KR0135395B1 - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

기판처리장치의 대형화를 억제하고, 기판의 파손과 기판의 처리능력의 저하를 방지하면서 이동교체를 간편하게 한다.

반송용 캐리어(1a)를 반입 또는 반출하는 캐리어 반입반출부(20A)와, 반송용 캐리어(1a)에서 기판(W)을 꺼내서 표면처리용 캐리어(1b)로 이동교체 기판 이동교체부(20B)와, 기판(W)의 표면처리부(20C)를 배치한다.

기판 이동교체부(20B)에서는 복수의 반송용 캐리어(1a)에서 꺼낸 기판(W)을 단일의 표면처리용 캐리어(1b)로 이동교체한다. 해당기판(W)을 수용한 표면처리용 캐리어(1b)는 캐리어 반송로보트(15C)로 반송해서 표면처리부(20C)의 처리조(28a,28b)내에서 침지하여 기판의 표면 처리를 한다.

Description

기판처리장치

제 1도는 본 발명에 관한 기판처리장치의 사시도,

제 2도는 본 발명에 관한 기판처리장치의 개요를 나타내는 측면도,

제 3도는 제1의 기판 수도(受渡)장치(30)의 개요를 나타내는 정면도,

제 4도는 기판의 배열 핏치 변환장치(40)의 사시도,

제 5도는 종래예 1의 기판처리장치의 개요를 나타내는 정면도,

제 6도는 종래예 2의 기판처리장치의 개요를 나타내는 사시도.

＊도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＊

W : 기판,P : 기판배열핏치,

1a : 반송용 캐리어,1b : 표면처리용 캐리어,

15A : 캐리어 이재로보트,15B : 기판척(chuck),

15C : 캐리어 반송로보트,20A : 캐리어 반입반출부,

20B : 기판 교체부,20C : 기판의 표면처리부,

40 : 배열핏치 변환장치.

본 발명은 반도체 기판 등의 박판상 피처리기판(이하 간단히 기판으로 한다)을 표면 처리용 캐리어에 수용해서, 캐리어 배치(Batch)방식에 의해 처리조 내에 침지해서 표면처리를 하는 기판처리장치에 관한 것이다.

종래의 기판처리장치에서는 복수의 기판을 수납한 캐리어를 캐리어 반송로보트에 의해 처리조로 반송하는 캐리어 배치 방식과 캐리어에서 꺼내진 복수의 기판을 척(chuck)에 의해 보지해서 처리조로 반송하는 캐리어레스 방식이 채용되고 있다.

상기 캐리어 배치 방식에 의한 기판처리장치로서는, 예를들면 일본특허공개 2-10728호에 개시된것(이하 종래예 1이라 한다)이, 또, 상기 캐리어레스 방식에 의한 기판처리장치로 해서는 예를들면 본 출원인의 제안에 의한 것으로서 일본특허공개 4-294535호에 개시된 것(이하 종래예 2이라 한다)이 알려져 있다.

상기 종래예 1은 예를 들면 제5도에 나타낸 바와 같이, 2개의 캐리어(1b)를 캐리어 반송로보트(15C)로 동시에 반송함과 동시에, 그들의 캐리어(1b)를 처리조(28)내로 침지해서 기판(W)의 표면처리를 하는 것이다.

또 상기 종래예 2는 제6도에 나타난 바와 같이, 2개의 캐리어(1a)에서 2군의 기판(W1, W2)을 기판척(15B)으로 꺼내서, 전체의 기판(W)을 정렬 방향으로 거의 같은 핏치로 배열하여, 재차 이들의 기판(W)을 기판척(15B)으로 일괄 보지해서 처리조(28)내의 기판 보지구(도시되지 않음)로 이동교체해서 기판(W)의 표면처리를 하는 것이다.

