TW201823129A - 滾輪總成及其段差輪以及採用滾輪總成的基板傳輸方法 - Google Patents

Abstract

一種用於傳輸基板的滾輪總成包括一段差輪、一第一傳輸輪及一第二傳輸輪。段差輪包括一主輪、一氣浮滾筒以及兩邊緣輪。氣浮滾筒套設在主輪上，且氣浮滾筒包括多個吹氣孔及多個吸氣孔。兩邊緣輪設置在主輪上，且兩邊緣輪分別位在氣浮滾筒的相對兩端。第一傳輸輪及第二傳輸輪設置在段差輪的相對兩側邊，基板經由段差輪而自第一傳輸輪傳輸至第二傳輸輪。也提供一採用滾輪總成的基板傳輸方法。

Description

滾輪總成及其段差輪以及採用滾輪總成的基板傳輸方法

本揭露是有關於一種滾輪總成、段差輪以及採用滾輪總成之段差輪的基板傳輸方法。

在現有滾輪總成的卷對卷製造過程中，當基板或薄膜在不同滾輪間傳輸時，基板或薄膜上可能形成有圖案。為防止基板或薄膜上的圖案在傳輸過程中遭到破壞，現今採取的手段是將基板或薄膜透過一種段差輪進行傳輸，以避免圖案直接碰觸滾輪。藉由段差輪而使圖案不接觸滾輪，基板或薄膜上的圖案於傳輸過程中不會被破壞。

然而，因圖案形成在基板或薄膜的中間區域，習知的段差輪並未支撐該中間區域以避免造成破壞。於基板或薄膜經由段差輪傳輸的過程中，由彎力矩所產生的應力作用在基板或薄膜上。因基板或薄膜的中間區域未受到支撐，在應力的作用下可能使基板或薄膜產生皺摺或遭到破壞。如基板或薄膜遭到破壞，該基板或薄膜將無法正常地傳輸。另外，基板或薄膜上的圖案也可能遭到破壞。

本揭露一實施例的滾輪總成用於傳輸基板。此滾輪總成包括一段差輪、一第一傳輸輪以及一第二傳輸。段差輪包括一主輪、一氣浮滾筒及兩邊緣輪。氣浮滾筒套設在主輪上，且氣浮滾筒包括多個吹氣孔及多個吸氣孔。兩邊緣輪設置在主輪上，且兩邊緣輪分別位在氣浮滾筒的相對兩端。第一傳輸輪及第二傳輸輪設置在段差輪的相對兩側邊，基板經由段差輪而自第一傳輸輪傳輸至第二傳輸輪。

本揭露一實施例的段差輪用於傳輸基板。此段差輪包括一主輪、一氣浮滾筒及兩邊緣輪。氣浮滾筒套設在主輪上，且氣浮滾筒包括多個吹氣孔及多個吸氣孔。兩邊緣輪設置在主輪上，且兩邊緣輪分別位在氣浮滾筒的相對兩端。

本揭露一實施例的段差輪用於傳輸基板。此段差輪包括一主輪及兩邊緣輪。多個吹氣孔及多個吸氣孔排列在主輪上。兩邊緣輪設置在主輪上，且兩邊緣輪位在氣浮滾筒的相對兩端。

本揭露提供一實施例的採用滾輪總成的基板傳輸方法。基板經由段差輪徑向地傳輸。空氣經由套設於段差輪的主輪上的氣浮滾筒的多個吹氣孔而噴氣至主輪與基板之間。位在基板及主輪間的空氣被套設在主輪上之氣浮滾筒的多個吸氣孔抽離。基板的邊緣處受到兩邊緣輪的支撐。

為讓本揭露的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉數個實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是本揭露一實施例的滾輪總成的立體圖。圖2是圖1的滾輪總成的側視圖。在本實施例中，滾輪總成100包括一第一傳輸輪110、一第二傳輸輪120及一段差輪130。滾輪總成100適用於卷對卷製程。第一傳輸輪110及第二傳輸輪120分別設置在段差輪130的相對兩側。具有圖案142的一基板140經由段差輪130自第一傳輸輪110傳輸至第二傳輸輪120。在其它實施例中，被傳輸的基板140不須包括圖案142。本揭露的基板140或捲筒可為任何適用於卷對卷製程的材質，如紙張、玻璃、聚對苯二甲酸乙二酯（PET）、聚醯亞胺（PI）或聚氨酯（PU）等。 圖案142為依據使用者需求而形成在基板140上的任何圖案。圖案142的材質可為半導體材料、金屬、有機材料或是任何適當的材料。圖案142可為印刷或沉積在基板140上，然而，本揭露未加以限制，且圖案142可能以任何適當的方法形成在基板140上。在本實施例中，已顯示出多個圖案142。然而，本揭露未加以限制。圖案142的數量可依據使用者的需求而決定及調整。

