CN114270493A - 移动放置系统、移动放置装置以及移动放置方法 - Google Patents

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Abstract

移动放置系统具备收纳装置，其具有在上下方向排列且从水平的一个方向的一侧移动放置物品的多个架子，它们分别包含形成有在上下方向及一侧开口的开口区域且供物品载置的载置部和对应于载置部在上下方向上位置设置的安装部；移动放置装置，其将多个架子分别是移动放置对象的架子，为了相对移动放置对象的架子从一侧移动放置物品使用移动放置装置具有主体部，其从一侧安装于移动放置对象的架子的安装部；移动部，其能够支承物品，在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下沿一个方向在主体部与移动放置对象的架子之间移动；升降部，其在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下在移动放置对象的架子的开口区域通过使移动部升降。

Description

移动放置系统、移动放置装置以及移动放置方法
技术领域
本公开涉及移动放置系统、移动放置装置以及移动放置方法。
背景技术
公知一种收纳系统，具备具有多个架子的收纳装置、相对于多个架子分别移动放置物品的移动放置装置、和控制移动放置装置的动作的控制装置。在这种收纳系统中，在因控制装置的故障等而无法自动地移动放置物品的情况下，可能需要工作人员手动地移动放置物品。
在需要工作人员手动地移动放置物品的情况下，例如考虑利用如专利文献1记载的叉式起重机那样的装置。专利文献1记载的叉式起重机是用于使用从插入有叉子的基础托盘上的台车来移动放置物品的装置。
专利文献1：日本特开平11－106007号公报
然而，在利用如专利文献1记载的叉式起重机那样的装置的情况下，由于需要精度良好地进行基础托盘相对于架子的定位，所以特别是在使升降机升降的操作中，要求工作人员具有较高技能。
发明内容
因此，本公开的目的在于提供工作人员能够不必考虑架子的高度地容易地移动放置物品的移动放置系统、移动放置装置以及移动放置方法。
本公开的一个侧面的移动放置系统具备：收纳装置，其具有在上下方向排列且从水平的一个方向上的一侧移动放置物品的多个架子，多个架子分别包含形成有在上下方向以及一侧开口的开口区域且供物品载置的载置部、和对应于载置部在上下方向上的位置设置的安装部；以及移动放置装置，其将多个架子分别作为移动放置对象的架子，为了相对于移动放置对象的架子从一侧移动放置物品而使用，移动放置装置具有：主体部，其从一侧安装于移动放置对象的架子的安装部；移动部，其能够支承物品，在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下，沿一个方向在主体部与移动放置对象的架子之间移动；以及升降部，其在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下，在移动放置对象的架子的开口区域通过，使移动部升降。
在该移动放置系统中，在收纳装置中，多个架子分别包含对应于载置部在上下方向上的位置设置的安装部，在移动放置装置中，移动部构成为，在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下，能够相对于移动放置对象的架子移动。由此，仅凭工作人员将移动放置装置的主体部安装于移动放置对象的架子的安装部而成为能够进行物品相对于移动放置对象的架子的移动放置。由此，根据该移动放置系统，工作人员能够容易地移动放置物品而不必考虑架子的高度。
在本公开的一个侧面的移动放置系统中也可以为，移动放置装置还具有一对附件，一对附件分别包含：连接部，其安装于移动放置对象的架子的安装部；以及延伸部，其从连接部向一侧延伸，支承主体部，主体部经由一对附件安装于安装部。据此，由于移动放置装置的主体部通过从两个连接部向一侧延伸的两个延伸部来支承，所以能够以稳定的状态移动放置物品。
在本公开的一个侧面的移动放置系统中也可以为，连接部沿上下方向延伸，一对附件分别还包含架设于连接部与延伸部之间的加强部。据此，由于一对附件的承受载荷增大，即使是例如重的物品，也能以稳定的状态移动放置物品。
在本公开的一个侧面的移动放置系统中也可以为，升降部是气动千斤顶。据此，由于能够减轻移动放置装置的重量，所以能够将移动放置装置更容易地安装于收纳装置的安装部。
在本公开的一个侧面的移动放置系统中也可以为，移动放置装置还具有沿一个方向引导移动部的引导件，引导件构成为，在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下，从主体部向移动放置对象的架子的开口区域的正下方延伸。据此，由于移动部被沿一个方向延伸的引导件引导，所以能够更进一步地以稳定的状态移动放置物品。另外，由于仅凭工作人员将移动放置装置的主体部安装于移动放置对象的架子的安装部而成为引导件向移动放置对象的架子的开口区域的正下方延伸的状态，所以能够抑制对工作人员产生额外的作业负担。
在本公开的一个侧面的移动放置系统中也可以为，引导件是直线导轨。据此，能够通过简易结构更进一步地以稳定的状态移动放置物品。
在本公开的一个侧面的移动放置系统中也可以为，物品是储存有半导体晶圆的容器。据此，能够容易地移动放置储存有作为精密器械的半导体晶圆的容器。
本公开的一个侧面的移动放置装置中，收纳装置具有在上下方向排列且从水平的一个方向上的一侧移动放置物品的多个架子，多个架子分别包含形成有在上下方向以及一侧开口的开口区域且供物品载置的载置部、和对应于载置部在上下方向上的位置设置的安装部，上述移动放置装置将上述收纳装置中的多个架子分别作为移动放置对象的架子，为了相对于移动放置对象的架子从一侧移动放置物品而使用，其中，上述移动放置装置具备：主体部，其从一侧安装于移动放置对象的架子的安装部；移动部，其能够支承物品，在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下，沿一个方向在主体部与移动放置对象的架子之间移动；以及升降部，其在主体部安装于移动放置对象的架子的安装部的状态下，在移动放置对象的架子的开口区域通过，使移动部升降。
根据该移动放置装置，根据上述理由，工作人员能够容易地移动放置物品而不必考虑架子的高度。
本公开的一个侧面的移动放置方法用于在上述移动放置系统中实施，其中，包含：第一步骤，该步骤准备移动放置装置；第二步骤，该步骤在第一步骤之后，从一侧将主体部安装于移动放置对象的架子的安装部；第三步骤，该步骤在第二步骤之后，在使移动部下降后的状态下，使移动部沿一个方向向移动放置对象的架子的开口区域的正下方移动；第四步骤，该步骤在第三步骤之后，通过使用升降部，使移动部在移动放置对象的架子的开口区域通过而上升，使移动部支承物品；以及第五步骤，该第五步骤在第四步骤之后，在使移动部上升后的状态下，使移动部沿一个方向向朝向主体部移动。