제6도에서, 부호2는 캐리어 위치대, 5는 캐리어(1a)내의 각 기판(W)의 오리엔테이숀 플랫을 정합하기 위한 정합용 롤러, 6은 캐리어 위치대(2)의 수평 이동 위치보다도 아래에 고정 배치되어, 각 캐리어(1a)내의 기판(W)을 상대적으로 밀어올려서 일괄 보지하는 기판 보지구, 13은 기판보지구(6)의 가대(10)를 서로 접속, 격리 자유롭게 연결하는 링크, 15B는 기판보지구(6)로 보재된 캐리어 2개분(50매)의 기판(W)을 일괄 보지해서 반송하는 기판척이다. 또한, 화살표(A-C)는 캐리어 위치대(2)의 동작을, 화살표(E-G)는 기판척(15B)의 동작을 나타낸다.

이 장치에 의하면, 링크(13)에서 2군의 기판(W1, W2)을 서로 접근시키는 것에 의해 전 기판을 정렬방향으로 거의 같은 핏치로 배열하여, 기판척(15B)으로 일괄 보지해서 이동 교체할 수 있다.

상기 종래예 1은 2개의 캐리어(1b)를 동시에 처리조(28)내로 침지하기 때문에 기판의 처리 매수를 소정량 확보하고자 하면, 큰 처리조가 필요로 된다. 이 때문에 복수의 처리조를 병설하는 경우에는 기판처리장치가 대형화한다.

또, 캐리어(1b)의 양측 벽측에 수납된 기판은 캐리어(1b)의 중앙부에 수납된 기판에 대해서 처리결과에 차가 생기는 경우가 있기 때문에, 캐리어(1b)의 수에 비례해서 차가 생기는 기판의 수가 증가한다.

한편, 상기 종래예 2는 기판을 서로 접근시키고 있는 것에 의해, 종래예 1에 비교해서 처리조(28)는 작게 되나, 기판을 기판척(15B)으로 일괄 보지해서 처리조(28)내의 기판 보지구로 이동 교체해서 표면 처리하므로, 복수의 처리조를 병설해서 기판의 이동교체의 빈도가 많게 되는 경우에는 기판의 척미스와 기판을 협지하는 때의 맞닿는 쇼크에 의한 기판의 파손이 생길우려가 있다. 또, 기판의 협지를 확실하게 할 필요가 있으므로, 그 협지 동작은 천천히 하게 되기 때문에 이동교체에 시간이 걸려 단위 시간당의 기판처리 능력이 저하한다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안한 것으로 상기 종래예 1과 상기 종래예 2의 문제점을 동시에 해소하는 것, 즉, 기판처리장치의 대형화를 억제하고, 기판의 파손을 방지하면서 기판의 처리능력을 높히는 것을 기술과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 아래와 같이 구성되어 있다.

즉, 청구항 1의 발명은 반송용 캐리어를 반입 또는 반출하는 캐리어 반입 반출부와 반송용 캐리어에서 기판(W)을 꺼내어서 표면처리용 캐리어로 이동교체하는 기판이동 교체부와 기판(W)의 표면처리부를 배치해서 구성하고, 복수의 반송용캐리어에서 꺼내진 기판을 단일의 표면 처리용 캐리어로 이동 교체해, 해당 기판을 수용

한 표면처리용 캐리어를 캐리어 반송 로보트로 반송해서 표면처리부의 처리조 내에 침지해서 기판의 표면처를 하도록 구성한 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 2의 발명은 상기 기판 이동 교체부에, 기판의 배열 핏치를 변환하는 배열 핏치 변환장치를 설치하여 복수의 반송용 캐리어에서 꺼내진 기판의 배열핏치를 축소해서 상기 단일의 표면처리용 캐리어로 이동 교체하도록 구성한 것이다 .

청구항 1의 발명에서는 복수의 반송용 캐리어에서 꺼낸 기판을 단일의 표면처리용 캐리어로 이동교체한다.

