CN103547518A - 拉出装置以及保存装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够提高作业性的拉出装置以及保存装置。拉出装置（1）具备：支承部（2a、2b），其在货架（134）收容有FOUP（120）的状态下被插入FOUP（120）的下方的间隙并固定于货架（134）；以及抬升部（4a、4b），以在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将FOUP（120）抬升的第二高度位置进行切换的方式设于支承部（2a、2b），且在第二高度位置能够将FOUP（120）朝货架（134）的前方滑动。

Description

拉出装置以及保存装置
技术领域
本发明涉及手动将保存于保存装置的货物拉出的拉出装置以及具备该拉出装置的保存装置。
背景技术
对收容了半导体晶圆的FOUP（Front-Opening Unified Pod）进行保存的保存装置利用移载装置进行FOUP在用于出入库的出入口与货架之间的移载。在具备该移载装置的保存装置中，在由于移载装置的运转发生故障等而无法进行的情况下，变为通过人手来进行FOUP的移载，但随着近年来半导体晶圆的大径化，FOUP也在变得大型化且重型化，因此通过人手来搬运FOUP变得困难。
于是，例如专利文献1所记载的保存装置除了移载装置还具备能够以手动来操作的手动输送装置。该手动输送装置具备能够抓持FOUP的凸缘的抓持部、与抓持部相连结的输送带、将输送带卷起的提升机部以及以能够滑动的方式设于保存装置内的顶棚的滑动部，在无法使用移载装置的情况下，手动进行对FOUP的输送。
专利文献1：日本特开2011-1149号公报
上述保存装置的手动输送装置虽然需要在FOUP的凸缘安装抓持部，但将抓持部插入到FOUP与货架间的狭窄的间隙中的作业并不容易进行。因此，对于通过手动输送FOUP而言，希望进一步改善其作业性。
发明内容
本发明是为了解决上述课题而做出的，其目的在于提供一种能够提高作业性的拉出装置以及保存装置。
本发明所涉及的拉出装置是在具备供货物经由朝前方开口的开口部被放入取出的多个货架的保存装置中，用于经由开口部将货物从货架朝前方拉出的拉出装置，其特征在于，具备：支承部，其在货架收容有货物的状态下被插入货物的下方的间隙并固定于货架；以及抬升部，其以能够在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于支承部，且在第二高度位置能够将货物朝货架的前方滑动。
该拉出装置具备插入在货物下方的间隙且固定于货架的支承部以及能够在第一高度位置与第二高度位置进行切换的抬升部。抬升部在第一高度位置能够与支承部一起插入狭窄的间隙，能够容易地将支承部固定于货架。并且，通过固定支承部并将抬升部切换到第二高度位置，从而能够将货物抬起并滑至货架的跟前再将货物拉出。于是，该拉出装置由于能够容易地设置在货架与货物之间的狭窄的间隙中，因此无需例如在狭窄的间隙中安装抓持部的作业，从而实现作业性的提高。
优选，货架设有定位销，该定位销在收容货物时插入设在货物底部的定位孔，第二高度位置是从定位孔中拔出定位销的位置。货物由设于货架的定位销定位，且其朝向前后左右方向的移动也被限制。为了将货物从这样的货架上抬起，通过将第二高度位置设为从定位孔中拔出定位销的位置，从而能够可靠地将货物从设有定位销的货架中拉出。
支承部以及抬升部为长条状的部件，支承部与抬升部以抬升部能够在第一高度位置与第二高度位置之间切换的方式由连杆机构连结。根据这样的构成，抬升部借助连杆机构以接近或远离支承部的方式移动，从而能够在第一高度位置与第二高度位置进行切换。因此，不仅易于进行操作且能够确保运转的可靠性。
支承部以及抬升部为长条状的部件，抬升部沿限制其在第一高度位置与第二高度位置之间的移动的引导部移动，在支承部以及抬升部中的至少一方设有将抬升部在第一高度位置和第二高度位置之间进行切换的凸轮部。根据这样的构成，由于抬升部沿引导部移动，因此能够正确地进行第一高度位置与第二高度位置的切换。并且，借助凸轮部，使得抬升部的高度位置的切换能够适宜进行。