根据该移动放置方法，基于上述理由，工作人员能够容易且稳定地移动放置物品而不必考虑架子的高度。
【发明的效果】
根据本公开，能够提供工作人员能够不必考虑架子的高度地容易地移动放置物品的移动放置系统、移动放置装置以及移动放置方法。
附图说明
图1是包含使用一实施方式的移动放置装置的收纳装置的收纳系统的侧视图。
图2是一实施方式的移动放置装置进行移动放置的容器的立体图。
图3是一实施方式的移动放置系统的侧视图。
图4是图3所示的移动放置系统的俯视图。
图5是一实施方式的移动放置装置的立体图。
图6是图5所示的移动放置装置的升降部的剖视图。
图7是沿图5所示的移动放置装置的VII－VII线的剖视图。
图8是图5所示的移动放置装置的仰视图。
图9是图5所示的移动放置装置的附件的侧视图。
图10是图9所示的附件的俯视图。
图11是一实施方式的移动放置方法的流程图。
图12是用于实施图11所示的移动放置方法的移动放置系统的侧视图。
图13是用于实施图11所示的移动放置方法的移动放置系统的侧视图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本公开的实施方式。此外，对各图中的同一部分或相当部分标注同一附图标记，并省略重复说明。
[收纳系统的结构]
针对包含使用一实施方式的移动放置装置的收纳装置的收纳系统，进行说明。如图1所示，收纳系统100具备一对收纳装置10、起重机3、开环器4、输送机5、港口6和系统控制部7。在以下的说明中，将三维空间的正交坐标系中的各轴方向设为X方向、Y方向以及Z方向。其中，Y方向是水平的一个方向，Z方向是上下方向(铅垂方向)。
一对收纳装置10配置为在Y方向上空开间隔对置。配置于Y方向上的一侧的收纳装置10设置于开环器4的上方。各收纳装置10具有收纳容器(物品)9的多个架子11。在各收纳装置10中，多个架子11在X方向以及Z方向上排列。容器9从Y方向上的起重机3侧(一侧)移动放置于各架子11。在以下的说明中，在以各架子11为基准的情况下，将起重机3侧称为前侧，将其相反侧称为后侧。
如图2所示，容器9是储存半导体晶圆的容器。容器9具有环9a、底部9b以及上盖部9c。容器9具有多个设置有保持晶圆的保持部的环9a。各环9a构成载放晶圆的托盘。各环9a将半导体晶圆保持在内部，保护半导体晶圆的外周。各环9a例如是形成有从Z方向观察呈圆形的开口的矩形板框的部件。为了使多个环9a的侧面机密，多个环9a在Z方向上交替层叠。底部9b载置有层叠于其上表面的多个环9a。上盖部9c配置于所层叠的多个环9a的上方。底部9b以及上盖部9c例如是板状部件。所层叠的多个环9a利用上盖部9c的重量被按压向下方的底部9b。容器9能够使所层叠的环9a分别分离。底部9b具有将容器9的内部和容器9的外部连通的开口。净化气体通过在底部9b形成的开口被封入容器9的内部。
如图1所示，起重机3是输送容器9的输送装置。起重机3在多个架子11与开环器4之间移动放置容器9。起重机3配置于一对收纳装置10之间的区域。起重机3具有行驶部3a、支承柱3b以及装货台面3c。行驶部3a通过马达等行驶驱动部沿轨道(省略图示)行驶。该轨道沿X方向延伸。支承柱3b从行驶部3a沿Z方向向上侧延伸。装货台面3c通过马达等升降驱动部沿支承柱3b升降。装货台面3c包含载置容器9的装货台面、调整容器9的方向的旋转部、以及将容器9分别移动放置于多个架子11的移动放置部。
开环器4相对于起重机3配置于Y方向上的一侧。开环器4是在Z方向上开闭多个环9a的一部分之间以使能够相对于通过起重机3从各架子11输送来的容器9移动放置半导体晶圆的装置。在相对于规定的一个或者多个环9a移动放置半导体晶圆的情况下，开环器4打开所层叠的多个环9a之中的规定的一个部位或者多个部位。在相对于规定的一个或者多个环9a移动放置了半导体晶圆之后通过起重机3相对于架子11移动放置容器9的情况下，开环器4关闭多个环9a之中的所打开的部位。
港口6相对于开环器4配置于Y方向上的一侧。即，港口6配置于在Y方向上从开环器4观察与收纳装置10相反一侧。港口6是在输送车(省略图示)与收纳系统100之间交接FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)8的部分。输送车例如是沿设置于半导体工厂的天花板的轨道行驶的天花板行驶式无人输送车。
FOUP8通过输送车载置于港口6上。FOUP8具备具有开口部的箱状的壳体以及覆盖开口部的盖。盖设置为相对于壳体能够取下。在FOUP8例如收容有多个半导体晶圆等。FOUP8具有保持于输送车的凸缘。
输送机5配置于Y方向上的开环器4与港口6之间。FOUP8以与输送机5邻接的方式载置于港口6上。输送机5是EFEM(Equipment Front End Module：设备前端模块)。输送机5具有能够插入FOUP8的内部或者容器9的内部且能够移动放置半导体晶圆的臂。输送机5具有取下设置于FOUP8的开口部的盖的功能。输送机5具有通过臂在容器9的环9a与FOUP8的内部之间移动放置半导体晶圆的功能。具体而言，输送机5从容器9的环9a的内部取出半导体晶圆，在FOUP8的内部储存该半导体晶圆。此时，输送机5通过在容器9中的打开的多个环9a之间插入臂，从容器9取出半导体晶圆。或者，输送机5取出储存于港口6上的FOUP8的内部的半导体晶圆，在容器9的环9a的内部储存该半导体晶圆。此时，输送机5通过在FOUP8的开口部通过将臂插入FOUP8的内部，从FOUP8取出半导体晶圆。
系统控制部7控制收纳系统100的各动作。系统控制部7是由CPU(CentralProcessing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(RandomAccess Memory：随机存储器)等构成的电子控制单元。系统控制部7例如能够构成为储存于ROM的程序被下载于RAM上而通过CPU来执行的软件。系统控制部7也可以构成为基于电子电路等的硬件。系统控制部7既可以由一个装置构成，也可以由多个装置构成。在由多个装置构成的情况下，通过它们经由互联网或者内部网等通信网络连接，逻辑上构建出一个系统控制部7。系统控制部7与起重机3、开环器4以及输送机5通过无线或有线连接，控制起重机3、开环器4以及输送机5的动作。