결국, 단일의 표면처리용 캐리어 내에는 반송용 캐리어 복수 개분의 기판이 수용된다. 이 단일의 표면처리용 캐리어를 처리조 내로 침지해서 기판의 표면처리를 하는 것에 의해, 복수개의 캐리어를 침지하는 경우에 비교해서 처리조의 용적이 작게 마무리된다.

또, 종래예 2와는 다르게 기판을 기판척으로 일괄유지하여 처리조내의 기판보지구로 이체하여 표면처리를 하는 것이 아니라, 기판을 표면처리용 캐리어에 넣은 채로 이 표면처리용 캐리어를 처리조 내로 침지해서 기판의 표면처리를 하므로서 캐리어 반송 로보트에 의한 캐리어의 반송, 침지 동작을 신속하게 하여도 기판의 척 미스와 기판을 협지하는 때의 맞닿는 쇼크에 의해 기판의 파손이 생길 우려는 없게 된다. 이것에 의해, 단위 시간당의 처리능력도 높아진다.

청구항 2의 발명에서는 복수의 반송용 캐리어에서 꺼내진 기판의 배열 핏치를 배열 핏치 변환장치에 의해 축소해서 상기 단일의 표면처리용 캐리어로 이동교체 된다. 이것에 의해, 표면 처리용 캐리어는 작아도 기판의 수용 매수는 많게 되어 처리 능력도 한층 높아진다.

이하 본 발명의 실시예를 도면에 의거해서 더 자세히 설명한다. 제1도는 본 발명에 관한 기판처리장치의 사시도이다. 또, 부호20은 기판처리장치 전체를 나타낸다.

이 기판처리장치(20)는 제1도에 나타난 바와 같이, 반송용 캐리어(1a)를 반입, 반출하는 캐리어 반입 반출부(20A)와, 반송용 캐리어(1a)에서 기판(W)을 꺼내어서 표면처리용 캐리어(1b)로 이동 교체하는 기판 이동 교체부(20B)와, 기판(W)의 표면 처리부(20C)와, 기판 건조부(20D)와, 반송용 캐리어(1a)를 세정하는 캐리어 세정부(20E)와, 메인터넌스 작업 영역(20F)을 도시한 바와 같이 배치해서 이루어진다.

또, 캐리어 반입 반출구(20A)를 따라 캐리어 이재 로보트(15A)가, 기판 이동 교체부(20B)를 따라서 기판척(15B)이, 기판 이동교체부(20B)에서 기판(W)의 표면처리부(20C)와 기판건조부(20D)에 걸쳐서 캐리어 반송 로보트(15C)가 각각 이동가능하게 설치되어 있다. 이하, 순차로 각 부의 설명을 한다.

상기 캐리어 반입 반출구(20A)는 제1도 및 제2도에 나타난 바와 같이, 선행공정에서 반입되어 온 복수의 반송용 캐리어(1a)를 옮겨싣는 스테이지(21)와, 이 스테이지의 개구부(21a·21b)의 하측에 설치된 정합용 롤러(5)와, 스테이지(21)에 따라 이동가능, 회동가능, 또 상승가능하게 설치된 캐리어 이재 로보트(15A)를 구비해서 되고, 스테이지(21)의 일단측에 반입되어온 반송용 캐리어(1a)내의 기판(W)을 상기 정합용 롤러(5)로 정합하고, 그 캐리어(1a)를 캐리어 이재 로보트(15A)에서 기판 이동 교체부(3B)의 턴 테이블(23) 상으로 옮겨실음과 동시에 처리 끝난 기판(W)을 수납한 반송용 캐리어(1a)를 캐리어 이재 로보트(15A)로 스테이지(21)의 타단측으로 옮겨싣고, 그 반송용 캐리어(1a)를 후속처리공정으로 향해서 반출하도록 구성되어 있다.

