KR100983395B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 포켓 탈/착식 캐리어 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자를 테스트하기 위한 핸들러 장치의 테스트 트레이에 설치되어 소자를 이송시킬 수 있도록 한 캐리어 모듈에 관한 것으로, 소자가 수용되어지는 포켓의 탈/착이 이루어지는 구조로 형성시킴에 있어서 보다 단순한 구조를 갖도록 하여 제작의 용이성을 갖도록 한 것이고, 또한 포켓에 소자가 보다 안정적으로 안착된 상태에서 테스트가 이루어질 수 있도록 한 것이다.
현재 다양한 규격의 반도체 소자를 포켓만의 교체를 통하여 테스트할 수 있도록 한 것이 제공되고는 있으나, 포켓의 탈/착 기능을 위하여 형성되어진 구성체의 경우 가동부재가 탄성체에 의하여 좌우로 이동되어지는 복잡한 구조로 이루어져 있을 뿐 아니라, 이러한 구성체의 경우 포켓은 물론 몸체와도 별도로 제작되어져 몸체 내부에 조립되도록 하는 것이기 때문에 이로 인한 제작의 어려움으로 제작 단가의 상승 원인이 되는 문제점이 있는 것이다.
따라서 본 발명에서는 포켓의 탈/착을 위한 구성체를 별도로 형성시키지 않고 포켓과 몸체에 일체로 형성시켜 포켓과 몸체와의 단순 결합 및 해체를 통하여 포켓의 탈/착이 이루어지는 구조로 형성시켜 제작의 용이화를 통하여 상기한 종래의 문제점을 해결할 수 있는 포켓 탈/착용 캐리어 모듈을 제공하고자 함이다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 포켓 탈/착식 캐리어 모듈 { a carrier module of a handler equipment to test a semiconductor element}

본 발명은 테스트 핸들러 장비를 사용하여 반도체 소자의 특성을 검사할 경우, 검사 공정 간에의 이송을 위한 테스트 트레이에 구비되어져 검사 대상이 되는 반도체 소자를 이송할 수 있도록 한 캐리어 모듈에 관한 것으로, 특히 캐리어 모듈 전체를 교체하지 않고 반도체 소자가 수용되어지는 포켓만을 교체하여 사용할 수 있도록 함에 있어서, 몸체와 포켓의 탈/착을 위한 구조를 보다 단순화시켜 제작의 용이성을 갖도록 한 것이고, 또한 포켓에 소자가 보다 안정적으로 안착된 상태에서 테스트가 이루어질 수 있도록 한 것이다.

현재 생산되고 있는 대부분의 반도체 소자는 제품으로 출하시키기 전에, 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 전기적으로 접속시켜 여러가지의 테스트를 수행하고 있는 것으로, 이때 테스트될 반도체 소자는 핸들러에서 테스트 트레이에 일정 간격을 두고 복수 개 배열되어진 캐리어 모듈에 수납된 상태로 이동되면서 테스트 공정 단계를 단계별로 거치게 되는 것이다.

그러나 종래의 캐리어 모듈은 반도체 소자를 수용하기 위한 주요 구성요소들이 하나의 몸체 내에 일체로 형성되어 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류에 따라 규격이 다를 경우 사용치 못하게 됨으로써 해당 반도체 소자의 규격에 따른 캐리어 모듈을 각각 구비하여야 함은 물론, 테스트하고자 하는 반도체 소자의 규격에 따라 일일이 교체시켜야 하기 때문에 이에 따른 테스트 비용과 시간이 증가되게 되는 문제점이 있었던 것이다.

따라서 최근에는 상기한 문제점의 해결을 위하여, 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류가 달라질 경우 캐리어 모듈 전체를 교체하지 않고 반도체 소자가 안착되어지는 부분만을 교체하여 사용토록 함으로써 테스트에 소요되는 비용과 시간을 절감토록 한 것이 특허공개 2005-9066호(2005.1.24 공개)와 특허등록 제835246호로 제안되어 있다.

그러나 특허공개 2005-9066호(2005.1.24 공개)에서는, 캐리어 모듈 몸체에 소자 안착용 포켓(셔틀에 해당)의 부착 및 분리를 위하여 형성되어지는 착탈유닛의 경우 몸체에 포켓을 부착시킬 때 포켓이 누름부재에 의하여 선회 작동되어지는 레치에 의하여 받쳐지도록 되어 있는 복잡한 구조로 이루어져 있고, 또한 이 경우 착탈유닛이 포켓의 하단부만 고정토록 되어 있고 포켓 상단부와 소자 상단부의 고정 여부는 기재되어 있지 않아 소자의 다음 테이스 공정을 위한 이동 과정에서 포켓과 소자가 몸체 상측으로 이탈될 수 있기 때문에 이러한 캐리어 모듈의 경우 사용 시 많은 문제가 야기될 수 있다는 것이다.