这里，说明收纳系统100从收纳于收纳装置10的容器9的内部将半导体晶圆移动放置至FOUP8的动作。在FOUP8通过输送车载置于港口6上的情况下，系统控制部7开始各种控制。起重机3从收纳装置10的各架子11搬出容器9，移动至开环器4为止。开环器4能够在Z方向上打开所层叠的多个环9a的规定部位，将半导体晶圆从环9a取出。输送机5取下FOUP8的盖。输送机5从容器9的环9a取出半导体晶圆，将其储存于FOUP8的内部。在FOUP8储存有规定片数的半导体晶圆的情况下，输送机5通过盖关闭连通的FOUP8的开口部。这里的规定片数是一片或者能够收纳于FOUP8的上限的片数，例如是25片。通过以上，从收纳系统100中的容器9移动放置至FOUP8的处理完成。
通过收纳系统100从FOUP8将半导体晶圆移动放置至容器9的内部的处理通过变更上述处理中的利用输送机5进行的搬出以及搬入的对象来实施。即，在上述处理之中，输送机5从FOUP8的内部取出半导体晶圆，使该半导体晶圆储存于容器9的环9a。在容器9储存有规定片数的半导体晶圆的情况下，开环器4在Z方向上关闭容器9中的多个环9a的一部分之间，起重机3相对于各架子11移动放置容器9。这里的规定片数是一片或者能够收纳于容器9的上限的片数，例如是25片。通过以上，从收纳系统100中的FOUP8移动放置至容器9的处理完成。通过这些处理，收纳系统100能够自动地执行半导体晶圆从容器9以及FOUP8的移动放置。
[移动放置系统以及移动放置装置的结构]
如图3以及图4所示，在本实施方式中，通过收纳装置10以及移动放置装置20构成有移动放置系统1。移动放置系统1以及移动放置装置20例如能够利用于因收纳系统100的系统控制部7的故障等而无法自动地移动放置容器9从而工作人员相对于收纳装置10移动放置容器9的情况。在收纳装置10中，供容器9移动放置的多个架子11分别是移动放置对象的架子11。在移动放置系统1中，工作人员进入设置有起重机3的一对收纳装置10之间，在移动放置对象的架子11安装移动放置装置20。使用移动放置装置20是为了从前侧(水平的一个方向上的一侧)相对于移动放置对象的架子11移动放置容器9。
收纳装置10还具有多个侧壁部12以及内壁部13。侧壁部12是沿Y方向以及Z方向延伸的板状部件。多个侧壁部12配置为在X方向上空开间隔地分别对置。多个侧壁部12与多个架子11连接。移动放置对象的架子11通过一对侧壁部12在X方向上分隔。内壁部13与多个侧壁部12的后侧的端部连接。内壁部13是沿X方向以及Z方向延伸的板状部件。在收纳装置10中，在沿Z方向连续排列的两个架子11之间，且在沿X方向连续排列的两个侧壁部12之间，且在前侧，形成有在X方向以及Z方向扩展的移动放置用开口。移动放置用开口具有能够移动放置容器9的宽度(X方向上的长度)以及高度(Z方向上的长度)。在容器9移动放置于移动放置对象的架子11的情况下，容器9从前侧在移动放置用开口通过而移动放置于由两个侧壁部12以及内壁部13围起的空间。此外，以下，在着眼于移动放置对象的架子11的情况下，存在将X方向上的一对侧壁部12的内侧简单地称为内侧，将一对侧壁部12的外侧简单地称为外侧的情况。
移动放置对象的架子11包含载置部14以及安装部15。在载置部14载置容器9。另外，在载置部14形成有在前侧(一侧的一例)以及Z方向开口的开口区域14a。载置部14具有一对载置台16、气体封入台17、气管18以及空间19。一对载置台16分别设置于侧壁部12的内侧。一对载置台16分别是沿X方向以及Y方向延伸的板状部件，是支承容器9在X方向上的两端的部件。一对载置台16分别连接并支承于隔着移动放置对象的架子11的两个侧壁部12的内侧的面。在X方向上，一对载置台16之间开口。在容器9被搬入移动放置对象的架子11的情况下，一对载置台16通过与容器9的底部9b接触来支承容器9。
开口区域14a在移动放置对象的架子11中在Z方向以及前侧开口。开口区域14a是一对载置台16之间的空间。开口区域14a在内壁部13的前侧连通上方以及下方的空间。通过开口区域14a至少一对的载置台16的前侧未连结。开口区域14a具有后述的移动放置装置20的移动部40能够升降的宽度(X方向上的长度)以及深度(Y方向上的长度)。开口区域14a例如具有与一对载置台16的厚度(Z方向上的长度)相同的厚度。
气体封入台17以及气管18与气体钢瓶(省略图示)连通，对净化气体进行通气。气体封入台17设置于一对载置台16之中的任一方的载置台16上。气管18是连通气体封入台17和气体钢瓶的管路。在容器9载置于移动放置对象的架子11的载置部14上时，容器9以在底部9b形成的开口和气体封入台17卡合的方式载置。净化气体经由在底部9b形成的开口、气体封入台17以及气管18被封入容器9的内部，由此对容器9进行清洗处理。
在移动放置对象的架子11的开口区域14a的正下方形成有空间19。移动放置对象的架子11的开口区域14a的正下方是指该移动放置对象的架子11的开口区域14a与收纳于该移动放置对象的架子11的下一层的架子11的容器9的上盖部9c之间的区域(在移动放置对象的架子11位于最下层的情况下，是指与该区域对应的区域)。空间19至少具有后述的移动放置装置20的引导件60能够插入的高度(Z方向上的长度)。
安装部15对应于移动放置对象的架子11中的Z方向上的载置部14的位置设置。移动放置装置20通过与安装部15连接而安装于移动放置对象的架子11。安装部15设置于侧壁部12的前侧的端部。安装部15具有后述移动放置装置20中的附件70的附件固定件83能够朝向内侧嵌入的多个小孔。
移动放置装置20具有主体部30、移动部40、升降部50、引导件60和一对附件70。
主体部30从前侧(一侧)安装于安装部15。如图5所示，主体部30包含一对支承部31、框体32、一对卡合凹部33以及一对卡合限位器34。一对支承部31能够支承容器9。一对支承部31支承容器9在X方向上的两端。一对支承部31分别是沿Y方向延伸的长条状部件。一对支承部31能够在各自的上表面31a水平地支承容器9。
框体32支承着一对支承部31。框体32由支承一对支承部31、沿Y方向延伸的一对支承部件32a、以及支承一对支承部件32a、沿X方向延伸的一对支承部件32b构成。由一对支承部件32a以及一对支承部件32b构成的框体32从Z方向观察呈矩形框状。框体32中的一对支承部件32a以及一对支承部件32b是各自相对于延伸方向的横剖面为矩形的长条状部件。一对支承部件32a各自的上表面与一对支承部31各自的底面连接。一对支承部件32b各自的上表面在X方向上的端部与一对支承部件32a各自的底面在Y方向上的端部连接。
一对卡合凹部33分别设置于一对支承部件32a各自的外侧的面。一对卡合凹部33分别具有沿Y方向延伸的凹部。一对卡合凹部33分别具有后述一对附件70的主体固定件93能够朝向内侧嵌入的小孔。
一对卡合限位器34分别以在Y方向上与一对卡合凹部33各自的前侧的端部接触或者接近的方式，设置于一对支承部件32a各自的外侧的面。一对卡合限位器34分别以覆盖一对卡合凹部33各自相对于延伸方向(Y方向)的横剖面的一部分或者全部的方式突出设置。