상기 기판 이동 교체부(20B)는 제2도에 나타난 바와 같이, 캐리어 위치 테이블(22)과, 이 캐리어 위치 테이블(22)의 하측에 각각 설치된 제1의 기판수도장치(30), 기판의 배열핏치변환장치(40) 및 제2의 기판수도장치(50)와, 캐리어 위치 테이블(22)의 일측에 설치되어, 캐리어 위치 테이블(22)에 따라 이동가능한 기판척(15B)을 구비해서 되고, 상기 캐리어 이재 로보트(15A)로 반송되어온 2개의 반송용 캐리어(1a)에서 기판(W)을 꺼내고, 그 배열핏치를 축소하여, 별도의 표면 처리용 캐리어(1b)내로 이동 교체하도록 구성되어 있다.

제3도는 상기 제1의 기판수도장치(30)의 개요를 나타내는 정면도이다.

이 기판수도장치(30)는 제2도 및 제3도에 나타난 바와 같이, 캐리어 위치 테이블(22)에 설치된 2개의 한 쌍의 각 턴 테이블(23)을 수평 회전시키기 위해 설치된 구동모터(31)와, 각 턴 테이블(23)의 하측에 배치되어, 턴테이블(23)의 중앙개구부를 관통해서 승강하는 2개의 기판수도구(32)와, 승강기 프레임(33)을 통해서 각 기판 수도구(32)를 서로 접근·이간시키는 링크 구동수단(35)으로 된다. 또한, 상기 턴 테이블(23)은 캐리어 이재 로보트(15A)에 의해 턴 테이블(23) 상에 옮겨진 반송용 캐리어(1a)의 방향을 90°회전시키는 것에 의해 기판(W)의 수용 방향을 후속의 각종장치에 대응시키기 위한 것으로, 후속의 장치의 배열에 의해 반드시 턴테이블(23)이 필요하지 않다.

상기 기판 수도장치(30)에 의하면, 각 기판수도구(32)를 상승시켜, 그 기판 보지부(32a)로 복수의 기판(W)을 기립 정렬 상태 그대로 보지시킨다. 결국, 각 기판 수도구(32)는 서로 이간된 상태로 각 기판캐리어(1a·1a)에서 각 25매의 기판(W)을 기립 자세로 받아넣는다. 따라서, 이 단계에서는 2개의 기판수도구(32)에서 보지된 캐리어 2개분의 기판은 제3도에서 실선으로 나타난 바와 같이, 각각 전군(前群)의 기판(W1)과 후군(後群)의 기판(W2)들로 분리된 상태로 되어 있다.

이어서, 기판 수도구(32)를 기판 정렬 방향으로 서로 접근시킨다. 이것에 의해, 제3도에서 2점 쇄선으로 나타난 바와 같이, 전군(W1)과 후군(W2)으로 분리해 있던 기판이 거의 같은 핏치(P)로 정렬하여, 기판척(15B)의 척핸드(16)의 기판보지구에 대해서 위치정합한다. 따라서, 기판 수도구(32)로 보지된 캐리어 2개분의 합계 50매의 기판(W)을 기판척(15B)으로 일괄 보지할 수 있다. 계속해서 기판척(15B)으로 기판(W)을 일괄협지해서 이송하여, 배열핏치변환장치(40)에 그들의 기판(W)을 옮겨싣는다.

제4도는 기판의 배열핏치 변환장치의 사시도이다.

이 배열 피치변환장치(40)는 기립상태에서 일렬로 정렬 배치된 복수의 기판 받침부재(41)와, 상기 복수의 기판 받침 부재(41)를 기판(W)의 주변과 직교하는 수평 방향에 일렬로 미끄럼 자유롭게 구속하는 가이드 지지부재(45)와, 상기 기판 받침부재(41)를 전후 정렬 방향으로 같은 핏치(P)로 구속하는 경사 요동부재(46)와, 승강기 프레임(47)을 통해서 상기 부재(41-46)를 승강구동하는 승강 구동수단(48)을 구비해서 되고, 상기 기판척(15A)에서 기판(W)을 받어 넣어서 그 배열 핏치를 변환하도록 구성되어 있다.

