DE102004057776B4 - Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente - Google Patents

Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente Download PDF

Info

Publication number
DE102004057776B4
DE102004057776B4 DE102004057776A DE102004057776A DE102004057776B4 DE 102004057776 B4 DE102004057776 B4 DE 102004057776B4 DE 102004057776 A DE102004057776 A DE 102004057776A DE 102004057776 A DE102004057776 A DE 102004057776A DE 102004057776 B4 DE102004057776 B4 DE 102004057776B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
centering frame
base plate
component holder
centering
position correction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE102004057776A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102004057776A1 (de
Inventor
Günther 83059 Jeserer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Multitest Elektronische Systeme GmbH
Original Assignee
Multitest Elektronische Systeme GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Multitest Elektronische Systeme GmbH filed Critical Multitest Elektronische Systeme GmbH
Priority to DE102004057776A priority Critical patent/DE102004057776B4/de
Publication of DE102004057776A1 publication Critical patent/DE102004057776A1/de
Priority to US11/288,078 priority patent/US7841071B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102004057776B4 publication Critical patent/DE102004057776B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53174Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53191Means to apply vacuum directly to position or hold work part

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position von elektronischen Bauelementen (6) bezüglich eines mit einer Testeinrichtung zusammenwirkenden Kontaktsockels (4), an den die zu testenden elektronischen Bauelemente (6) mittels eines Bauelementhalters (10) einer Handhabungsvorrichtung herangeführt werden, mit – einem im Bereich vor dem Kontaktsockel (4) angeordneten Zentrierrahmen (22) zum Zentrieren des elektronischen Bauelements (6), der in einer Ebene verschiebbar und drehbar angeordnet ist, – einer Lageerfassungseinrichtung (30) zur Erfassung der Ist-Position des im Bauelementhalter (10) gehaltenen elektronischen Bauelements (6), – einer Recheneinrichtung (31) zum Berechnen von Lage korrekturwerten aus der Differenz zwischen der Ist-Position und einer Soll-Position des elektronischen Bauelements (6), – einer Antriebseinrichtung (27) zum Verschieben und Drehen des Zentrierrahmens (22) in Abhängigkeit der von der Recheneinrichtung (31) berechneten Lagekorrekturwerte, dadurch gekennzeichnet, dass der Zentrierrahmen (22) lageveränderlich an einer den Kontaktsockel (4) tragenden Basisplatte (3) befestigt ist und auf zumindest zwei Seiten eine Einführöffnung (23) begrenzt, in...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs.
  • Elektronische Bauelemente wie ICs werden üblicherweise, bevor sie auf Leiterplatten montiert oder in Geräte eingebaut werden, auf ihre elektrischen Eigenschaften getestet. Hierbei werden die elektronischen Bauelemente zunächst von einer automatisch arbeitenden Handhabungsvorrichtung (”Handler”) aus beispielsweise aus Aluminiumplatten bestehenden Bauelementträgern entnommen und einer Testvorrichtung zugeführt. Im Schnittstellenbereich zwischen Handhabungsvorrichtung einerseits und Testvorrichtung andererseits befindet sich bekannterweise eine Kontakteinheit, die eine feststehende Basisplatte sowie einen auf der Basisplatte befestigten Kontaktsockel aufweist. Der Kontaktsockel trägt eine Vielzahl von Kontakten, die auf die Anschlusskontakte des zu testenden Bauelements abgestimmt und mit der Testvorrichtung elektrisch verbindbar sind.
  • Wenn die Bauelemente mittels des Bauelementhalters der Handhabungsvorrichtung an den Testsockel herangeführt werden, ist es von großer Bedeutung, dass die Anschlusskontakte des zu testenden Bauelements genau zentriert auf die zugeordneten Kontakte des Kontaktsockels aufgesetzt werden. Da die Anschlusskontakte der Bauelemente aufgrund des Zwangs zur Miniaturisierung sehr klein ausgeführt sind und eng beieinander liegen, kommt es hierbei auf höchste Präzision an. Dies bereitet in der Praxis Schwierigkeiten, da die Bauelemente naturgemäß Maßtoleranzen hinsichtlich ihrer Außenkonturen aufweisen und die Lage der Bauelemente innerhalb des Bauelementhalters nicht immer die gleiche ist.