移动部40能够支承容器9，在主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15的状态下，沿Y方向(一个方向)在主体部30与移动放置对象的架子11之间移动。移动部40构成为相对于安装部15能够向前侧或者后侧移动。移动部40包含移动板41、把持部42、防滑部43以及突起部44。
移动板41能够支承容器9。移动板41呈板状。移动板41在Y方向上的长度是比容器9在Y方向上的长度长的长度或者两者是同一长度。移动板41沿Y方向(一个方向)在主体部30与移动放置对象的架子11之间移动。把持部42设置于移动板41。把持部42在工作人员移动移动板41的情况下被把持。工作人员通过把持把持部42，使力向前侧或者后侧作用而使移动板41向前侧或者后侧移动。把持部42设置于移动板41上的前侧的端部。把持部42例如由树脂构成。
防滑部43设置于移动板41上，抑制容器9从移动板41滑落。防滑部43设置于移动板41上的后侧的端部。防滑部43例如由树脂构成。在容器9载置于移动板41上的情况下，容器9载置于把持部42与防滑部43之间。突起部44设置于移动板41上，将容器9在移动板41上定位。突起部44从移动板41的水平面突出。通过设置于容器9的底部9b的凹陷和突起部44卡合，抑制容器9向水平方向的移动。突起部44与设置于移动板41的下方的螺钉连接，通过该螺钉，能够调整突起部44在Z方向上的上端的位置。
升降部50使移动部40升降。升降部50是气动千斤顶。如图5以及图6所示，升降部50包含多个气囊部51、一对外壳52、多个气管53、多个连结件54、止回阀55以及手动泵56。各气囊部51通过向其内部供给气体而至少在Z方向上膨胀，通过从其内部排出气体而至少在Z方向上收缩。各气囊部51例如由筒状的硅胶构成。各气囊部51的一端与各气管53连接。各气囊部51的内部的除气管53之外的两端部例如通过液态硅关闭。各气囊部51配置为在移动板41的下方沿Y方向延伸。由于各气囊部51水平地支承移动板41，所以配置为在Y方向上移动板41的中心和各气囊部51的中心一致。多个气囊部51在移动板41的外侧的两端边分别沿Y方向设置于移动板41的下方。针对移动板41的沿Y方向的每一条端边，多个气囊部51在Z方向上层叠。
一对外壳52保护各气囊部51免于物理上的接触。一对外壳52分别在设置于移动板41的沿Y方向的一个端边的多个气囊部51的外周，沿Y方向设置。各外壳52是上下分离的上下一组部件。各外壳52与框体32的各支承部件32b的上表面以及移动板41的下表面连接。在各气囊部51收缩的情况下，上下一组外壳52彼此接触，呈沿Y方向延伸的筒状。在各气囊部51膨胀的情况下，通过上下一组外壳52之中的上方的部件上升而与下方的部件分离。各外壳52例如由金属构成。
各气管53是经由各连结件54连通各气囊部51和手动泵56的管路。各气管53从各气囊部51的前侧的端部向前侧延伸。各气管53能够使气体在各气囊部51与手动泵56之间流通。各气管53例如由硅胶构成。各连结件54在各气囊部51与止回阀55之间连结有从各气囊部51延伸的各气管53。各连结件54以从各气囊部51至止回阀55为止由一根气管53构成的方式连结有各气管53。各连结件54例如由金属构成。
止回阀55设置于各气囊部51与手动泵56之间。不管止回阀55是开放或是关闭，气体从手动泵56向各气囊部51的流通不受抑制。在开放止回阀55的阀的情况下，气体从各气囊部51向手动泵56流通。在关闭止回阀55的阀的情况下，气体不从各气囊部51向手动泵56流通。手动泵56通过工作人员作用力，能够使气体在各气管53通过向各气囊部51流通。手动泵56例如是气泵。
如图7所示，升降部50使移动部40升降。图7中的(a)表示移动部40下降后的状态。此时，气体不从手动泵56通过各气管53向各气囊部51的内部供给，各气囊部51是收缩后的状态。移动部40的移动板41位于比各支承部31的上表面31a靠下方，或者位于与各支承部31的上表面31a同一高度。在移动板41位于比各支承部31的上表面31a靠下方的状态下，在移动放置装置20上载置容器9的情况下，容器9仅支承于各支承部31的上表面31a。在移动板41位于与各支承部31的上表面31a同一高度的状态下，在移动放置装置20上载置容器9的情况下，容器9通过各支承部31的上表面31a以及移动板41支承。
图7中的(b)表示移动部40上升后的状态。此时，通过气体从手动泵56在各气管53通过向各气囊部51的内部供给，各气囊部51成为膨胀了的状态。各气囊部51通过膨胀而至少朝向Z方向增大高度。由此，移动部40的移动板41位于比各支承部31的上表面31a靠上方。在移动板41位于比各支承部31的上表面31a靠上方的状态下，在移动放置装置20上载置容器9的情况下，容器9仅支承于移动板41。
如图3以及图8所示，引导件60沿Y方向(一个方向)引导移动部40。图8中的(a)表示移动部40配置于前侧的状态。图8中的(b)表示移动部40向后侧移动后的状态。引导件60是直线导轨。引导件60包含直线导轨61、搬入限位器62以及搬出限位器63。
直线导轨61在主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15的状态下，从主体部30向移动放置对象的架子11的开口区域14a的正下方延伸。在主体部30安装于安装部15的情况下，直线导轨61被插入移动放置对象的架子11的开口区域14a的正下方的空间19。直线导轨61在上面观察下呈矩形框状。直线导轨61通过沿Y方向延伸的部分，使移动板41向前侧或者后侧移动。在主体部30安装于移动放置对象的架子11的情况下，直线导轨61的后侧的端部61a配置于与收纳装置10的内壁部13接近的位置。直线导轨61的前侧的端部61b延伸至从框体32的中心观察位于前侧的支承部件32b为止。
搬入限位器62以及搬出限位器63设置于直线导轨61，在X方向突出。搬入限位器62以及搬出限位器63设置于直线导轨61的内侧，向内侧突出。搬入限位器62从直线导轨61的中心观察设置于后侧，限制了移动板41向后侧的移动。搬出限位器63从直线导轨61的中心观察设置于前侧，限制了移动板41向前侧的移动。
这里，如图8所示，移动部40包含滑块45以及抵接部46。滑块45设置于移动板41的下表面。移动板41相对于滑块45以能够在Z方向移动的方式连接。滑块45例如是直线滑块。滑块45以在X方向上从外侧向内侧将引导件60的直线导轨61夹入的方式，配置于直线导轨61的沿Y方向延伸的部件的外侧。滑块45沿直线导轨61和移动板41一起在主体部30与移动放置对象的架子11的开口区域14a之间移动。