상기 각 기판 받침부재(41)의 상단부에는, 기판(W)을 기립상태로 보지하는 기판 보지구(44)가 형성되며, 거의 중앙부에는 각 봉모양의 가이드 지지부재(45)가 관통하는 삽통구멍(43)이 개구 형성되어, 좌우 양측부에는 기판(W)의 주면에 평행한 방향으로 연장되는 피걸어맞춤 凹부(44)가 형성되어 있다. 또한, 부호 43a는 슬라이드베어링이다. 이것에 의해, 각 기판 받침부재(42)는 기립자세를 유지한 그대로, 가이드 지지부재(45)에 따라서 전후 방향으로 원할하게 이동할 수 있다.

상기 경사 요동부재(46)는 전후 방향으로 들어선 좌우 한쌍의 요동지레(46a, 46b)를 연동부재(46c)로 연결해서 일체로 요동 가능하게 구성되고, 이 요동지레(46a, 46b)의 거의 중앙부가 요동지축(47)으로 요동가능하게 중심지탱되어 있다. 그리고, 이들 좌우의 요동지레(46a, 46b)의 내측면에는 복수의 걸어맞춤 凹부재(48)가 같은 핏치(P)로 돌출 설치되고, 이들의 각 걸어맞춤 凸부재(48)를 상기 각 기판 받침 부재(41)의 피걸어 맞춤 凹부(44)에 걸어맞추는 것에 의해, 복수의 기판 받침 부재(41)는 전후 방향으로 같은 핏치(P)로 구속된다.

즉, 상기 경사 요동 부재(41)를 정렬 방향에 대해서 소정각도(θ)만큼 경사요동하는 것에 의해, 복수의 기판받침부재(41)의 배열핏치(P)는 작게되는 방향으로 일괄해서 변환된다. 이때, 복수의 기판받침 부재(41)는 가이드 지지부재(45)에 의해 기판(W)의 주면과 직교하는 전후 방향으로 일렬로 미끄럼 자유롭게 구속되 있으므로, 경사 요동부재(46)를 경사 요동해서도, 각 기판받침부재(41)의 정렬 방향은 경사지지 않고 배열핏치(P)만을 변환할 수 있다. 또한, 소정각도(θ)가 60。C 때는 변환 후의 배열 핏치는 당초의 배열핏치(P)의 1/2로 된다.

또, 기판척(15B)의 척 핸드(16)에는 반송용 캐리어(1)의 기판 수납구(도시되지 않음)의 1/2핏치의 기판 보지구(16a)가 새겨지고, 배열핏치(P)를 변환한 기판(W)을 일괄 보지해서 이동교체할 수 있도록 구성되어 있다. 결국, 캐리어 2개분의 기판(W)의 배열핏치를 1/2로 변환해서 기판척(15B)으로 일괄 보지시켜, 계속해서 그들의 기판(W)을 제2의 기판수도장치(50)를 통해서 표면처리용 캐리어(1b)로 이동 교체하는 것이다.

제2의 기판수도장치(50)는 단일의 기판수도구(32)를 승강수단(54)으로 상승해서, 그 기판 보지부(52a)로 배열핏치를 축소한 50매의 기판(W)을 기립 정렬상태 그대로, 기판척(15B)에서 일괄해서 받어 넣어, 표면처리용 캐리어(1b)로 수용하도록 구성되어 있다. 이 표면처리용 캐리어(1b)에는 반송용 캐리어(1)의 기판 수납구의 1/2핏치의 기판 수납구(도시되지 않음)가 새겨져 있다. 이것에 의해, 표면처리용 캐리어(1b)는 작게 해도, 기판의 수용 매수가 많게되어, 처리능력도 한층 높아진다.