在本實施例中，當基板140自第一傳輸輪110傳輸至第二傳輸輪120時，具有圖案142的一面140a背向第一傳輸輪110及第二傳輸輪120。此說明， 面140a上的圖案142未接觸第一傳輸輪110及第二傳輸輪120。因此，當基板140於第一傳輸輪110及第二傳輸輪120上滾動時，圖案142不會遭受損壞。另外，具有圖案142的面140a面向段差輪130。具體參閱圖1所示，段差輪130包括兩邊緣輪132及一主輪134。兩邊緣輪132設置在主輪134上。當基板140透過段差輪130傳輸時，基板140的具有圖案142的面140a與兩邊緣輪132接觸，因兩邊緣輪132分別支撐基板140的兩側邊，使圖案142未接觸兩邊緣輪132或主輪134。如此，基板140在段差輪130上傳輸時圖案142不會遭受損壞。當基板140在段差輪130上傳輸時，兩邊緣輪132與主輪134同時轉動。兩邊緣輪132固設在主輪134上，兩邊緣輪132透過焊接、黏著、緊扣或其它合適的方法固設在主輪134上，以使兩邊緣輪132與主輪134同時轉動。在其他實施例中，兩邊緣輪132與主輪134可一體成形。

圖3為圖1的段差輪的立體圖。圖4為圖3的段差輪的局部放大圖。如圖3及圖4所示，在本實施例中，段差輪130包括兩邊緣輪132、主輪134及一氣浮滾筒136。氣浮滾筒136套設在主輪134上，且兩邊緣輪132位在氣浮滾筒136的相對兩端。氣浮滾筒136包括多個吹氣孔136a及多個吸氣孔136b。另外，氣浮滾筒136大約位在主輪134的中間區域，且氣浮滾筒136的長度小於兩邊緣輪132間的距離。此說明，氣浮滾筒136未完全覆蓋位於兩邊緣輪132間的主輪134區段。

本實施例中，空氣由多個吹氣孔136a吹出且被多個吸氣孔136b抽取。參閱圖4所示，多個吹氣孔136a及多個吸氣孔136b分別在交替的數個列上排列，數個列為沿著氣浮滾筒136的圓周方向。此說明，多個吹氣孔136b及多個吸氣孔136a並非位在氣浮滾筒136沿圓周方向的同一列中。沿氣浮滾筒136的長度方向(y方向)，多個吹氣孔136a及多個吸氣孔136b交替排列。當基板140於段差輪130上傳輸時，多個吹氣孔136a及多個吸氣孔136b面向基板140。由於氣浮滾筒136鄰近主輪134的中間區域，因此空氣經由多個吹氣孔136a吹出，以提供基板140額外且鄰近中間區域的支撐點。此說明，自多個吹氣孔136a吹出的空氣推動基板140朝相反於基板140上之彎力矩的方向移動(彎力矩的方向如圖1至圖3的BM所標注)。如此，當基板140在段差輪130上傳輸時，可減輕作用在基板140的應力，且能避免基板140產生皺摺或損壞。

圖5為圖3的段差輪的仰視圖。如圖3及圖5所示，一支架150進一步連接段差輪130以支撐氣浮滾筒136。支架150連接主輪134的軸支撐件134a的兩端，且支架150沿著主輪134的長度方向延伸。軸支撐件134a未隨著邊緣輪132與主輪134轉動。因此，支架150未轉動且為固定狀態，以便支撐氣浮滾筒136。由於氣浮滾筒136受到支架150的支撐及固定，氣浮滾筒136未固接在主輪134上而未隨著主輪134轉動。換言之，氣浮滾筒136與主輪134分離且不隨著主輪134轉動。如此，多個吹氣孔136a及多個吸氣孔136b不會移動且皆朝向在段差輪130上傳輸的基板140。然而，本揭露未加以限制。在其他實施例中，支架150連接至滾輪總成100的任何固定部分。換言之，支架150可連接至滾輪總成100中的第一傳輸輪110、第二傳輸輪120、段差輪130或其他任何適合連接支架150的元件，以固定支架150。

