KR20180053271A - 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치 - Google Patents

Abstract

상부 구성체(10)의 하면(10a)과 급기구(22) 및 배기구(26)를 갖는 하부 구성체(11)의 상면(11a)을 대향시켜 배치하고, 대향하는 양면(10a, 11a)의 상호간에 형성되는 처리 공간(13)에서 급기구(22)로부터 분출되어서 배기구(26)로 흡입되는 처리 가스(5)에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판(3)의 하면(3a)에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구(22)와 배기구(26)를 유리판 반송 방향(A)으로 이격해서 위치시키고, 하부 구성체(11)에 조립된 특정 반송 수단(9)이 유리판(3)을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판(3)의 반송에 제공되도록 하고, 특정 반송 수단(9)을 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역을 제외하고 배치한다.

Description

유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치

본 발명은 불화 수소 등의 처리 가스를 이용하여 유리판에 에칭 처리를 실시하는 공정을 갖는 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치에 관한 것이다.

주지한 바와 같이, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL디스플레이, 필드에미션 디스플레이 등에 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)나, 스마트폰, 태블릿형 PC 등의 모바일 기기, 그 밖의 각종 전자 디바이스 등에는 각종 판두께나 사이즈의 유리판이 조립되어 있다.

이 종류의 최종 제품인 유리판을 제작하기 위한 근원이 되는 유리판의 제조공정에서는 정전기의 대전에서 기인하는 문제가 발생할 수 있다. 예를 들면, 작업대 상에 유리판을 두고 소정의 처리를 실시할 때는 정전기의 대전에서 기인해서 유리판이 작업면에 부착되는 사태가 발생할 수 있다. 그 때문에 소정의 처리를 끝낸 유리판을 작업대로부터 박리시킬 때에는 상기 유리판의 파손을 초래할 수 있다.

이러한 문제의 대응책으로서, 불화 수소 등의 처리 가스를 유리판에 블로잉해서 에칭 처리를 실시하고, 상기 유리판의 표면을 조화(粗化)시킴으로써 상술의 정전기의 대전에서 기인하는 문제를 해결하고자 하는 시도가 추진되고 있다.

그 구체예로서, 특허문헌 1에 의하면, 일정한 반송 경로를 따라 반송되는 유리판이 처리 공간을 통과할 때에, 분출 노즐의 분출구로부터 분출되어서 흡인 노즐의 흡입구에 흡입되는 처리 가스에 의해, 상기 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하는 것이 개시되어 있다.

상술하면, 동 문헌에 개시된 에칭 장치에서는 상부 구성체(상측의 구성부)의 하면과, 하부 구성체(하측의 구성부)의 상면의 상호 간에 반송 중의 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간이 형성된다. 이 경우, 상부 구성체는 천정판에만 형성된다. 한편, 하부 구성체는 유리판의 반송 방향 후측(반송 경로의 상류측)에 배치된 분출 노즐과, 유리판의 반송 방향 전측(반송 경로의 하류측)에 배치된 흡인 노즐과, 이 양 노즐 사이에 개설된 저판을 일체화해서 형성된다. 그리고, 하부 구성체인 분출 노즐과 저판과 흡인 노즐의 각 상면이 면일상태가 된다. 따라서, 하부 구성체의 상면에, 처리 가스를 처리 공간에 분출하는 분출구와, 그것을 처리 공간으로부터 흡입하는 흡입구가 형성되어 있게 된다.

또한, 이 에칭 장치는 처리 공간 내에서 유리판을 하방으로부터 지지해서 반송하는 반송 롤러를 갖는다. 이 반송 롤러는 하부 구성체에 조립되어 있다. 상술하면, 하부 구성체의 저판의 하방에, 유리판의 하면과 평행한 방향으로 또한 유리판 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 롤러 축이 설치되고, 이 롤러 축의 축방향 복수 개소에 소정의 간격을 두고 반송 롤러가 설치된다. 그리고, 반송 롤러의 상단부가 저판의 구멍을 통해서 저판의 상면보다 상방으로 돌출함으로써 처리 공간내로 향한다. 따라서, 반송 롤러는 처리 공간 내에서 유리판을 하방으로부터 지지해서 반송하는 역할을 한다.

국제공개 제 2011/105331호

그런데, 특허문헌 1에 개시된 에칭 장치에서는 하부 구성체의 상면에 형성된 분출구와 흡입구의 상호간 영역에 반송 롤러가 배치되어 있다. 이러한 반송 롤러의 배치 형태이면 분출구로부터 분출되어서 흡입구에 흡입되는 처리 가스의 흐름이 반송 롤러의 존재에 의해 교란되기 때문에, 유리판의 하면과 처리 가스의 반응이 불균일해진다. 그 때문에 유리판의 하면의 조화에 불균일이 발생한다고 하는 문제를 초래할 수 있다.

