JP6854605B2 - レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1、図2に示すように、レーザ照射装置1は、浮上ユニット10を備える。浮上ユニット10は、被処理体16を浮上させながら搬送する。具体的には、レーザ照射装置1は、浮上ユニット10を用いて被処理体16を浮上させながら、把持部18(図1参照)を用いて被処理体16を把持して搬送方向(x軸方向)に被処理体16を搬送する。被処理体16が搬送される際、浮上ユニット10は被処理体16の上側に配置されている他の機構(不図示)に被処理体16が接触しないように浮上量を調整している。
次に、実施の形態2にかかるレーザ照射装置について説明する。図5は、実施の形態2にかかるレーザ照射装置を説明するための平面図である。図6は、図5に示すレーザ照射装置の切断線V−Vにおける断面図である。レーザ照射装置1は、被処理体16を浮上ユニット10を用いて浮上させて搬送しながら被処理体16にレーザ光15を照射する装置である。
図5、図6に示すように、レーザ照射装置1は、浮上ユニット10を備える。浮上ユニット10は、被処理体16を浮上させながら搬送する。具体的には、レーザ照射装置1は、浮上ユニット10を用いて被処理体16を浮上させながら、把持部18(図5参照)を用いて被処理体16を把持して搬送方向(x軸方向)に被処理体16を搬送する。被処理体16が搬送される際、浮上ユニット10は被処理体16の上側に配置されている他の機構(不図示)に被処理体16が接触しないように浮上量を調整している。
図7、図8はそれぞれ、精密浮上ユニット11の構成例を説明するための断面図、及び平面図である。なお、以下では精密浮上ユニット11a、11bを総称して精密浮上ユニット11とも記載する。準精密浮上ユニット12、及びラフ浮上ユニット13についても同様である。また、以下では、精密浮上ユニット11の構成例について説明するが、準精密浮上ユニット12の構成についても精密浮上ユニット11の構成と基本的に同様である。
次に、ラフ浮上ユニット13a〜13fの構成例について説明する。図10、図11はそれぞれ、ラフ浮上ユニット13の構成例を説明するための断面図、及び平面図である。図10に示すように、ラフ浮上ユニット13は、台座31および多孔質体32を備える。多孔質体32は台座31の上側に設けられており、ガス噴出部として機能する。多孔質体32は給気ポート34_1、34_2に接続されており、圧縮されたガスが給気ポート34_1、34_2を介して多孔質体32に供給される。例えば、給気ポート34_1、34_2はラフ浮上ユニット13の下部に設けられている。多孔質体32に供給された圧縮ガスは、多孔質体32の内部を通過した後、多孔質体32の上面から上方に噴出する。これにより、被処理体16が浮上する。
図13は、ラフ浮上ユニット13a〜13fの配管系統(給気系統)の一例を説明するためのブロック図である。図13に示すように、ガス供給源41から配管に供給された圧縮ガスは2系統に分岐されて、フィルタ42_1およびフィルタ42_2にそれぞれ供給される。例えば、圧縮ガスには、圧縮された不活性ガス(圧縮された窒素ガス等)や圧縮空気を用いることができる。
図14は、精密浮上ユニット11a、11b及び準精密浮上ユニット12a〜12dの配管系統(給気系統)の一例を説明するためのブロック図である。図14に示すように、ガス供給源51から配管に供給された圧縮ガスはフィルタ52に供給される。例えば、圧縮ガスには、圧縮された不活性ガス(圧縮された窒素ガス等)や圧縮空気を用いることができる。
図15は、精密浮上ユニット11a、11b及び準精密浮上ユニット12a〜12dの配管系統(排気系統)の一例を説明するためのブロック図である。図15に示すように、ガス供給源61から配管に供給された圧縮ガスはレギュレータ62_1及びレギュレータ62_2にそれぞれ供給される。例えば、圧縮ガスには、圧縮空気や圧縮された不活性ガス(圧縮された窒素ガス等)を用いることができる。