進一步參考圖5，在本實施中，支架150具有一連接部152。連接部152用以連接一空氣供應裝置170(示於圖7A與圖7B)及一抽氣系統160(示於圖7A與圖7B)。空氣供應裝置170及抽氣系統160可為任意本技術領域中已知的符合使用者需求的機器或系統。也就是，空氣供應裝置170供應氣體（吹氣），抽氣系統160吸氣。具體而言，連接部152包括多個供給孔152a (152a1, 152a2, 152a3)及多個抽取孔152b (152b1, 152b2, 152b3, 152b4)。在本實施例中，顯示有三個供給孔152a及四個抽取孔152b。然而，供給孔152a及抽取孔152b的數量可依據使用者的需求而調整。多個供給孔152a透過任意合適的方法連接空氣供應裝置170。例如，多個供給孔152a透過氣閥、管路、輸送管或是上述元件的組合而連接空氣供應裝置170。同樣地，多個抽取孔152b透過氣閥、管路、輸送管或是上述元件的組合而連接抽氣系統160。多個供給孔152a連接多個吹氣孔136a，如此使空氣供給裝置的空氣流入多個供給孔152a並由多個吹氣孔136a流出。此外，多個抽取孔152b連接多個吸氣孔136b，如此使空氣從多個吸氣孔136b被吸入並經由多個抽取孔152b進入抽氣系統160中。

在本實施例中，自吹氣孔136a吹出的空氣之氣壓及流速受到空氣供應裝置170搭配抽氣系統160的控制。吸入吸氣孔136b的空氣流速受到抽氣系統160搭配空氣供應裝置170的控制。此說明，空氣供應裝置170與抽氣系統160被控制，以使多個吹氣孔136a吹出足以支撐基板140的空氣量，以避免基板140因彎力矩生成的應力而產生皺摺。另外，控制多個吹氣孔136a所吹出的空氣壓力，因此吹氣不會損壞基板140上的圖案142。在本實施例中，控制自多個吸氣孔136b吸入的空氣流速，使基板140於傳輸過程仍受到足夠空氣的支撐但不會喪失傳輸過程的穩定性。具體而言，基板140接觸兩邊緣輪132且於傳輸過程中覆蓋段差輪130約一半的區域。兩邊緣輪132間的空間被基板140覆蓋。因此，如果空氣持續由多個吹氣孔136a吹出，而吹出的空氣沒有明確的出口，則基板140會產生懸浮現象且在某些情形下將失去基板140的傳輸穩定性。當失去傳輸穩定性，基板140於傳輸過程中可能非預期地改變位置或者難以控制。因此，當空氣由多個吹氣孔136a吹出時，多個吸氣孔136b吸取空氣。如此，空氣有地方可流出，使整個循環系統擁有較佳的穩定性。透過控制空氣進出的流速，使基板140在段差輪130的傳輸與支撐保有穩定性。

圖6為圖3的氣浮滾筒的側視圖。參考圖6所示，圖6顯示氣浮滾筒136的一弧長138及此弧長138的一角度138a。具體而言，多個吹氣孔136a與多個吸氣孔136b沿著氣浮滾筒136之外周緣的弧長138區域設置。在本實施例中，弧長區域138的角度138a實質上等於或小於180度。具體而言，弧長區域138的角度138a例如等於160度。然而，本揭露未加以限制，弧長區域138的角度138a可依據使用者的需求而調整。

圖7A是依照本揭露圖3一實施例的段差輪的前視圖。如圖7A所示，氣浮滾筒136到主輪134間的一最大高度H1小於兩邊緣輪132到主輪134間的一最大高度H2。此說明，兩邊緣輪132的位置高於氣浮滾筒136的位置。如此，當基板140於段差輪130上傳輸時，兩邊緣輪132支撐基板140。由於兩邊緣輪132高於氣浮滾筒136，基板140不會碰觸氣浮滾筒136。此說明，當基板140在段差輪130上傳輸時，氣浮滾筒136與基板140之間具有一間隙。因為基板140未碰觸氣浮滾筒136，基板140上的圖案142也未碰觸氣浮滾筒136，此能避免基板140的圖案142於段差輪130上傳輸時遭到損壞。