  • Aus der US 5,150,041 A ist eine Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position einer Leiterplatte bekannt, um die Leiterplatte relativ zu einem Kontaktsockel zu zentrieren. Die Zentrierung erfolgt mittels eines Zentrierrahmens, der in einer x-y-Ebene verschiebbar ist und eine zusätzliche Rotationsplatte aufweist, um die Leiterplatte zusätzlich in dieser Ebene drehen zu können. Der gesamte Zentrierrahmen kann dort zusammen mit der Leiterplatte mittels einer spindelartigen Vorrichtung abgesenkt werden, so dass Kontaktstifte des Kontaktiersockels von unten her durch eine mittige Öffnung im Zentrierrahmen durchtreten und mit der Leiterplatte in Kontakt gelangen können. Die Verschiebung bzw. Drehung des Zentrierrahmens erfolgt mittels Schrittmotoren, die seitlichen neben dem Zentrierrahmen angeordnet sind. Zum Testen von elektronischen Bauelementen wie ICs, bei denen es auf hohe Geschwindigkeiten und Durchsätze ankommt, ist diese bekannten Vorrichtung jedoch nicht geeignet.
  • Weiterhin ist aus der US 5,177,864 A ein Montagetisch zur Montage von elektronischen Bauelementen auf einer Leiterplatte entnehmbar, die in x- und y-Richtung verfahrbar ist und ein Tischelement zum Festlegen der Leiterplatte aufweist, das um eine senkrechte Achse gedreht werden kann. Ein mit einer Testeinrichtung zusammenwirkender Kontaktsockel, an den Bauelemente zu Testzwecken herangeführt und dabei relativ zum Kontaktsockel zentriert werden, ist dieser Druckschrift nicht entnehmbar.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lagekorrektureinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, welche auf einfache und sehr genaue Weise die richtige Positionierung des Bauelements relativ zum Kontaktsockel sicherstellt.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
  • Bei der erfindungsgemäßen Lagekorrektureinrichtung ist der Zentrierrahmen lageveränderlich an einer den Kontaktsockel tragenden Basisplatte befestigt. Weiterhin begrenzt der Zentrierrahmen auf zumindest zwei Seiten eine Einführöffnung, in die der Bauelementhalter einführbar ist, um das Bauelement durch die Einführöffnung hindurch dem Kontaktsockel zuzuführen. Die Antriebseinrichtung weist am Zentrierrahmen befestigte Betätigungsorgane in Form von drei Stangen auf, die jeweils von einer in einem Abstand zum Zentrierrahmen angeordneten Motoreinheit in Längsrichtung verschiebbar und an drei beabstandeten Stellen mit dem Zentrierrahmen verbunden sind, so dass der Zentrierrahmen durch Längsverschieben der Stangen in einer Ebene verschiebbar und drehbar ist.
  • Mit Hilfe der erfindungsgemäße Lagekorrektureinrichtung ist es möglich, das zu testende Bauelement unmittelbar vor seinem Kontakt mit dem Kontaktsockel exakt in die richtige Position zu bringen, so dass die Anschlusskontakte des Bauelements genau auf den Kontakten des Kontaktsockels zu liegen kommen.
  • Zweckmäßigerweise besteht die Lageerfassungseinrichtung zur Erfassung der Ist-Position des Bauelements aus einem optischen Messsystem, d. h. einer Kameraeinrichtung, mit der die Ist-Position des Bauelements vorzugsweise unmittelbar vor dem Einführen des Bauelementhalters in den Zentrierrahmen gemessen wird. Da auch die auf der Basis dieser Vermessung vorgenommene Lagekorrektur unmittelbar vor dem Einführen des Bauelementhalters in den Zentrierrahmen und damit in unmittelbarer Nähe des Kontaktsockels erfolgt, spielen in diesem Fall Lageverschiebungen des Bauelements innerhalb des Bauelementhalters, die beim Überführen des Bauelements zum Kontaktsockel auftreten können, keine Rolle.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Einführöffnung für den Bauelementhalter auf zwei benachbarten Seiten durch den Zentrierrahmen und auf den restlichen Seiten durch die Basisplatte begrenzt. Hierbei sind an der Basisplatte Federmittel vorgesehen, welche am eingeführten Bauelementhalter seitlich anliegen und diesen gegen den Zentrierrahmen drücken. Diese Ausführungsform ermöglicht einerseits eine einfache, kostengünstige Herstellung und stellt andererseits ein einfaches Einführen des Bauelementhalters in die Einführöffnung sicher.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind am Zentrierrahmen verstellbare, in die Einführöffnung vorstehende Anlageelemente befestigt, an denen der eingeführte Bauelementhalter anliegt. Mittels derartiger verstellbarer Anlageelemente lässt sich die Relativlage unterschiedlicher Bauelementhalter zum Zentrierrahmen auf einfache Weise anpassen.