図16は、本実施の形態にかかるレーザ照射装置1を用いて被処理体16を搬送している状態を説明するための断面図である。図16(a)に示すように、被処理体16がラフ浮上ユニット13a〜13cの上を通過する際は、被処理体16のたわみ量は大きくなる。これは、図12に示したように、ラフ浮上ユニット13a〜13cの上を被処理体16が通過している際は、被処理体16とラフ浮上ユニット13a〜13cとの間にガス溜まり35が形成されるためである。
図17〜図21は、精密浮上ユニット(精密浮上領域)11、準精密浮上ユニット(準精密浮上領域)12、及びラフ浮上ユニット(ラフ浮上領域)13の配置例を説明するための平面図である。図17〜図21に示すレーザ照射装置1_1〜1_5のステージ上には、精密浮上ユニット11、準精密浮上ユニット12、及びラフ浮上ユニット13がそれぞれ配置されている。そして、ステージ上において被処理体16を浮上させ、把持部(不図示)を用いて被処理体16をステージ上の矢印の方向に搬送して被処理体16を処理する。
次に、準精密浮上ユニットの他の構成例について説明する。図22は、準精密浮上ユニットの他の構成例を説明するための平面図である。図22に示す構成例では、ラフ浮上ユニット13、準精密浮上ユニット70、及び精密浮上ユニット11が搬送方向に並ぶように配置されている。ラフ浮上ユニット13、準精密浮上ユニット70、及び精密浮上ユニット11の上面、つまり被処理体16と対向する面側には多孔質体が形成されている。図22に示すラフ浮上ユニット13、準精密浮上ユニット70、及び精密浮上ユニット11においても、多孔質体の上面から上方に圧縮ガスが噴出する。これにより、被処理体16が浮上する。
図23は、精密浮上ユニットの他の構成例を説明するための断面図である。図23に示す精密浮上ユニットは、下部ユニット81a、81b、及び上部ユニット81c、81dを用いて構成されている。なお、下部ユニット81a、81b、及び上部ユニット81c、81dを総称して精密浮上ユニット81a〜81dとも記載する。
図25は、レーザ照射装置2が備える各々の浮上ユニットの他の構成例を説明するための断面図である。図25に示すレーザ照射装置2では、精密浮上ユニットは、下部ユニット91a、91b、及び上部ユニット91c、91dを用いて構成されている。なお、下部ユニット91a、91b、及び上部ユニット91c、91dを総称して精密浮上ユニット91a〜91dとも記載する。
次に、上記で説明したレーザ照射装置を用いた半導体装置の製造方法について説明する。本実施の形態では、レーザ照射装置としてレーザアニール装置を用いることで、基板上に形成した非晶質膜にレーザ光を照射して非晶質膜を結晶化させることができる。例えば、半導体装置はTFT(Thin Film transistor)を備える半導体装置であり、この場合はアモルファスシリコン膜にレーザ光を照射して結晶化させてポリシリコン膜を形成することができる。
次に、TFTを備える半導体装置を用いたデバイスの一例として、有機ELディスプレイについて説明する。図27は、有機ELディスプレイの概要を説明するための断面図であり、有機ELディスプレイの画素回路を簡略化して示している。図27に示す有機ELディスプレイ300は、各画素PXにTFTが配置されたアクティブマトリクス型の表示装置である。
10 浮上ユニット
11、11a、11b 精密浮上ユニット
12、12a〜12d 準精密浮上ユニット
13、13a〜13f ラフ浮上ユニット
15 レーザ光、レーザ照射位置
16 被処理体
18 把持部
21 台座
22 多孔質体
24_1、24_2 給気ポート
25_1、25_2 排気ポート
26 流路