支承部为长条状的部件，被设置为能够以轴为中心转动，抬升部的截面呈大致椭圆形状，与支承部一体地设置，第一高度位置是抬升部的截面的长轴与水平方向大致一致的状态，第二高度位置是抬升部的截面的长轴与铅直方向大致一致的状态。根据这样的构成，通过使支承部转动的操作，能够使抬升部容易地在第一高度位置以及第二高度位置之间进行切换。并且，由于支承部与抬升部形成为一体，从而能够形成为简单的构造并提高耐久性。
本发明所涉及的保存装置的特征在于，具备：框体；在框体中具备的多个货架，在所述货架上，货物经由朝前方开口的开口部被放入取出；进行货物出入库的出入口；在货架与出入口之间移载货物的移载装置以及用于经由开口部将货物从货架朝前方拉出的拉出装置，拉出装置具备：支承部，其在货架收容有货物的状态下被插入货物的下方的间隙并固定于货架；以及抬升部，其以能够在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于支承部，且在第二高度位置能够将货物朝货架的前方滑动。
该保存装置具备拉出装置。拉出装置具备插入在货物下方的间隙且固定于货架的支承部以及能够在第一高度位置与第二高度位置进行切换的抬升部。抬升部在第一高度位置也能够与支承部一起插入狭窄的间隙，能够容易地将支承部固定于货架。并且，通过固定支承部并将抬升部切换到第二高度位置，从而能够将货物抬起并滑至货架的跟前再将货物拉出。因此，即使在移载装置不动作的情况下，也能够从货架上容易地拉出货物。所以，在该拉出装置中，由于能够容易地设置在货架与货物之间的狭窄的间隙中，因此无需例如在狭窄的间隙中安装抓持部的作业，从而实现作业性的提高。
并且，由于拉出装置能够插入至货架的下方的狭窄的间隙，因此能够将货架间彼此的间隔设定为在货物被抬升时与上方的货架不抵接的程度。因此，与以往相比不需要确保用于插入抓持部的空间，从而能够提高保存装置中的货物的收纳效率。
更优选具备能够手动操作的输送装置，该输送装置具有能够抓持货物的抓持部、进行与抓持部连结的输送带的释放以及卷起的提升机部以及供提升机部配置且沿铺设在框体的上部的轨道移动的移动部。由此，由于具备能够手动操作的输送装置，因此能够容易地将通过拉出装置取出的货物输送至框体外部或出入口。因此，能够进一步提高作业性并实现输送时间的缩短。
根据本发明，提高了保存装置中货物取出的作业性。
附图说明
图1是示出具备一实施方式所涉及的保存装置的输送系统的外观的立体图。
图2是简要示出图1所示的保存装置的内部构造的剖面图。
图3是示出货架的放置部以及固定部的图。
图4是从下方观察第一实施方式所涉及的拉出装置的立体图。
图5是将支承部固定于固定部的状态局部放大表示的图。
图6是示出横向部件的构成的立体图。
图7是用于说明支承部的安装的图。
图8是从横向观察货架上安装有拉出装置的状态的图。
图9是从上方观察货架上安装有拉出装置的状态的图。
图10是用于说明拉出装置的动作的图。
图11是示出第二实施方式所涉及的拉出装置的图。
图12是从横向观察货架上安装有拉出装置的状态的图，
图13是用于说明拉出装置的动作的图。
图14是示出变形例所涉及的拉出装置的图。
图15是示出变形例所涉及的拉出装置的图。
具体实施方式
以下，参照附图对适宜的实施方式进行详细说明。另外，在附图的说明中对相同或相当的元件标记相同的附图标记，并省略重复的说明。
[输送系统]
图1是示出具备一实施方式所涉及的保存装置的输送系统的外观的立体图。图2是简要示出图1所示的保存装置的内部构造的剖面图。如图1以及图2所示，除了具备运载器102、储物箱104以及用于运载器运行的轨道R1，输送系统100还具备作为控制系的输送指示部106、运载器控制器108以及储物箱控制器110。输送系统100根据半导体元件制造中的输送时间表，相对于各种制造装置以及储物箱104等进行FOUP（Front-Opening Unified Pod）120的输送，并在储物箱104中进行FOUP120的收容或保存。
