WO2017043306A1

WO2017043306A1 - ガラス板の製造方法及びその製造装置

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Publication number: WO2017043306A1
Application number: PCT/JP2016/074538
Authority: WO
Inventors: 祐之高橋; 大野　和宏; 弘樹中塚; 隼人奥
Original assignee: 日本電気硝子株式会社
Priority date: 2015-09-11
Filing date: 2016-08-23
Publication date: 2017-03-16
Also published as: KR102588108B1; JP2017052679A; CN107683265B; KR20180053271A; JP6651127B2; CN107683265A

Abstract

上部構成体１０の下面１０ａと、給気口２２及び排気口２６を有する下部構成体１１の上面１１ａとを対向させて配置し、対向する両面１０ａ、１１ａの相互間に形成される処理空間１３で、給気口２２から吹き出されて排気口２６に吸い込まれる処理ガス５によって、水平方向に搬送されるガラス板３の下面３ａにエッチング処理を施すと共に、給気口２２と排気口２６とを、ガラス板搬送方向Ａに離隔して位置させ、下部構成体１１に組み付けた特定搬送手段９が、ガラス板３を下方から支持して該ガラス板３の搬送に供されるようにし、特定搬送手段９を、給気口２２と排気口２６との相互間領域を除外して配置する。

Description

ガラス板の製造方法及びその製造装置

　本発明は、フッ化水素等の処理ガスを用いてガラス板にエッチング処理を施す工程を有するガラス板の製造方法及びその製造装置に関する。

　周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、スマートフォン、タブレット型ＰＣ等のモバイル機器、その他の各種電子デバイス等には、種々の板厚やサイズのガラス板が組み込まれている。

　この種の最終製品たるガラス板を作り出すための元になるガラス板の製造工程では、静電気の帯電に起因する問題が生じ得る。例えば、作業台上にガラス板を置いて所定の処理を施す際には、静電気の帯電に起因してガラス板が作業面に貼り付く事態が生じ得る。そのため、所定の処理を終えたガラス板を作業台から剥離させる際には、当該ガラス板の破損を招来し得る。

　このような問題の対応策として、フッ化水素等の処理ガスをガラス板に吹き付けてエッチング処理を施し、当該ガラス板の表面を粗化させることで、上述の静電気の帯電に起因する問題を解決しようとする試みが推進されている。

　その具体例として、特許文献１によれば、一定の搬送経路に沿って搬送されるガラス板が処理空間を通過する際に、吹出しノズルの吹出し口から吹き出されて吸引ノズルの吸い込み口に吸い込まれる処理ガスによって、該ガラス板の下面にエッチング処理を施すことが開示されている。

　詳述すると、同文献に開示されたエッチング装置では、上部構成体（上側の構成部）の下面と、下部構成体（下側の構成部）の上面との相互間に、搬送中のガラス板の下面にエッチング処理を施すための処理空間が形成される。この場合、上部構成体は天板のみで形成される。一方、下部構成体は、ガラス板の搬送方向後側（搬送経路の上流側）に配置された吹出しノズルと、ガラス板の搬送方向前側（搬送経路の下流側）に配置された吸引ノズルと、この両ノズル間に介設された底板とを一体化して形成される。そして、下部構成体である吹出しノズルと底板と吸引ノズルとの各上面が面一状態とされる。したがって、下部構成体の上面に、処理ガスを処理空間に吹き出す吹出し口と、それを処理空間から吸い込む吸い込み口とが形成されていることになる。

　さらに、このエッチング装置は、処理空間内でガラス板を下方から支持して搬送する搬送ローラーを有する。この搬送ローラーは、下部構成体に組み付けられている。詳述すると、下部構成体の底板の下方に、ガラス板の下面と平行な方向で且つガラス板搬送方向と直交する方向に延びるローラー軸が配設され、このローラー軸の軸方向複数箇所に所定の間隔を置いて搬送ローラーが設けられる。そして、搬送ローラーの上端部が、底板の穴を通って底板の上面よりも上方に突出することで処理空間内に臨む。したがって、搬送ローラーは、処理空間内でガラス板を下方から支持して搬送する役割を果たす。