抵接部46设置于移动板41的下表面。抵接部46例如是大致长方体状的部件。抵接部46通过与搬入限位器62以及搬出限位器63抵接，限制了移动部40的移动。抵接部46以及搬入限位器62分别设置为，在移动板41向后侧移动的情况下，在移动板41到达移动放置对象的架子11的开口区域14a之后，且在移动板41的后侧的端部到达内壁部13之前，抵接部46与搬入限位器62抵接。抵接部46以及搬入限位器62设置为，在将容器9从移动放置对象的架子11搬出的情况下，从突起部44位于在一对载置台16上的容器9的底部9b设置的凹陷的正下方时的移动板41的位置开始，限制移动板41的移动。抵接部46以及搬出限位器63分别设置为，在移动板41向前侧移动的情况下，在移动板41移动至比移动放置对象的架子11的开口区域14a靠前侧之后，抵接部46与搬出限位器63抵接。
如图9以及图10所示，一对附件70分别包含连接部80以及延伸部90。一对附件70分别包含加强部99。一对附件70装卸自如地设置于移动放置对象的架子11的安装部15。一对附件70以在X方向上从外侧将主体部30夹入的方式与主体部30连接为装卸自如。
连接部80安装于收纳装置10的安装部15。连接部80包含连接板81、墙体搭接部82、多个附件固定件83以及多个安装钩84。连接板81是沿Z方向延伸的板状部件。连接板81在X方向上相对于安装部15设置于内侧。连接板81具有在X方向上朝向内侧而多个附件固定件83能够分别嵌入的多个小孔。墙体搭接部82设置于连接板81的外侧的面。在主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15的情况下，墙体搭接部82的后侧的面与侧壁部12的前侧的面接触。墙体搭接部82是大致长方体状的部件。
各附件固定件83连结有安装部15和连接板81。各附件固定件83例如是螺钉、销等。各附件固定件83通过嵌入安装部15以及连接板81各自的小孔，从外侧向内侧延伸，限制各附件70向Y方向以及Z方向的移动。
各安装钩84是可转动地设置于连接板81的钩状部件。通过各安装钩84以其转动轴为中心转动，各安装钩84的钩的部分和各附件固定件83卡合。由此，各附件固定件83难以从安装部15以及连接板81各自的小孔脱离。通过各安装钩84绕使其钩部从各附件固定件83分离的方向转动，能够解除各安装钩84的钩的部分与各附件固定件83的卡合。安装钩84仅以与附件固定件83的个数相同的个数、或者这以上的个数设置。
延伸部90从连接部80向前侧(一侧)延伸，支承主体部30。延伸部90包含延伸板91、卡合凸部92、主体固定件93、固定件支承台94以及高度调整单元95。延伸板91是沿Y方向延伸的板状部件。延伸板91在其后侧的端部与连接板81连接。延伸板91具有在X方向上朝向内侧而主体固定件93能够嵌入的小孔。
卡合凸部92通过与主体部30的卡合凹部33卡合，将主体部30相对于移动放置对象的架子11针对X方向固定。卡合凸部92设置为能够在Z方向移动。卡合凸部92是沿Y方向延伸、在X方向上设置于延伸板91的内侧、朝向内侧突出的凸部。以通过主体部30的卡合凹部33中的后侧的端部相对于卡合凸部92的前侧的端部卡合、卡合凹部33相对于卡合凸部92向后侧移动的方式插入卡合凸部92，由此主体部30和各附件70卡合。由此，卡合凸部92水平地支承主体部30。通过卡合限位器34，卡合凸部92从卡合凹部33向前侧的突出受到限制。卡合凸部92在Y方向上的长度是比卡合凹部33的长度短的长度或者同一长度。卡合凸部92具有在X方向上朝向内侧而主体固定件93能够嵌入的小孔。
主体固定件93通过嵌入卡合凹部33、延伸板91以及卡合凸部92的小孔，将主体部30和各附件70在Y方向以及Z方向上固定。主体固定件93例如是螺钉或者销等。延伸板91的小孔比卡合凹部33以及卡合凸部92的小孔沿Z方向延伸。在主体部30的卡合凹部33和卡合凸部92卡合之后，主体固定件93嵌入小孔，对主体部30和各附件70进行定位。
固定件支承台94在X方向上设置于延伸板91的外侧的面。固定件支承台94与主体固定件93连接为能够转动。固定件支承台94具有在X方向上朝向内侧而主体固定件93能够嵌入的小孔。主体固定件93在X方向上从外侧按照固定件支承台94、延伸板91、卡合凸部92以及卡合凹部33的顺序嵌入小孔。卡合凹部33、卡合凸部92以及固定件支承台94各自的小孔相比延伸板91的小孔，在Z方向上延伸的长度较小。卡合凹部33、卡合凸部92以及固定件支承台94各自的小孔具有比主体固定件93的进行嵌入的部位的直径大一圈的直径。
高度调整单元95调整固定件支承台94在Z方向上的高度。高度调整单元95包含高度调整台96以及多个高度调整螺钉97。高度调整台96在X方向上固定于延伸板91的外侧的面，且固定于固定件支承台94的下方来设置。高度调整台96在Z方向具有多个螺纹孔。多个高度调整螺钉97沿Z方向嵌入设置于高度调整台96的螺纹孔，并向高度调整台96的上方突出。通过各高度调整螺钉97的上端部与固定件支承台94接触，各高度调整螺钉97支承固定件支承台94。各高度调整螺钉97通过转动来改变从高度调整台96向上方突出的部分的长度。由此，调整通过各高度调整螺钉97的上端被支承的固定件支承台94在Z方向上的位置。即，通过延长从高度调整台96向上方突出的部分的长度，固定件支承台94在Z方向上的位置向上方移动。通过缩短从高度调整台96向上方突出的部分的长度，固定件支承台94在Z方向上的位置向下方移动。主体固定件93通过与移动的固定件支承台94的小孔的边缘接触而在Z方向移动。移动的主体固定件93通过与卡合凹部33以及卡合凸部92各自的小孔的边缘接触而使主体部30以及卡合凸部92在Z方向移动。
加强部99架设于连接部80与延伸部90之间。加强部99连结有连接部80的连接板81的下端和延伸部90的延伸板91的前侧的端部，并支承着延伸板91。加强部99呈板状。由于各附件70的轻型化，所以由连接板81、延伸板91以及加强部99围起的区域开口。此外，在各附件70中，连接板81、延伸板91以及加强部99由一片板状部件构成。
[移动放置方法]
接下来，说明为了从前侧相对于移动放置对象的架子11移动放置容器9而使用移动放置装置20来实施的移动放置方法。首先，如图11所示，说明使用移动放置装置20从前侧相对于移动放置对象的架子11搬出容器9的移动放置方法。此时，容器9载置于收纳装置10中的载置部14的一对载置台16上。
最初，工作人员准备移动放置装置20(S200：第一步骤)。工作人员携带移动放置装置20进入设置有起重机3的一对收纳装置10之间。
接着，工作人员将一对附件70分别安装于收纳装置10中的相对于移动放置对象的架子11的安装部15(S210)。工作人员将连接部80安装于安装部15。通过各附件固定件83嵌入安装部15以及连接板81各自的小孔来连结安装部15和连接板81。通过各安装钩84转动，附件固定件83和安装钩84分别卡合，由此各附件固定件83难以从安装部15以及连接板81分别脱离。