이러한 문제를 회피하는 대책으로서, 유리판을 반송하기 위한 반송 롤러를 하부 구성체로부터 제거하고, 하부 구성체의 양측에 근접하는 위치로부터 각각 양측 외방을 향해서 반송 롤러를 배치하는 것이 고려된다. 그러나, 이러한 단순한 방법에서는 하부 구성체로부터 반송 롤러를 제거한 개소에서, 인접한 반송 롤러의 상호간 거리가 지나치게 길어지기 때문에, 이하에 나타내는 바와 같은 치명적인 문제가 발생한다.

즉, 최근의 유리판의 박육화에 따라서, 유리판은 휘기 쉬워지기 때문에, 본래적으로는 인접한 반송 롤러의 상호간 거리를 짧게 할 필요성이 있다. 그럼에도 불구하고, 그러한 요청에 역행되는 결과가 된다. 그리고, 상술한 바와 같이, 하부 구성체의 양측에 근접해서 배치된 반송 롤러의 상호간 거리가 지나치게 길어짐으로써, 유리판에 휨이 발생한 경우에는 하부 구성체의 상면에 유리판의 하면이 접촉하는 등의 사태를 초래한다. 그 결과, 유리판의 하면에 대한 에칭 처리의 곤란화를 초래할 뿐만 아니라, 유리판의 하면의 손상, 또는 유리판의 원활한 반송의 저해 등을 초래할 수 있다.

이상의 관점으로부터, 본 발명의 과제는 처리 공간 주변에서의 유리판의 반송 형태를 적절화함으로써 처리 공간에서 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시할 때에, 유리판의 하면 전역과 처리 가스의 반응을 균일화하여 유리판의 하면의 조화에 지장이 발생하지 않도록 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명은 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과 상부 구성체의 하면을 대향시켜 배치하고, 대향하는 양면의 상호 간에 형성되는 처리 공간에서, 급기구로부터 분출되어서 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러 급기구와 배기구를, 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시키고, 하부 구성체에 조립된 특정 반송 수단이 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공되도록 한 유리판의 제조 방법에 있어서, 특정 반송 수단이 급기구와 배기구의 상호간 영역을 제외해서 배치되어 있는 것에 특징이 있다. 여기서, 「수평 방향으로 반송되는 유리판」이란 유리판이 비경사 방향인 수평 방향으로 반송되는 경우뿐만 아니라, 유리판이 수평면에 대하여 상하로 30°이하의 각도로 경사한 방향으로 반송되는 경우도 포함한다(이하, 동일). 또한, 이들의 경우에 있어서의 유리판의 자세는 유리판이 반송 방향의 양측방에 대하여 비경사 상태가 되는 자세뿐만 아니라, 유리판이 반송 방향의 일측방으로부터 타방측에 대하여 30°이하의 각도로 경사 상태가 되는 자세도 포함한다(이하, 동일).

이러한 구성에 의하면, 급기구로부터 상방을 향해서 분출되고, 또한 유리판의 하면을 따라서 유통해서 배기구에 흡입되는 처리 가스의 흐름은 특정 반송 수단에 의해 교란되지 않게 된다. 즉, 유리판을 하방으로부터 지지해서 유리판의 반송에 제공되는 특정 반송 수단은 처리 가스의 유통 경로로부터 벗어난 위치에 설치된다. 따라서, 처리 가스의 흐름을 방해하는 것이 없어지고, 처리 가스의 흐름이 도중에 변화되는 등의 사태가 발생할 수 없게 된다. 이것에 의해 유리판의 하면 전역과 처리 가스의 반응이 균일화되어서 유리판의 하면의 조화에 불균일이 발생하기 어려워진다. 게다가, 수평 방향으로 반송되는 유리판은 하부 구성체가 존재하는 위치에서 특정 반송 수단에 의해 하방으로부터 지지되기 때문에, 하부 구성체에 유리판의 지지 위치를 전혀 설치하지 않을 경우와 비교해서, 인접한 지지 위치 간의 거리를 짧게 할 수 있다. 이것에 의해 유리판이 박육이어도 에칭 처리가 실시되어 있는 유리판에 부당한 휨이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 유리판의 하면에 대한 에칭 처리의 적정화가 확보될 뿐만 아니라, 유리판의 하면의 손상 또는 유리판의 반송의 저해 등의 바람직하지 않은 경우가 회피된다.

상기의 방법에 있어서, 특정 반송 수단이 급기구와 배기구의 상호간 영역의 유리판 반송 방향 양측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 하부 구성체의 급기구측 및 배기구측의 쌍방에 특정 반송 수단이 배치되기 때문에, 양 특정 반송 수단의 이간 거리를 대폭 짧게 할 수 있다. 이것에 의해 양 특정 반송 수단에 의해 하방으로부터 지지되고 있는 유리판이 양 특정 반송 수단 간에서 자중에 의해 크게 휘는 사태가 확실하게 저지된다. 그 결과, 처리 가스에 의한 유리판의 하면에 대한 조화가 보다 한층 적정화된다.