FOUP120是在储物箱104中被收容、保存的货物，是收容了多枚半导体晶圆的盒子。FOUP120利用运载器102沿轨道R1被输送，且在储物箱104内因出入库或保存位置的调整而被搬运。在FOUP120的上表面，设有被运载器102以及下述的手动输送装置138抓持（保持）的凸缘部122。FOUP120收容例如口径为300mm或450mm的半导体晶圆。
运载器102是以线性电动机作为动力源的OHT（Overhead HoistTransport：顶棚运行车），沿轨道R1移动。运载器102构成为在输送FOUP120的同时能够在轨道R1的规定的位置停止，在各种制造装置以及储物箱104等各自具备的出入口132、133之间移载FOUP120。运载器102具备提升机、输送带以及抓器，这些部分由运载器控制器108控制。
储物箱104是能够收容多个由运载器102输送来的FOUP的保存装置。储物箱104具备主体部（框体）130、多个（此处为两个）出入口132、133、多个货架134、自动输送装置（移载装置）136、手动输送装置（输送装置）138以及拉出装置1（参照图4）。
在主体部130设有多个（此处为三个）开口部K1、K2、K3。开口部K1、K2设于主体部130的一侧面，并配置有出入口132、133。开口部K3设于与主体部130的一侧面连续的其他的侧面。在开口部K3配置有后述的轨道R2。
出入口132、133经由开口部K1、K2设置在主体部130的内部以及外部。出入口132、133被构成为能够将FOUP120在运载器102与储物箱104之间移载，并具备能够移动FOUP120的滑动机构。
如图2所示，在主体部130的内部，在上下方向上设有多层（此处为8层）货架134。货架134对置配置，在对置的货架134之间形成空间S。图3是示出货架的放置部以及固定部的图。如图3所示，货架134由放置FOUP120用的放置部134a和支承固定放置部134a的固定部134b构成。
放置部134a为板状部件，俯视时大致呈U字形状。在放置部134a形成有朝前方开口的开口部135。即，放置部134a与FOUP120的两端部以及后端部抵接。并且，在放置部134a设有多个（此处为3个）定位销134c。定位销134c从放置部134a的上表面（放置面）突出，呈圆柱状。定位销134c是在FOUP120被放置于放置部134a时插入到在FOUP120的底部形成的定位孔124中的部分，其限制FOUP120的定位以及向前后左右方向的移动。
固定部134b俯视时大致呈U字形状，设于放置部134a的下部。固定部134b例如以螺栓固定于配置在主体部130内的框架（未图示）上。在固定部134b形成有多个（此处为两个）开口部H1、H2。开口部H1、H2为通孔，沿固定部134b的宽度方向并排设置。具体而言，开口部H1、H2相比大致U字状的放置部134a的开口部135位于更靠内侧的位置。开口部H1的宽度形成为比开口部H2的大。
另外，货架134的上下方向的间隔为在从FOUP的定位孔124中拔出定位销134c（FOUP120被抬升至超过定位销134c的上端面的上方）时与上方的货架134不发生干涉的程度即可。即，货架134的间隔为FOUP120的高度加上定位销134c的高度的程度的尺寸即可。利用这样的构成，能够提高储物箱104中FOUP120的收纳效率。
回到图1以及图2，自动输送装置136是通过储物箱控制器110的控制而能够在多个货架134之间、以及出入口132、133与货架134之间自动输送FOUP120的堆装起重机（stacker crane）。自动输送装置136被设置为在主体部130内的空间S能够移动自如。
手动输送装置138是能够通过由操作人员对链条滑车（未图示）的操作来输送（移动）FOUP120的装置。手动输送装置138具备：能够抓持FOUP120的凸缘122的抓器（抓持部）138a；被构成为能够沿铺设在主体部130的顶棚的轨道R2往复移动的滑动部（移动部）138b；以及设置在滑动部138b内的进行释放以及卷起与抓器138a连结的输送带138c的提升机部138d。