進一步而言，依據圖7A所示的實施例，供給孔152a1、 152a2、152a3連接空氣供應裝置170。具體而言，供給孔152a1、 152a3連接位於空氣供應裝置170上的同一管路，因此供給孔152a1、152a3具有相同的空氣供給流速。如此，排列的吹氣孔136a分別連接具有相同供給流速的供給孔152a1、152a3。供給孔152a2透過分隔於供給孔152a1、152a3的不同管路而連接空氣供應裝置170。如此，供給孔152a2的空氣供給流速獨立於供給孔152a1、153 a3的空氣供給流速。如此，連接供給孔152a2之吹氣孔136a的吹氣流速獨立於連接供給孔152a1、152a3之吹氣孔136a的吹氣流速。即使，供給孔152a2與供給孔152a1、152a3為相互獨立地連接空氣供應裝置170，供給孔152a2的空氣供給流速可為相同或不同於供給孔152a1、152a3的空氣供給流速。

此外，依據本實施例，抽取孔152b1、152b2、152b3、152b4連接抽氣系統160。 具體而言，抽取孔152b1、152b4連接位於抽氣系統160上的同一管路，因此抽取孔152b1、152b4具有相同空氣抽取流速。如此，排列的吸氣孔136b分別連接具有相同抽取流速的抽取孔152b1、152b4。抽取孔152b2、152b3連接位於抽氣系統160上的同一管路，因此抽取孔152b2、152b3具有相同空氣抽取流速。如此，排列的吸氣孔136b分別連接具有相同抽取流速的抽取孔152b2、152b3。連接抽取孔152b2、152b3至抽氣系統160的管路獨立於連接抽取孔152b1、152b4至抽氣系統160的管路。如此，抽取孔152b1、152b4的空氣抽取流速獨立於抽取孔152b2、152b3的空氣抽取流速。即使，抽取孔152b2、152b3與抽取孔152b1、152b為相互獨立地連接抽氣系統160，抽取孔152b2、152b3的空氣抽取流速可為相同或不同於抽取孔152b1、152b4的空氣抽取流速。

圖7B是依照本揭露圖3另一實施例的段差輪的前視圖。圖7B所示的實施例類似於圖7A的實施例，且同樣的敘述不再重覆。 本實施例的不同處在於，抽取孔152b1、152b2、152b3、152b4透過同一管路連接抽氣系統160，因此抽取孔152b1、152b2、152b3、152b4皆具有相同的空氣抽取流速。此外，供給孔152a1、 152a2、152a3透過同一管路連接空氣供應裝置170，因此供給孔152a1、152a2、152a3皆具有相同的空氣供給流速。然而，本揭露的連接手段並非限制於圖7A與圖7B所示。各個抽取孔152b與各個供給孔152a可透過任何適當的連接手段而連接至空氣供應裝置170與抽氣系筒160。

圖8為本揭露另一實施例的段差輪的立體圖。參考圖8所示，圖8所示的本實施例類似於圖3的實施例。在本實施例中，相近的元件將使用相同的元件標號且同樣的敘述不再重覆。另外，圖8中的段差輪230可適用於圖1的滾輪總成100中。本實施例的不同處在於段差輪230包括多個氣浮滾筒136，多個氣浮滾筒136遍佈設置在兩邊緣輪132間的整段長度區域上。此說明，基板140位於兩邊緣輪132間的長度區域進一步受到支撐。在本實施例中，五個氣浮滾筒136設置在兩邊緣輪132之間。然而，本揭露並未加以限制。根據主輪134的長度以及兩邊緣輪132間的距離，可調整設置在兩邊緣輪132間的氣浮滾筒136的數量。在其它實施例中，氣浮滾筒136未佈滿兩邊緣輪132間的整段長度區域上，僅覆蓋兩邊緣輪132間的一部份的長度區域，本揭露並未加以限制。參閱圖8所示，本實施例的支架150的連接部152(未示於圖中)的數量與氣浮滾筒136的數量對應。