따라서 특허등록 제835246호에서는, 포켓의 상,하측으로 고정시킬 수 있도록 하여 상기한 종래의 문제점이 해결토록 하는 한편, 몸체와 포켓(크기 변경 블록에 해당)의 정확한 안착이 이루어질 수 있도록 하여 소자의 안정적인 테스트가 이루어질 수 있도록 하였으나, 이를 위하여는 보다 정밀한 구조를 요하기 때문에 더욱 복잡한 구조를 갖게 되었던 것이다.

즉, 몸체 안착부에의 포켓 삽/탈을 위한 주 구성요소로서 안착부의 하측에 스프링에 의하여 탄지되져 안착부로 전후진되는 포켓에 의하여 외측으로 밀려나가도록 가동되어지는 가동부재에 의하여 포켓을 지지하거나 지지 해제토록 하는 고정부가 형성되어 있는 것으로, 이때 가동부재는 좌우 방향으로 가동되어지도록 되어 있는 반면 포켓의 전후진은 상하 방향으로 이루어져 포켓의 전후진에 의한 가동부재의 원활한 좌우 가동을 기대할 수 없기 때문에 포켓의 교체 작업에도 불편함이 있고, 또한 이러한 가동 방식의 가동부재의 형성을 위한 구조에도 복잡함이 있다는 것이다.

또한 몸체 안착부에 포켓을 정확한 위치에 안착시키기 위하여는, 안착부와 포켓 각각에 포켓의 상부 고정을 위한 구성요소를 서로 대응되게 형성시켜야 하고, 또한 포켓의 정확한 삽입을 위한 가이드수단을 각각 형성시켜야 하기 때문에 이로 인하여 구조가 더욱 복잡해진다는 것이다.

따라서 이로 인한 제작의 어려움으로 제작 단가가 크게 상승되게 되는 또 다른 문제점이 있게 되는 것이다.

따라서 본 발명에서는 포켓 탈/착식 캐리어 모듈을 제공함에 있어서, 포켓의 탈/착을 위한 구성체를 별도로 형성시키지 않고 포켓과 몸체에 일체로 형성시켜 포켓과 몸체와의 단순 결합 및 해체를 통하여 포켓의 탈/착이 이루어지도록 구조를 단순화시켜 제작의 용이화를 통하여 상기한 종래의 문제점을 해결할 수 있는 포켓 탈/착용 캐리어 모둘을 제공하고자 함이다.

이를 위하여 본 발명의 캐리어 모듈은, 포켓의 외측면에는 고정탄성편을 일체로 형성하고, 몸체의 포켓안착부 내측면에는 포켓의 고정탄성편이 삽입되어 탄력지지되어지는 고정홈을 형성시켜 포켓의 고정탄성편에 의한 몸체의 탈/착이 이루어질 수 있는 구조로 포켓의 탈/착이 이루어지도록 한 것이다.

본 발명의 캐리어 모듈은, 포켓의 탈/부착으로 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류가 다를 경우 캐리어 모듈 전체를 교체하지 않고 테스트하고자 하는 반도체 소자의 종류에 따른 포켓만을 간단히 교체하여 사용토록 함으로써 테스트에 소요되는 비용과 시간을 절감토록 함에 있어서, 구조의 단순화로 제작의 용이성은 물론 사용의 편리함까지 향상시킬 수 있는 것이다.

또한 포켓과 소자의 안정적인 안착으로 소자 테스트를 보다 안정적으로 받을 수 있는 것이다.

도 1은 본 발명 캐리어 모듈의 구성을 나타낸 분해 사시도.
도 2는 본 발명 캐리어 모듈의 몸체와 포켓이 결합된 사시도.
도 3은 본 발명 캐리어 모듈의 포켓탈착수단의 작동 상태도.
도 4는 본 발명 캐리어 모듈의 소자탈착수단의 작동 상태도.

이하에서는 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 하겠다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명은, 핸들러 장비의 테스트 트레이에 설치되어지면서 상하로 관통된 포켓안착부(31)가 구비된 몸체(30)에 테스트 대상인 소자(50)가 수용되도록 상하로 관통된 소자안착부(11)가 구비된 포켓(10)이 탈/착되어지도록 구성된 공지의 포켓 탈/착식 캐리어 모듈에 있어서, 상기 포켓(10)의 외측면에는 고정탄성편(12)이 일체로 형성되고, 상기 몸체(30)의 포켓안착부(31) 내측면에는 상기 포켓(10)의 고정탄성편(12)이 삽입되어 안착된 상태로 탄력지지되어지도록 하기 위한 고정홈(32)이 형성되어 포켓(10)과 몸체(30)의 단순 결합 및 해체를 통한 탈/착이 이루어질 수 있도록 된 것이 특징이다.