  • Das Einführen des Bauelementhalters in die Einführöffnung wird erleichtert, wenn die Anlageelemente auf ihrer den Bauelementhalter zugewandten Seite Anlaufschrägen aufweisen.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist der Zentrierrahmen derart an der Basisplatte angeordnet, dass seine Hauptebene parallel zur Hauptebene der Basisplatte verläuft, wobei der Zentrierrahmen durch Haltebolzen an der Basisplatte gehalten wird, welche Löcher des Zentrierrahmens mit seitlichem Spiel durchdringen. Hierdurch lässt sich eine einfache Halterung des Zentrierrahmens an der Basisplatte bewerkstelligen.
  • Ein einfaches Nachfolgen des Bauelementhalters an die Korrekturbewegungen des Zentrierrahmens ergibt sich, wenn der Bauelementhalter eine in die Einführöffnung einführbare Grundplatte aufweist, die schwimmend relativ zu einer Kolbenstange der Handhabungsvorrichtung gelagert ist.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
  • 1: eine Kontakteinheit mit einer Basisplatte sowie einen drehbaren Rotationskörper einer Handhabungsvorrichtung, der mehrere Bauelementhalter trägt;
  • 2: einen Bauelementhalter in der Nachbarschaft eines Kontaktsockels, wobei sich der Bauelementhalter kurz vor dem Einführen in die Einführöffnung des Zentrierrahmens befindet;
  • 3: eine Draufsicht schräg von oben auf den Zentrierrahmen, einen Teil der Basisplatte sowie einen Teil der Antriebseinrichtung;
  • 4: einen Teilschnitt, der die Kontakteinheit sowie den Bauelementhalter zeigt, wenn das Bauelement auf den Kontaktsockel aufgesetzt ist;
  • 5 einen zweidimensionalen Schnitt der Anordnung gemäß 4;
  • 6: den Zentrierrahmen und den Bauelementhalter mit Kolbenstange in Alleinstellung während der Kontaktierung, schräg von vorne; und
  • 7 die Anordnung von 6 schräg von hinten.
  • In 1 ist ein Teil eines Rahmens 1 einer nicht näher dargestellten Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente 6, eines sog. ”Handlers”, ersichtlich. An der Rückseite des Rahmens 1 ist eine Kontakteinheit 2 befestigt, die eine feststehende Basisplatte 3 sowie einen aus 2 näher ersichtlichen Kontaktsockel 4 aufweist. Der Kontaktsockel 4 trägt in bekannter Weise eine Vielzahl vorstehender Kontakte 5, die im dargestellten Ausführungsbeispiel die Form von Kegeln haben, jedoch auch anders ausgebildet sein können. Mittels der Kontakte 5 kann in bekannter Weise eine elektrische Verbindung zu einer nicht dargestellten Testvorrichtung geschaffen werden, mit der elektronische Bauelemente 6 (4, 5, 7) auf ihre elektrischen Eigenschaften hin überprüft werden.
  • Um die elektronischen Bauelemente 6 dem Kontaktsockel 4 zuführen zu können, weist die Handhabungsvorrichtung einen um eine horizontale Drehachse 7 schwenkbaren, quaderförmigen Rotationskörper 8 auf. Im Rotationskörper 8 sind insgesamt acht durchgehende Kolbenstangen 9 längsverschiebbar gelagert, wobei in der in 1 gezeigten Stellung vier Kolbenstangen 9 vertikal und weitere vier Kolbenstangen 9 horizontal angeordnet sind. An einem Ende einer jeden Kolbenstange 9 kann jeweils ein Bauelementhalter 10 (s. insbesondere die 6 und 7) befestigt sein. Die Bauelementhalter 10 dienen zum Halten jeweils eines Bauelements 6 und werden nachfolgend noch näher beschrieben. In 1, die lediglich eine grobe Übersicht über einige wesentliche Komponenten vermitteln soll, sind die nach unten weisenden, an den vertikalen Kolbenstangen 9 befestigten Bauelementhalter 10 jedoch nur unvollständig eingezeichnet.
