JPH0536814A - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
- Publication number
- JPH0536814A JPH0536814A JP19147491A JP19147491A JPH0536814A JP H0536814 A JPH0536814 A JP H0536814A JP 19147491 A JP19147491 A JP 19147491A JP 19147491 A JP19147491 A JP 19147491A JP H0536814 A JPH0536814 A JP H0536814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- wafer
- vacuum
- hole
- mounting block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】チャックを必要に応じて簡単に交換できるよう
にすることを目的とする。 【構成】チャック取付けブロック１００のチャック取付
け部１２０にチャック吸着マグネット１２１とチャック
吸着用真空穴１２２を設け、チャック２００を磁力と真
空により吸着して保持し、また真空を解除することによ
りチャック２００を簡単に取り外すことができるように
した機構を移載ロボット１２に搭載したウエハ移載装置
である。 【効果】チャックを必要に応じて簡単に交換でき、従っ
て、ウエハの相互汚染を防止できる。
にすることを目的とする。 【構成】チャック取付けブロック１００のチャック取付
け部１２０にチャック吸着マグネット１２１とチャック
吸着用真空穴１２２を設け、チャック２００を磁力と真
空により吸着して保持し、また真空を解除することによ
りチャック２００を簡単に取り外すことができるように
した機構を移載ロボット１２に搭載したウエハ移載装置
である。 【効果】チャックを必要に応じて簡単に交換でき、従っ
て、ウエハの相互汚染を防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、様々な種類の膜、例
えば、タングステン、アルミニューム、レジスト等が被
着したウエハを取り扱うウエハ移載装置に関するもので
ある。
えば、タングステン、アルミニューム、レジスト等が被
着したウエハを取り扱うウエハ移載装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ウエハ移載装置において、ウエハを保持
するチャック（以下、単に「チャック」と記す）は、従
来、ネジ等で固定されており、ウエハに被着した膜の種
類に応じて、このネジ等を外し、チャックを交換してい
た。しかし、チャックを頻繁に交換することは、作業者
に負担が掛かることから困難であった。また、チャック
の交換の際に工具を使ってネジを回すなどの作業は、ク
リーンルーム内における発塵の原因にもなった。そのた
め、このチャックの交換は、それほど頻繁に行われなか
った。
するチャック（以下、単に「チャック」と記す）は、従
来、ネジ等で固定されており、ウエハに被着した膜の種
類に応じて、このネジ等を外し、チャックを交換してい
た。しかし、チャックを頻繁に交換することは、作業者
に負担が掛かることから困難であった。また、チャック
の交換の際に工具を使ってネジを回すなどの作業は、ク
リーンルーム内における発塵の原因にもなった。そのた
め、このチャックの交換は、それほど頻繁に行われなか
った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなことから、
ウエハに異なる種類の膜が被着していた際にチャックと
ウエハの接触部から起こる相互汚染は、重大な問題であ
りながら、根本的な対策が講じられていなかった。この
発明はこのような問題点を解決しようとするものであ
る。
ウエハに異なる種類の膜が被着していた際にチャックと
ウエハの接触部から起こる相互汚染は、重大な問題であ
りながら、根本的な対策が講じられていなかった。この
発明はこのような問題点を解決しようとするものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】それ故、この発明では、
ウエハ移載装置において、チャックを磁力及び真空によ
り吸着する手段を有するチャック取付けブロックを備え
付けた。
ウエハ移載装置において、チャックを磁力及び真空によ