接着，工作人员经由一对附件70从前侧将主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15(S220：第二步骤)。如图12所示，工作人员将一对附件70安装于移动放置对象的架子11的安装部15，将主体部30安装于一对附件70。工作人员使主体部30的一对卡合凹部33与一对卡合凸部92卡合，并使一对卡合凹部33向后侧移动。通过一对卡合凸部92与主体部30的一对卡合限位器34抵接，一对卡合凸部92向前侧的突出受到限制。主体固定件93从外侧依次嵌入固定件支承台94、延伸板91、卡合凸部92以及卡合凹部33各自的小孔。由此，主体部30和一对附件70被固定，主体部30经由一对附件70安装于安装部15。通过在使一对卡合凹部33与一对卡合凸部92卡合时，主体部30向后侧移动，引导件60的直线导轨61被插入移动放置对象的架子11的空间19。在移动部40难以朝向空间19移动的情况下，或者在直线导轨61的插入停滞的情况下，通过高度调整单元95调整主体固定件93在Z方向上的位置。由此，能够调整与主体部30连接的移动部40以及直线导轨61在Z方向上的位置，使移动部40的移动以及直线导轨61的插入顺利。
接着，工作人员在使移动部40下降后的状态下，使移动部40向移动放置对象的架子11的开口区域14a的正下方的空间即空间19移动(S230：第三步骤)。通过在升降部50中止回阀55被开放，各气囊部51内的气体向外部放出。由此，移动部40的移动板41成为下降后的状态。工作人员通过把持移动部40的把持部42，使移动板41沿直线导轨61向后侧移动，将移动板41插入移动放置对象的架子11的空间19。移动板41能够向后侧移动至抵接部46与搬入限位器62抵接为止。移动板41以突起部44位于在一对载置台16上的容器9的底部9b设置的凹陷的正下方的方式被插入空间19内。
接着，工作人员通过使用升降部50，使移动部40在移动放置对象的架子11的开口区域14a通过而上升，使容器9支承于移动部40(S240：第四步骤)。如图13所示，工作人员使移动部40的移动板41向后侧移动，并使移动板41上升。工作人员使用手动泵56，通过各气管53以及各连结件54将气体供给至各气囊部51的内部。各气囊部51因被供给气体而膨胀，使移动板41上升。移动板41借助上升通过移动放置对象的架子11的开口区域14a并在上方通过。在移动板41位于与一对载置台16同一高度的情况下，移动板41与容器9接触，突起部44与在容器9的底部9b的中央设置的凹陷卡合。通过移动板41进一步上升，容器9支承于移动板41。
接着，工作人员使支承着容器9的移动部40移动至主体部30为止(S250：第五步骤)。工作人员通过把持移动部40的把持部42，保持使各气囊部51膨胀后的状态，使移动板41沿直线导轨61向前侧移动，将支承着容器9的移动板41从移动放置对象的架子11搬出。移动板41能够向前侧移动至抵接部46与搬出限位器63抵接为止。工作人员也可以使升降部50的各气囊部51收缩。即，如图3所示，工作人员也可以在使移动板41向前侧移动后的状态下，通过升降部50使移动板41下降，使容器9载置于主体部30的各支承部31的上表面31a上。若第五步骤(S250)结束，则图11所示的移动放置方法结束。由此，容器9从移动放置对象的架子11搬出。
接下来，说明使用移动放置装置20将容器9从前侧相对于移动放置对象的架子11搬入的移动放置方法。最初，工作人员准备移动放置装置20。工作人员实施与进行搬出的移动放置方法中的移动放置装置20的准备作业(S200)相同的作业。
接着，作为安装附件的作业，工作人员将一对附件70分别安装于收纳装置10中的相对于移动放置对象的架子11的安装部15。工作人员实施与进行搬出的移动放置方法中的一对附件70的安装作业(S210)相同的作业。
接着，作为主体部30的安装作业，工作人员从前侧将主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15。工作人员实施与进行搬出的移动放置方法中的主体部30的安装作业(S220)相同的作业。此时，工作人员将容器9载置于主体部30的一对支承部31或者移动部40的移动板41上。
接着，作为通过升降部50进行的移动部40的上升作业，工作人员通过使用升降部50使移动部40上升，使容器9仅支承于移动部40。工作人员使用手动泵56，通过各气管53以及各连结件54将气体供给至各气囊部51的内部。各气囊部51因被供给气体而膨胀，使移动板41上升。在移动板41位于与一对支承部31同一高度的情况下，移动板41与容器9接触，突起部44与在容器9的底部9b的中央设置的凹陷卡合。通过移动板41进一步上升，容器9仅支承于移动板41。此外，如果在主体部30的安装作业时升降部50处于上升后的状态，通过该升降部50进行的移动部40的上升作业也可以不执行。此时，工作人员以在容器9的底部9b的中央设置的凹陷与突起部44卡合的方式载置容器9。
接着，作为移动部40的移动作业，工作人员在使移动部40上升后的状态下，使移动部40向移动放置对象的架子11的开口区域14a移动。工作人员通过把持移动部40的把持部42，使移动板41沿直线导轨61向后侧移动，使移动板41在移动放置对象的架子11的移动放置用开口通过而插入开口区域14a的正上方。所谓移动放置对象的架子11的开口区域14a的正上方，是指该移动放置对象的架子11的开口区域14a与该移动放置对象的架子11的上一层的架子11的开口区域14a之间的区域。移动板41能够向后侧移动至抵接部46与搬入限位器62抵接为止。移动板41移动至容器9不从移动放置对象的架子11的前侧的端部突出的状态为止。
接着，作为通过升降部50进行的移动部40的下降作业，通过使用升降部50使移动部40下降，使容器9仅支承于移动放置对象的架子11中的载置部14的一对载置台16。工作人员通过开放止回阀55，使气体在各气管53以及各连结件54通过而从各气囊部51的内部排出。各气囊部51因被排出气体而收缩，使移动板41下降。在移动板41在开口区域14a通过而移动至比一对载置台16靠下方的情况下，容器9和移动板41的接触被解除，在容器9的底部9b的中央设置的凹陷与突起部44的卡合被解除。容器9载置于载置部14的一对载置台16上。通过移动板41进一步下降，移动板41位于空间19。由此，移动部40的移动板41成为下降后的状态。
接着，作为移动部40的拉出作业，工作人员使移动部40移动至主体部30为止。工作人员通过把持移动部40的把持部42，保持使各气囊部51收缩后的状态，使移动板41沿直线导轨61向前侧移动，将移动板41从移动放置对象的架子11拉出。移动板41能够向前侧移动至抵接部46与搬出限位器63抵接为止。若移动部40的拉出作业结束，则搬入容器9的移动放置方法结束。