输送指示部106为MCS（Material Control System：物料控制系统）。输送指示部106被构成为，能够基于作为主控制器的制造指示部（未图示）的半导体元件制造时间表生成输送时间表，基于该输送时间表控制运载器控制器108以及储物箱控制器110。输送指示部106对运载器控制器108实施利用运载器102输送FOUP120的指示，且对储物箱控制器110实施在储物箱104的内部输送FOUP120的指示。
运载器控制器108被构成为，通过输送指示部106的指示控制运载器102，能够在执行沿轨道R1输送FOUP120的同时，执行在各种制造装置以及储物箱104等之间对FOUP120的移载。
储物箱控制器110被构成为，通过输送指示部106的指示控制出入口132、133以及自动输送装置136的各部，能够在执行与运载器102之间经由出入口132、133移载（入库或出库）FOUP120的同时，控制自动输送装置136在储物箱104的内部实行对FOUP120的输送（保存装置内的输送）。
[拉出装置：第一实施方式]
接下来，对在具有上述构成的储物箱104内部使用拉出装置的情况进行说明。图4是从下方观察第一实施方式所涉及的拉出装置的立体图。图4（a）示出了拉出装置的初期状态，图4（b）示出了拉出装置的动作状态。拉出装置1是用于在储物箱104内部通过手动将FOUP120从货架134拉出的装置。拉出装置1被构成为在例如自动输送装置136无法使用的情况下能够将FOUP120拉至货架134的跟前的空间S（参照图8）。
如图4所示，拉出装置1具有：支承部2a、2b、抬升部4a、4b、以及连结支承部2a、2b与抬升部4a、4b的各连结部6a、6b、6c、6d。支承部2a、2b被构成为能够安装于货架134的固定部134b，架设在对置的一对货架134的固定部134b上。支承部2a为长条状的方形部件，如图5所示，在支承部2a、2b的延伸方向的两端部设有卡止部3。
如图5所示，卡止部3例如以螺钉N固定于支承部2a的端部，在支承部2a、2b被插入到固定部134b的开口部H1、H2中时，钩挂住开口部H1、H2的周缘的部分。由此，防止支承部2a、2b已被安装于固定部134b时，支承部2a、2b从固定部134b的开口部H1、H2脱出。另外，支承部2a、2b的长度根据储物箱104进行适当地设定。支承部2a与支承部2b具有同样的构成。
支承部2a与支承部2b由横构件8连结。图6是示出横构件的构成的立体图。如图6所示，横构件8为截面是凹状是部件，架设于一对对置的支承部2a、2b。横构件8以能够装卸的方式设于支承部2a、2b，通过将多个（此处为两根）销P分别插入到支承部2a、2b的结合部5a、5b中而安装。在横构件8延伸方向的两端部分别设有突出部8a、8b。突出部8a、8b朝下方突出，以沿支承部2a、2b的侧面的方式沿横构件8的宽度方向形成。该横构件8与支承部2a、2b构成一体，限制支承部2a、2b相互移动。
回到图4，抬升部4a、4b是与FOUP120抵接将FOUP120抬起的部分。抬升部4a、4b是长度比支承部2a、2b短的条状的部件，如图8所示，相比支承部2a、2b缩短了货架134的进深程度以上的尺寸。
在支承部2a、2b的一侧面，靠支承部2a、2b的延伸方向的一端分别安装有抬升部4a、4b。抬升部4a、4b以借助连结部6a～6d在第一高度位置与第二高度位置之间进行切换的方式设于支承部2a、2b。具体而言，抬升部4a、4b被设置为能够在如图10（a）所示的与支承部2a、2b抵接（接近）的第一高度位置与如图10（b）所示的从支承部2a、2b离开的第二高度位置间移动。第一高度位置是抬升部4a、4b能够与支承部2a、2b一同插入到固定部134b与下方的FOUP120之间的间隙的高度。并且，第二高度位置是与FOUP120的底部抵接，将放置部134a的定位销134c从FOUP120的定位孔124中拔出的高度，即，将FOUP120抬起至比定位销134c的上端面靠上方的高度。