이때 상기 몸체(30)의 포켓안착부(31)와 포켓(10)은 직사각형 형태로 이루어져 몸체(30)의 포켓안착부(31) 네 측면 상부와 포켓(10)의 외측면 네 측면의 상부의 대응부에 상기 고정탄성편(12)과 고정홈(32)이 각각 형성되도록 하는 것이다.

또한 상기 포켓(10)의 고정탄성편(12)은 포켓(10)의 상측면 연장선상의 하측으로 절곡되어지는 형태로 이루어지도록 하고, 상기 포켓(10)의 고정탄성편(12) 하단과 몸체(30)의 고정홈(32) 하단에는 맞물림 결합을 통하여 포켓(10)의 상부 이탈을 방지하기 위한 걸림턱(12a)(32a)이 각각 형성되어지도록 하는 것이다.

따라서 도 2에 도시된 바와 같이 상기 몸체(30)의 포켓안착부(31)의 상측에서 하측으로 포켓(10)을 삽입시키면 포켓(10)의 고정탄성편(12)이 몸체(30)의 포켓안착부(31)에 형성된 고정홈(32)을 따라 안내되어지면서 고정홈(32)의 걸림턱(32a)에 고정탄성편(12)의 걸림턱(12a)이 맞물려져 결합되어지기 때문에 포켓(10)의 정확한 안착이 한번에 이루어질 수 있게 되는 것이다.

또한, 포켓(10)의 교환을 위하여 몸체(30)로부터의 분리 시에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 몸체(30)의 포켓안착부(31) 하측에서 도구(70)를 삽입하여 포켓(10)의 고정탄성편(12)을 내측으로 밀어 고정탄성편(12)의 걸림턱(12a)이 몸체(30)의 고정홈(32) 걸림턱(32a)으로부터 빠지도록 한 상태에서 포켓(10)을 몸체(30)의 포켓안착부(31) 상측으로 밀면 포켓(10)이 몸체(30)와 분리되어지게 되는 것이다.

한편, 상기 포켓(10)의 소자안착부(11) 하측단 테두리부에는 소자(50)의 하측면 테두리가 받쳐지도록 하기 위한 받침턱(13)이 형성되도록 하되, 가능한 소자안착부(11)의 하측단 모서리부에만 형성되도록 하여 소자(50)의 테두리부분까지 볼(51)이 형성될 경우에도 볼(51)이 형성된 위치의 외측으로만 소자를 받쳐줄 수 있도록 함으로써 보다 다양하게 볼이 형성된 소자의 사용이 가능하도록 되어 있고, 상기 포켓(10)의 소자안착부(11)에 안착되어진 소자(50)는 상기 몸체(30)의 포켓수납부(33) 전,후면 장착되어 소자안착부(11)의 전,후면에 각각 형성된 개구홈(14)을 통하여 선회 작동되어 개폐되어지는 소자고정수단(40)에 의하여 소자(50)의 상측면 양측단이 지지되어지도록 됨으로써 소자(50)의 이송 과정에서 소자안착부(11)의 개구된 상부를 통한 이탈 방지는 물론 소자의 보다 안정적인 안착으로 정확한 테스트가 이루어질 수 있도록 되어 있다.

이때 상기 소자고정수단(40)은 몸체(30)의 포켓수납부(33) 전,후면으로 상측에서부터 개구되어지는 소자고정수단장착부(33c)를 형성시켜 장착되도록 되어 있는 것으로, 이때 소자고정수단장착부(33c)의 상측으로는, 소자고정수단장착부(33c)에 형성된 스프링안착홈(33b)에 장착된 코일스프링(43)의 상측으로 버튼(42)이 탄력지지되어지고, 상기 버튼(42)에 형성된 결합홀(42a)과 소자고정수단장착부(33c)에 형성된 결합홀(33a)에는 고정힌지축(45)과 이동힌지축(44)이 레치(41)의 고정홀(41a)과 이동홀(41b)에 각각 축 결합되어 버튼(42)의 작동에 의한 레치(41)의 선회 가동이 가능하도록 되어 있다.

이때 상기 레치(41)는 항상 닫혀진 상태가 되어 있어 버튼(42)의 누름 작동에 의하여 열려지게 되는 것이다.

따라서 이러한 소자고정수단(40)은 본 발명 케리어 모듈에 소자를 안착시킬 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 소자고정수단(40)의 버튼(42)이 가압되면 레치(41)가 외측으로 회전되어 개구된 상태가 되기 때문에 소자(50)가 포켓(10)의 소자안착부(11) 내부로 삽입되면서 안착되어지게 되는 것이고, 소자(50)의 안착 후 버튼(42)의 가압이 중지되어지면 버튼(42)이 코일스프링(43)에 의하여 원위치로 복귀되면서 레치(41)가 원위치로 회전되어 닫혀지게 됨으로써 소자(50)의 상측면을 받쳐주어 소자(50)를 고정시킬 수 있게 됨으로써 보다 안정적인 소자의 안착이 이루어질 수 있게 되는 것이다.