圖9為本揭露其它實施例的段差輪的立體圖。圖10是圖9的段差輪的局部放大圖。參考圖9及圖10所示，圖9及圖10揭示的本實施例類似於圖3所揭示的實施例。在本實施例中，相近的元件將使用相同的元件標號且同樣的敘述不再重覆。另外，圖9中的段差輪330可適用於圖1的滾輪總成100中。本實施例的不同處在於段差輪330包括一氣浮滾筒336，氣浮滾筒336的長度實質上等同於兩邊緣輪132間的距離。在本實施例中，氣浮滾筒336固設在主輪134上，因此氣浮滾筒336隨著主輪134及邊緣輪132一起轉動。此說明氣浮滾筒336與主輪134接觸且隨著主輪134轉動。氣浮滾筒336透過焊接、黏著、緊扣或任意適當方法固定在主輪134上，本揭露未加以限制。

進一步而言，參閱圖9及圖10所示。多個吹氣孔336a及多個吸氣孔336b沿氣浮滾筒336的圓周方向排列成數個排。多個吹氣孔336a與多個吸氣孔336b為交替排列在每一排中。進一步而言，多個吹氣孔336a與多個吸氣孔336b沿著且環繞氣浮滾筒336的整個外周緣設置。此說明，多個吹氣孔336a與多個吸氣孔336b完全環繞氣浮滾筒336。當氣浮滾筒336轉動時，只有面向基板140的多個吹氣孔336a吹氣，且只有面向基板140的多個吸氣孔336b吸氣。多個吹氣孔336a與多個吸氣孔336b以任意的適當方法分別連接一空氣供應裝置(未示於圖)及一抽氣系統(未示於圖)。此說明，控制空氣供應裝置及抽氣系統，以使只有面向基板140的多個吹氣孔336a以吹氣，且只有面向基板140的多個吸氣孔336b吸氣，且空氣供應裝置及抽氣系統為手動或是透過現有技術中任一適當的方法操控。在其它實施例中，多個吹氣孔336a及多個吸氣孔336b沿著氣浮滾筒336的外周緣的弧長區域設置，此類似於圖6所揭示之實施例的弧長138區域。在此例中，氣浮滾筒336仍隨著主輪134一起轉動，且多個吹氣孔336a及多個吸氣孔336b僅在轉動至面向基板140時朝基板140吹氣及吸氣。在其它實施例中，吹氣孔336a的尺寸實質上可等於、大於或小於吸氣孔336b的尺寸。本揭露並未加以限制吹氣孔336a與吸氣孔336的尺寸。

在圖3及圖8所示的不同實施例中，兩實施例可以相同的方式使段差輪連接而無需使用支架150，因此兩實施例中的一個氣浮滾筒136或多個氣浮滾筒136隨著主輪134一起轉動。進一步而言，圖3或圖8的實施例中，多個吹氣孔與多個吸氣孔也可沿著氣浮滾筒的整個外周緣設置。在其它實施例中，當基板於段差輪上傳輸，主輪與氣浮滾筒為固定不動而多個邊緣輪產生轉動。此說明，多個邊緣輪為獨自連接分離的轉動裝置(未示於圖)，因此多個邊緣輪產生轉動以傳輸基板。分離的轉動裝置可為轉動軸、轉輪、連接器或任何現有技術中能驅動多個邊緣輪轉動的元件。由於只有多個邊緣輪產生轉動，而主輪及氣浮滾筒未轉動。因此氣浮滾筒可透過主輪連接一空氣供給裝置或一抽氣系統，以便控制多個吹氣孔及多個吸氣孔。然而，本揭露並未加以限制，連接空氣供給裝置或抽氣系統的架構可依據使用者的需求而調整。

在前述的數個實施例中，當基板140於段差輪130、230、330 上傳輸時，作用於基板140上的彎力矩所產生的應力在基板140對應於氣浮滾筒136、336的頂部處最大。此說明，氣浮滾筒136、336的頂部為最靠近基板140的部位。由氣浮滾筒136、336吹出以抵消彎力矩的空氣的壓力理想上應該在氣浮滾筒136、136的頂部最大。然而，本揭露未加以限制，而自氣浮滾筒136、336中吹出的空氣壓力的分佈可依據使用者的需求調整。根據空氣供給裝置及抽氣系統連接氣浮滾筒的方式與位置而定，在氣浮滾筒136、136的頂部不必要具有最大的空氣壓力值。

