JPH019171Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はIC，LSI等の半導体素子を製造する際
に使用するフオトマスク基板あるいはシリコンウ
エハーなどの搬送具に関している。

（従来の技術） フオトマスク基板あるいはシリコンウエハーは
微細なフオトエツジングをするものであつて、基
板表面に人が触れることは極度に嫌うものであ
る。そこで、これら基板の搬送、保管には充分の
注意を払つて取扱われており、搬送時に、作業者
は基板の縁を持つなどして基板表面には触れない
ようにしている。

従来フオトマスク基板は、76〜127mm角であつ
たので前記したように基板の縁を持つて搬送して
おり、搬送を目的とした特別の治具はなかつた。

（考案が解決しようとする問題点） 基板が小さく、片手で基板周縁を掴むことがで
きる大きさであれば搬送治具は不用であつたが、
基板が150〜250角あるいは150〜250丸となると片
手では基板の縁を掴むことが困難であり、このた
め、基板を両手で保持することになるが、この場
合は不安定になり、基板表面に触れたり取り落し
たりする原因となつていた。

又、シリコンウエハーはピンセツトのような一
点の支持では保持することが困難であり、たとえ
保持することができてもウエハーの自重による内
部歪で欠陥を生じる原因となつていた。

本考案は基板表面に指先などが触れずにフオト
マスク基板あるいはシリコンウエハーを搬送する
治具で、取手を付けた場合は作業者の手動操作で
使用でき、又、何ら変更を加えないで取手部分を
工業ロボツトに装着することが可能な搬送用治具
を提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記した問題点を解決するためになさ
れたもので、半円形ないしはコ字形の枠体基部に
取手金具を回動自在に軸着し、枠体先端と取手金
具の内側には、取手金具を水平方向に向けたとき
に前記軸よりも下方に位置させた支持輪を設けた
ことを特徴とするものであつて、枠体の自重を利
用して基板周縁を挟持して搬送する治具である。

（作用） 取手金具と枠体の支持輪を基板周縁に当接した
後、取手金具を持ち上げると、枠体の自重によつ
て枠体が基板中心に向つて回動するので、この回
動力を利用して基板を保持する。

（実施例） 第１図は円形の基板を搬送するための治具で、
正面半円形の枠体１は、一端が取手金具２と枢軸
３によつて回動自在に結合されている。枠体１の
内側部分には複数の支持輪４，４がピン６，６で
取付けられており、特に枠体の先端に設けた支持
輪４ａは前記取手金具２を水平方向に向けたとき
に、枠体１が形成する半円形の中心点よりも下方
に取付けられている。一方、取手金具２には枠体
１の弯曲部の内側に向けて突出部２ａを形成し、
該部分に前記支持輪４ａと向い合い、かつ枠体１
の中心点より下方位置に支持輪７がピン８で取付
けられている。さらに、枠体１と取手金具２との
間には支持輪４，７が互いに内側に向つて付勢さ
れる方向にコイルばね９が装着されている。

前記枠体１は金属製であるが、支持輪４はプラ
スチツク製で、例えばテスロンを使用し、中央が
小径部５となつており、フオトマスク基板は小径
部５で挟持するようになつている。又、取手金具
２に設けた支持輪７も前記と同様な小径部をもつ
ている。

枠体１の枢着部近傍には、取手金具２に向つて
延設した取付部１ａが形成されており、取付部１
ａに枠体１を回動させるための押し金具１０が取
付けられている。

基板Ａはケース等に縦方向に並べられてあり、
本装置を使用して１枚づつ搬送するには、取手金
具２を手にもち、押し金具１０を指先で握るなど
して枠体１を枢軸３を中心に回動させ、搬送する
基板Ａに対して、まず取手金具２の支持輪７を基
板周縁に当接し、次いで押し金具１０をゆるめて
枠体１を基板Ａに近づけ枢着部分に近い方の支持
輪４から順に周縁に当接し、最後に枠体１の先端
の支持輪４ａを当接する。取手金具２の支持輪７
と枠体１の先端の支持輪４ａは共に半円形状の枠
体１の中心点よりも下方に設けられているので、
これら２つの支持輪７，４ａは基板Ａの中心点よ
りも下方部分に当接される。