连结部6a～6d构成连杆机构。连结部6a～6d大致等间距地分别安装于支承部2a、2b以及抬升部4a、4b，并以能够各自摇动的方式安装于支承部2a、2b以及抬升部4a、4b。连结部6a～6d能够使支承部2a、2b与抬升部4a、4b相互接近以及分离。连结部6a一端轴支承于支承部2a、2b且另一端轴支承于抬升部4a、4b。如图10（b）所示，连结部6a与支承部2a、2b连结的位置和与抬升部4a、4b连结的位置在支承部2a、2b与抬升部4a、4b相隔最远的状态下（第二高度位置）处于同一直线上。即，如图10（a）所示，在支承部2a、2b与抬升部4a、4b抵接的状态下（第一高度位置），连结部6a的各自的连结位置在支承部2a、2b与抬升部4a、4b相对置的方向上不位于同一直线上，而是隔着规定的间隔错开。
即，在抬升部4a、4b位于第一高度位置的状态下，连结部6a处于相对于支承部2a、2b（抬升部4a、4b）倾斜的状态；而在抬升部4a、4b处于第二高度位置的状态下，连结部6a相对于支承部2a、2b（抬升部4a、4b）大致垂直地立起。对于连结部6b～6d也具有与连结部6a相同的构成。
连结部6c与控制杆L一体形成。即，控制杆L的一端部构成连结部6c。控制杆L具有操作人员抓持的抓持部LH，在支承部2a、2b与抬升部4a、4b抵接的初期状态，抓持部分LH与支承部2a、2b（抬升部4a、4b）大致平行。抬升部4a、4b与控制杆L的操作联动地进行升降。具体而言，如果下压控制杆L，与此相应地连结部6c立起，使得抬升部4a、4b离开支承部2a、2b而被抬起。另一方面，如果将把手推上去，则与此相应地连结部6c倾斜，抬升部4a、4b接近支承部2a、2b地被降下来。另外，在控制杆L设有未图示的锁定机构，该锁定机构能够维持抬升部4a、4b的第二高度位置。
接下来，对拉出装置1的安装方法进行说明。首先，以使抬升部4a位于作为拉出对象的FOUP120的下方的方式准备支承部2a。然后，将支承部2a的一端（卡止部3）插入一方的固定部134b的开口部H1，之后将支承部2a的另一端插入与固定部134b对置的另一方的固定部134b的开口部H2，将支承部2a架在与其对置的固定部134b上而实现固定。
此时，如图7所示，将支承部2a以横着放倒的状态（支承部2a与抬升部4a的对置方向同水平方向大致一致的状态）插入固定部134b的开口部H1、H2，在将支承部2a插入到开口部H1、H2中之后，将支承部2a大致旋转90°使其处于竖直的状态（支承部2a与抬升部4a的对置方向与铅直方向大致一致的状态）。同样地，将支承部2b架在与其对置的固定部134b上固定。然后，将横构件8架设在支承部2a与支承部2b上固定，如图8以及图9所示，安装拉出装置1。
接下来，对使用拉出装置1取出FOUP120的方法进行说明。图10是示出拉出装置的动作的图。如图10（a）所示，以使抬升部4a、4b位于作为拉出对象的FOUP120的下方的方式设置拉出装置1。此时，抬升部4a、4b位于第一高度位置。然后，如图10（b）所示，向下方下压控制杆L。
由此，抬升部4a、4b经由连结部6a～6d离开支承部2a、2b抬升至第二高度位置，抬升部4a、4b与FOUP120抵接并将FOUP120抬升。此时，抬升部4a、4b的上表面抬升至比设于放置部134a的定位销134c的上端面高的位置。然后，在FOUP120抬升后的状态，使FOUP120在抬升部4a、4b上滑动，将FOUP120拉至货架134的跟前。
在拉出FOUP120之后，准备手动输送装置138，利用抓器138a抓持FOUP120的凸缘122。然后，通过提升机部138d将FOUP120抬起并经由开口部K3取出FOUP120。如上，利用拉出装置1以及手动输送装置138将FOUP120取出。
