送対象に伝達可能な浮上搬送装置を提供することにある。また、第二の目的は、このような浮上搬送装置を低コストで提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明においては、搬送対象を浮上させるための圧縮気体を噴出する噴出口が複数形成された搬送面上に負圧発生手段を配置することにより、噴出口からの圧縮気体の噴出により浮上した搬送対象の前端面が、搬送面から転動体が最も突き出した位置上を通過してから、その搬送対象を搬送面側に引き寄せる。
例えば、本発明の一態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
前記搬送方向に対して前記転動体収容口の両側に、前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を前記負圧生成口により発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記転動体の外周面は、前記負圧発生手段が前記転動体収容口の両側に有する負圧生成口の間に挟まれる、前記搬送方向と直交する方向の領域において、前記搬送面から最も突き出す。
また、本発明の他の態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を前記負圧生成口により発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記搬送面において、前記負圧生成口は、前記搬送方向に対して前記転動体収容口の片側の領域に配置され、前記転動体の外周面は、前記負圧生成口の軸心との距離の前記搬送方向成分が前記負圧生成口の半径未満となる領域において前記搬送面から最も突き出す。
また、本発明のさらに他の態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を前記負圧生成口により発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記負圧生成口は、
前記搬送面上から見た場合に、当該負圧生成口の開口と、前記転動体の外周面が前記搬送面から最も突き出した位置を、前記搬送方向と直交する方向に通過する直線とが交差する位置に配置される。
また、本発明のさらに他の態様は、
搬送対象を浮上させながら搬送する浮上搬送装置であって、
転動体収容口および前記搬送対象を浮上させるための圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を一方向に移動させる転動体と、
前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を発生させる負圧発生手段と、を有し、
前記搬送面において、前記負圧発生手段は、前記転動体の外周面が前記搬送面から最も突き出した位置よりも、前記転動体による前記搬送対象の移動方向側に配置される。
これらの浮上搬送装置において、
前記負圧発生手段は、前記負圧生成口として、前記搬送面において開口する円筒状凹部を有し、当該円筒状凹部内に、圧縮気体を噴出して気体の旋回流を生成して前記負圧を発生するものであってもよい。
例えば、前記エアプレートの内部には、前記複数の噴出口につながり、当該複数の噴出口から噴出させる圧縮気体が圧縮気体供給源から供給される通気路が形成されており、
前記円筒状凹部は、当該通気路につながり、当該通気路を介して前記圧縮気体供給源から供給される圧縮空気により前記旋回流を形成してもよい。
本発明によれば、搬送面から浮上した搬送対象は、その前端面が、搬送面から転動体が最も突き出した位置を通過してから負圧により搬送面側に引き寄せられる。このため、転動体および搬送面と搬送対象との衝突を防止しつつ、搬送対象の裏面と転動体の外周面とを適度な圧力で確実に接触させ、転動体の駆動力を効率的に搬送対象に伝達することができる。また、搬送面から浮上した搬送対象を引き寄せる負圧を生じさせる旋回流を圧縮気体の噴出により生成すれば、搬送対象を搬送面から浮上させるための圧縮気体と供給源を共通化することができる。この場合、負圧を生成するための吸引ファンや吸引ポンプ等の装置を別途設ける必要がないため、浮上搬送装置の製造コストを低減させることができる。