상기 기판(W)의 표면처리부(20C)는 제1도 및 제2도에 나타난 바와 같이, 오버플로워 시키지 않고서 산세정동을 행하는 처리조(28a)와 오버플로워형의 순수 세정조(28b)를 구비해서 되고, 상기 표면처리용 캐리어(1b)를 캐리어 반송로보트(15C)에 의해 각 처리조(28a,28b)내로 침지해서 기판(W)의 표면 처리를 하도록 구성되어 있다. 또한, 각 처리조(28a,28b)의 하측에는 처리액 회수부(29a)와 처리액 공급부(29b)가 설치되어 있다.

상기 기판 건조부(20D)는 표면처리용 캐리어(1b)를 수용해서 원심력으로 액 제거, 건조하는 원심식의 탈수 건조기(60)를 구비해서 된다. 또한, 이 원심식의 탈수 건조기(60)에 대신해서, 용제를 이용해서 건조를 촉진하는 것과, 감압방식에 의해 건조를 촉진하는 것을 채용할 수도 있다.

또, 상기 캐리어 세정부(20E)는 기판(W)을 꺼내서 비어있게 된 반송용 캐리어(1a)를 기판(W)의 표면처리가 행해지고 있는 사이에 세정하기 위한 것으로서 표면처리를 끝낸 기판(W)은 상기 기판 이동교체부(20B)에서 표면처리용 캐리어(1b)에서 세정된 반송용 캐리어(1a)로 이동 교체된다. 이것에 의해, 기판(W)이 오염될 우려는 없다.

상기와 같이 표면처리용 캐리어(1b)내에는 반송용 캐리어 2개분의 50매의 기판이 수용되고, 이것을 처리조내(28a,28b)로 침지해서 기판의 표면처리를 하는 것에 의해, 2개의 캐리어를 침지하는 경우에 비교해서 각 처리조(28a,28b)의 용적이 적게 된다. 이것에 의해, 처리액과 순수 등의 소비량도 절약할 수 있어 소요경비의 저감에도 공헌한다.

또, 표면처리용 캐리어(1b)를 각 처리조 내로 침지해서 기판의 표면처리를 하므로써, 캐리어 반송로보트(15C)에 의한 캐리어의 반송, 침지 동작을 신속하게 해도, 기판의 척 미스와 기판을 협지할 때의 맞닿는 쇼크에 의한 기판의 파손이 생길 우려가 없게 된다. 이것에 의해, 단위 시간 당의 처리능력도 높아진다.

또한, 상기 실시예에서는 기판 이동교체부(20B)에 있어서, 반송용 캐리어(1a)에서 표면처리용 캐리어(1b)로 기판(W)을 이동교체 할 때에, 배열 핏치 변환장치(40)를 통해서 기판(W)의 배열핏치를 변환하는 것으로 해서 설명했으나, 이 배열 핏치 변환장치(40)는 청구항1에 관한 발명의 필수 구성 요건이 아니고, 이것을 생략할 수도 있다. 그 경우에는 제2의 기판수도장치(50)의 기판보지부(52a)의 기판보지부의 핏치 및 표면처리용 캐리어(1b)의 기판수납구의 핏치는 반송용 캐리어(1a)의 기판수납구의 핏치와 같게 새겨지고, 기판은 동일 핏치의 기판수납구를 가지는 반송용 캐리어(1a)에서 표면처리용 캐리어(1b)로 이동교체된다. 이 경우에 있어서도, 복수개의 캐리어를 침지하는 경우에 비교해서, 각 처리조(28a,29b)의 용적을 작게할 수 있다.

또, 상기 실시예에서는, 기판처리장치의 일단에 캐리어 반입 반출부(20A)를 배치한 것에 대해 설명했으나, 기판처리장치의 일단에 반송용 캐리어의 반입부를 배치함과 동시에 타단에 반출부를 배치하여, 이들 사이에서 기판을 표면처리용 캐리어로 반송해서 처리하도록 해도 좋다.