国際公開第２０１１／１０５３３１号

　ところで、特許文献１に開示されたエッチング装置では、下部構成体の上面に形成された吹出し口と吸い込み口との相互間領域に搬送ローラーが配置されている。このような搬送ローラーの配置態様であると、吹出し口から吹き出されて吸い込み口に吸い込まれる処理ガスの流れが、搬送ローラーの存在によって乱れるため、ガラス板の下面と処理ガスとの反応が不均一になる。そのため、ガラス板の下面の粗化にむらが生じるという問題を招き得る。

　このような問題を回避する対策として、ガラス板を搬送するための搬送ローラーを下部構成体から取り除き、下部構成体の両側に近接する位置からそれぞれ両側外方に向かって搬送ローラーを配置することが考えられる。しかしながら、このような単純な手法では、下部構成体から搬送ローラーを取り除いた箇所で、隣り合う搬送ローラーの相互間距離が長くなり過ぎるため、以下に示すような致命的な問題が生じる。

　すなわち、近年のガラス板の薄肉化に伴って、ガラス板は撓み易くなっているため、本来的には、隣り合う搬送ローラーの相互間距離を短くする必要性がある。それにもかかわらず、そのような要請に逆行する結果となる。そして、上述のように、下部構成体の両側に近接して配置された搬送ローラーの相互間距離が長くなり過ぎることによって、ガラス板に撓みが生じた場合には、下部構成体の上面にガラス板の下面が接触するなどの事態を招く。その結果、ガラス板の下面に対するエッチング処理の困難化を招くだけでなく、ガラス板の下面の損傷、さらにはガラス板の円滑な搬送の阻害等を招来し得る。

　以上の観点から、本発明の課題は、処理空間周辺でのガラス板の搬送態様を適切化することで、処理空間でガラス板の下面にエッチング処理を施す際に、ガラス板の下面全域と処理ガスとの反応を均一化して、ガラス板の下面の粗化に支障が生じないようにすることである。

　上記課題を解決するために創案された本発明は、給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、対向する両面の相互間に形成される処理空間で、給気口から吹き出されて排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、給気口と排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させ、下部構成体に組み付けた特定搬送手段が、ガラス板を下方から支持して該ガラス板の搬送に供されるようにしたガラス板の製造方法において、特定搬送手段が、給気口と排気口との相互間領域を除外して配置されていることに特徴づけられる。ここで、「水平方向に搬送されるガラス板」とは、ガラス板が非傾斜方向である水平方向に搬送される場合のみならず、ガラス板が水平面に対して上下に３０°以下の角度で傾斜した方向に搬送される場合をも含む（以下、同様）。また、これらの場合におけるガラス板の姿勢は、ガラス板が搬送方向の両側方に対して非傾斜状態となる姿勢のみならず、ガラス板が搬送方向の一側方から他側方に対して３０°以下の角度で傾斜状態となる姿勢をも含む（以下、同様）。

　このような構成によれば、給気口から上方に向かって吹き出され且つガラス板の下面に沿って流通して排気口に吸い込まれる処理ガスの流れは、特定搬送手段によって乱されなくなる。すなわち、ガラス板を下方から支持してガラス板の搬送に供される特定搬送手段は、処理ガスの流通経路から外れた位置に設けられる。したがって、処理ガスの流れを邪魔するものがなくなり、処理ガスの流れが途中で変化する等の事態が生じ得なくなる。これにより、ガラス板の下面全域と処理ガスとの反応が均一化されて、ガラス板の下面の粗化にむらが生じ難くなる。しかも、水平方向に搬送されるガラス板は、下部構成体が存在する位置で特定搬送手段によって下方から支持されるため、下部構成体にガラス板の支持位置を全く設けない場合と比較して、隣り合う支持位置間の距離を短くすることができる。これにより、ガラス板が薄肉であっても、エッチング処理が施されているガラス板に不当な撓みが生じることを抑制することができる。その結果、ガラス板の下面に対するエッチング処理の適正化が確保されるだけでなく、ガラス板の下面の損傷さらにはガラス板の搬送の阻害等の不具合が回避される。