  • Die Bauelementhalter 10 können mittels ihrer zugeordneten Kolbenstange 9 unabhängig voneinander bewegt werden, um Bauelemente 6 aus nicht dargestellten Bauelementrägern zu entnehmen und, nachdem der Rotationskörper 8 eine Drehung um 90° durchgeführt hat und die Lage des Bauelements 6 im Bauelementhalter 10 mittels einer optischen Lageerfassungseinrichtung 30 in der Form einer Kamera über einen schräg angeordneten Spiegel 13 ermittelt worden ist (1 und 3), die Bauelemente 6 dem Kontaktsockel 4 zuzuführen, so dass die Anschlusskontakte 11 (7) des Bauelements 6 auf den zugeordneten Kontakten 5 des Kontaktsockels 4 zu liegen kommen. Nach Durchführung der Messung wird das Bauelement 6 durch Zurückziehen des Bauelementhalters 10 wieder vom Kontaktsockel 4 entfernt, wonach der Rotationskörper 8 wieder so geschwenkt wird, dass das Bauelement 6 in den Bauelementträger zurückgelegt werden kann.
  • Im Folgenden wird ein Bauelementhalter 10 anhand der 5 bis 7 näher beschrieben.
  • An der Kolbenstange 9 ist eine quer verlaufende Verbindungsplatte 12 starr befestigt. An der Verbindungsplatte 12 ist über vier Stützen 14 eine zur Verbindungsplatte 12 parallele Grundplatte 15 befestigt. Die Stützen 14 durchdringen die Grundplatte 15 in Bohrungen größeren Durchmesssers mit seitlichem Spiel und hintergreifen die Grundplatte 15, so dass die Grundplatte 15 relativ zu den Stützen 14 etwas seitlich verschoben werden kann und damit schwimmend relativ zu den übrigen Teilen des Bauelementhalters 10 gelagert ist. Mittels Federzungen 36 (5), die seitlich gegen die Grundplatte 15 drücken, ist die Grundplatte 15 jedoch in ihre mittige Stellung vorgespannt.
  • Um das Bauelement 6 an der Unterseite der Grundplatte 15 zu halten, weist jeder Bauelementhalter 10 einen auf die Oberseite des zu haltenden Bauelements 6 aufsetzbaren Vakuumsauger 16 mit einem innenliegenden Kanal 17 auf, in dem Unterdruck vorliegt.
  • Um das Bauelement 6 an der Unterseite der Grundplatte 15 in seitlicher Richtung zu positionieren, weist der Bauelementhalter 10 eine Positioniereinrichtung mit Klemmelementen 18, 19 in der Form von L-förmigen Klemmhebeln auf. Diese Klemmelemente 18, 19 sind von einer Öffnungsstellung, in der sie von den vier Seitenrändern des Bauelements 6 beabstandet sind, in eine Klemmstellung bringbar, in der sie auf die Seitenränder des Bauelements 6 eine eine seitliche Bewegung des Bauelements 6 verhindernde Druckkraft aufbringen. Hierzu sind die Klemmelemente 18, 19 um Schwenkachsen 20 schwenkbar an der Grundplatte 15 gelagert. Weiterhin werden die Klemmelemente 18, 19 mittels Druckfedern 21 in ihre Klemmstellung vorgespannt. Wird der Bauelementhalter 10 dagegen auf einen nicht dargestellten Bauelementräger aufgesetzt, aus dem die Bauelemente 6 entnommen oder in dem die Bauelemente 6 wieder abgelegt werden sollen, stoßen die nach außen weisenden Schenkel der Klemmelemente 18, 19 an den Bauelementträger, wodurch die Klemmelemente 18, 19 geöffnet werden und das Bauelement 6 freigegeben wird.