27 吸気孔
31 台座
32 多孔質体
34_1、34_2 給気ポート
Claims (14)
- レーザ光を発生させるレーザ発生装置と、
前記レーザ光が照射される被処理体を浮上させる浮上ユニットと、を備え、
前記浮上ユニットは、第1の領域と第2の領域とを備え、
前記第1の領域および前記第2の領域は、平面視した際に前記レーザ光の焦点と前記第1の領域とが重畳し、前記レーザ光の焦点と前記第2の領域とが重畳しないように配置されており、
前記第1の領域は、ガスの噴出および吸引を用いて前記被処理体を浮上させるように構成されており、
前記第2の領域は、ガスの吸引を用いず、ガスの噴出を用いて前記被処理体を浮上させるように構成されており、
前記浮上ユニットは更に、前記第1の領域と前記第2の領域との間に配置された第3の領域を備え、
前記第3の領域は、ガスの噴出および吸引を用いて前記被処理体を浮上させるように構成されており、
前記第1の領域および前記第3の領域は、前記第1の領域における前記ガスの制御と前記第3の領域における前記ガスの制御とが前記第1の領域および前記第3の領域においてそれぞれ独立に制御可能に構成されており、
前記第1の領域は、
ガスを上方に噴出して前記被処理体を浮上させる第1のガス噴出部と、
前記被処理体と前記第1の領域との間に存在するガスを吸引する複数の第1の吸気孔と、を備え、
前記第3の領域は、
ガスを上方に噴出して前記被処理体を浮上させる第2のガス噴出部と、
前記被処理体と前記第3の領域との間に存在するガスを吸引する複数の第2の吸気孔と、を備え、
前記第2のガス噴出部は多孔質体を用いて構成されており、
前記複数の第2の吸気孔は、前記多孔質体の前記被処理体と対向する面において、前記第2の領域側よりも前記第1の領域側において密になるように配置されている、
レーザ照射装置。 - 前記第1のガス噴出部は多孔質体を用いて構成されており、
前記複数の第1の吸気孔は、前記多孔質体の前記被処理体と対向する面において均一に配置されている、
請求項1に記載のレーザ照射装置。 - 前記第2の領域は、ガスを上方に噴出して前記被処理体を浮上させる第3のガス噴出部を備える、請求項1に記載のレーザ照射装置。
- 前記第1のガス噴出部に供給されるガス供給量と前記第2のガス噴出部に供給されるガス供給量とが独立に制御可能に構成されており、
前記第1の吸気孔のガス吸引量と前記第2の吸気孔のガス吸引量とが独立に制御可能に構成されている、
請求項1に記載のレーザ照射装置。 - 前記第1の領域には、
前記被処理体の搬送路の下部側に配置され、前記第1のガス噴出部と前記複数の第1の吸気孔とを備える下部ユニットと、
前記被処理体の搬送路の上部側に配置され、前記被処理体の上面にガスを吹き付ける上部ユニットと、が配置されている、
請求項1に記載のレーザ照射装置。 - 前記上部ユニットには前記レーザ光が通過する隙間が形成されており、当該隙間から前記被処理体の前記レーザ光の照射領域にシールドガスが供給される、請求項5に記載のレーザ照射装置。
- 前記第1の領域の前記被処理体と対向する面の平面度は、前記第2の領域の前記被処理体と対向する面の平面度よりも小さい、
請求項1に記載のレーザ照射装置。 - 前記第3の領域の前記被処理体と対向する面の平面度は、前記第1の領域の前記被処理体と対向する面の平面度よりも大きく、前記第2の領域の前記被処理体と対向する面の平面度よりも小さい、
請求項7に記載のレーザ照射装置。 - 前記第1の領域を前記被処理体が通過する際の前記被処理体のたわみ量は、前記第2の領域を前記被処理体が通過する際の前記被処理体のたわみ量よりも小さい、
請求項1に記載のレーザ照射装置。 - 前記第3の領域における前記浮上ユニットは、前記第2の領域から前記第1の領域に前記被処理体が搬送される際に、前記被処理体のたわみ量が滑らかに変化するように前記被処理体を搬送する、