이상의 방법에 있어서, 특정 반송 수단이 특정 반송 롤러인 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공한다고 하는 특정 반송 수단의 역할을, 적확하게 달성하는 것이 가능해진다.

이 경우의 방법에 있어서, 특정 반송 롤러가 유리판의 하면과 평행한 방향으로 또한 유리판 반송 방향과 직교하는 방향으로 복수 배열된 프리 롤러인 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 롤러의 구동 수단이 불필요하게 되기 때문에 하부 구성체로의 조립이 간소화된다.

이 경우의 방법에 있어서, 복수의 프리 롤러는 각각이 독립적으로 또한 각각이 상화 이격되어 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 프리 롤러의 소형화나 제작 용이화가 도모된다.

이상의 방법에 있어서, 처리 공간에 유리판을 반출입시키기 위해 상부 구성체 및 하부 구성체의 외부에 배치된 반송 롤러를 갖고, 특정 반송 롤러의 지름이 반송 롤러의 지름보다 작은 것이 바람직하다. 이 경우, 반송 롤러의 지름은 특정 반송 롤러의 지름의 1.5배∼10배인 것이 바람직하고, 하한값이 2배이고 상한값이 4배인 것이 보다 바람직하다. 또한, 반송 롤러는 회전 구동력이 부여되는 구동 롤러인 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 하부 구성체에 있어서의 특정 반송 롤러의 조립용 스페이스를 협소하게 할 수 있어 하부 구성체의 소형화가 도모된다.

이상의 방법에 있어서, 특정 반송 롤러가 유리판 반송 방향으로 복수 배열됨과 아울러 반송 롤러가, 유리판 반송 방향으로 복수 배열되고, 특정 반송 롤러의 유리판 반송 방향에 있어서의 배열 피치가 반송 롤러의 유리판 반송 방향에 있어서의 배열 피치보다 작은 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 인접한 반송 롤러 간에서 다소의 유리판의 휨을 허용할 수 있도록 한 후에 인접한 특정 반송 롤러 간에서 유리판의 휨을 엄격하게 저지할 수 있다. 이것에 의해 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하지 않는 영역에서의 반송 롤러의 개수를 삭감한 후에 에칭 처리를 실시하는 영역에서의 특정 반송 롤러의 개수를 요구한 바와 같이 할 수 있다.

이상의 방법에 있어서, 급기구와 배기구의 상호간 영역에 대응하는 하부 구성체의 상면이 단일의 평면인 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 처리 가스의 흐름이 하부 구성체의 상면에 의해 저해되는 사태도 생기기 어려워지기 때문에, 처리 가스에 의한 유리판의 하면의 조화가 보다 한층 적정화된다.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 장치는 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과 상부 구성체의 하면을 대향시켜 배치하고, 대향하는 양면의 상호간에 형성되는 처리 공간에서, 급기구로부터 분출되어서 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해, 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구와 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시키고, 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공되는 특정 반송 수단을 하부 구성체에 조립한 유리판의 제조 장치에 있어서, 특정 반송 수단이 급기구와 배기구의 상호간 영역을 제외해서 배치되어 있는 것에 특징이 있다.

이 유리판의 제조 장치는 상술의 본 발명에 따른 유리판의 제조 방법과 실질적으로 동일한 구성 요건을 구비하고 있다. 따라서, 이 장치에 관한 설명 사항도, 상술의 방법에 관한 설명 사항과 실질적으로 동일하게 되기 때문에, 여기에서는 그 설명을 생략한다.

본 발명에 의하면, 처리 공간 주변에서의 유리판의 반송 형태가 적절화됨으로써 처리 공간에서 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시할 때에, 유리판의 하면 전역과 처리 가스의 반응이 균일화되어 유리판의 하면의 조화에 지장이 발생하기 어려워진다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 전체 개략적인 구성을 나타내는 종단 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 구성 요소인 급기구체 및 그 주변을 나타내는 확대 종단 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 구성 요소인 급기구의 주변 구조를 나타내는 요부 확대 종단 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치에 대해서 첨부된 도면을 참조해서 설명한다.

<제 1 실시형태>

우선, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 전체 개략 구성을 설명한다. 도 1은 그 전체 개략 구성을 나타내는 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 도 1에 있어서의 지면과 직교하는 방향을 폭방향으로 한다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 유리판의 제조 장치(1)는 반입구(2a)로부터 챔버(2) 내에 반입한 유리판(3)을 수평 방향으로 반송하면서, 챔버(2) 내에 있어서의 유리판(3)의 반송 경로 상에 설치한 처리 에리어(4)에서, 처리 가스(5)로서의 불화 수소에 의해 에칭 처리를 실시하는 구성으로 하고 있다. 그리고, 에칭 처리 후의 유리판(3)은 반출구(2b)로부터 챔버(2) 외로 반출된다.