図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１の概略構成図である。 図２（Ａ）は、図１の搬送ローラ収容口形成部分のＡ−Ａ断面の拡大図であり、図２（Ｂ）は、搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係を説明するための図である。 図３（Ａ）は、エアプレート４の搬送面４０上における旋回流生成部４４の形成部分の拡大図であり、図３（Ｂ）は、この旋回流生成部４４のＢ−Ｂ断面図である。 図４は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１により搬送される搬送対象９の浮上状態を説明するための図である。 図５は、本発明の他の実施の形態に係るエアプレート４の搬送面４０上における旋回流生成部４４の形成部分の拡大図である。 図６（Ａ）および図６（Ｂ）は、搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係の他の例を説明するための図である。 図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、搬送対象９を一方向に搬送する場合における、搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係の例を説明するための図である。
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本実施の形態に係る浮上搬送装置１の概略構成図であり、図２（Ａ）は、図１の搬送ローラ収容口形成部分のＡ−Ａ断面の拡大図である。なお、説明の便宜上、図１および図２（Ａ）においては、搬送方向に沿ったＹ軸、鉛直方向に沿ったＺ軸、Ｚ軸およびＹ軸に垂直なＸ軸を有する座標系を定義し、他の図においても、適宜、この座標系を利用する。
図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置１は、例えば、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられる大型ガラス基板等といったシート状の搬送対象９を、例えば圧縮空気等の圧縮気体Ａ１（図４参照）の噴出により搬送面４０から浮上させながら、Ｙ軸方向の一方向または両方向に搬送する搬送ライン２と、搬送対象９を浮上させるための圧縮空気Ａ１を搬送ライン２に供給するポンプ３と、有している。
搬送ライン２は、ＸＹ面内に配置される搬送面４０を有するエアプレート４、エアプレート４の搬送面４０から浮上した搬送対象９をＹ軸方向（一方向または両方向）に搬送する複数の搬送ローラ５０等により構成されているローラ搬送機構５等、により構築されている。図１には、１枚のエアプレート４を用いた場合を例示しているが、搬送対象９の搬送距離に応じた枚数のエアプレート４をＹ軸方向に沿って一列に並べ、このようなエアプレート４の列を、搬送対象９のＸ軸方向の幅Ｗに応じて複数列、Ｘ軸方向に配列してもよい。
エアプレート４の内部には、ポンプ３の給気ホース３０が連結される給気口（不図示）につながる通気路４６が形成されており、エアプレート４の搬送面４０全域には、この通気路４６につながり、通気路４６を通って供給される圧縮空気Ａ３を搬送対象９に向けて噴出する複数の噴出口４１と、搬送対象９の裏面９０と搬送面４０との間に介在する圧縮空気Ａ１をエアプレート４の搬送面４０側から裏面（搬送面４０の反対側の面）４７側に排気する排気口４２と、が所定のレイアウトで形成されている（図４参照）。図１においては、簡略化のため、一部の噴出口４１および一部の排気口４２にのみ符号を付してある。
ポンプ３から圧縮気体Ａ３の供給を開始すると、この圧縮気体Ａ３は、給気口および通気路４６を介して噴出口４１から、エアプレート４の搬送面４０上の搬送対象９の裏面（搬送面４０に対向する面）９０に向かう圧縮気体Ａ１として噴出し、搬送面４０と搬送対象９の裏面９０との間を通過して排気口４２から排出気体Ａ２として排出される（図４参照）。これにより、搬送対象９の裏面９０と搬送面４０との間に圧縮気体層が形成され、搬送対象９が搬送面４０から浮上する。なお、噴出口４１の絞りの形式は特に限定されず、自成絞り、オリフィス絞り等であってもよいし、多孔質絞りであってもよい。
また、エアプレート４の搬送面４０には、ローラ搬送機構５の搬送ローラ５０が挿入される搬送ローラ収容口４３として、Ｙ軸方向に沿ったスロット状の貫通穴４３が複数形成されている。エアプレート４の搬送面４０内のＹ軸方向の帯状領域（例えば、搬送面４０のＹ軸方向中心線よりも、搬送面４０のＹ軸方向の各辺４５側の領域）において、これらの搬送ローラ収容口４３は、搬送対象９のＹ軸方向幅Ｌよりも狭い距離おきに、Ｙ軸方向に沿って列状に並べられている。
ローラ搬送機構５は、Ｘ軸方向に沿って配置された回転軸５２を有する複数の搬送ローラ５０と、搬送ローラ５０の回転軸５２を回転可能に保持する不図示の回転軸支持部材と、搬送ローラ５０を回転させる不図示のモータと、を有し、エアプレート４の裏面４７側に設置されている。搬送ローラ５０は、エアプレート４の裏面４７側から搬送ローラ収容口４３に１つずつ挿入され、搬送ローラ５０の外周面５１が、エアプレート４の搬送面４０から、搬送対象９の浮上量に応じた所定の距離ＤだけＺ軸方向に突き出している。搬送ローラ５０の外周面５１は、エアプレート４の搬送面４０からＺ軸方向に最も突き出た位置（搬送ローラ５０の外周面５１の周方向の接線がＹ軸方向に向く位置：以下、頂上部と呼ぶ）５３で、噴出口４１からの圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気とにより搬送面４０から浮上した搬送対象９の裏面９０に接触するように配置されている。モータが作動すると、搬送ローラ５０は、搬送面４０から浮上した搬送対象９の裏面９０を搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３で支持しながらＸ軸周りに回転し、この搬送対象９をＹ軸方向に沿って移動させる。