　上記の方法において、特定搬送手段が、給気口と排気口との相互間領域のガラス板搬送方向両側に配置されていることが好ましい。

　このようにすれば、下部構成体の給気口側及び排気口側の双方に特定搬送手段が配置されるため、両特定搬送手段の離間距離を大幅に短くすることができる。これにより、両特定搬送手段によって下方から支持されているガラス板が、両特定搬送手段間で自重によって大きく撓む事態が確実に阻止される。その結果、処理ガスによるガラス板の下面に対する粗化がより一層適正化される。

　以上の方法において、特定搬送手段が、特定搬送ローラーであることが好ましい。

　このようにすれば、ガラス板を下方から支持して該ガラス板の搬送に供するという特定搬送手段の役割を、的確に果たすことが可能となる。

　この場合の方法において、特定搬送ローラーが、ガラス板の下面と平行な方向で且つガラス板搬送方向と直交する方向に複数配列されたフリーローラーであることが好ましい。

　このようにすれば、ローラーの駆動手段が不要となるため、下部構成体への組み付けが簡素化される。

　この場合の方法において、複数のフリーローラーは、それぞれが独立し且つそれぞれが相互に離隔して配置されていることが好ましい。

　このようにすれば、フリーローラーの小型化や製作容易化が図られる。

　以上の方法において、処理空間にガラス板を搬出入すべく上部構成体及び下部構成体の外部に配置された搬送ローラーを有し、特定搬送ローラーの径が、搬送ローラーの径よりも小さいことが好ましい。この場合、搬送ローラーの径は、特定搬送ローラーの径の１．５倍～１０倍であることが好ましく、下限値が２倍で上限値が４倍であることがより好ましい。また、搬送ローラーは、回転駆動力が付与される駆動ローラーであることが好ましい。

　このようにすれば、下部構成体における特定搬送ローラーの組み付け用スペースを狭小にすることができ、下部構成体の小型化が図られる。

　以上の方法において、特定搬送ローラーが、ガラス板搬送方向に複数配列されると共に、搬送ローラーが、ガラス板搬送方向に複数配列され、特定搬送ローラーのガラス板搬送方向における配列ピッチが、搬送ローラーのガラス板搬送方向における配列ピッチよりも小さいことが好ましい。

　このようにすれば、隣り合う搬送ローラー間で多少のガラス板の撓みを許容し得るようにした上で、隣り合う特定搬送ローラー間でガラス板の撓みを厳格に阻止することができる。これにより、ガラス板の下面にエッチング処理を施さない領域での搬送ローラーの個数を削減した上で、エッチング処理を施す領域での特定搬送ローラーの個数を要求通りとすることができる。

　以上の方法において、給気口と排気口との相互間領域に対応する下部構成体の上面が、単一の平面であることが好ましい。

　このようにすれば、処理ガスの流れが下部構成体の上面によって阻害される事態も生じ難くなるため、処理ガスによるガラス板の下面の粗化がより一層適正化される。

　上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、対向する両面の相互間に形成される処理空間で、給気口から吹き出されて排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、給気口と排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させ、ガラス板を下方から支持して該ガラス板の搬送に供される特定搬送手段を、下部構成体に組み付けたガラス板の製造装置において、特定搬送手段が、給気口と排気口との相互間領域を除外して配置されていることに特徴づけられる。

　このガラス板の製造装置は、既述の本発明に係るガラス板の製造方法と実質的に同一の構成要件を備えている。したがって、この装置についての説明事項も、既述の方法についての説明事項と実質的に同一となるため、ここではその説明を省略する。

　本発明によれば、処理空間周辺でのガラス板の搬送態様が適切化されることで、処理空間でガラス板の下面にエッチング処理を施す際に、ガラス板の下面全域と処理ガスとの反応が均一化され、ガラス板の下面の粗化に支障が生じ難くなる。