챔버(2)는 그 외형이 폭방향으로 장척인 직방체 형상으로 형성되고, 그 내부 공간으로부터의 처리 가스(5)의 유출을 방지하고 있다. 그리고, 이 챔버(2)의 측벽부(2c)에 상술의 반입구(2a)와 반출구(2b)가 형성되어 있다. 또한, 챔버(2)의 재질은 처리 가스(5)(불화 수소)에 대한 내식성이 우수한 폴리염화비닐이다.

처리 에리어(4)에는 수평 방향으로 반송되는 유리판(3)에 대하여, 처리 가스(5)를 블로잉함으로써 에칭 처리를 실시하기 위한 에칭 장치(6)가 배치되어 있다. 이 에칭 장치(6)는 챔버(2)의 천장벽(2d)과의 사이에 간극(7)이 형성되도록 챔버(2)의 저부(2e)에 설치되어 있다.

또한, 이 유리판의 제조 장치(1)는 챔버(2) 내외에 배치된 상대적으로 지름이 큰 복수의 반송 롤러(8)를 갖는다. 이들의 반송 롤러(8)는 폭방향을 따라 연장되는 장척상 롤러 샤프트(8a)의 축방향 복수 개소에 소정의 간격을 두고 장착되어 있다. 따라서, 이들의 반송 롤러(8)는 반송 경로를 따른 방향으로 복수 배치되어 있을 뿐만 아니라, 폭방향에도 복수 배치되어 있다. 그리고, 이들의 반송 롤러(8)의 모두 또는 일부에는 회전 구동력이 부여된다.

게다가, 이 유리판의 제조 장치(1)는 에칭 장치(6) 내에 배치된 상대적으로 지름이 작은 복수의 특정 반송 수단으로서의 특정 반송 롤러(9)를 갖는다. 이들의 특정 반송 롤러(9)도, 반송 경로를 따른 방향으로 복수 배치되어 있을 뿐만 아니라, 폭방향에도 복수 배치되어 있다. 그리고, 이들의 특정 반송 롤러(9)와, 상술의 반송 롤러(8)에 의하여 수평 방향으로 일직선 형상에 연장되는 반송 경로를 따라 유리판(3)을 반송하는 구성으로 되어 있다. 이 경우, 반송 롤러(8)의 지름은 특정 반송 롤러(9)의 지름의 1.5배∼10배인 것이 바람직하고, 2배∼4배인 것이 보다 바람직하다.

도 1은 편의상, 챔버(2) 및 그 내부의 우측 단부와 좌측 단부를 도중에 파단하고 그 중앙부를 주로 해서 도시한 것이다. 그 때문에 도 1로부터는 상세하게는 파악할 수 없지만, 특정 반송 롤러(9)의 반송 방향에 있어서의 배열 피치는 반송 롤러(8)의 반송 방향에 있어서의 배열 피치보다 작다. 이 경우, 에칭 장치(6)는 반송 롤러(8)가 반송 방향으로 다수 배열되어 있는 중에서, 반송 방향에 있어서의 소정수의 반송 롤러(8)를 발취한 위치에 설치되어 있다. 그리고, 에칭 장치(6)에 조립되어 있는 특정 반송 롤러(9)의 반송 방향에 있어서의 배열수는 그 발취된 반송 롤러(8)의 반송 방향에 있어서의 배열수보다 많다.

도 2는 에칭 장치(6)의 구성을 상세하게 설명하기 위한 확대 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 도 2에 있어서의 지면과 직교하는 방향을 폭방향으로 한다. 또한, 도 2에 나타내는 화살표 A 방향은 유리판(3)의 반송 방향이며, 이 화살표 A 방향을 단지 반송 방향이라 한다. 따라서, 도 2에 있어서의 좌측이 반송 방향 전측(반송 경로의 하류측)이고, 우측이 반송 방향 후측(반송 경로의 상류측)이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 에칭 장치(6)는 상측에 배치된 상부 구성체(10)와 하측에 배치된 하부 구성체(11)를 갖고, 이 양 구성체(10, 11)는 폭방향의 양단에서 연결벽(12)에 의해 연결 일체화되어 있다. 그리고, 상부 구성체(10)의 하면(10a)과 하부 구성체(11)의 상면(11a)의 상호간에, 반송되는 유리판(3)의 하면에 대하여 처리 가스(5)에 의한 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간(13)이 형성되어 있다. 또한, 상부 구성체(10) 및 하부 구성체(11)의 재질은 폴리염화비닐이다. 또한, 상부 구성체(10)와 하부 구성체(11)에는 처리 가스(5)에 의한 결로의 발생을 방지하기 위한 가열 부재(14)(예를 들면, 히터 등)가 내장되어 있다.