ここで、噴出口４１からの圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気では、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１との間に、所望する圧力が生じない可能性がある。そこで、エアプレート４の搬送面４０には、搬送ローラ収容口４３ごとに、その周辺に２つずつ、搬送ローラ収容口４３内の搬送ローラ５０と所定の位置関係で配置された以下の旋回流生成部４４が形成されている。
図２（Ｂ）は、エアプレート４の搬送面４０内における搬送ローラ５０と旋回流生成部４４との位置関係を説明するための図である。また、図３（Ａ）は、エアプレート４の搬送面４０内における旋回流生成部４４の形成部分の拡大図であり、図３（Ｂ）は、この旋回流生成部４４のＢ−Ｂ断面図である。
図示するように、旋回流生成部４４には、負圧発生口としてエアプレート４の搬送面４０側に円状に開口する円筒状の凹部（以下、円筒室と呼ぶ）４４１と、円筒室４４１の内部にその内周面４４２の周方向の接線方向に圧縮気体Ａ４を噴出する１つ以上の旋回流用圧縮気体噴出口４４３と、が形成されている。旋回流用圧縮気体噴出口４４３は、噴出口４１につながる通気路４６につながっており、ポンプ３から通気路４６に供給される圧縮気体Ａ３は、噴出口４１だけでなく、旋回流用圧縮気体噴出口４４３からも噴出する。具体的には、ポンプ３から圧縮気体Ａ３の供給を開始すると、圧縮気体Ａ４が、旋回流用圧縮気体噴出口４４３から円筒室４４１の内周面４４２の周方向の接線方向に噴出し、円筒室４４１の内周面４４２の周方向に沿って旋回しながら、円筒室４４１の上部の開口部４４４から、エアプレート４の搬送面４０上の搬送対象９の裏面９０に向かって流れ出る。このような気体の流れにより気体の旋回流Ｂが形成される。Ｙ軸方向に沿って移動中の搬送対象９が円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆うと、気体の旋回流Ｂの中心部分（円筒室４４１の軸心Ｏ２付近）が、移動中の搬送対象９上よりも低圧の状態（負圧の状態）となる。このため、円筒室４４１の開口部４４４上を通過中の搬送対象９は、エアプレート４の搬送面４０と搬送対象９の裏面９０との間に噴出する圧縮気体Ａ１により、搬送面４０からの浮上状態を維持しながら、搬送対象９が円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆ったタイミングで、この気体の旋回流Ｂの中心部分の負圧による吸引力Ｐ（図４参照）の発生により搬送面４０側に引き寄せられる。
このような旋回流生成部４４は、搬送ローラ収容口４３ごとに２つずつ配置されている。これら２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向に沿って並んでおり、搬送ローラ収容口４３に挿入された搬送ローラ５０は、回転軸５２をＸ軸方向に向けた姿勢で、これら２つの円筒室４４１の間に位置付けられている。そして、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１は、これら２つの円筒室４４１それぞれの軸心Ｏ２との距離のＹ軸方向成分が円筒室４４１の半径Ｒ未満となる領域（一方の円筒室４４１の軸心Ｏ２からＹ軸方向に円筒室４４１の半径Ｒ離れた上流側位置から下流側位置までのＸ軸方向の帯状領域Ｃ１と、他方の円筒室４４１の軸心Ｏ２からＹ軸方向に円筒室４４１の半径Ｒ離れた上流側位置から下流側位置までのＸ軸方向の帯状領域Ｃ２とが重なる領域）内に位置付けられている。つまり、搬送面４０上から見た場合、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１は、２つの円筒室４４１に挟まれる領域（上記２つの帯状領域Ｃ１、Ｃ２が重なる領域）に配置されている。このため、搬送面４０内において、２つの円筒室４４１は、Ｙ軸方向に対して搬送ローラ５０の両側に位置付けられており、搬送ローラ５０の外周面５２の頂上部５３は、これら２つの円筒室４４１に挟まれる領域（上記２つの帯状領域Ｃ１、Ｃ２が重なる領域）内に配置されている。好ましくは、このような領域内において２つの円筒室４４１は、搬送面４０上から見た場合に、それぞれの円筒室４４１の軸心Ｏ２と搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過するＸ軸方向の直線（搬送ローラ５０の回転軸５２がＸ軸方向に対して傾斜していない場合には、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１の延長線）６０とが交差する位置に配置されている。