[作用及效果]
根据本公开的移动放置系统1、移动放置装置20以及移动放置方法，工作人员能够容易且稳定地移动放置容器9而不必考虑移动放置对象的架子11的高度。在因收纳系统100的系统控制部7的故障等无法自动地移动放置容器9而工作人员相对于收纳装置10移动放置容器9的情况下，工作人员能够利用移动放置系统1、移动放置装置20以及移动放置方法。另外，在因在Z方向上载置于多个架子11的容器9彼此的间隔变窄且容器9重而工作人员通过手作业抬起容器困难的情况下，工作人员能够利用移动放置系统1、移动放置装置20以及移动放置方法。在这些情况下，仅凭工作人员将移动放置装置20的主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15，就能容易地进行容器9相对于移动放置对象的架子11的移动放置。
另外，由于通过相对于移动放置对象的架子11设置有一对附件70，主体部30通过从连接部80向前侧延伸的延伸部90来支承，所以能够以稳定的状态移动放置容器9。另外，由于通过一对附件70包含加强部99从而一对附件70的承受载荷增大，所以例如在容器9重的情况下，也能以稳定的状态移动放置容器9。
另外，由于通过升降部50是气动千斤顶，能够减轻移动放置装置20的重量，所以能够将移动放置装置20更容易地安装于收纳装置10的安装部15。另外，由于通过移动放置装置20具有引导件60从而移动部40被沿Y方向延伸的引导件60引导，所以能更进一步地以稳定的状态将容器9移动放置于移动放置对象的架子11。另外，由于仅凭工作人员将移动放置装置20的主体部30安装于移动放置对象的架子11的安装部15而成为引导件60向移动放置对象的架子11的开口区域14a的正下方的空间19延伸的状态，所以能够防止对工作人员产生额外的作业负担。引导件60也可以是直线导轨61，从而能够以简易结构更进一步地以稳定的状态移动放置容器9。
另外，容器9也可以是储存有半导体晶圆的容器，从而能够容易地移动放置储存有作为精密器械的半导体晶圆的容器。另外，通过移动部40包含防滑部43或者突起部44，能够抑制容器9从移动板41滑落。另外，由于附件固定件83通过从外侧向内侧相对于在安装部15以及连接板81设置的小孔嵌入而在容器9的移动放置结束后容易取下，所以能够抑制对工作人员产生额外的作业负担。
[变形例]
本公开不限定于上述本实施方式。例如，针对各结构的材料以及形状，不限于上述材料以及形状，能够采用各种材料以及形状。例如，容器9也可以是储存多个玻璃基板的如光罩盒等那样的容器以及一般部件等物品。一对载置台16也可以在里侧经由连结部件连结。在该情况下，一对载置台16连结为不与在开口区域14a通过而升降的移动部40发生干涉。
主体部30也可以不包含一对支承部31。在该情况下，在容器9的移动放置前后，仅移动板41支承容器9。主体部30也可以不包含一对卡合凹部33。在该情况下，各附件70也可以不包含卡合凸部92。也可以在主体部30与各附件70的连接中，对每一个附件70使用多个附件固定件83来固定主体部30。由此，主体部30被水平支承。即，以与主体部30连接的移动部40的移动板41成为水平的方式固定于各附件70。主体部30也可以不包含一对卡合限位器34。在该情况下，通过主体部30与移动放置对象的架子11或者安装部15抵接，主体部30向后侧的移动受到抑制。也可以为，取代一对卡合凹部33，主体部30包含一对卡合凸部92，取代一对卡合凸部92，一对附件70包含一对卡合凹部33。
移动部40也可以是通过由马达等驱动源产生的动力而沿Y方向移动的机构。移动部40也可以是通过油压千斤顶、电动千斤顶、气动千斤顶或者滚珠丝杠等而沿Y方向移动的机构。移动部40也可以不包含把持部42。在该情况下，工作人员通过直接把持移动板41使移动板41移动。移动部40也可以不包含防滑部43或者突起部44。滑块45也可以配置为，在X方向上从内侧向外侧按压引导件60的直线导轨61的沿Y方向延伸的部件。
升降部50也可以不是气动千斤顶。升降部50也可以是通过由马达等驱动源产生的动力而在Z方向升降的机构。升降部50也可以是油压千斤顶、电动千斤顶或者滚珠丝杠。多个气囊部51也可以在Y方向上位于移动板41的内侧。在该情况下，直线导轨61设置于移动板41的下方，且在Y方向上设置于外侧。也可以针对移动板41的沿Y方向的每一个端边，气囊部51在Z方向上设置有一个。在该情况下，连结件54设置有一个。针对气囊部51，也可以相对于移动板41设置有一个气囊部51。在该情况下，连结件54也可以不设置。在气管53由一根管构成的情况下，连结件54也可以不设置。
移动放置装置20也可以不具有引导件60。在该情况下，移动部40例如也可以在移动板41的前侧具有沿Y方向延伸的把手部件。把手部件具有移动板41能够移动至开口区域14a的正下方的长度。在相对于移动放置对象的架子11移动放置容器9的情况下，工作人员把持把手部件使移动部40以及升降部50沿Y方向移动。引导件60的直线导轨61也可以由沿Y方向延伸的一个或多个长条状部件构成。引导件60也可以不延伸至开口区域14a的正下方的空间19为止。在该情况下，也可以以移动部40的移动板41能够向开口区域14a的正下方的空间19移动且移动板41能够支承容器9的方式，调整移动部40中的滑块45的位置，并调整从滑块45向后侧延伸的移动板41在Y方向上的长度。
移动放置装置20也可以不具有一对附件70。在该情况下，主体部30不经由一对附件70从前侧直接安装于安装部15。例如，主体部30的各支承部31也可以在Y方向上的后侧且在X方向上的外侧的侧面具有小孔。工作人员也可以通过将附件固定件83嵌入各安装部15以及各支承部31的小孔，将主体部30从前侧直接安装于安装部15。附件70也可以并非是一对。在该情况下，移动放置装置20例如具有一个附件70，主体部30具有一个卡合凹部33。各附件70也可以与在Z方向上位于比主体部30靠上方的安装部15连接。在该情况下，连接部80的连接板81的下端和延伸部90的延伸板91的后侧的端部连接，加强部99配置为连结连接部80的连接板81的上端和延伸部90的延伸板91的前侧的端部。连接板81也可以在X方向上相对于安装部15以及墙体搭接部82设置于外侧。附件固定件83也可以在一对附件70分别设置有一个。在连接部80的连接板81的上端和延伸部90的延伸板91的后侧的端部连接的情况下，一个附件固定件83嵌入连接板81的上部。在连接部80的连接板81的下端和延伸部90的延伸板91的后侧的端部连接的情况下，一个附件固定件83嵌入连接板81的下部。