상부 구성체(10)는 1장의 평판 형상을 이루는 천장판(15)으로 구성되고, 이 천장판(15)의 하면, 즉 상부 구성체(10)의 하면(10a)은 단일의 평면이다. 따라서, 천장판(15)의 하면은 요철을 갖지 않는다. 즉, 천장판(15)은 폭방향(길이 방향)의 양단부만이 연결 벽(12)에 볼트 등으로 고정되어 있기 때문에, 천장판(15)의 하면(10a)에는 볼트 또는 볼트 구멍 등의 존재에 의한 요철이 형성되어 있지 않다. 그리고, 이 천장판(15)의 하면(10a)은 반송되는 유리판(3)의 하면(3a) 및 상면(3b)과 평행하다.

하부 구성체(11)는 평판 형상을 이루는 저판(16)과, 저판(16)의 반송 방향 후방부에 수직 하강 고정된 급기구체(17)와, 저판(16)의 반송 방향 전방부에 수직 하강 고정된 배기구체(18)로 구성된다. 저판(16)의 반송 방향 후방부에는 처리 공간(13)에 통하는 급기 구멍(19)이 형성됨과 아울러 급기구체(17)에는 급기 구멍(19)에 통하는 급기로(20)가 형성되어 있다. 따라서, 처리 가스(5)를 상방으로 안내하는 처리 공간(13)에 분출하기 위한 급기용 통로(21)는 급기 구멍(19)과 급기로(20)로 구성된다. 그리고, 이 급기용 통로(21)의 상단 개구부가 저판(16)의 상면, 즉 하부 구성체(11)의 상면(11a)에 형성된 급기구(22)가 된다. 또한, 급기 구멍(19)은 상부가 좁혀져서 통로 면적이 작게 된 급기 소구멍부(19a)를 갖고, 이 급기 소구멍부(19a)의 상단이 상술의 급기구(22)이다. 이 경우, 저판(16)의 상면(11a)은 천장판(15)의 하면(10a)과 평행하다.

저판(16)의 반송 방향 전방부에는 처리 공간(13)에 통하는 배기 구멍(23)이 형성됨과 아울러 배기구체(18)에는 배기 구멍(23)에 통하는 배기로(24)가 형성되어 있다. 따라서, 처리 가스(5)를 처리 공간(13)으로부터 하방으로 흡입하여 회수하기 위한 회수용 통로(25)는 배기 구멍(23)과 배기로(24)로 구성된다. 그리고, 이 회수용 통로(25)의 상단 개구부가 하부 구성체(11)의 상면(11a)에 형성된 배기구(26)가 된다. 또한, 배기 구멍(23)은 상부가 좁혀져서 통로 면적이 작게 된 배기 소구멍부(23a)를 갖고, 이 배기 소구멍부(23a)의 상단이 상술의 배기구(26)이다. 그리고, 급기로(20)의 하단 및 배기로(24)의 하단은 챔버(2)의 저벽(2f)에 형성된 관통 구멍(27, 28)을 각각 통하여 챔버(2) 밖의 관로(도시 생략)로 통하고 있다.

저판(16)의 상부에는 유리판(3)을 하방으로부터 지지해서 유리판(3)의 반송에 제공되는 특정 반송 롤러(9)가 반송 방향의 복수 개소(도면예에서는 반송 방향의 2개소)에 조립되어 있다. 이들 특정 반송 롤러(9)는 하부 구성체(11)의 상부에 있어서의 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역을 제외하고 배치되어 있다. 상세하게는 이들 특정 반송 롤러(9)는 그 상호간 영역의 반송 방향 양측에 각각 배치되어 있다. 또한, 그 상호간 영역에 대응하는 하부 구성체(11)의 상면(11a)은 단일의 평면이다. 또한, 이 단일의 평면과, 하부 구성체(11)의 상면(11a)에 있어서의 급기구(22)보다 반송 방향 후측의 평면 및 배기구(26)보다 반송 방향 전측의 평면과는 면일상태가 되고 있다. 여기서, 처리 공간(13)은 엄밀하게는 상부 구성체(10)의 하면(10a)과 하부 구성체(11)의 상면(11a)의 사이에 있어서의 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 이격 범위내에 형성되는 공간이다. 따라서, 특정 반송 롤러(9)는 처리 공간(13) 내에 존재하지 않고 있다.

