KR100950335B1 - 테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트 - Google Patents
테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트 Download PDFInfo
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
Abstract
Description
Claims (12)
- 적재되는 반도체소자가 통과될 수 있는 통과구멍이 형성되어 있는 인서트바디; 및상기 인서트바디에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 통과구멍을 통과한 반도체소자가 적재되는 적재부를 가지는 인서트포켓; 을 포함하고,상기 인서트포켓은 상기 적재부의 측면으로 상기 인서트바디에 탈착 가능하게 결합되기 위한 적어도 하나 이상의 후크(Hook); 를 가지며,상기 인서트바디에는 상기 통과구멍의 측면으로 상기 적어도 하나 이상의 후크가 각각 수납될 수 있는 적어도 하나 이상의 후크수납홈; 및 상기 적어도 하나 이상의 후크가 각각 걸릴 수 있는 적어도 하나 이상의 후크걸림턱; 이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제1항에 있어서,상기 적재부의 바닥면에는 적재된 반도체소자의 위치를 잡아주기 위한 위치홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제1항에 있어서,상기 인서트바디는, 상기 적재부에 적재된 반도체소자를 홀딩시키거나 홀딩해제시키기 위해 상기 통과구멍의 측면에 설치되는 적어도 하나 이상의 래치장치; 를 포함하고,상기 적어도 하나 이상의 래치장치는 상기 인서트포켓의 승강에 따라 반도체소자를 홀딩하거나 홀딩해제시키는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제1항에 있어서,상기 인서트바디는, 상기 적재부에 적재된 반도체소자를 홀딩시키거나 홀딩해제시키기 위해 상기 통과구멍의 측면에 설치되는 적어도 하나 이상의 래치장치; 를 포함하고,상기 적어도 하나 이상의 래치장치는 하방의 압력에 의해 반도체소자를 홀딩하거나 홀딩해제시키고,반도체소자는 상방에서 상기 적재부로 적재되는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
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- 적재되는 반도체소자가 통과될 수 있는 통과구멍이 형성되어 있는 인서트바디; 및상기 인서트바디에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 통과구멍을 통과한 반도체소자가 적재되는 적재부를 가지는 인서트포켓; 을 포함하고,상기 인서트포켓은,상기 적재부를 가지는 적재프레임; 및상기 적재부에 적재된 반도체소자를 홀딩시키거나 홀딩해제시키기 위해 상기 적재프레임의 측면에 설치되는 적어도 하나 이상의 래치장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제6항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 래치장치는,상기 적재프레임의 측면에 힌지결합되어서 일단이 힌지결합점을 회전점으로 하여 회전하면서 상기 적재부에 적재된 반도체소자를 홀딩시키거나 홀딩해제시키는 래치바; 및상기 래치바가 홀딩상태를 유지하도록 상기 래치바에 탄성력을 가하는 홀딩스프링; 을 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제7항에 있어서,상기 인서트포켓은 상기 적재부에 수직한 방향으로 일정 간격만큼 유동(遊動)될 수 있도록 상기 인서트바디에 결합되고,상기 래치바의 타단은 상기 회전점보다 상기 래치바의 길이 방향으로 더 돌출되며,상기 인서트바디에는 상기 인서트포켓이 상방으로 이동될 때 상기 래치바의 돌출된 타단이 걸려서 상기 래치바가 회전될 수 있도록 하는 래치걸림턱; 이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제6항에 있어서,상기 인서트바디와 상기 인서트포켓 간에 반발력이 작용하도록 마련되는 반발스프링; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제6항에 있어서,상기 적재부의 바닥면에는 적재된 반도체소자의 위치를 잡아주기 위한 위치홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제1항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 바닥면에는 반도체소자에 형성된 리드를 하방으로 개방시키기 위한 다수의 개방홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트.
- 제11항에 있어서,상기 다수의 개방홀은 일정 간격으로 형성되어 있어서 크기는 다르되 리드간의 간격이 상기 다수의 개방홀들 간의 간격과 동일한 여러 종류의 반도체소자가 적재될 수 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 캐리어보드용 인서트
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