圖11為本揭露另一實施例的段差輪的立體圖。參考圖11所示，圖11揭示的實施例類似於圖3所揭示的實施例。在本實施例中，相近的元件將使用相同的元件標號且同樣的敘述不再重覆。另外，圖11中的段差輪430可適用於圖1的滾輪總成100中。本實施例的不同處在於段差輪330不包括任何氣浮滾筒。段差輪430包括主輪234及邊緣輪132。圖11的主輪234包括多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b。參考圖11，多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b分別在交替的數個列上排列，數個列為沿著主輪234的圓周方向。此安排類似於圖4的多個吹氣孔136a及多個吸氣孔136b。在圖11的實施例中，多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b鄰近主輪234的中間區域而配置，且只涵蓋主輪234的長度方向的一部分。在一些其他實施例中，多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b遍佈設置在兩邊緣輪132間的整段長度區域上。本揭露並未加以限制。

在圖11中，多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b沿著主輪234之外周緣的弧長區域設置，類似圖6的實施例中的弧長138區域。當基板140於段差輪430上傳輸時，主輪234固定，邊緣輪132轉動。換言之，邊緣輪132為獨自連接分離的轉動裝置(未示於圖)，邊緣輪132產生轉動以傳輸基板140。分離的轉動裝置可為轉動軸、轉輪、連接器或任何現有技術中能驅動邊緣輪132轉動的元件。由於只有邊緣輪132產生轉動，主輪234未轉動。因此多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b經由主輪234連接一空氣供給裝置或一抽氣系統以便控制。

圖12是依照本揭露再一實施例的段差輪的立體圖。參考圖11及圖12所示，圖12繪示的段差輪430a類似於圖11繪示的段差輪430。不同處在於圖12所揭示之段差輪430a的主輪234包括多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b，且排列在主輪234上。多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b局部地分佈在主輪234的外周緣上。舉例而言，多個吹氣孔234a及多個吸氣孔234b設置在主輪234之外周緣的弧長區域AL上，且弧長區域AL的角度實質上等於或小於180度。

在其它替代實施例中，段差輪430a的主輪234可能僅包括多個吹氣孔234a或多個吸氣孔234b，排列在主輪234上。多個吹氣孔234a或多個吸氣孔234b設置在主輪234之外周緣的弧長區域AL上，且弧長區域AL的角度實質上等於或小於180度。

圖13是依照本揭露一實施例的採用滾輪總成之基板傳輸方法的方塊流程圖。於步驟S102中，一基板140在一段差輪130上徑向傳輸。具體而言，基板140經由段差輪130從一第一傳輸輪110徑向傳輸至一第二傳輸輪120。於步驟S104中，空氣從套設在主輪134上的氣浮滾筒136的多個吹氣孔136a吹至基板140及段差輪130的主輪134之間。於步驟S106中，位於基板140及段差輪130的主輪134之間的空氣被吸入套設在主輪134上的氣浮滾筒136的多個吸氣孔136b。於步驟S108中，基板140的邊緣受到兩邊緣輪132的支撐。在以段差輪130傳輸基板140的方法中，多個邊緣輪132與主輪134在基板140被傳輸時轉動。當基板140被傳輸時，氣浮滾筒136被固定，而主輪134轉動。此說明，當基板140被傳輸時，主輪134隨著多個邊緣輪132一起轉動。進一步而言，步驟S102、S104、S106、S108可於基板140透過段差輪130傳輸的期間同時執行。在前述的其它實施例中，當基板被傳輸時，氣浮滾筒及主輪為固定狀態，且只有多個邊緣輪產生轉動。進一步而言，在其它實施例中，當基板被傳輸時，氣浮滾筒隨著主輪一起轉動。此說明，類似於圖9所示的實施例，當氣浮滾筒轉動時，只有面向基板的多個吹氣孔吹氣，且只有面向基板的多個吸氣孔吸氣。

圖14是依照本揭露另一實施例的段差輪的立體圖。參考圖3及圖14所示，圖14繪示的段差輪130a類似於圖3繪示的段差輪130。不同處在於圖14揭露的段差輪130a更包括至少一支撐輪137。至少一支撐輪137透過例如是焊接、黏著、夾固或其它合適的方法而固設於主輪134上，因此至少一支撐輪137隨著主輪134一起轉動。

基板140(如圖1所示) 接觸至少一支撐輪137，且於傳輸過程中覆蓋段差輪130a約一半的區域。基板140上的圖案142(如圖1所示)不與至少一支撐輪137相接觸。在一些實施例中，兩支撐輪137設置在主輪134上且各支撐輪137可排列在多個吹氣孔234a(或多個吸氣孔234b)與其中一邊緣輪132之間。