도 3에 확대해서 나타내는 바와 같이, 반송 방향의 각각의 개소에 있어서 폭방향에 복수 배치된 특정 반송 롤러(9)는 각각이 독립적이고 또한 각각이 폭방향으로 상호 이격된 상태에서, 하부 구성체(11)의 상부에 조립되어 있다. 상술하면, 각특정 반송 롤러(9)는 프리 롤러이고, 회전 구동력이 부여되지 않는다. 그리고, 저판(16)의 상부에 폭방향으로 소정 간격을 두고 형성된 오목부(29)에, 각 특정 반송 롤러(9)의 롤러 축(9a)이 회전 가능하게 유지되어 있다. 본 실시형태에서는 각 특정 반송 롤러(9)의 상부만이 하부 구성체(11)의 상면(11a)으로부터 상방으로 돌출되고, 각 롤러 축(9a)은 하부 구성체(11)의 상면(11a)으로부터 상방으로 돌출되지 않는다.

도 4는 급기구체(17) 및 저판(16)을 급기용 통로(21)의 흐름 중심 축선을 포함하는 형태로 절단한 확대 종단 측면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 급기용 통로(21)는 급기구체(17)를 구성하는 제 1∼제 4 판재(17a, 17b, 17c, 17d)와 저판(16)의 반송 방향 후방부로 이루어지는 5층 구조체의 내부에 형성되어 있다. 최하층에 위치하는 제 1 판재(17a)에는 이 제 1 판재(17a)에 처리 가스(5)를 공급하기 위한 공급 유로(17aa)가 형성되어 있다. 그리고, 이 제 1 판재(17a)와 그 상방에 적층되는 제 2 판재(17b)를 포갬으로써 공급 유로(17aa)로부터 공급된 처리 가스(5)의 분기 유로(17ba)가 형성된다. 또한, 제 2 판재(17b)와 그 상방에 적층되는 제 3 판재(17c)를 포갬으로써 상기의 분기 유로(17ba)를 더 분기시키는 분기 유로(17ca)가 형성된다. 제 3 판재(17c)의 상방에 적층되는 제 4 판재(17d)에는 분기된 분기 유로(17ca)를 합류시키기 위한 공간(17da)이 형성된다. 또한, 제 4 판재(17d)에는 처리 가스(5)를 통과시키기 위한 다수의 관통 구멍(17db)이 형성된 다공판(17dc)이 부착된다. 최상층에 위치하는 저판(16)에는 처리 공간(13)에 처리 가스(5)를 분출시키기 위한 상술의 급기 소구멍부(19a)를 포함하는 급기 구멍(19)이 형성된다.

저판(16)의 반송 방향 후방부에 형성되어 있는 급기 구멍(19) 및 급기구(22)와, 저판(16)의 반송 방향 전방부에 형성되어 있는 배기 구멍(23) 및 배기구(26)는 모두 폭방향으로 장척의 슬롯 형상으로 형성된다. 이들 급기 구멍(19), 급기구(22), 배기 구멍(23) 및 배기구(26)의 폭방향 치수는 유리판(3)의 폭방향 치수보다 길게 되어 있다.

도 5는 저판(16)에 형성된 급기 구멍(19)의 상부를 구성하는 급기 소구멍부(19a)의 주변 구조를 나타내는 요부 확대 종단 정면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 급기 소구멍부(19a)의 반송 방향 치수(L)는 상기 급기 소구멍부(19a)의 상하 방향 중간에 위치해서 폭방향으로 복수 설치된 스페이서(30)에 의해 일정 치수가 되도록 조절되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는 급기 소구멍부(19a)를 포함하는 급기 구멍(19)은 저판(16)을 반송 방향 후방부에서 분할한 각 분할 저판의 대향 끝면 사이의 간극이고, 이 간극의 크기가 스페이서(30)에 의해 조정되어 있다.

여기서, 급기 소구멍부(19a)에 있어서의 급기구(22)로부터 스페이서(30)까지의 깊이 치수(D)는 10∼100mm의 범위 내로 하는 것이 바람직하다. 이 깊이 치수(D)가 지나치게 짧으면, 스페이서(30)의 존재에 의해 급기 소구멍부(19a) 내의 처리 가스(5)의 흐름에 교란이 발생하고, 에칭 처리에 의한 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생할 우려가 있다. 이에 대하여, 깊이 치수(D)가 지나치게 길면, 급기구(22)의 반송 방향 치수(L)를 미세 조절하는 것이 곤란하게 된다. 그 때문에 급기구(22)로부터 처리 공간(13)으로의 처리 가스(5)의 공급량이 과대 또는 과소가 되어서 유리판(3)의 하면(3a)을 소망의 표면 조도로 조화할 수 없을 우려가 있다. 따라서, 급기구(22)로부터 스페이서(30)까지의 깊이 치수(D)는 상기의 수치 범위내에 있는 것이 바람직하다.