本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の全体概略構成を示す縦断正面図である。本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断正面図である。本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断側面図である。本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の構成要素である給気構体及びその周辺を示す拡大縦断側面図である。本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の構成要素である給気口の周辺構造を示す要部拡大縦断正面図である。本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断正面図である。

　以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法及びその製造装置について添付図面を参照して説明する。

＜第一実施形態＞
　先ず、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の全体概略構成を説明する。図１は、その全体概略構成を示す縦断正面図である。なお、以下の説明に際しては、図１における紙面と直交する方向を幅方向という。同図に示すように、ガラス板の製造装置１は、搬入口２ａからチャンバー２内に搬入したガラス板３を水平方向に搬送しつつ、チャンバー２内におけるガラス板３の搬送経路上に設けた処理エリア４で、処理ガス５としてのフッ化水素によりエッチング処理を施す構成とされている。そして、エッチング処理後のガラス板３は、搬出口２ｂからチャンバー２外に搬出される。

　チャンバー２は、その外形が幅方向に長尺な直方体状に形成され、その内部空間からの処理ガス５の流出を防止している。そして、このチャンバー２の側壁部２ｃに、既述の搬入口２ａと搬出口２ｂとが形成されている。なお、チャンバー２の材質は、処理ガス５（フッ化水素）に対する耐食性に優れたポリ塩化ビニルである。

　処理エリア４には、水平方向に搬送されるガラス板３に対して、処理ガス５を吹き付けることでエッチング処理を施すためのエッチング装置６が配置されている。このエッチング装置６は、チャンバー２の天井壁２ｄとの間に隙間７が形成されるように、チャンバー２の底部２ｅに設置されている。

　さらに、このガラス板の製造装置１は、チャンバー２内外に配置された相対的に径が大きい複数の搬送ローラー８を有する。これらの搬送ローラー８は、幅方向に沿って延びる長尺なローラーシャフト８ａの軸方向複数箇所に所定の間隔を設けて装着されている。したがって、これらの搬送ローラー８は、搬送経路に沿う方向に複数配置されているだけでなく、幅方向にも複数配置されている。そして、これらの搬送ローラー８の全てまたは一部には、回転駆動力が付与される。

　加えて、このガラス板の製造装置１は、エッチング装置６内に配置された相対的に径が小さい複数の特定搬送手段としての特定搬送ローラー９を有する。これらの特定搬送ローラー９も、搬送経路に沿う方向に複数配置されているだけでなく、幅方向にも複数配置されている。そして、これらの特定搬送ローラー９と、上述の搬送ローラー８とによって、水平方向に一直線状に延びる搬送経路に沿ってガラス板３を搬送する構成とされている。この場合、搬送ローラー８の径は、特定搬送ローラー９の径の１．５倍～１０倍であることが好ましく、２倍～４倍であることがより好ましい。

　図１は、便宜上、チャンバー２及びその内部の右側端部と左側端部とを途中で破断して、その中央部を主として図示したものである。そのため、図１からは詳細には把握できないが、特定搬送ローラー９の搬送方向における配列ピッチは、搬送ローラー８の搬送方向における配列ピッチよりも小さい。この場合、エッチング装置６は、搬送ローラー８が搬送方向に多数配列されている中から、搬送方向における所定数の搬送ローラー８を抜き取った位置に設置されている。そして、エッチング装置６に組み込まれている特定搬送ローラー９の搬送方向における配列数は、その抜き取った搬送ローラー８の搬送方向における配列数よりも多い。

　図２は、エッチング装置６の構成を詳細に説明するための拡大縦断正面図である。なお、以下の説明に際しては、図２における紙面と直交する方向を幅方向という。また、図２に示す矢印Ａ方向は、ガラス板３の搬送方向であって、この矢印Ａ方向を単に搬送方向という。したがって、図２における左側が搬送方向前側（搬送経路の下流側）であり、右側が搬送方向後側（搬送経路の上流側）である。