也可以将多个卡合凸部92在Y方向分别设置于一对附件70。在该情况下，卡合凸部92是沿Y方向延伸的部件，多个卡合凸部92在Y方向上空开间隔设置。通过主体部30的各卡合凹部33与Y方向上的多个卡合凸部92分别卡合，水平地支承主体部30。一对卡合凸部92也可以是在X方向上设置于延伸板91的外侧、沿Y方向延伸的凸部。在该情况下，主体部30的一对卡合凹部33在一对卡合凸部92的外侧连接。各支承部件32a设置于各卡合凸部92的外侧，各支承部件32a向各附件70的延伸板91的上方或者下方延伸。高度调整台96的螺纹孔的数量以及高度调整螺钉97的数量也可以分别为各有一个。各附件70也可以不包含加强部99。由连接板81、延伸板91以及加强部99围起的区域也可以不开口。在各附件70中，连接板81、延伸板91以及加强部99既可以为并非由一片板状部件构成，也可以为由多片板状部件构成。
移动放置方法也可以不包含一对附件70的安装作业(S210)。在该情况下，作为第二步骤，工作人员不经由一对附件70将主体部30从前侧直接安装于安装部15。移动放置方法也可以包含将主体部30从一对附件70取下的作业、或者将一对附件70从安装部15取下的作业。在移动放置方法中，在使移动板41向移动放置对象的架子11移动的情况下，也可以为，移动板41并非全部被插入空间19的内部。在相对于移动放置对象的架子11搬出容器9时的移动部40的移动作业(S230)中，移动板41至少被插入比容器9的重心靠后侧。在相对于移动放置对象的架子11搬入容器9时的移动部40的移动作业中，移动板41以载置于移动板41上的容器9的前侧的端部位于比安装部15靠后侧的方式被插入。
附图标记说明：
1…移动放置系统；9…容器；9b…底部；10…收纳装置；11…架子；14…载置部；14a…开口区域；15…安装部；20…移动放置装置；30…主体部；40…移动部；50…升降部；60…引导件；61…直线导轨；70…附件；80…连接部；90…延伸部；99…加强部；100…收纳系统。

Claims (9)

1.一种移动放置系统，其特征在于，具备：
收纳装置，其具有在上下方向排列且从水平的一个方向上的一侧移动放置物品的多个架子，所述多个架子分别包含形成有在所述上下方向以及所述一侧开口的开口区域且供所述物品载置的载置部、和对应于所述载置部在所述上下方向上的位置设置的安装部；以及
移动放置装置，其将所述多个架子分别作为移动放置对象的架子，为了相对于所述移动放置对象的架子从所述一侧移动放置所述物品而使用，
所述移动放置装置具有：
主体部，其从所述一侧安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部；
移动部，其能够支承所述物品，在所述主体部安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部的状态下，沿所述一个方向在所述主体部与所述移动放置对象的架子之间移动；以及
升降部，其在所述主体部安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部的状态下，在所述移动放置对象的架子的所述开口区域通过，使所述移动部升降。
2.根据权利要求1所述的移动放置系统，其特征在于，
所述移动放置装置还具有一对附件，
所述一对附件分别包含：
连接部，其安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部；以及
延伸部，其从所述连接部向所述一侧延伸，支承所述主体部，
所述主体部经由所述一对附件安装于所述安装部。
3.根据权利要求2所述的移动放置系统，其特征在于，
所述连接部沿所述上下方向延伸，
所述一对附件分别还包含架设于所述连接部与所述延伸部之间的加强部。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的移动放置系统，其特征在于，
所述升降部是气动千斤顶。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的移动放置系统，其特征在于，
所述移动放置装置还具有沿所述一个方向引导所述移动部的引导件，
所述引导件构成为，在所述主体部安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部的状态下，从所述主体部向所述移动放置对象的架子的所述开口区域的正下方延伸。
6.根据权利要求5所述的移动放置系统，其特征在于，
所述引导件是直线导轨。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的移动放置系统，其特征在于，
所述物品是储存有半导体晶圆的容器。
8.一种移动放置装置，其特征在于，
收纳装置具有在上下方向排列且从水平的一个方向上的一侧移动放置物品的多个架子，所述多个架子分别包含形成有在所述上下方向以及所述一侧开口的开口区域且供所述物品载置的载置部、以及对应于所述载置部在所述上下方向上的位置设置的安装部，
所述移动放置装置将所述收纳装置中的所述多个架子分别作为移动放置对象的架子，为了相对于所述移动放置对象的架子从所述一侧移动放置所述物品而使用，
其中，
所述移动放置装置具备：
主体部，其从所述一侧安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部；
移动部，其能够支承所述物品，在所述主体部安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部的状态下，沿所述一个方向在所述主体部与所述移动放置对象的架子之间移动；以及
升降部，其在所述主体部安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部的状态下，在所述移动放置对象的架子的所述开口区域通过，使所述移动部升降。
9.一种移动放置方法，用于在权利要求1～7中的任一项所述的移动放置系统中实施，其特征在于，包含：
第一步骤，在该第一步骤中，准备所述移动放置装置；
第二步骤，该第二步骤在所述第一步骤之后，在该第二步骤中，从所述一侧将所述主体部安装于所述移动放置对象的架子的所述安装部；
第三步骤，该第三步骤在所述第二步骤之后，在该第三步骤中，在使所述移动部下降后的状态下，使所述移动部沿所述一个方向向所述移动放置对象的架子的所述开口区域的正下方移动；
第四步骤，该第四步骤在所述第三步骤之后，在该第四步骤中，通过使用所述升降部，使所述移动部在所述移动放置对象的架子的所述开口区域通过而上升，使所述移动部支承所述物品；以及
第五步骤，该第五步骤在所述第四步骤之后，在该第五步骤中，在使所述移动部上升后的状态下，使所述移动部沿所述一个方向朝向所述主体部移动。
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