다음에, 이상의 구성을 구비한 유리판의 제조 장치(1)의 작용, 즉 유리판의 제조 방법에 관하여 설명한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 처리 공간(13)에 유리판(3)이 반송되어 있는 상태 하에서는 처리 공간(13)에서 처리 가스(5)가 하기와 같이 유통한다. 즉, 급기용 통로(21)에 유입된 처리 가스(5)는 급기구(22)로부터 상방(연직 상방)을 향해서 분출되고, 유리판(3)의 하면(3a)을 따라서 반송 방향 전측을 향해서 흐른 후, 배기구(26)로 흡입되어서 회수용 통로(25)를 통과해서 회수된다. 이 경우, 처리 가스(5)가 처리 공간(13)을 유통하는데 있어서, 처리 가스(5)의 유통 경로에는 특정 반송 롤러(9)가 존재하지 않는다. 그 때문에 처리 가스(5)의 흐름은 특정 반송 롤러(9)에 의해 교란되지 않게 된다. 즉, 특정 반송 롤러(9)는 처리 가스(5)의 유통경로로부터 벗어난 위치에 설치되어 있기 때문에, 처리 가스(5)의 흐름을 방해하는 경우가 없어지고, 처리 가스(5)의 흐름이 도중에 변화되는 등의 사태가 발생할 수 없게 된다. 이것에 의해 유리판(3)의 하면(3a) 전역과 처리 가스(5)의 반응이 균일화되어서 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생하기 어려워진다. 또한, 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역에 대응하는 하부 구성체(11)의 상면(11a)은 단일의 평면으로 되어 있기 때문에, 처리 가스(5)는 보다 한층 원활하게 흐르고, 유리판(3)의 하면(3a) 전역과 처리 가스(5)의 반응의 균일화가 보다 한층 촉진된다.

유리판(3)은 하부 구성체(11)의 상부에 조립된 한쌍의 특정 반송 롤러(9)에 의해 하방으로부터 지지되기 때문에, 인접한 지지 위치의 상호간 거리를 짧게 할 수 있다. 이것에 의해 유리판(3)이 박육(예를 들면, 판두께가 300㎛ 이하 또는 200㎛ 이하)이어도 에칭 처리가 실시되어 있는 유리판(3)에 부당한 휨이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 유리판(3)의 하면(3a)에 대한 에칭 처리의 적정화가 확보될 뿐만 아니라, 유리판(3)의 하면(3a)의 손상 또는 유리판(3)의 반송의 저해 등의 바람직하지 않은 경우가 회피된다.

또한, 천장판(15)의 하면(10a)은 요철을 갖지 않는 단일의 평면으로 되어 있으므로 유리판(3)의 상면(3b)의 조화에 관해서도 불균일이 발생하기 어려워진다. 즉, 처리 가스(5)는 처리 공간(13)에서 유리판(3)의 상면(3b)측으로 돌아 들어가는 경우가 있다. 그 경우에, 천장판(15)의 하면(10a)에 요철이 존재하고 있으면, 이 요철에 의해 유리판(3)의 상면(3b)측으로 돌아 들어간 처리 가스(5)의 흐름에 교란이 발생하고, 유리판(3)의 상면(3b) 전역이 처리 가스(5)와 균일하게 반응하지 않게 된다. 그러나, 천장판(15)의 하면(10a)에 요철이 존재하지 않고 있으면, 이러한 바람직하지 않는 경우가 회피되어서 유리판(3)의 상면(3b)의 조화가 균일화된다.

<제 2 실시형태>

다음에, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(그 제조 방법)에 관하여 설명한다. 또한, 이 제 2 실시형태의 설명에 있어서, 상기의 제 1 실시형태에서 이미 설명한 구성 요소에 대해서는 참조 도면에 동일한 부호를 부여하는 것으로 중복하는 설명을 생략하고, 여기에서는 제 1 실시형태와의 차이점에 대해서만 설명한다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 이 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(1)가 상기의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(1)와 상위하고 있는 점은 하부 구성체(11)의 상부에 있어서의 급기구(22)의 반송 방향 후측에만 특정 반송 롤러(9)가 조립되어 있는 점과, 하부 구성체(11)에 있어서의 반송 방향 전단부의 전측에 반송 롤러(8)가 근접해서 설치되어 있는 점이다. 따라서, 유리판(3)에 에칭 처리가 실시될 때에는 유리판(3)은 특정 반송 롤러(9)와 반송 롤러(8)에 의해 하방으로부터 지지된다.

이 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(1)에 의하면, 하부 구성체(11)의 반송 방향 후측에만 존재하는 특정 반송 롤러(9)는 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역을 제외해서 배치되어 있다. 따라서, 특정 반송 롤러(9)가 처리 가스(5)의 흐름을 교란하는 경우가 없어지고, 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생하기 어려워진다. 게다가, 이러한 위치에 특정 반송 롤러(9)가 조립되어 있으면, 하부 구성체(11)에 특정 반송 롤러(9)가 전혀 조립되어 있지 않는 경우에 비교해서 유리판(3)의 두개의 지지 위치의 상호간 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 유리판(3)이 에칭 처리 시에 부당하게 휘는 것에 의한 상술의 문제는 발생하지 않는다.