搬送ローラ５０と、搬送ローラ５０を挟んで搬送ローラ５０のＸ軸方向の両側に配置された２つの旋回流生成部４４とが上述の位置関係で配置されているため、搬送中の搬送対象９は、搬送方向前方側の搬送対象９の端面９１（図１参照：以下、前端面）が搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１を通過してから、これら２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆う。したがって、搬送中の搬送対象９の前端面９１が搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過した後に、搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向の両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１内に生成される気体の旋回流Ｂの中心部分（円筒室４４１の軸心Ｏ２付近）に負圧が発生する。このため、以下に示すように、搬送対象９の前端面９１を搬送ローラ５０に衝突させずに、搬送対象９を搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上にスムーズに乗せることが可能となり、搬送ローラ５０の駆動力を効率的に搬送対象９に伝達することができる。なお、搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向の両側に配置される２つの旋回流生成部４４として、旋回流の発生方向が異なる２つの旋回流生成部４４を用いて、搬送ローラ５０に対してＸ軸方向の一方側に、右回り方向の旋回流を発生させる旋回流生成部４４を配置し、他方側に、左回り方向の旋回流を発生させる旋回流生成部４４を配置することにより、エアプレート４の搬送面４０上を搬送される搬送対象９に作用するモーメントを打ち消すようにしてバランスを取ってもよい。
図４は、浮上搬送装置１により搬送される搬送対象９の浮上状態を説明するための図である。なお、図４（Ａ）は、搬送対象９の前端部９２が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０に乗る前の状態を観念的に示しており、図４（Ｂ）は、搬送対象９の前端部９２が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０に乗った状態を観念的に示している。
前述したように、搬送対象９は、複数の噴出口４１からの圧縮気体Ａ１の噴出によりエアプレート４の搬送面４０から浮上しながら、モータで回転駆動された搬送ローラ５０のうちの少なくとも１つの外周面５１と搬送対象９の裏面９０との接触によりＹ軸方向に搬送されている。図４（Ａ）に示すように、搬送中の搬送対象９の前端面９１が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上に到達しても、搬送対象９が旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆っていないため、搬送対象９の前端部９２は、この搬送ローラ５０の外周面５１から浮き上がった状態を維持する。
この搬送対象９が搬送方向にさらに搬送されると、図４（Ｂ）に示すように、搬送対象９の前端面９１が、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１上に進入する。その後、この搬送対象９は、その前端面９１が、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上を通過してから、この搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆う。これらの旋回流生成部４４の円筒室４４１内には、その内周面４４２の周方向の接線方向への圧縮気体Ａ４の噴出により気体の旋回流Ｂが生成されているため、それぞれの旋回流生成部４４の円筒室４４１の軸心Ｏ２付近（気体の旋回流Ｂの中心部分）は、それぞれの円筒室４４１の上部の開口部４４４全域が搬送対象９で覆われると負圧状態となる。搬送中の搬送対象９は、噴出口４１から搬送対象９の裏面９０とエアプレート４の搬送面４０との間への圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気とにより、搬送面４０からの浮上状態を維持しつつ、旋回流生成部４４の円筒室４４１上部の開口部４４４全域を覆うと、これにより気体の旋回流Ｂの中心部分に生じた負圧により発生した吸引力Ｐによりエアプレート４の搬送面４０側に引き寄せられる。