　図２に示すように、エッチング装置６は、上側に配置された上部構成体１０と、下側に配置された下部構成体１１とを有し、この両構成体１０、１１は、幅方向の両端で連結壁１２によって連結一体化されている。そして、上部構成体１０の下面１０ａと下部構成体１１の上面１１ａとの相互間に、搬送されるガラス板３の下面に対して処理ガス５によるエッチング処理を施すための処理空間１３が形成されている。なお、上部構成体１０及び下部構成体１１の材質は、ポリ塩化ビニルである。また、上部構成体１０と下部構成体１１とには、処理ガス５による結露の発生を防止するための加熱部材１４（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。

　上部構成体１０は、一枚の平板状をなす天板１５で構成され、この天板１５の下面すなわち上部構成体１０の下面１０ａは、単一の平面である。したがって、天板１５の下面は、凹凸を有しない。すなわち、天板１５は、幅方向（長手方向）の両端部のみが連結壁１２にボルト等で固定されているため、天板１５の下面１０ａには、ボルトあるいはボルト穴等の存在による凹凸が形成されていない。そして、この天板１５の下面１０ａは、搬送されるガラス板３の下面３ａ及び上面３ｂと平行である。

　下部構成体１１は、平板状をなす底板１６と、底板１６の搬送方向後部に垂下固定された給気構体１７と、底板１６の搬送方向前部に垂下固定された排気構体１８とから構成される。底板１６の搬送方向後部には、処理空間１３に通じる給気孔１９が形成されると共に、給気構体１７には、給気孔１９に通じる給気路２０が形成されている。したがって、処理ガス５を上方に導いて処理空間１３に吹出させるための給気用通路２１は、給気孔１９と給気路２０とから構成される。そして、この給気用通路２１の上端開口部が、底板１６の上面すなわち下部構成体１１の上面１１ａに形成された給気口２２となる。また、給気孔１９は、上部が絞られて通路面積が小さくされた給気小孔部１９ａを有し、この給気小孔部１９ａの上端が既述の給気口２２である。この場合、底板１６の上面１１ａは、天板１５の下面１０ａと平行である。

　底板１６の搬送方向前部には、処理空間１３に通じる排気孔２３が形成されると共に、排気構体１８には、排気孔２３に通じる排気路２４が形成されている。したがって、処理ガス５を処理空間１３から下方に吸い込んで回収するための回収用通路２５は、排気孔２３と排気路２４とから構成される。そして、この回収用通路２５の上端開口部が、下部構成体１１の上面１１ａに形成された排気口２６となる。なお、排気孔２３は、上部が絞られて通路面積が小さくされた排気小孔部２３ａを有し、この排気小孔部２３ａの上端が既述の排気口２６である。そして、給気路２０の下端及び排気路２４の下端は、チャンバー２の底壁２ｆに形成された貫通孔２７、２８をそれぞれ介してチャンバー２外の管路（図示略）に通じている。

　底板１６の上部には、ガラス板３を下方から支持してガラス板３の搬送に供される特定搬送ローラー９が、搬送方向の複数箇所（図例では搬送方向の二箇所）に組み付けられている。これら特定搬送ローラー９は、下部構成体１１の上部における給気口２２と排気口２６との相互間領域を除外して配置されている。詳しくは、これら特定搬送ローラー９は、その相互間領域の搬送方向両側にそれぞれ配置されている。また、その相互間領域に対応する下部構成体１１の上面１１ａは、単一の平面である。さらに、この単一の平面と、下部構成体１１の上面１１ａにおける給気口２２よりも搬送方向後側の平面及び排気口２６よりも搬送方向前側の平面とは面一状態となっている。ここで、処理空間１３は、厳密には、上部構成体１０の下面１０ａと下部構成体１１の上面１１ａとの間における給気口２２と排気口２６との相互間離隔範囲内に形成される空間である。したがって、特定搬送ローラー９は、処理空間１３内に存在していない。

　図３に拡大して示すように、搬送方向のそれぞれの箇所において幅方向に複数配置された特定搬送ローラー９は、それぞれが独立し且つそれぞれが幅方向に相互に離隔した状態で、下部構成体１１の上部に組み込まれている。詳述すると、各特定搬送ローラー９は、フリーローラーであって、回転駆動力が付与されない。そして、底板１６の上部に幅方向に所定間隔を置いて形成された凹部２９に、各特定搬送ローラー９のローラー軸９ａが回転自在に保持されている。本実施形態では、各特定搬送ローラー９の上部のみが下部構成体１１の上面１１ａから上方に突出し、各ローラー軸９ａは下部構成体１１の上面１１ａから上方に突出していない。