圖15是依照本揭露其它實施例的段差輪的立體圖。參考圖11及圖15所示，圖15繪示的段差輪430b類似於圖11繪示的段差輪430。不同處在於圖15揭露的段差輪430b更包括至少一支撐輪137。至少一支撐輪137透過例如是焊接、黏著、夾固或其它合適的方法而固設於主輪234。再者，基板140(如圖1所示) 接觸至少一支撐輪137，且於傳輸過程中覆蓋段差輪130a約一半的區域。基板140上的圖案142(如圖1所示)不與至少一支撐輪137相接觸。在一些實施例中，兩支撐輪137設置在主輪234上且各支撐輪137可排列在多個吹氣孔234a(或多個吸氣孔234b)與其中一邊緣輪132之間。

雖然本揭露已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭露的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本揭露的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧滾輪總成

110‧‧‧第一傳輸輪

120‧‧‧第二傳輸輪

130、130a、230、330、430、430a、430b‧‧‧段差輪

132‧‧‧邊緣輪

134、234‧‧‧主輪

134a‧‧‧軸支撐件

136、336‧‧‧氣浮滾筒

136a、336a、234a‧‧‧吹氣孔

136b、336b、234b‧‧‧吸氣孔

137‧‧‧支撐輪

138‧‧‧弧長

138a‧‧‧角度

140‧‧‧基板

142‧‧‧圖案

140a‧‧‧面

150‧‧‧支架

152‧‧‧連接部

152a、152a1、152a2、152a3‧‧‧供給孔

152b、152b1、152b2、152b3、152b4‧‧‧抽取孔

160‧‧‧抽氣系統

170‧‧‧空氣供應裝置

圖1是依照本揭露一實施例的滾輪總成的立體圖。 圖2是依照本揭露圖1的滾輪總成的側視圖。 圖3是依照本揭露圖1的段差輪的立體圖。 圖4是依照本揭露圖3的段差輪的局部放大圖。 圖5是依照本揭露圖3的段差輪的仰視圖。 圖6是依照本揭露圖3的氣浮滾筒的側視圖。 圖7A是依照本揭露圖3一實施例的段差輪的前視圖。 圖7B是依照本揭露圖3另一實施例的段差輪的前視圖。 圖8是依照本揭露另一實施例的段差輪的立體圖。 圖9是依照本揭露其它實施例的段差輪的立體圖。 圖10是依照本揭露圖9的段差輪的局部放大圖。 圖11是依照本揭露再一實施例的段差輪的立體圖。 圖12是依照本揭露再一實施例的段差輪的立體圖。 圖13是依照本揭露一實施例的採用滾輪總成之基板傳輸方法的方塊流程圖。 圖14是依照本揭露另一實施例的段差輪的立體圖。 圖15是依照本揭露其它實施例的段差輪的立體圖。

Claims (32)