したがって、搬送中の搬送対象９の前端部９２を、エアプレート４の搬送面４０や搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０と衝突させずに、搬送ローラ５０の外周面５１上にスムーズに乗せることができる。また、搬送対象９の前端部９２の裏面９０を、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０の外周面５１に適度な圧力で確実に接触させることが可能となるため、搬送対象９には、搬送方向前方にあるつぎの搬送ローラ５０からもその駆動力が効率的に伝達される。
以上、本発明の実施の形態について説明した。
本実施の形態に係る浮上搬送装置１によれば、旋回流生成部４４の円筒室４４１の上部を通過中の搬送対象９は、円筒室４４１から搬送対象９の裏面９０とエアプレート４の搬送面４０との間への圧縮気体Ａ１の噴出と排気口４２からの排気気体Ａ２の排気とによって搬送面４０からの浮上状態を維持しつつ、搬送対象９の前端面９１が搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過した後に円筒室４４１の上部の開口部４４４全域を覆うこととなる。これにより、気体の旋回流Ｂの中心部分に生じる負圧により発生する吸引力Ｐで搬送対象９の裏面９０が、搬送面４０側に引き寄せられて、搬送ローラ５０の外周面５１に適度な圧力で確実に接触することが可能となる。このため、搬送対象９を搬送面４０や搬送ローラ５０に衝突させずに搬送ローラ５０上にスムーズに乗せることができ、かつ、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とのスリップを防止して、搬送ローラ５０の駆動力を搬送対象９に効率的に伝達することができる。
また、搬送面４０内には、搬送ローラ５０の周辺領域にのみ旋回流生成部４４の円筒室４４１を配置し、搬送対象９に向けて圧縮気体Ａ１を噴出する作用のみを有する噴出口４１をその他の領域に配置しているため、搬送面４０全域に旋回流生成部４４を配置した場合よりも、搬送面４０からの搬送対象９の浮上量を大きくすることができる。これにより、例えば、複数枚のエアプレート４をＹ軸方向に並べた場合に、搬送対象９が、隣り合うエアプレート４間の隙間を乗り越える際に、つぎのエアプレート４の端部に衝突するのを防止することができる。
また、搬送対象９０を搬送面４０から浮上させるための圧縮気体Ａ１の供給源であるポンプ３からの圧縮気体Ａ４により気体の旋回流Ｂを生成して、搬送対象９を搬送面４０側に引き寄せる負圧を発生させるため、このような負圧を生成するための特別な装置（例えば、吸引ファン、吸引ポンプ等）を別途設ける必要がない。また、供給源（ポンプ３）も一つで済む。このため、浮上搬送装置１の製造コストを低減させることができる。
また、例えば、従来の浮上搬送装置において、搬送面４０から浮上している搬送対象９を、その前端面９１が搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上を通過してから搬送面４０側に引き寄せようとする場合には、搬送中の搬送対象９の位置に応じて吸引ファンの駆動タイミングを制御する必要がある。これに対して、本実施の形態に係る浮上搬送装置１によれば、このような複雑なタイミング制御を必要としないため、製造コストをさらに低減させることができる。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、旋回流生成部４４の円筒室４４１および旋回流用噴出口４４３をエアプレート４の搬送面４０に直接形成しているが、円筒室と円筒室の内周面の接線方向に向けられたノズルとを有する旋回流チップをエアプレート４の搬送面４０に埋め込むことによって旋回流生成部４４を形成してもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送面４０から浮上した搬送対象９を支持し、これを搬送方向に送るために、搬送ローラ５０を用いているが、搬送ローラ５０以外の転動体を用いてもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送ローラ５０に対してＸ軸方向両側に同様な旋回流生成部４４を配置しているが、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４は、互いに径の異なる円筒室を有するものであってもよい。また、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０からＸ軸方向にほぼ等間隔の位置に配置されているが、これらの円筒室４４１と搬送ローラ５０とのＸ軸方向の間隔が異なっていてもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送面４０内において２つの円筒室４４１が搬送ローラ５０を挟んでＸ軸方向に並んでいるが、それぞれの円筒室４４１の中心を通るＸ軸方向直線間の距離が円筒室４４１の直径未満の距離であれば、２つの円筒室４４１の位置がＹ軸方向にずれていてもよい。