り吸着する手段を有するチャック取付けブロックを備え
付けた。
【０００５】
【作用】従って、真空を解除することにより簡単にチャ
ックを取り外すことができ、作業者の負担を軽減でき、
そしてクリーンルーム内のクリーン度を維持できるの
で、チャックを必要に応じて交換でき、従って、相互汚
染を防止できる。更に、チャックの自動交換が可能にな
る。
ックを取り外すことができ、作業者の負担を軽減でき、
そしてクリーンルーム内のクリーン度を維持できるの
で、チャックを必要に応じて交換でき、従って、相互汚
染を防止できる。更に、チャックの自動交換が可能にな
る。
【０００６】
【実施例】以下、図を用いて、この発明のウエハ移載装
置及びその主要構成要素であるチャック取付けブロック
を説明する。図１はこの発明のウエハ移載装置の要部斜
視図であり、図２は図１のチャック取付けブロック及び
チャックの拡大斜視図である。
置及びその主要構成要素であるチャック取付けブロック
を説明する。図１はこの発明のウエハ移載装置の要部斜
視図であり、図２は図１のチャック取付けブロック及び
チャックの拡大斜視図である。
【０００７】図１において、１は全体としてウエハ移載
装置を示す。なお、説明を簡単にするために、この発明
に関する主要構成部分のみ説明する。各種制御装置等が
収納されている本体２の上面の片側には、供給用ウエハ
キャリヤ３、４及び収納用ウエハキャリア５、６が配列
されている。供給用ウエハキャリヤ３、４には、クリー
ンウエハならクリーンウエハのみが、レジスト膜付ウエ
ハならレジスト膜付ウエハのみが、タングステン膜付ウ
エハならタングステン膜付ウエハのみが、そしてアルミ
ニューム膜付ウエハならアルミニューム膜付ウエハのみ
が収納されていて、それぞれの枚数が少ない場合には、
供給用ウエハキャリヤ３、４は一個でよい。また、収納
用ウエハキャリア５、６はこれらの供給用ウエハキャリ
ヤ３、４に対応して配置されたものであって、オリエン
テーションフラット（以下、単に「オリフラ」と記す）
合わせされたそれぞれのウエハを収納するものである。
装置を示す。なお、説明を簡単にするために、この発明
に関する主要構成部分のみ説明する。各種制御装置等が
収納されている本体２の上面の片側には、供給用ウエハ
キャリヤ３、４及び収納用ウエハキャリア５、６が配列
されている。供給用ウエハキャリヤ３、４には、クリー
ンウエハならクリーンウエハのみが、レジスト膜付ウエ
ハならレジスト膜付ウエハのみが、タングステン膜付ウ
エハならタングステン膜付ウエハのみが、そしてアルミ
ニューム膜付ウエハならアルミニューム膜付ウエハのみ
が収納されていて、それぞれの枚数が少ない場合には、
供給用ウエハキャリヤ３、４は一個でよい。また、収納
用ウエハキャリア５、６はこれらの供給用ウエハキャリ
ヤ３、４に対応して配置されたものであって、オリエン
テーションフラット（以下、単に「オリフラ」と記す）
合わせされたそれぞれのウエハを収納するものである。
【０００８】本体２の他方の片側には、４種類のオリフ
ラ合わせ機７、８、９及び１０が配列されている。オリ
フラ合わせ機７は、例えば、クリーンウエハ用であり、
オリフラ合わせ機８、９及び１０は、例えば、それぞれ
レジスト膜付ウエハ用、タングステン膜付ウエハ用そし
てアルミニューム膜付ウエハ用である。
ラ合わせ機７、８、９及び１０が配列されている。オリ
フラ合わせ機７は、例えば、クリーンウエハ用であり、
オリフラ合わせ機８、９及び１０は、例えば、それぞれ
レジスト膜付ウエハ用、タングステン膜付ウエハ用そし
てアルミニューム膜付ウエハ用である。
【０００９】供給用及び収納用のウエハキャリアと４種
類のオリフラ合わせ機とに沿って、その中央部に溝１１
が形成されていて、この溝１１に沿って（矢印Ｙ軸方
向）走行する移載ロボット１２が配置されている。この
移載ロボット１２はまた矢印Ｚ方向にも制御され、移動
するように構成されている。移載ロボット１２の上面に
はチャック取付けブロック１００をＸ軸方向に移動可能
に取り付け、かつそれ自体が矢印Θの方向に１８０°回
転できるように回転軸（図示されていない）に支持され
たブロック支持体１３が搭載されている。
類のオリフラ合わせ機とに沿って、その中央部に溝１１
が形成されていて、この溝１１に沿って（矢印Ｙ軸方
向）走行する移載ロボット１２が配置されている。この
移載ロボット１２はまた矢印Ｚ方向にも制御され、移動
するように構成されている。移載ロボット１２の上面に
はチャック取付けブロック１００をＸ軸方向に移動可能