  • Um das zu testende Bauelement 6 lagegenau auf den Kontaktsockel 4 der Kontakteinheit 2 aufsetzen zu können, weist die Handhabungsvorrichtung eine Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position des zu testenden Bauelements 6 unmittelbar vor dem Kontaktieren mit dem Kontaktsockel 4 auf. Diese Lagekorrektureinrichtung besteht im Wesentlichen aus einem Zentrierrahmen 22, der auf zwei Seiten eine Einführöffnung 23 für die Grundplatte 15 des Bauelementhalters 10 begrenzt und der derart an der Basisplatte 3 der Kontakteinheit 2 angeordnet ist, dass seine Hauptebene parallel zur Hauptebene der Basisplatte 3 verläuft. Wie aus den 3 und 7 ersichtlich, ist der Zentrierrahmen 22 im Wesentlichen L-förmig ausgebildet und weist einen Schenkel 24 sowie einen hierzu rechtwinkelig abstehenden Schenkel 25 auf. Der Zentrierrahmen 22 wird durch drei Haltebolzen 26 in der Form von Schrauben hintergriffen und dadurch an der Basisplatte 3 gehalten, wobei die Haltebolzen 26 entsprechende Löcher des Zentrierrahmens 22 durchdringen, die größer als der Schaftdurchmesser der Haltebolzen 26 ausgeführt sind. Zwischen dem Haltebolzen 26 und den Wänden der Löcher ist somit ein seitliches Spiel vorhanden, so dass der Zentrierrahmen 22 in seiner Hauptebene geringfügig verschoben und gedreht werden kann.
  • Um den Zentrierrahmen 22 relativ zur Basisplatte 3 zu verschieben, ist eine Antriebseinrichtung 27 vorgesehen (3). Diese Antriebseinrichtung 27 weist drei voneinander beabstandete Betätigungsorgane 28 in der Form von Stangen auf, die einerseits mit einer Motoreinheit 29 derart in Verbindung sind, dass sie in Längsrichtung verschoben werden können, und andererseits an drei beabstandeten Stellen mit dem Zentrierrahmen 22 verbunden sind. In dem in 3 gezeigten Ausführungsbeispiel sind zwei Betätigungsorgane 28 parallel zueinander angeordnet und in den beiden gegenüberliegenden Endbereichen der Schenkel 24 des Zentrierrahmens 22 seitlich an diesem befestigt. Das dritte Betätigungsorgan 28 erstreckt sich dagegen senkrecht zu den beiden erstgenannten Betätigungsorganen 28 und erstreckt sich von einer schmalen Stirnseite des Schenkels 24 in diesen hinein. Aufgrund dieser Anordnung ist es möglich, durch ein gezieltes Betätigen einzelner Betätigungsorgane 28 den Zentrierrahmen 22 relativ zur Basisplatte 3 in x- oder y-Richtung zu verschieben oder in φ-Richtung zudrehen.
  • Die Lagekorrektureinrichtung weist ferner, wie bereits ausgeführt und in den 1 und 3 dargestellt, eine optische Lageerfassungseinrichtung 30 in der Form einer Kamera auf, welche die Ist-Position des Bauelements 6 innerhalb des Bauelementhalters 10 aufnimmt. Die Lageerfassungseinrichtung 30 steht mit einer Recheneinrichtung 31 in Verbindung, welche Lagekorrekturwerte aus der Differenz zwischen der Ist-Position und einer Soll-Position des Bauelements 6 innerhalb des Bauelementhalters 10 berechnet. Die Recheneinrichtung 31 steht wiederum mit der Antriebseinrichtung 27 (3) in Verbindung und steuert die Antriebseinrichtung 27 derart, dass der Zentrierrahmen 22 und damit die Einführöffnung 23 in Abhängigkeit der Lagerkorrekturwerte in eine Position verschoben werden, in der die in die Einführöffnung 23 eingeführte Grundplatte 15 des Bauelementhalters 10 und damit das Bauelement 6 genau in der gewünschten Soll-Position liegt.
  • Die in der Einführöffnung 23 eingeführte Grundplatte 15 des Bauelementhalters 10 liegt auf zwei Seiten an Anlageelementen 32 an, die verstellbar am Zentrierrahmen 22 befestigt sind und seitlich über die Schenkel 24, 25 in die Einführöffnung 23 hinein vorstehen. Um ein leichtes Einführen in die Einführöffnung 23 und Zentrieren der Grundplatte 15 sicherzustellen, weisen hierzu die Anlageelemente 32 auf ihrer dem Bauelement 6 zugewandten Seite entsprechende Anlaufschrägen auf.