図６（Ａ）に示すように、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送面４０上から見て、これら２つの円筒室４４１のそれぞれの開口４４４に、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３を通過するＸ軸方向の直線６０（搬送ローラ５０の回転軸５２がＸ軸方向に対して傾斜していない場合には、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１の延長線）が交差する位置に配置されていればよい。好ましくは、図６（Ｂ）に示すように、搬送ローラ５０のＸ軸方向両側に位置する２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３の最頂点に関して点対称な位置（搬送ローラ５０の回転軸５２がＸ軸方向に対して傾斜していない場合には、搬送ローラ５０の回転軸５２の軸心Ｏ１の延長線６０からほぼ等間隔の位置）に配置される。このような場合であっても、２つの円筒室４４１の開口部４４４がＹ軸方向において重なるＸ軸方向の帯状領域６１内に搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３が位置していれば、搬送対象９は、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３上を通過してから、それぞれの円筒室４４１により生成される気体の旋回流Ｂの中心部分の負圧によって搬送面４０側に引き寄せられる。
また、上記の実施の形態においては、搬送対象９を搬送面４０側に引き寄せるために気体の旋回流により負圧を発生させる旋回流生成部４４を負圧生成手段として用いているが、必ずしも、このようにする必要はない。例えば、搬送面４０において開口する吸引口を負圧発生口として形成し、この吸引口を吸引ポンプにつなぐことにより、旋回流生成部４４に代えて、搬送中の搬送対象９が吸引口の開口部４４４全域を覆ったタイミングで搬送対象９の裏面９０を搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３に接触させる適度な吸引力を生じる負圧を発生する負圧生成部を負圧生成手段として用いてもよい。
また、上記の実施の形態においては、搬送ローラ５０ごとに２つの旋回流生成部４４を配置しているが、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる十分な吸引力Ｐが１つの旋回流生成部４４で得られる場合には、いずれか一方の旋回流生成部４４を省略してもよい。搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる十分な吸引力Ｐが２つの旋回流生成部４４だけでは得られない場合には、旋回流生成部４４と同様な旋回流生成部を、搬送面４０内の各搬送ローラ収容口４３の周辺領域に追加してもよい。例えば、上述の旋回流生成部４４とＹ軸方向に並ぶ位置に、旋回流生成部４４と同様な旋回流生成部を配置してもよい。Ｙ軸方向における旋回流生成部４４の両側に、上述の旋回流生成部４４と同様な旋回流生成部４４Ａ、４４Ｂを配置した例を図５に示す。
図示するように、搬送ローラ収容口４３の搬送方向上流側端部４３１（双方向搬送の場合には端部４３１、４３２）の位置において、一対の旋回流生成部４４Ａ（双方向搬送の場合には二対の旋回流生成部４４Ａ、４４Ｂ）が搬送ローラ収容口４３を挟んでＸ軸方向に並んでいる場合には、これらの旋回流生成部４４Ａ（双方向搬送の場合には二対の旋回流生成部４４Ａ、４４Ｂ）の円筒室４４１の内周面に、搬送ローラ収容口４３を挟んで向かい合う旋回流用圧縮気体噴出口４４３を形成し、これらの旋回流用圧縮気体噴出口４４３から、搬送ローラ収容口４３側に向けて圧縮気体Ａ４を噴出するようにしてもよい。これにより、搬送ローラ収容口４３の搬送方向上流領域Ｍ１（双方向搬送の場合には領域Ｍ１、Ｍ２）が負圧状態となるため、搬送対象９は、この領域Ｍ１（双方向搬送の場合には領域Ｍ１、Ｍ２）から搬送ローラ収容口４３上に進入する際に搬送面４０側に引き寄せられる。搬送ローラ収容口４３の搬送方向下流側端部４３２の位置において、一対の旋回流生成部４４Ｂが搬送ローラ収容口４３を挟んでＸ軸方向に並んでいる場合には、これらの旋回流生成部４４Ｂの円筒室４４１の内周面に、搬送ローラ収容口４３を挟んで向かい合う旋回流用圧縮気体噴出口４４３を形成し、これらの旋回流用圧縮気体噴出口４４３から、搬送ローラ収容口４３側に向けて圧縮気体Ａ４を噴出するようにしてもよい。これにより、搬送ローラ収容口４３の搬送方向下流領域Ｍ２が負圧状態となるため、搬送対象９は、この領域Ｍ２を通過する際に搬送面４０側に適度に引き寄せられる。