1. 一種滾輪總成，用以傳輸一基板，該滾輪總成包括： 一段差輪，包括： 一主輪； 一氣浮滾筒，套設在該主輪上，其中該氣浮滾筒包括多個吹氣孔及多個吸氣孔； 兩邊緣輪，設置在該主輪上，該兩邊緣輪分別位在該氣浮滾筒的相對兩端；以及 一第一傳輸輪及一第二傳輸輪，分別設置在該段差輪的相對兩側邊，該基板經由該段差輪而自該第一傳輸輪傳輸至該第二傳輸輪。
2. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，該段差輪更包括至少一支撐輪，設置在該主輪上且位於該兩邊緣輪之間。
3. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該些吹氣孔及該些吸氣孔設置在該氣浮滾筒之一外周緣的一弧長區域上，且該弧長區域的角度等於或小於180度。
4. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該氣浮滾筒接觸該主輪且隨著該主輪轉動。
5. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，更包括一支架，其中該氣浮滾筒受到該支架的支撐，該氣浮滾筒與該主輪分離且不隨著該主輪轉動。
6. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，更包括一連接器，連接該氣浮滾筒，其中該連接器用於連接一空氣供應裝置及一抽氣系統，以使該些吹氣口噴氣且該些吸氣口吸氣。
7. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該些吹氣孔與該些吸氣孔設置在該氣浮滾筒之外周緣的弧長區域上。
8. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該些吹氣孔與該些吸氣孔沿著該氣浮滾筒的整個外周緣設置。
9. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該氣浮滾筒的長度小於該兩邊緣輪之間的距離。
10. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該氣浮滾筒的長度等於該兩邊緣輪之間的距離。
11. 如申請專利範圍第1項所述的滾輪總成，其中該氣浮滾筒到該主輪間的最大高度小於該兩邊緣輪到該主輪間的最大高度。
12. 一種基板傳輸方法，以滾輪總成傳輸一基板，該基板傳輸方法包括： 以一段差輪徑向傳輸該基板； 從套設於該段差輪的一主輪上的一氣浮滾筒的多個吹氣孔噴氣至該基板與該主輪之間； 從套設於該主輪上之該氣浮滾筒的多個吸氣孔而在該基板與該主輪之間吸氣；以及 以兩邊緣輪支撐該基板的邊緣處。
13. 如申請專利範圍第12項所述的基板傳輸方法，其中當該基板被傳輸時，該兩邊緣輪同時轉動。
14. 如申請專利範圍第13項所述的基板傳輸方法，其中當該基板被傳輸時，該氣浮滾筒及主輪為固定狀態。
15. 如申請專利範圍第13項所述的基板傳輸方法，其中當該基板被傳輸時，該主輪隨著該兩邊緣輪一齊轉動。
16. 如申請專利範圍第13項所述的基板傳輸方法，其中當該基板被傳輸時，該氣浮滾筒為固定狀態或轉動。
17. 如申請專利範圍第16項所述的基板傳輸方法，其中當該氣浮滾筒轉動時，該些吹氣孔面向該基板以噴氣，該些吸氣孔面向該基板以吸氣。
18. 一種段差輪，用以傳輸一基板，其中該段差輪包括： 一主輪； 一氣浮滾筒，套設在該主輪上，其中該氣浮滾筒包括多個吹氣孔及多個吸氣孔；以及 兩邊緣輪，設置在該主輪上，該兩邊緣輪分別位在該氣浮滾筒的相對兩端。
19. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，更包括至少一支撐輪，設置在該主輪上且位於該兩邊緣輪之間。
20. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該些吹氣孔及該些吸氣孔設置在該氣浮滾筒之一外周緣的一弧長區域上，且該弧長區域的角度等於或小於180度。
21. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該氣浮滾筒接觸該主輪且隨著該主輪轉動。
22. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，更包括一支架，其中該氣浮滾筒受到該支架的支撐，該氣浮滾筒與該主輪分離且不隨著該主輪轉動。
23. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該些吹氣孔與該些吸氣孔設置在該氣浮滾筒之外周緣的弧長區域上。
24. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該些吹氣孔與該些吸氣孔沿著該氣浮滾筒的整個外周緣設置。
25. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該氣浮滾筒的長度小於該兩邊緣輪之間的距離。
26. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該氣浮滾筒的長度等於該兩邊緣輪之間的距離。
27. 如申請專利範圍第18項所述的段差輪，其中該氣浮滾筒到該主輪間的最大高度小於該兩邊緣輪到該主輪間的最大高度。
28. 一種段差輪，用以傳輸一基板，其中該段差輪包括： 一主輪，包括多個吹氣孔及多個吸氣孔，排列於該主輪上；以及 兩邊緣輪，位在該主輪的相對兩端，其中該些吹氣孔及該些吸氣孔分佈在該兩邊緣輪之間。
29. 如申請專利範圍第28項所述的段差輪，更包括至少一支撐輪，設置在該主輪上且位於該兩邊緣輪之間。
30. 如申請專利範圍第28項所述的段差輪，其中該些吹氣孔及該些吸氣孔設置在該氣浮滾筒之一外周緣的一弧長區域上，且該弧長區域的角度等於或小於180度。
31. 一種段差輪，用以傳輸一基板，其中該段差輪包括： 一主輪，包括多個吹氣孔或多個吸氣孔，排列於該主輪上，該些吹氣孔或該些吸氣孔設置在該主輪之一外周緣的一弧長區域上，且該弧長區域的角度等於或小於180度；以及 兩邊緣輪，位在該主輪的相對兩端，其中該些吹氣孔或該些吸氣孔分佈在該兩邊緣輪之間。
32. 如申請專利範圍第31項所述的段差輪，更包括至少一支撐輪，設置在該主輪上且位於該兩邊緣輪之間。