この状態で取手金具２を持ち上げると、枠体１
には自重によつて枢軸３を中心に先端が反時計方
向に回動する方向の力が作用する。従つて枠体１
の内側に装着された基板Ａは支持輪７，４ａによ
つて下方から支えられ、落下することなく枠体１
の内側に保持される。

枠体１と取手金具２との間には両者を引き付け
る方向に作用するコイルばね９が装着されてい
て、コイルばね８は基板Ａを保持しているときに
支持輪４，７を基板周縁に対して圧着する方向に
作用するが、コイルばね９は取手金具２を持つた
ときに枠体１がふらついたりするのを防止してお
り、基板Ａを保持するのは、枠体１の自重による
回動作用を利用している。

第１図では取手金具２に装着する取付部品を省
略したが、通常は取手部品として握りやすい形状
の部材を取手金具に装着する。又、本装着は何ら
変更を加えないで工業ロボツトなどの自動搬送機
に取付けることが可能であつて、この場合は取手
金具２を搬送機に取付ける。

前述のように基板Ａを保持するのは、枠体１の
自重による回動作用によつているので、基板を保
持したときは基板を垂直状態のまま搬送しなくて
はならない。そこで、基板Ａを保持した後、基板
を半転したりするために枠体１の口開きを防止し
た機構を設けることができるようになつている。

第３図は枠体１の口開き防止機構の具体例で、
取手金具２を装着する握り部材２０には軸方向の
縦溝２１が形成されており、取手金具２はこの縦
溝２１に挿入固定されている。又、握り部材２０
の一端で枠体１の取付部材１ａが出入する位置に
周方向の横溝２２が形成されており、横溝２２に
切込み２４を有するリング２３が回転可能に装着
されている。

前記リング２３の切込み２４は縦溝２１の溝巾
と同一長さであつて、通常は切込み２４と縦溝２
１を一致させて枠体１の取付部１ａを自由に出入
させているが、基板を保持した後に基板を半転し
ようとするときは、リング２３を回転して縦溝２
１を閉塞して取付部１ａを固定する。これによつ
て枠体１は口開きが阻止され、保持した基板を落
下させずに保持することになる。

第４図は第２実施例で方形の基板を搬送するた
めの治具である。枠体１０１はコ字状に形成され
ていて、内側部分に複数の支持輪１０４がピン１
０５で取付けられており、枢軸１０３によつて取
手金具１０２が結合されていることなど第１実施
例に比べ、枠体の形状を異にするだけで他は全く
変らない。第２実施例では取手金具１０２を水平
方向にしたときに枠体１０１の先端に設けた支持
輪１０４が、枢軸１０３よりも下方に位置してお
けば基板Ｂは枠体１０１の自重によつて保持する
ことができる。

（考案の効果） 本考案は取手金具に対して回動自在な枠体を設
け、枠体内側に設けた支持輪を基板周縁に当接し
て取手金具を持ち上げれば、枠体は自重によつて
先端が基板中心に向つて押圧力を発揮し、これに
よつて基板表面に触れることなく安全に搬送する
ことができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は円形基板を搬送するための治具の正面
図、第２図は支持輪の側面図、第３図は枠体の口
開き防止機構で、Ａは取手部分の側面図、Ｂは握
り部材の平面図、Ｃはリングの正面図、Ｄは同側
面図である。第４図は第２実施例で、角形基板を
搬送するための治具の正面図である。 １……枠体、２……取手金具、３……枢軸、４
……支持輪、５……小径部、６……ピン、７……
支持輪、８……ピン、９……コイルばね、１０…
…押し金具、２０……握り部材、２１……縦溝、
２２……横溝、２３……リング、２４……切込
み、１０１……枠体、１０２……取手金具、１０
３……枢軸、１０４……支持輪、１０５……ピ
ン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半円形ないしはコ字形の枠体基部に取手金具を
   回動自在に軸着し、枠体先端と取手金具の内側に
   は、取手金具を水平方向に向けたときに前記軸よ
   りも下方に位置させた支持輪を設けたことを特徴
   とするフオトマスク基板等の搬送具。