また、搬送対象９を一方向にのみ搬送する場合には、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる吸引力Ｐが搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３より搬送方向下流（搬送対象９の移動方向側の位置）で生じればよいため、旋回流生成部４４の円筒室４４１は、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３と上述の位置関係を有する必要はなく、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３より搬送方向下流に配置されていてもよい。例えば、図７（Ａ）に示すように、Ｙ軸方向に対して搬送ローラ５０の両側に配置される２つの旋回流生成部４４の円筒室４４１を、ローラ５０の外周面５１の頂上部５３よりも搬送方向下流に位置付けてもよい。この場合において、搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とを適当な圧力で接触させる十分な吸引力Ｐが１つの旋回流生成部４４で得られる場合には、いずれか一方の旋回流生成部４４を省略してもよい。または、旋回流生成部４４の円筒室４４１は、Ｙ軸方向に対して搬送ローラ５０の両側に限らず、図７（Ｂ）に示すように、搬送ローラ５０とＹ軸方向に並ぶように、搬送ローラ５０より搬送方向下流に配置されてもよい。
このように、旋回流生成部４４の円筒室４４１を、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３よりも搬送方向側の位置に配置する場合、旋回流生成部４４が生成する負圧による引き寄せで搬送対象９の裏面９０と搬送ローラ５０の外周面５１とが適当な圧力で接触するように、旋回流生成部４４の円筒室４４１と搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３との間隔は、吸引力Ｐの大きさ、搬送対象９の板厚、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３と搬送対象９の裏面９０との間隔等に応じて定めればよい。また、搬送対象９を一方向にのみ搬送する場合においても、旋回流生成部４４に代えて、搬送ローラ５０の外周面５１の頂上部５３よりも搬送方向側の位置に吸引口を形成し、この吸引口を吸引ポンプにつないでもよい。
１：浮上搬送装置、 ２：搬送ライン、 ３：ポンプ、 ４：エアプレート、 ５：ローラ搬送機構、 ９：搬送対象、 ４０：搬送面、 ４１：噴出口、 ４２：排気口、 ４３：搬送ローラ収容口、 ４４、４４Ａ、４４Ｂ：旋回流生成部、 ４５：搬送面のＹ軸方向の辺、 ４６：通気路、 ４７：エアプレート裏面、 ５０：搬送ローラ、 ５１：搬送ローラの外周面、 ５２：搬送ローラの回転軸、 ５３：搬送ローラの頂上部、 ９０：搬送対象の裏面、 ９１：搬送対象の前端面、 ９２：搬送対象の前端部、 ４４１：円筒室、 ４４２：円筒室の内周面、 ４４３：旋回流用圧縮気体噴出口、４４４：円筒室の開口部

Claims (11)

  1. 搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
    転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
    前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
    前記搬送方向に対して前記転動体収容口の両側に、前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を、前記負圧生成口により発生させる第一の負圧発生手段と、を有し、
    前記転動体の外周面は、前記第一の負圧発生手段が前記転動体収容口の両側に有する負圧生成口の間に挟まれる、前記搬送方向と直交する方向の領域において、前記搬送面から最も突き出す
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  2. 請求項１記載の浮上搬送装置であって、
    前記第一の負圧生成手段は、
    前記転動体収容口の両側の負圧生成口が、前記転動体の外周面が前記搬送面から最も突き出した位置に関して対称な位置に配置される
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  3. 請求項１または２に記載の浮上搬送装置であって、
    前記転動体収容口の搬送方向上流側あるいは搬送方向下流側の位置に配置され、前記搬送面において開口する円筒状凹部内に、圧縮気体を噴出して気体の旋回流を生成し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を発生させる第二の負圧発生手段をさらに有する