　図４は、給気構体１７及び底板１６を、給気用通路２１の流れ中心軸線を含む態様で切断した拡大縦断側面図である。同図に示すように、給気用通路２１は、給気構体１７を構成する第一～第四板材１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄと、底板１６の搬送方向後部とからなる五層構造体の内部に形成されている。最下層に位置する第一板材１７ａには、この第一板材１７ａに処理ガス５を供給するための供給流路１７ａａが形成されている。そして、この第一板材１７ａと、その上方に積層される第二板材１７ｂとを重ね合わせることで、供給流路１７ａａから供給された処理ガス５の分岐流路１７ｂａが形成される。さらに、第二板材１７ｂと、その上方に積層される第三板材１７ｃとを重ね合わせることで、上記の分岐流路１７ｂａをさらに枝分かれさせる分岐流路１７ｃａが形成される。第三板材１７ｃの上方に積層される第四板材１７ｄには、枝分かれした分岐流路１７ｃａを合流させるための空間１７ｄａが形成される。さらに、第四板材１７ｄには、処理ガス５を通過させるための多数の貫通孔１７ｄｂが形成された多孔板１７ｄｃが取り付けられる。最上層に位置する底板１６には、処理空間１３に処理ガス５を吹き出させるための既述の給気小孔部１９ａを含む給気孔１９が形成される。

　底板１６の搬送方向後部に形成されている給気孔１９及び給気口２２と、底板１６の搬送方向前部に形成されている排気孔２３及び排気口２６とは、いずれも幅方向に長尺なスロット状に形成される。これら給気孔１９、給気口２２、排気孔２３、及び排気口２６の幅方向寸法は、ガラス板３の幅方向寸法よりも長くされている。

　図５は、底板１６に形成された給気孔１９の上部を構成する給気小孔部１９ａの周辺構造を示す要部拡大縦断正面図である。同図に示すように、給気小孔部１９ａの搬送方向寸法Ｌは、当該給気小孔部１９ａの上下方向中間に位置して幅方向に複数設置されたスペーサー３０によって一定寸法となるように調節されている。すなわち、本実施形態では、給気小孔部１９ａを含む給気孔１９は、底板１６を搬送方向後部で分割した各分割底板の対向端面間の隙間であって、この隙間の大きさがスペーサー３０によって調整されている。

　ここで、給気小孔部１９ａにおける給気口２２からスペーサー３０までの深さ寸法Ｄは、１０～１００ｍｍの範囲内とすることが好ましい。この深さ寸法Ｄが短すぎると、スペーサー３０の存在によって給気小孔部１９ａ内の処理ガス５の流れに乱れが生じ、エッチング処理によるガラス板３の下面３ａの粗化にむらが生じるおそれがある。これに対して、深さ寸法Ｄが長すぎると、給気口２２の搬送方向寸法Ｌを微調節することが困難となる。そのため、給気口２２から処理空間１３への処理ガス５の供給量が過大あるいは過少となってガラス板３の下面３ａを所望の表面粗さに粗化できないおそれがある。したがって、給気口２２からスペーサー３０までの深さ寸法Ｄは、上記の数値範囲内にあることが好ましい。