請求項9に記載のレーザ照射装置。 - 被処理体を浮上ユニットを用いて浮上させて搬送しながら前記被処理体にレーザ光を照射するレーザ照射方法であって、
前記浮上ユニットは、平面視した際に前記レーザ光の焦点と重畳する第1の領域と、前記レーザ光の焦点と重畳しない第2の領域と、を備え、
前記浮上ユニットを用いて前記被処理体を搬送する際、
前記第1の領域はガスの噴出および吸引を用いて前記被処理体を浮上させて搬送し、
前記第2の領域はガスの吸引を用いず、ガスの噴出を用いて前記被処理体を浮上させて搬送し、
前記浮上ユニットは更に、前記第1の領域と前記第2の領域との間に配置された第3の領域を備え、
前記第3の領域は、ガスの噴出および吸引を用いて前記被処理体を浮上させるように搬送し、
前記第1の領域および前記第3の領域は、前記第1の領域における前記ガスの制御と前記第3の領域における前記ガスの制御とが前記第1の領域および前記第3の領域においてそれぞれ独立に制御可能であり、
前記第1の領域は、
ガスを上方に噴出して前記被処理体を浮上させ、
前記被処理体と前記第1の領域との間に存在するガスを複数の第1の吸気孔によって吸引し、
前記第3の領域は、
多孔質体を用いてガスを上方に噴出して前記被処理体を浮上させ、
前記被処理体と前記第3の領域との間に存在するガスを複数の第2の吸気孔によって吸引し、
前記複数の第2の吸気孔は、前記多孔質体の前記被処理体と対向する面において、前記第2の領域側よりも前記第1の領域側において密になるように配置されている、
レーザ照射方法。 - (a)基板上に非晶質膜を形成するステップと、
(b)前記非晶質膜にレーザ光を照射して前記非晶質膜を結晶化させるステップと、を含む半導体装置の製造方法であって、
前記(b)のステップは、前記基板を浮上ユニットを用いて浮上させて搬送しながら前記非晶質膜にレーザ光を照射するステップであり、
前記浮上ユニットは、平面視した際に前記レーザ光の焦点と重畳する第1の領域と、前記レーザ光の焦点と重畳しない第2の領域と、を備え、
前記浮上ユニットを用いて前記基板を搬送する際、
前記第1の領域はガスの噴出および吸引を用いて前記基板を浮上させて搬送し、
前記第2の領域はガスの吸引を用いず、ガスの噴出を用いて前記基板を浮上させて搬送すし、
前記浮上ユニットは更に、前記第1の領域と前記第2の領域との間に配置された第3の領域を備え、
前記第3の領域は、ガスの噴出および吸引を用いて前記基板を浮上させるように搬送し、
前記第1の領域および前記第3の領域は、前記第1の領域における前記ガスの制御と前記第3の領域における前記ガスの制御とが前記第1の領域および前記第3の領域においてそれぞれ独立に制御可能であり、
前記第1の領域は、
ガスを上方に噴出して前記基板を浮上させ、
前記基板と前記第1の領域との間に存在するガスを複数の第1の吸気孔によって吸引し、
前記第3の領域は、
多孔質体を用いてガスを上方に噴出して前記基板を浮上させ、
前記基板と前記第3の領域との間に存在するガスを複数の第2の吸気孔によって吸引し、
前記複数の第2の吸気孔は、前記多孔質体の前記基板と対向する面において、前記第2の領域側よりも前記第1の領域側において密になるように配置されている、
半導体装置の製造方法。 - 前記第1の領域を前記被処理体が通過する際の前記被処理体のたわみ量は、前記第2の領域を前記被処理体が通過する際の前記被処理体のたわみ量よりも小さい、
請求項11に記載のレーザ照射方法。 - 前記第1の領域を前記基板が通過する際の前記基板のたわみ量は、前記第2の領域を前記基板が通過する際の前記基板のたわみ量よりも小さい、
請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
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