に取り付け、かつそれ自体が矢印Θの方向に１８０°回
転できるように回転軸（図示されていない）に支持され
たブロック支持体１３が搭載されている。
【００１０】オリフラ合わせ機の一端部には、Ｌ型支持
体１４の基部にＴＶモニター１５が搭載されており、そ
の先端部にはＩＤ読み取り用ＣＣＤカメラ（以下、「Ｃ
ＣＤカメラ」と記す）１６が搭載されていて、後述する
ように、移載ロボット１２の上に搭載されたチャック２
００によって移送されてきたウエハのＩＤマークを読み
取る。
体１４の基部にＴＶモニター１５が搭載されており、そ
の先端部にはＩＤ読み取り用ＣＣＤカメラ（以下、「Ｃ
ＣＤカメラ」と記す）１６が搭載されていて、後述する
ように、移載ロボット１２の上に搭載されたチャック２
００によって移送されてきたウエハのＩＤマークを読み
取る。
【００１１】次に、図２を用いて、この発明の主要部で
あるチャック取付けブロック１００、チャック２００及
びブロック支持体１３の構成について説明する。チャッ
ク取付けブロック１００は位置決め基部１１０とチャッ
ク取付け部１２０とからなり、これらは一体に形成され
ている。位置決め基部１１０は断面コの字形の直方体か
らなり、コの字形部は、図１のブロック支持体１３の上
面に設けられたレール１７に沿って矢印Ｘ方向に摺動で
きるガイド部１１１を構成している。また、チャック取
付け部１２０側の位置決め基部１１０の段部端面はチャ
ックの取付け位置決め面１１２を形成していて、その中
央部には取付け位置決めピン１１３が設けられている。
位置決め基部１１０と一体に形成されたチャック取付け
部１２０は、厚さ、幅共に位置決め基部１１０の厚さよ
りやや薄く、その幅より狭く構成されている。チャック
取付け部１２０の上面には、その面と面一になるよう
に、その四辺の外周近傍に沿って帯状のチャック吸着用
マグネット１２１が埋設されている。また、このチャッ
ク吸着用マグネット１２１の中にあって、その中心線上
に中心を有するチャック吸着用真空穴１２２が開けられ
ていて、このチャック吸着用真空穴１２２は、チャック
取付け部１２０の側面に開口している排気管１２３と連
通している。符号１２４はシーリング用Ｏリングであっ
て、チャック吸着用真空穴１２２と同心的に埋設されて
いる。更にまた、チャック取付け部１２０の先端部で、
チャック吸着用マグネット１２１の中にあって、その中
心線上に中心を有するウエハ吸着用真空穴１２５が開け
られていて、このウエハ吸着用真空穴１２５は、チャッ
ク取付け部１２０の側面に開口している排気管１２６と
連通している。符号１２７はシーリング用Ｏリングであ
って、ウエハ吸着用真空穴１２５の周囲に埋設されてい
る。
あるチャック取付けブロック１００、チャック２００及
びブロック支持体１３の構成について説明する。チャッ
ク取付けブロック１００は位置決め基部１１０とチャッ
ク取付け部１２０とからなり、これらは一体に形成され
ている。位置決め基部１１０は断面コの字形の直方体か
らなり、コの字形部は、図１のブロック支持体１３の上
面に設けられたレール１７に沿って矢印Ｘ方向に摺動で
きるガイド部１１１を構成している。また、チャック取
付け部１２０側の位置決め基部１１０の段部端面はチャ
ックの取付け位置決め面１１２を形成していて、その中
央部には取付け位置決めピン１１３が設けられている。
位置決め基部１１０と一体に形成されたチャック取付け
部１２０は、厚さ、幅共に位置決め基部１１０の厚さよ
りやや薄く、その幅より狭く構成されている。チャック
取付け部１２０の上面には、その面と面一になるよう
に、その四辺の外周近傍に沿って帯状のチャック吸着用
マグネット１２１が埋設されている。また、このチャッ
ク吸着用マグネット１２１の中にあって、その中心線上
に中心を有するチャック吸着用真空穴１２２が開けられ
ていて、このチャック吸着用真空穴１２２は、チャック
取付け部１２０の側面に開口している排気管１２３と連
通している。符号１２４はシーリング用Ｏリングであっ
て、チャック吸着用真空穴１２２と同心的に埋設されて
いる。更にまた、チャック取付け部１２０の先端部で、
チャック吸着用マグネット１２１の中にあって、その中
心線上に中心を有するウエハ吸着用真空穴１２５が開け
られていて、このウエハ吸着用真空穴１２５は、チャッ
ク取付け部１２０の側面に開口している排気管１２６と
連通している。符号１２７はシーリング用Ｏリングであ
って、ウエハ吸着用真空穴１２５の周囲に埋設されてい
る。