따라서 이 상태에서 소자(50)의 테스트를 위한 다음 공정으로의 이동 시에도 소자(50)가 본 발명 케리어 모듈로부터 이탈되지 않게 되는 것이다.

또한 상기 몸체(30)의 하측부 양측으로는 포켓(10) 내부에 안착되어진 소자(50)의 하측부 양측을 충분하게 받쳐주어 소자를 안착시키는 과정에서 소자의 기울어짐에 의하여 소자가 포켓(10)의 받침턱(13)을 벗어나 포켓(10)을 이탈하게 됨으로써 포켓(10) 하측으로의 소자(50) 추락을 방지할 수 있도록 하기 위한 소자추락방지수단(20)이 장착되어지는 것으로, 이때 상기 소자추락방지수단(20)은, 몸체(30) 양측에 형성된 결합홀(34)에 축 결합되어 있는 힌지축(22)에 소자서포트(21)가 토션스프링(23)에 탄지된 상태로 결합되어 상기 몸체(30)의 포켓안착부(31)에 장착되어 있는 코일스프링(60)에 의하여 탄지되어 있는 포켓(10)의 작동에 의하여 회전되어 포켓(10) 하측의 개폐가 이루어지도록 되어 있는 것이다.

이때 상기 소자서포트(21)의 경우에는 포켓(10)이 항상 닫혀진 상태가 되도록 되어 있고 포켓(10)의 누름 작동에 의해서만 포켓(10)이 개구되도록 되어 있는 것이다.
또한 이때 소자서포트(21)는 볼이 소자의 테두리부분까지 형성된 소자의 경우 소자의 테두리부분에 형성되어진 볼까지 받쳐줄 수 있을 정도가 되어야 하는 것이다.

따라서 본 발명의 캐리어 모듈에 소자(50)가 안착된 상태에서 안착된 소자(50)의 테스트를 위한 테스트 소켓과의 접촉을 위하여 상단 플레이트(미도됨)가 가압을 진행토록 하면 도 5에 도시된 바와 같이 포켓(10)이 눌려지면서 소자안착부(11)의 하측단을 받쳐주고 있던 소자추락방지수단(20)의 소자서포트(21)가 눌려져 회전하면서 소자(50) 하단부가 완전히 개방되도록 열려지게 됨으로써 볼이 소자의 테두리부분까지 형성된 경우에도 소자(50)에 형성되어진 볼(51)이 모두 외부로 노출되어져 테스트 소켓(80)과의 접촉이 가능하게 되는 것이다.

10; 포켓 11: 소자안착부
12: 고정탄성편 12a: 걸림턱
13: 받침턱 14: 개구홈
20: 소자추락방지수단 21: 소자서포트
22: 서포트힌지축 23: 토션스프링
30: 몸체 31: 포켓안착부
32: 고정홈 32a: 걸림턱
33: 포켓수납부 40: 소자고정수단
41: 레치 42: 버튼
43: 코일스프링 44: 이동힌지축
45: 고정힌지축 50: 소자

Claims (4)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 상하로 관통된 몸체(30)의 포켓안착부(31) 내측면에는 걸림턱(32a)이 구비된 고정홈(32)이 형성되고, 상,하로 관통된 소자안착부(11)가 구비된 포켓(10)의 외측면에는 상기 고정홈(32)의 걸림턱(32a)에 맞물림 결합되는 걸림턱(12a)이 구비된 고정탄성편(12)이 절곡된 형태로 형성되어 포켓(10)이 몸체(30)로부터의 탈/착이 이루어지고, 상기 포켓(10)의 소자안착부(11) 하측부에는 소자(50)의 테두리가 받쳐져 안착되도록 하기 위한 받침턱(13)이 형성되고, 상기 몸체(30)의 포켓수납부(33) 전,후면으로는 버튼(42)의 가압 작동에 의하여 소자안착부(11)의 전,후면에 형성된 개구홈(14)을 통하여 선회 작동되어지는 레치(41)에 의하여 개폐되어지는 소자고정수단(40)이 형성되고, 상기 몸체(30)의 하측부 양측으로는 포켓(10)의 가압 작동에 의하여 선회 작동되어지는 소자서포트(21)에 의하여 소자의 이중 받침을 통한 소자 추락 방지 및 포켓의 개구를 통한 소자의 테스트가 이루어질 수 있는 기능을 갖는 소자추락방지수단(20)이 장착된 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 포켓 탈/착식 캐리어 모듈.

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