　次に、以上の構成を備えたガラス板の製造装置１の作用すなわちガラス板の製造方法について説明する。

　図２に示すように、処理空間１３にガラス板３が搬送されている状態の下では、処理空間１３で処理ガス５が下記のように流通する。すなわち、給気用通路２１に流入した処理ガス５は、給気口２２から上方（鉛直上方）に向かって吹き出され、ガラス板３の下面３ａに沿って搬送方向前側に向かって流れた後、排気口２６に吸い込まれて、回収用通路２５を通過して回収される。この場合、処理ガス５が処理空間１３を流通するに際して、処理ガス５の流通経路には特定搬送ローラー９が存在していない。そのため、処理ガス５の流れは、特定搬送ローラー９によって乱されなくなる。すなわち、特定搬送ローラー９は、処理ガス５の流通経路から外れた位置に設けられているため、処理ガス５の流れを邪魔するものがなくなり、処理ガス５の流れが途中で変化する等の事態が生じ得なくなる。これにより、ガラス板３の下面３ａ全域と処理ガス５との反応が均一化されて、ガラス板３の下面３ａの粗化にむらが生じ難くなる。さらに、給気口２２と排気口２６との相互間領域に対応する下部構成体１１の上面１１ａは、単一の平面とされているため、処理ガス５はより一層円滑に流れ、ガラス板３の下面３ａ全域と処理ガス５との反応の均一化がより一層促進される。

　ガラス板３は、下部構成体１１の上部に組み付けられた一対の特定搬送ローラー９によって下方から支持されるため、隣り合う支持位置の相互間距離を短くすることができる。これにより、ガラス板３が薄肉（例えば板厚が３００μｍ以下または２００μｍ以下）であっても、エッチング処理が施されているガラス板３に不当な撓みが生じることを抑制することができる。その結果、ガラス板３の下面３ａに対するエッチング処理の適正化が確保されるだけでなく、ガラス板３の下面３ａの損傷さらにはガラス板３の搬送の阻害等の不具合が回避される。

　また、天板１５の下面１０ａは、凹凸を有しない単一の平面とされているため、ガラス板３の上面３ｂの粗化についてもむらが生じ難くなる。すなわち、処理ガス５は、処理空間１３でガラス板３の上面３ｂ側に回り込む場合がある。その場合に、天板１５の下面１０ａに凹凸が存在していると、この凹凸によってガラス板３の上面３ｂ側に回り込んだ処理ガス５の流れに乱れが生じ、ガラス板３の上面３ｂ全域が処理ガス５と均一に反応しなくなる。しかし、天板１５の下面１０ａに凹凸が存在していなければ、このような不具合が回避されて、ガラス板３の上面３ｂの粗化が均一化される。

＜第二実施形態＞
　次に、本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置（その製造方法）について説明する。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した構成要素については、参照図面に同一符号を付すことで重複する説明を省略し、ここでは第一実施形態との相違点についてのみ説明する。

　図６に示すように、この第二実施形態に係るガラス板の製造装置１が、上記の第一実施形態に係るガラス板の製造装置１と相違している点は、下部構成体１１の上部における給気口２２の搬送方向後側にのみ特定搬送ローラー９が組み付けられている点と、下部構成体１１における搬送方向前端部の前側に搬送ローラー８が近接して配設されている点とである。したがって、ガラス板３にエッチング処理が施される際には、ガラス板３は、特定搬送ローラー９と搬送ローラー８とによって下方から支持される。

　この第二実施形態に係るガラス板の製造装置１によれば、下部構成体１１の搬送方向後側のみに存在する特定搬送ローラー９は、給気口２２と排気口２６との相互間領域を除外して配置されている。したがって、特定搬送ローラー９が処理ガス５の流れを乱すことがなくなり、ガラス板３の下面３ａの粗化にむらが生じ難くなる。しかも、このような位置に特定搬送ローラー９が組み付けられていると、下部構成体１１に特定搬送ローラー９が全く組み付けられていない場合と比較して、ガラス板３の二つの支持位置の相互間距離を短くすることができる。したがって、ガラス板３がエッチング処理時に不当に撓むことによる既述の問題は生じない。

　なお、上記の第二実施形態では、給気口２２の搬送方向後側のみに特定搬送ローラー９を組み付けるようにしたが、排気口２６の搬送方向前側のみに特定搬送ローラー９を組み付けるようにしてもよい。

　また、以上の第一、第二実施形態では、ガラス板３の搬送方向が給気口２２から排気口２６に向かう方向とされているが、これとは逆に、ガラス板３の搬送方向が排気口２６から給気口２２に向かう方向であっても、同様にして本発明を適用することができる。