如以上说明的那样，拉出装置1具备插入到FOUP120的下方的间隙且固定于货架134的支承部2a、2b以及能够在第一高度位置和第二高度位置上进行切换的抬升部4a、4b。抬升部4a、4b在第一高度位置也能够与支承部2a、2b一同插入到狭窄的间隙中，从而能够容易地将支承部2a、2b固定于货架。并且，通过固定支承部2a、2b并将抬升部4a、4b切换至第二高度位置，则能够抬升FOUP120，并使其滑动至货架134的跟前并拉出。于是，该拉出装置1由于能够容易地设置在货架134与FOUP120之间的狭窄的间隙中，因此不需要例如在狭窄的间隙中安装抓持部的作业，从而提高了作业性。
并且，如上所述，拉出装置1能够插入到货架134与FOUP120之间的狭窄的间隙中。因此，能够将货架134彼此的间隔设置为在FOUP120抬升时不与上方的货架134抵接的程度。因此，不需要像以往那样确保用于插入抓器的空间，从而能够提高储物箱104中的FOUP120的收纳效率。
并且，拉出装置1被设置为能够利用连结部6a～6d使支承部2a、2b与抬升部4a、4b相互及接近以及远离。因此，通过使抬升部4a、4b移动以接近或远离支承部2a、2b，能够将抬升部4a、4b变更到第一高度位置以及第二高度位置。因此，在能够容易地进行操作的同时能够确保动作的可靠性。
[拉出装置：第二实施方式]
接下来，对第二实施方式所涉及的拉出装置进行说明。图11是示出了第二实施方式所涉及的拉出装置的图。图11（a）是从上方观察拉出装置的图，图11（b）是（a）中b-b线的剖面图。图11所示的拉出装置20是在储物箱104内部通过手动将FOUP120从货架134拉出用的装置。
如图11所示，拉出装置20具有支承部21a、21b以及抬升部24a、24b。支承部21a、21b被构成为能够安装于货架134的固定部134b，从而架设于对置的货架134的固定部134b。支承部21a、21b为长条状的部件，能够以轴为中心转动。
在支承部21a、21b的延伸方向的两端部设有卡止部3（参照图5）和相比该卡止部3更靠近中央的卡止部25。在固定部134b安装有支承部21a、21b时，卡止部25位于相比开口部H1、H2靠跟前侧，与卡止部3一同防止支承部21a、21b的移动（错位）。另外，支承部21a、21b的截面既可以为圆形，也可以呈矩形并将其角部进行倒角而成的形状。从设置于固定部134b时的稳定性的观点出发，优选截面为矩形形状并对角部实施了倒角的形状。
抬升部24a、24b是与FOUP120抵接并抬升FOUP120的部分。抬升部24a、24b是尺寸比支承部21a、21b短的条状部件，具体而言，相比支承部21a、21b缩短了货架134的进深程度以上的尺寸。
抬升部24a、24b与支承部21a、21b一体形成。抬升部24a、24b，其截面呈大致椭圆形状，且靠近支承部21a、21b的延伸方向的一端侧设置。抬升部24a、24b通过改变其截面的长轴方向从而在第一高度位置和第二高度位置进行切换。具体而言，如图11（b）所示，抬升部24a、24b被设置为能够在长轴方向与水平方向大致一致的第一高度位置和长轴方向与铅直方向大致一致的第二高度位置之间进行切换。第一高度位置是抬升部24a、24b能够与支承部21a、21b一同插入到固定部134b与下方的FOUP120之间的间隙的高度。并且，第二高度位置是与FOUP120的底部抵接，将放置部134a的定位销134c从FOUP120的定位孔124中拔出的高度，即，将FOUP120抬起至比定位销134c（参照图13）的上端面靠上方的高度。
在设有抬升部24a、24b的支承部21a、21b的部分，分别安装有控制杆L1。控制杆L1以大致与抬升部24a、24b的长轴方向平行的方式安装。通过这样的构成，在控制杆L1与水平方向大致一致的状态下，抬升部24a、24b处于第一高度位置，在控制杆L1与铅直方向大致一致的状态下，抬升部24a、24b处于第二高度位置。控制杆L1被设置为能够装卸于支承部21a、21b。具体而言，例如在控制杆L1的前端形成螺纹牙，通过将控制杆L1拧入支承部21a、21b，从而将控制杆L1安装于支承部21a、21b。由此，能够实现未使用时的紧凑的收纳。