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  4. 請求項３に記載の浮上搬送装置であって、
    前記第二の負圧発生手段は、
    前記搬送方向に対して前記転動体収容口の両側に配置され、前記円筒状凹部の内部において、前記転動体収容口を挟んで向かい合う位置から前記転動体収容口側に向けて圧縮気体を噴出する
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  5. 搬送対象を浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
    転動体収容口、および前記搬送対象を浮上させる圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
    前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を前記搬送方向に移動させる転動体と、
    前記搬送面において開口する負圧生成口を有し、前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を記負圧生成口により発生させる第一の負圧発生手段と、を有し、
    前記搬送面において、前記負圧生成口は、前記搬送方向に対して前記転動体収容口の片側の領域に配置され、前記転動体の外周面は、前記負圧生成口の軸心との距離の前記搬送方向成分が前記負圧生成口の半径未満となる領域において前記搬送面から最も突き出す
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  6. 請求項５記載の浮上搬送装置であって、
    前記負圧生成口は、
    前記搬送面上から見た場合に、当該負圧生成口の開口と、前記転動体の外周面が前記搬送面から最も突き出した位置を、前記搬送方向と直交する方向に通過する直線とが交差する位置に配置される
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  7. 請求項６に記載の浮上搬送装置であって、
    前記負圧生成口は、
    前記搬送面上から見た場合に、当該負圧生成口の軸心と前記直線とが交差する位置に配置される
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  8. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の浮上搬送装置であって、
    前記第一の負圧発生手段は、前記負圧生成口として、前記搬送面において開口する円筒状凹部を有し、当該円筒状凹部内に、圧縮気体を噴出して気体の旋回流を生成して前記負圧を発生する
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  9. 搬送対象を浮上させながら搬送する浮上搬送装置であって、
    転動体収容口および前記搬送対象を浮上させるための圧縮気体を噴出する複数の噴出口が形成された搬送面を有するエアプレートと、
    前記転動体収容口から前記搬送対象側に前記搬送面より外周面を突き出して配置され、前記噴出口からの前記圧縮気体の噴出により前記搬送面から浮上した前記搬送対象に前記外周面を接触させながら回転して、前記搬送対象を一方向に移動させる転動体と、
    前記搬送面から浮上した前記搬送対象を前記搬送面側に引き寄せる負圧を発生させる負圧発生手段と、を有し、
    前記搬送面において、前記負圧発生手段は、前記転動体の外周面が前記搬送面から最も突き出した位置よりも、前記転動体による前記搬送対象の移動方向側において前記負圧を発生させる
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  10. 請求項９に記載の浮上搬送装置であって、
    前記負圧発生手段は、
    前記搬送面において開口する円筒状凹部内に、圧縮気体を噴出して気体の旋回流を生成して前記負圧を発生させる
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
  11. 請求項８または１０に記載の浮上搬送装置であって、
    前記エアプレートの内部には、前記複数の噴出口につながり、当該複数の噴出口から噴出させる圧縮気体が圧縮気体供給源から供給される通気路が形成され、
    前記負圧発生手段の円筒状凹部は、当該通気路につながり、当該通気路を介して前記圧縮気体供給源から供給される圧縮空気により前記旋回流を形成する
    ことを特徴とする浮上搬送装置。
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