　さらに、以上の第一、第二実施形態では、下部構成体１１の上部において、給気口２２から搬送方向後側の端部までの距離と、排気口２６から搬送方向前側の端部までの距離とが短いため、それらの部位に一つの特定搬送ローラー９を組み付けているに留まる。しかし、それらの部位の距離を長くすれば、それらの部位に複数の特定搬送ローラー９をそれぞれ組み付けることもできる。

　加えて、以上の第一、第二実施形態では、複数の搬送ローラー８の全てまたは一部を回転駆動力が付与される駆動ローラーとし、下部構成体１１に組み付けられる特定搬送ローラー９を回転駆動力が付与されないフリーローラーとしたが、この特定搬送ローラー９は回転駆動力が付与される駆動ローラーであってもよい。

　さらに、以上の第一、第二実施形態では、下部構成体１１に組み付けられる特定搬送手段をローラー９としたが、これ以外に、ローラーと呼称されない回転体などであってもよい。

　加えて、以上の第一、第二実施形態では、給気構体１７と排気構体１８とが別体とされて、搬送方向に相互に離隔して配置されているが、この両者１７、１８は一体化されていてもよい。

１　　　ガラス板の製造装置
３　　　ガラス板
３ａ　　ガラス板の下面
３ｂ　　ガラス板の上面
８　　　搬送ローラー
９　　　特定搬送手段（特定搬送ローラー）
１０　　上部構成体
１０ａ　上部構成体の下面
１１　　下部構成体
１１ａ　下部構成体の上面
１３　　処理空間
１５　　天板
１６　　底板
１７　　給気構体
１８　　排気構体
２２　　給気口
２６　　排気口

Claims

　給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、前記対向する両面の相互間に形成される処理空間で、前記給気口から吹き出されて前記排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、前記給気口と前記排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させ、前記下部構成体に組み付けた特定搬送手段が、前記ガラス板を下方から支持して該ガラス板の搬送に供されるようにしたガラス板の製造方法において、
　前記特定搬送手段が、前記給気口と前記排気口との相互間領域を除外して配置されていることを特徴とするガラス板の製造方法。
　前記特定搬送手段が、前記給気口と前記排気口との相互間領域のガラス板搬送方向両側に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のガラス板の製造方法。
　前記特定搬送手段が、特定搬送ローラーであることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス板の製造方法。
　前記特定搬送ローラーが、前記ガラス板の下面と平行な方向で且つガラス板搬送方向と直交する方向に複数配列されたフリーローラーであることを特徴とする請求項３に記載のガラス板の製造方法。
　前記複数のフリーローラーは、それぞれが独立し且つそれぞれが相互に離隔して配置されていることを特徴とする請求項４に記載のガラス板の製造方法。
　前記処理空間に前記ガラス板を搬出入すべく前記上部構成体及び下部構成体の外部に配置された搬送ローラーを有し、前記特定搬送ローラーの径が、前記搬送ローラーの径よりも小さいことを特徴とする請求項３～５の何れかに記載のガラス板の製造方法。
　前記特定搬送ローラーが、ガラス板搬送方向に複数配列されると共に、前記搬送ローラーが、ガラス板搬送方向に複数配列され、前記特定搬送ローラーのガラス板搬送方向における配列ピッチが、前記搬送ローラーのガラス板搬送方向における配列ピッチよりも小さいことを特徴とする請求項６に記載のガラス板の製造方法。
　前記給気口と前記排気口との相互間領域に対応する前記下部構成体の上面が、単一の平面であることを特徴とする請求項１～７の何れかに記載のガラス板の製造方法。
　給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、前記対向する両面の相互間に形成される処理空間で、前記給気口から吹き出されて前記排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、前記給気口と前記排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させ、前記ガラス板を下方から支持して該ガラス板の搬送に供される特定搬送手段を、前記下部構成体に組み付けたガラス板の製造装置において、
　前記特定搬送手段が、前記給気口と前記排気口との相互間領域を除外して配置されていることを特徴とするガラス板の製造装置。