接下来，对拉出装置20的安装方法进行说明。首先，以使抬升部24a位于作为拉出对象的FOUP120的下方的方式准备支承部21a。然后，将支承部21a的一端插入一方的固定部134b的开口部H1，之后将支承部21a的另一端插入与固定部134b对置的另一方的固定部134b的开口部H2，将支承部21a架在固定部134b上固定。同样地，将支承部21b架在固定部134b上固定。然后，如图12所示，安装拉出装置20。
接下来，对使用拉出装置20取出FOUP120的方法进行说明。图13是示出拉出装置的动作的图。如图13所示，以使抬升部24a、24b位于作为拉出对象的FOUP120的下方的方式设置拉出装置20。在该状态下，抬升部24a、24b位于第一高度位置。然后，向下方下压控制杆L使得支承部21a、21b朝图13（a）所示的箭头方向转动。
由此，如图13（b）所示，抬升部24a、24b旋转以至长轴方向与铅直方向大致一致，抬升部24a、24b处于第二高度位置，抬升部24a、24b与FOUP120抵接并将FOUP120抬升。此时，FOUP120的底面抬升至比设于放置部134a的定位销134c的上端面高的位置。然后，以将FOUP120抬升的状态使FOUP120在抬升部24a、24b上滑动，从而将FOUP120拉至货架134的跟前。
在拉出FOUP120之后，准备手动输送装置138，利用抓器138a抓持FOUP120的凸缘122。然后，通过提升机部138d将FOUP120抬起并经由开口部K3取出FOUP120。如上，利用拉出装置20以及手动输送装置138将FOUP120取出。
如以上说明的那样，拉出装置20具备插入到FOUP120的下方的间隙且固定于货架134的支承部21a、21b以及能够在第一高度位置和第二高度位置上进行切换的抬升部24a、24b。抬升部24a、24b在第一高度位置也能够与支承部21a、21b一同插入到狭窄的间隙中，从而容易地将支承部21a、21b固定于货架。并且，通过固定支承部21a、21b并将抬升部24a、24b切换至第二高度位置，能够抬升FOUP120，使其滑动至货架134的跟前并取出。于是，该拉出装置20由于能够容易地设置在货架134与FOUP120之间的狭窄的间隙中，因此不需要例如在狭窄的间隙中安装抓持部的作业，从而能够提高作业性。
并且，对于拉出装置20而言，支承部21a、21b和抬升部24a、24b形成为一体。根据这样的构成，通过使支承部21a、21b转动的操作，能够容易地将抬升部24a、24b变更到第一高度位置以及第二高度位置。并且，通过将支承部21a、21b与抬升部24a、24b做成一体，能够形成简单的构成，同时能够提高耐久性。
本发明并不限定于上述实施方式。例如，拉出装置也可以形成为如下构成。图14是示出变形例所涉及的拉出装置的图。如图14所示，拉出装置40由支承部41、抬升部42以及连结支承部41与抬升部42的连结部43构成。支承部41以及抬升部42为长条状的部件。连结部43由第一部件43a与第二部件43b构成。
第一部件43a以及第二部件43b以相互交错的方式配置。第一部件43a的一端部（图示左侧）以能够摆动的方式轴支承于支承部2a、2b，第二部件43b的一端部以能够摆动的方式轴支承于抬升部42。第一部件43a的另一端部（例如，图示右侧）以能够滑动的方式设于抬升部42，第二部件43b的另一端部以能够滑动的方式设于支承部41。利用这样的构成，拉出装置40被构成为能够移动到支承部41与抬升部42抵接的第一高度位置和支承部41与抬升部42分离的第二高度位置。对于抬升部42的移动可以使用例如电动马达或气缸、电动缸等。
另外，如图15所示，拉出装置50由支承部51、抬升部52、凸轮部53以及引导部54构成。凸轮部53以能够转动的方式设于支承部51。对于凸轮部53的转动可以使用例如电动马达。
引导部54设于支承部51的两端侧。引导部54与支承部51大致垂直地立起设置，限制抬升部52的移动。抬升部52沿引导部54上下移动。利用这样的构成，拉出装置50被构成为通过凸轮部53的转动，能够移动到支承部51与抬升部53抵接的第一高度位置和支承部51与抬升部52相分离的第二高度位置。另外，凸轮部53也可以设于抬升部52。