또, 상기 실시예에서 배열 핏치 변환장치(40)에 의해 기판의 핏치를 변환하는 대신에, 2개의 반송용 캐리어로 수납된 기판을, 1/2핏치로 새겨진 기판 수용구를 가지는 표면처리용 캐리어에 서로 다르게 꽂혀서 수납하는 것에 의해 기판의 핏치를 1/2로 변환하도록 해도 좋다.

또, 반송용 캐리어를 캐리어 반입 반출부(20A)에서 기판 이동교체부(20B)로 옮겨싣는 캐리어 이재로보트(15A), 반송용 캐리어(1a)에서 기판(W)을 꺼내서 표면 처리용 캐리어(1b)로 이동교체하기 위해 제1의 기판수도장치(30), 기판척(15B), 배열핏치 변환장치(40), 제2의 기판 수도장치(50) 등에 대해서도 상기 실시예에 한정되지 않고 적당히 변경을 가해서 실시할 수 있다.

(1)청구항 1의 발명은 이하의 효과가 있다.

①복수의 반송용 캐리어에서 꺼낸 기판을 단일의 표면처리용 캐리어로 이동교체하여, 이 단일 표면처리용 캐리어를 처리조 내로 침지해서 기판의 표면 처리를 하도록 구성한 것으로서, 복수개의 캐리어를 침지하는 경우에 비교해서 처리조의 용적은 작게되고, 기판처리장치의 대형화를 억제할 수 있을 뿐만 아니라, 캐리어의 측벽에 면하는 기판은 양측의 2매만 있기 때문에, 처리에 차가 생기는 기판의 수를 감소시킬 수 있다.

②또, 기판을 기판척으로 일괄유지하여 처리조내의 기판보지구로 이체하여 기판의 표면처리를 하는 것이 아니라, 기판을 표면처리용 캐리어에 넣은 채로 이 표면처리용 캐리어를 처리조 내로 침지해서 기판의 표면처리를 하므로서, 캐리어 반송로보트에 의한 캐리어의 반송, 침지 동작을 신속하게 해서도, 기판의 척 미스와 기판을 협지할 때의 맞닿는 쇼크에 의해 기판의 파손을 방지할 수 있다. 이것에 의해, 종래예와 같은 기판의 이동 교체의 시간이 걸리지 않고 아주 편리하다.

(2)또, 청구항 2의 발명은 이하의 효과가 있다.

①복수의 반송용 캐리어에서 꺼낸 기판의 배열 핏치를 배열 핏치 변환장치에 의해 축소해서 단일의 표면처리용 캐리어로 이동교체하는 것에 의해, 표면처리용 캐리어는 작아도, 기판의 수용 매수는 많게 되어, 처리능력도 한층 높힐 수 있다.

②또한, 2개의 캐리어를 침지하는 경우에 비교해서 처리조의 용적이 작게 되므로서, 처리액과 순수 등의 소비량도 절약할 수 있어, 소요경비의 저감을 도모할 수 있다.

Claims (3)

1. 반송용 캐리어를 반입 또는 반출하는 캐리어 반입 반출부와, 반송용 캐리어에서 기판을 꺼내서 표면처리용 캐리어로 이동 교체하는 기판 이동교체부와, 기판의 표면처리부를 배치해서, 복수의 반송용 캐리어에서 꺼내진 기판을 단일의 표면 처리용 캐리어로 이동 교체하고, 이 기판을 수용한 표면처리용 캐리어를 캐리어 반송로보트로 반송한 후 표면처리부의 처리조 내로 침지해서 기판의 표면처리를 하도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판 이동교체부에 기판의 배열핏치를 변환하는 배열 핏치 변환장치를 설치하고, 복수의 반송용 캐리어에서 꺼내진 기판의 배열 핏치를 축소해서 상기 단일의 표면처리용 캐리어로 이동교체하도록 구성된 기판처리장치.
3. 제1항에 있어서, 복수의 반송용 캐리어에서 꺼내진 기판군을 기판정렬 방향으로 서로 접근시키는 것에 의해, 각 기판군을 거의 같은 핏치로 정렬시키도록 한 기판처리장치.