【００１２】金属からなるチャック２００は、チャック
吸着用マグネット１２１等で吸着される基部２０１とそ
の一端に形成された二股腕からなるウエハ保持部２０２
とから構成されている。図２において、このウエハ保持
部２０２の下面には、前記ウエハ吸着用真空穴１２５と
連通する穴２０３が開口している。この穴２０３と連通
して、基部２０１の中心線上に沿って、基部２０１から
ウエハ保持部２０２の中に通気管２０４が通っており、
ウエハ保持部２０２の二股腕の、図２においては、上面
に穴２０５及び２０６が開口している。前記通気管２０
４は双方の穴２０６で終端している。これらの穴２０５
及び２０６の周りには、０．３ｍｍ程度突出して環状の
石英２０７を埋設し、ウエハに対する金属のコンタミネ
ーションを防止するようにしている。チャック２００の
基部２０１の他端中央部には、位置決め基部１１０に形
成されている取付け位置決めピン１１３と嵌合する円弧
状の切り欠き２０８が形成されている。
吸着用マグネット１２１等で吸着される基部２０１とそ
の一端に形成された二股腕からなるウエハ保持部２０２
とから構成されている。図２において、このウエハ保持
部２０２の下面には、前記ウエハ吸着用真空穴１２５と
連通する穴２０３が開口している。この穴２０３と連通
して、基部２０１の中心線上に沿って、基部２０１から
ウエハ保持部２０２の中に通気管２０４が通っており、
ウエハ保持部２０２の二股腕の、図２においては、上面
に穴２０５及び２０６が開口している。前記通気管２０
４は双方の穴２０６で終端している。これらの穴２０５
及び２０６の周りには、０．３ｍｍ程度突出して環状の
石英２０７を埋設し、ウエハに対する金属のコンタミネ
ーションを防止するようにしている。チャック２００の
基部２０１の他端中央部には、位置決め基部１１０に形
成されている取付け位置決めピン１１３と嵌合する円弧
状の切り欠き２０８が形成されている。
【００１３】次に、このような構成のチャック取付けブ
ロック１００、チャック２００及びブロック支持体１３
の組立、動作について説明する。チャック取付けブロッ
ク１００がレール１７に沿って摺動するように、そのガ
イド部１１１をブロック支持体１３のレール１７に嵌め
込む。この摺動運動は自動制御により行われる。チャッ
ク２００はウエハの表面性状に応じて必要な枚数を用意
する。先ず、或る１枚のチャック２００がチャック取付
け部１２０に取り付けられる動作を説明する。チャック
２００の基部２０１を、その端部を位置決め基部１１０
の取付け位置決め面１１２に衝合させ、そしてまたその
切り欠き２０８が位置決め基部１１０の取付け位置決め
ピン１１３に嵌合するように合わせて、チャック取付け
部１２０に載せると、基部２０１はチャック吸着用マグ
ネット１２１により吸着されて、所定の位置に磁力によ
り固定される。この状態で更に排気管１２３からポンプ
（図示していない）で空気を吸引すると、チャック吸着
用真空穴１２２でチャック取付け部１２０の上面とチャ
ック２００の下面との間が真空にされ、チャック２００
はチャック取付け部１２０に真空吸着されて強固に固定
されることになる。次に、チャック２００をチャック取
付け部１２０から外す場合は、前記の真空吸着を切れ
ば、吸着はチャック吸着用マグネット１２１の吸着力の
みになるので、簡単にチャック２００を取り外すことが
でき、チャック２００を他のチャック２００と交換する
ことができる。真空吸着とマグネット吸着の２つの固定
手段を設けたのは、真空吸着を切った時にチャック２０
０が自重で落下するのを防止するためである。
ロック１００、チャック２００及びブロック支持体１３
の組立、動作について説明する。チャック取付けブロッ
ク１００がレール１７に沿って摺動するように、そのガ
イド部１１１をブロック支持体１３のレール１７に嵌め
込む。この摺動運動は自動制御により行われる。チャッ
ク２００はウエハの表面性状に応じて必要な枚数を用意
する。先ず、或る１枚のチャック２００がチャック取付
け部１２０に取り付けられる動作を説明する。チャック
２００の基部２０１を、その端部を位置決め基部１１０
の取付け位置決め面１１２に衝合させ、そしてまたその
切り欠き２０８が位置決め基部１１０の取付け位置決め
ピン１１３に嵌合するように合わせて、チャック取付け
部１２０に載せると、基部２０１はチャック吸着用マグ
ネット１２１により吸着されて、所定の位置に磁力によ
り固定される。この状態で更に排気管１２３からポンプ
（図示していない）で空気を吸引すると、チャック吸着