  • Die Einführöffnung 23 wird auf den beiden anderen Seiten, an denen die Schenkel 24, 25 des Zentrierrahmens 22 nicht vorhanden sind, durch entsprechende Stege 33 der Basisplatte 3 begrenzt. An den beiden Stegen 33 sind Federmittel 34 in der Form von U-förmigen Federklammern aufgesetzt, deren innenliegende Schenkel in die Einführöffnung 23 vorragen. Die innenliegenden Schenkel der Federmittel 34 liegen am eingeführten Bauelement 6 seitlich an diesem an und drücken das Bauelement 6 gegen die Anlageelemente 32 des Zentrierrahmens 22. Aufgrund der Vorspannkraft der Federmittel 34 wird somit das Bauelement 6 immer in Anlage an den Anlageelementen 32 gehalten, wobei sie gleichzeitig ermöglichen, dass das Bauelement 6 zusammen mit dem Zentrierrahmen 22 relativ zur feststehenden Basisplatte 3 verschoben werden kann.
  • In 3 ist weiterhin ein über die Basisplatte 3 vorstehender Zentrierzapfen 35 dargestellt, der zur Zentrierung der Basisplatte 3 relativ zur Handhabungsvorrichtung (Handler) dient.
  • Soll das Bauelement 6 unter bestimmten Temperaturbedingungen getestet werden, so ist es ohne weiteres möglich, dass sich lediglich der Zentrierrahmen 22 im temperierten Bereich befindet, während die Motoreinheit 29 außerhalb des temperierten Bereiches angeordnet ist. Dies ermöglicht einfachere Motorantriebe und erhöht die Lebensdauer derselben. Weiterhin ist von Bedeutung, dass es nicht erforderlich ist, die Lagekorrektur mittels einer Vorrichtung vorzunehmen, die am Bauelementhalter 10 angeordnet und mit diesem mitbewegt werden müßte, was einen wesentlich höheren technischen Aufwand bedeuten würde.

Claims (7)

  1. Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position von elektronischen Bauelementen (6) bezüglich eines mit einer Testeinrichtung zusammenwirkenden Kontaktsockels (4), an den die zu testenden elektronischen Bauelemente (6) mittels eines Bauelementhalters (10) einer Handhabungsvorrichtung herangeführt werden, mit – einem im Bereich vor dem Kontaktsockel (4) angeordneten Zentrierrahmen (22) zum Zentrieren des elektronischen Bauelements (6), der in einer Ebene verschiebbar und drehbar angeordnet ist, – einer Lageerfassungseinrichtung (30) zur Erfassung der Ist-Position des im Bauelementhalter (10) gehaltenen elektronischen Bauelements (6), – einer Recheneinrichtung (31) zum Berechnen von Lage korrekturwerten aus der Differenz zwischen der Ist-Position und einer Soll-Position des elektronischen Bauelements (6), – einer Antriebseinrichtung (27) zum Verschieben und Drehen des Zentrierrahmens (22) in Abhängigkeit der von der Recheneinrichtung (31) berechneten Lagekorrekturwerte, dadurch gekennzeichnet, dass der Zentrierrahmen (22) lageveränderlich an einer den Kontaktsockel (4) tragenden Basisplatte (3) befestigt ist und auf zumindest zwei Seiten eine Einführöffnung (23) begrenzt, in die der Bauelementhalter (10) einführbar ist, um das elektronische Bauelement (6) durch die Einführöffnung (23) hindurch dem Kontaktsockel (4) zuzuführen, und dass die Antriebseinrichtung (27) am Zentrierrahmen (22) befestigte Betätigungsorgane (28) in der Form von drei Stangen aufweist, die jeweils von einer in einem Abstand zum Zentrierrahmen (22) angeordneten Motoreinheit (29) in Längsrichtung verschiebbar und an drei beabstandeten Stellen mit dem Zentrierrahmen (22) verbunden sind, so dass der Zentrierrahmen (22) durch Längsverschieben der Stangen in einer Ebene verschiebbar und drehbar ist.