并且，在上述实施方式中，对于支承部2a、2b的结合部5a、5b与横构件8的接合使用两根销，但销的根数也可以是一根。在该情况下，销的截面是多边形即可。并且，横构件8也可以设置多个。主要是只要能够限制支承部2a、2b相互的移动即可。
并且，在上述实施方式中，在拉出装置20中，支承部21a、21b与抬升部24a、24b一体成形，但抬升部24a、24b也可以以能够装卸的方式设于支承部21a、21b。
附图标记说明
1、20、40、50…拉出装置；2a、2b、21a、21b、41、51…支承部；4a、4b、24a、24b、42、52…抬升部；6a～6d…连结部（连杆机构）；53…凸轮部；54…引导部；104…储物箱（保存装置）；120…FOUP（货物）；130…主体部（框体）；132、133…出入口；134…货架；134a…放置部；134b…支承部；136…自动输送装置（移载装置）；138…手动输送装置（移送装置）；138a…抓器（抓持部）；138b…滑动部（移动部）；138c…输送带；138d…提升机部。

Claims (7)

1.一种拉出装置，其在具备供货物经由朝前方开口的开口部被放入取出的多个货架的保存装置中，用于经由所述开口部将所述货物从所述货架朝前方拉出，该拉出装置的特征在于，具备：
支承部，其在所述货架收容有所述货物的状态下被插入所述货物的下方的间隙并固定于所述货架；以及
抬升部，其以能够在能够插入所述间隙的第一高度位置与比所述第一高度位置高且能够将所述货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于所述支承部，且在所述第二高度位置能够将所述货物朝所述货架的前方滑动。
2.根据权利要求1所述的拉出装置，其特征在于，
所述货架设有定位销，该定位销在收容所述货物时插入设在所述货物的底部的定位孔，
所述第二高度位置是从所述定位孔中拔出所述定位销的位置。
3.根据权利要求1或2所述的拉出装置，其特征在于，
所述支承部以及所述抬升部为长条状的部件，
所述支承部与所述抬升部，以所述抬升部能够在所述第一高度位置与所述第二高度位置进行切换的方式，通过连杆机构连结。
4.根据权利要求1或2所述的拉出装置，其特征在于，
所述支承部以及所述抬升部为长条状的部件，
所述抬升部沿引导部移动，所述引导部限制所述抬升部在所述第一高度位置与所述第二高度位置之间的移动，
在所述支承部以及所述抬升部中的至少一方设有将所述抬升部在所述第一高度位置和所述第二高度位置进行切换的凸轮部。
5.根据权利要求1或2所述的拉出装置，其特征在于，
所述支承部为长条状的部件，被设置为能够以轴为中心转动，
所述抬升部的截面呈大致椭圆形状，与所述支承部一体地设置，
所述第一高度位置是所述抬升部的截面的长轴与水平方向大致一致的状态，
所述第二高度位置是所述抬升部的截面的长轴与铅直方向大致一致的状态。
6.一种保存装置，其特征在于，具备：
框体；
在所述框体中具备的多个货架，在所述货架上，货物经由朝前方开口的开口部被放入取出；
进行所述货物出入库的出入口；
在所述货架与所述出入口之间移载所述货物的移载装置；以及
用于经由所述开口部将所述货物从所述货架朝前方拉出的拉出装置，
所述拉出装置具备：
支承部，其在所述货架收容有所述货物的状态下被插入所述货物的下方的间隙并固定于所述货架；以及
抬升部，其以能够在能够插入所述间隙的第一高度位置与比所述第一高度位置高且能够将所述货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于所述支承部，且在所述第二高度位置能够将所述货物朝所述货架的前方滑动。
7.根据权利要求6所述的保存装置，其特征在于，
还具备能够手动操作的输送装置，该输送装置具有：
能够抓持所述货物的抓持部；
进行与所述抓持部连结的输送带的释放以及卷起的提升机部；以及
供所述提升机部配置且沿铺设在所述框体的上部的轨道移动的移动部。
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