用真空穴１２２でチャック取付け部１２０の上面とチャ
ック２００の下面との間が真空にされ、チャック２００
はチャック取付け部１２０に真空吸着されて強固に固定
されることになる。次に、チャック２００をチャック取
付け部１２０から外す場合は、前記の真空吸着を切れ
ば、吸着はチャック吸着用マグネット１２１の吸着力の
みになるので、簡単にチャック２００を取り外すことが
でき、チャック２００を他のチャック２００と交換する
ことができる。真空吸着とマグネット吸着の２つの固定
手段を設けたのは、真空吸着を切った時にチャック２０
０が自重で落下するのを防止するためである。
【００１４】ウエハの保持は、前述のように固定された
チャック２００で行われる。チャック２００をチャック
取付け部１２０に固定すると、穴２０３と真空穴１２５
とが寸法出ししてあるので自動的に連通し、排気管１２
６から空気を吸引することにより通気管２０４、穴２０
５及び穴２０６を通じて、ウエハ保持部２０２の上面に
ウエハを真空吸着させることができる。ウエハの保持を
解除する場合は、単に真空吸着を切ればよい。
チャック２００で行われる。チャック２００をチャック
取付け部１２０に固定すると、穴２０３と真空穴１２５
とが寸法出ししてあるので自動的に連通し、排気管１２
６から空気を吸引することにより通気管２０４、穴２０
５及び穴２０６を通じて、ウエハ保持部２０２の上面に
ウエハを真空吸着させることができる。ウエハの保持を
解除する場合は、単に真空吸着を切ればよい。
【００１５】以上のように、チャック２００の着脱、交
換、ウエハの保持、解除ができる。次に、このようなチ
ャックの取り付け機構、ウエハの保持機構及びチャック
取付けブロック１００を搭載したウエハ移載装置１の基
本動作を説明する。移載ロボット１２のブロック支持体
１３上でチャック取付けブロック１００が制御されてレ
ール１７に沿ってＸ軸方向に移動し、チャック２００を
供給ウエハキャリア３又は４に差し込み、ウエハを吸
着、保持して供給ウエハキャリア３又は４から取り出
す。次に、ブロック支持体１３の中心軸（図示していな
い）を矢印Θの回転方向で１８０°回転させ、オリフラ
合わせ機７〜１０のいずれかに保持したウエハを挿入す
る。オリフラ合わせが完了した後、再びそのウエハを吸
着、保持して取り出し、軸を９０°回転しながらＹ軸方
向に移載ロボット１２を移動させ、ＣＣＤカメラ１６の
下方に持ちきたす。ＣＣＤカメラ１６でそのウエハ上に
マーキングしたＩＤ番号を読み取り、そのＩＤ番号に従
って収納用ウエハキャリア５又は６の所定の場所にその
ウエハを収納する。以降、指定された枚数のウエハの処
理が終了するまでこの動作を続ける。このような機能の
他にも、ＩＤ番号に従ったソーティングやシャッフル、
ＩＤ番号を読み取らない単純な移載などウエハ移載装置
に要求されるような機能をこの装置１は備えている。
換、ウエハの保持、解除ができる。次に、このようなチ
ャックの取り付け機構、ウエハの保持機構及びチャック
取付けブロック１００を搭載したウエハ移載装置１の基
本動作を説明する。移載ロボット１２のブロック支持体
１３上でチャック取付けブロック１００が制御されてレ
ール１７に沿ってＸ軸方向に移動し、チャック２００を
供給ウエハキャリア３又は４に差し込み、ウエハを吸
着、保持して供給ウエハキャリア３又は４から取り出
す。次に、ブロック支持体１３の中心軸（図示していな
い）を矢印Θの回転方向で１８０°回転させ、オリフラ
合わせ機７〜１０のいずれかに保持したウエハを挿入す
る。オリフラ合わせが完了した後、再びそのウエハを吸
着、保持して取り出し、軸を９０°回転しながらＹ軸方
向に移載ロボット１２を移動させ、ＣＣＤカメラ１６の
下方に持ちきたす。ＣＣＤカメラ１６でそのウエハ上に
マーキングしたＩＤ番号を読み取り、そのＩＤ番号に従
って収納用ウエハキャリア５又は６の所定の場所にその
ウエハを収納する。以降、指定された枚数のウエハの処
理が終了するまでこの動作を続ける。このような機能の
他にも、ＩＤ番号に従ったソーティングやシャッフル、
ＩＤ番号を読み取らない単純な移載などウエハ移載装置
に要求されるような機能をこの装置１は備えている。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、この発明のウエハ移載装
置によれば、真空を解除することにより簡単にチャック
を取り外すことができ、作業者の負担を軽減でき、そし
てクリーンルーム内のクリーン度を維持できるので、チ