또한, 상기의 제 2 실시형태에서는 급기구(22)의 반송 방향 후측에만 특정 반송 롤러(9)를 조립하도록 했지만, 배기구(26)의 반송 방향 전측에만 특정 반송 롤러(9)를 조립하도록 해도 된다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 유리판(3)의 반송 방향이 급기구(22)로부터 배기구(26)를 향하는 방향으로 되어 있지만, 이것과는 반대로 유리판(3)의 반송 방향이 배기구(26)로부터 급기구(22)를 향하는 방향이어도 동일하게 하여 본 발명을 적용할 수 있다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 하부 구성체(11)의 상부에 있어서, 급기구(22)로부터 반송 방향 후측의 단부까지의 거리와, 배기구(26)로부터 반송 방향 전측의 단부까지의 거리가 짧으므로 그들의 부위에 하나의 특정 반송 롤러(9)를 조립하고 있는 것에 그친다. 그러나, 그들의 부위의 거리를 길게 하면, 그들의 부위에 복수의 특정 반송 롤러(9)를 각각 조립할 수도 있다.

게다가, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 복수의 반송 롤러(8)의 모두 또는 일부를 회전 구동력이 부여되는 구동 롤러로 하고, 하부 구성체(11)에 조립되는 특정 반송 롤러(9)를 회전 구동력이 부여되지 않는 프리 롤러로 했지만, 이 특정 반송 롤러(9)는 회전 구동력이 부여되는 구동 롤러이어도 된다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 하부 구성체(11)에 조립되는 특정 반송 수단을 롤러(9)로 했지만, 이외에 롤러라 호칭되지 않는 회전체 등이어도 된다.

게다가, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 급기구체(17)와 배기구체(18)가 별체로 되어 반송 방향으로 서로 이격해서 배치되어 있지만, 이 양자(17, 18)는 일체화되어 있어도 된다.

1 : 유리판의 제조 장치 3 : 유리판
3a : 유리판의 하면 3b : 유리판의 상면
8 : 반송 롤러 9 : 특정 반송 수단(특정 반송 롤러)
10 : 상부 구성체 10a : 상부 구성체의 하면
11 : 하부 구성체 11a : 하부 구성체의 상면
13 : 처리 공간 15 : 천장판
16 : 저판 17 : 급기구체
18 : 배기구체 22 : 급기구
26 : 배기구

Claims (9)

1. 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과 상부 구성체의 하면을 대향시켜 배치하고, 상기 대향하는 양면의 상호간에 형성되는 처리 공간에서 상기 급기구로부터 분출되어서 상기 배기구로 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 상기 급기구와 상기 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시키고, 상기 하부 구성체에 조립된 특정 반송 수단이 상기 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공되도록 한 유리판의 제조 방법에 있어서,
   상기 특정 반송 수단이 상기 급기구와 상기 배기구의 상호간 영역을 제외하고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
2. 제 2 항에 있어서,
   상기 특정 반송 수단이 상기 급기구와 상기 배기구의 상호간 영역의 유리판반송 방향 양측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 특정 반송 수단이 특정 반송 롤러인 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 특정 반송 롤러가 상기 유리판의 하면과 평행한 방향이고 또한 유리판 반송 방향과 직교하는 방향으로 복수 배열된 프리 롤러인 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 복수의 프리 롤러는 각각이 독립적으로 또한 각각이 상호 이격되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 처리 공간에 상기 유리판을 반출입하기 위해 상기 상부 구성체 및 하부 구성체의 외부에 배치된 반송 롤러를 갖고, 상기 특정 반송 롤러의 지름이 상기 반송 롤러의 지름보다 작은 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 특정 반송 롤러가 유리판 반송 방향으로 복수 배열됨과 아울러, 상기 반송 롤러가 유리판 반송 방향으로 복수 배열되고, 상기 특정 반송 롤러의 유리판 반송 방향에 있어서의 배열 피치가 상기 반송 롤러의 유리판 반송 방향에 있어서의 배열 피치보다 작은 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 급기구와 상기 배기구의 상호간 영역에 대응하는 상기 하부 구성체의 상면이 단일의 평면인 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
9. 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과 상부 구성체의 하면을 대향시켜 배치하고, 상기 대향하는 양면의 상호간에 형성되는 처리 공간에서 상기 급기구로부터 분출되어서 상기 배기구로 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 상기 급기구와 상기 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시키고, 상기 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공되는 특정 반송 수단을 상기 하부 구성체에 조립한 유리판의 제조 장치에 있어서,
   상기 특정 반송 수단이 상기 급기구와 상기 배기구의 상호간 영역을 제외하고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.

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