ャックを必要に応じて交換でき、従って、相互汚染を防
止できる。更に、チャックの固定にネジ等、工具を必要
とする部品を使用していないので、複雑な作業を苦手と
する自動機におけるチャックの自動交換が可能になる。
置によれば、真空を解除することにより簡単にチャック
を取り外すことができ、作業者の負担を軽減でき、そし
てクリーンルーム内のクリーン度を維持できるので、チ
ャックを必要に応じて交換でき、従って、相互汚染を防
止できる。更に、チャックの固定にネジ等、工具を必要
とする部品を使用していないので、複雑な作業を苦手と
する自動機におけるチャックの自動交換が可能になる。
【図１】この発明のウエハ移載装置の部斜視図である。
【図２】図１のチャック取付けブロック及びチャックの
拡大斜視図である。
拡大斜視図である。
１ ウエハ移載装置 ３ 供給用ウエハキャリヤ ４ 供給用ウエハキャリヤ ５ 収納用ウエハキャリア ６ 収納用ウエハキャリア ７ オリフラ合わせ機 ８ オリフラ合わせ機 ９ オリフラ合わせ機 １０ オリフラ合わせ機 １２ 移載ロボット １３ ブロック支持体 １６ ＣＣＤカメラ １００ チャック取付けブロック １１１ ガイド部 １１２ 取付け位置決め面 １１３ 取付け位置決めピン １２０ チャック取付け部 １２１ チャック吸着用マグネット １２２ チャック吸着用真空穴 １２３ 排気管 １２４ シーリング用Ｏリング １２５ 真空穴 １２６ 排気管 １２７ シーリング用Ｏリング ２００ チャック ２０１ 基部 ２０２ ウエハ保持部 ２０３ 穴 ２０４ 通気管 ２０５ 穴 ２０６ 穴
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】ウエハ保持用チャックを磁力及び真空によ
り吸着する手段を有するチャック取付けブロックを移載
ロボットに搭載したウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19147491A JPH0536814A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19147491A JPH0536814A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | ウエハ移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536814A true JPH0536814A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16275260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19147491A Pending JPH0536814A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536814A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5626675A (en) * | 1993-11-18 | 1997-05-06 | Tokyo Electron Limited | Resist processing apparatus, substrate processing apparatus and method of transferring a processed article |
| US6059891A (en) * | 1997-07-23 | 2000-05-09 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for washing substrate |
| US6068088A (en) * | 1995-08-21 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Releasable semiconductor wafer lifter basket |
| US6115867A (en) * | 1997-08-18 | 2000-09-12 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for cleaning both sides of substrate |
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