  2. Lagekorrektureinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einführöffnung (23) für den Bauelementhalter (10) auf zwei benachbarten Seiten durch den Zentrierrahmen (22) und auf den restlichen Seiten durch die Basisplatte (3) begrenzt ist, wobei an der Basisplatte (3) Federmittel (34) vorgesehen sind, welche am eingeführten Bauelementhalter (10) seitlich anliegen und diesen gegen den Zentrierrahmen (22) drücken.
  3. Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am Zentrierrahmen (22) verstellbare, in die Einführöffnung (23) vorstehende Anlageelemente (32) befestigt sind, an denen der eingeführte Bauelementhalter (10) anliegt.
  4. Lagekorrektureinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlageelemente (32) auf ihrer dem Bauelementhalter (10) zugewandten Seite Anlaufschrägen aufweisen.
  5. Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Zentrierrahmen (22) derart an der Basisplatte (3) angeordnet ist, dass seine Hauptebene parallel zur Hauptebene der Basisplatte (3) verläuft, wobei der Zentrierrahmen (22) durch Haltebolzen (26) an der Basisplatte (3) gehalten wird, welche Löcher des Zentrierrahmens (22) mit seitlichem Spiel durchdringen.
  6. Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bauelementhalter (10) eine in die Einführöffnung (23) einführbare Grundplatte (15) aufweist, die schwimmend relativ zu einer Kolbenstange (9) der Handhabungsvorrichtung gelagert ist.
  7. Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronischen Bauelemente (6) ICs sind.
DE102004057776A 2004-11-30 2004-11-30 Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente Expired - Fee Related DE102004057776B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004057776A DE102004057776B4 (de) 2004-11-30 2004-11-30 Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente
US11/288,078 US7841071B2 (en) 2004-11-30 2005-11-29 Position-correction device for correcting the position of a component holder for electronic components

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004057776A DE102004057776B4 (de) 2004-11-30 2004-11-30 Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102004057776A1 DE102004057776A1 (de) 2005-07-07
DE102004057776B4 true DE102004057776B4 (de) 2011-08-18

Family

ID=34638888

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102004057776A Expired - Fee Related DE102004057776B4 (de) 2004-11-30 2004-11-30 Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7841071B2 (de)
DE (1) DE102004057776B4 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7352198B2 (en) 2006-01-18 2008-04-01 Electroglas, Inc. Methods and apparatuses for improved stabilization in a probing system
DE102005032978B4 (de) * 2005-07-14 2011-07-21 Multitest elektronische Systeme GmbH, 83026 Vorrichtung zur Zentrierung von elektronischen Bauelementen
KR100674440B1 (ko) * 2005-08-12 2007-01-25 주식회사 파이컴 프로브 카드 제조 방법 및 장치
JP4237766B2 (ja) * 2006-02-10 2009-03-11 パナソニック株式会社 部品実装機制御方法、部品実装機およびプログラム
KR100687676B1 (ko) * 2006-02-10 2007-02-27 (주)테크윙 테스트핸들러
DE102008053855B3 (de) * 2008-10-30 2010-05-06 Multitest Elektronische Systeme Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Neigungswinkeln zwischen einer Referenzlinie und der Richtung der Erdbeschleunigung
US8120304B2 (en) 2008-12-12 2012-02-21 Formfactor, Inc. Method for improving motion times of a stage
US8519728B2 (en) 2008-12-12 2013-08-27 Formfactor, Inc. Compliance control methods and apparatuses
JP5200198B1 (ja) * 2011-10-03 2013-05-15 パナソニック株式会社 動作確認支援装置および動作確認支援方法
JP6040528B2 (ja) * 2012-01-17 2016-12-07 セイコーエプソン株式会社 ハンドラーおよび検査装置
JP6040529B2 (ja) * 2012-01-17 2016-12-07 セイコーエプソン株式会社 ハンドラーおよび検査装置
DE102013109055A1 (de) 2013-08-21 2015-02-26 Turbodynamics Gmbh Ausrichteinrichtung und Handhabungsvorrichtung
US9341663B2 (en) 2013-11-26 2016-05-17 Freescale Semiconductor, Inc. MEMS device positioning apparatus, test system, and test method
JP6372911B2 (ja) * 2014-04-16 2018-08-15 名古屋電機工業株式会社 Icハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法
JP2020034368A (ja) * 2018-08-29 2020-03-05 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置、電子部品搬送用ユニットおよび電子部品検査装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5150041A (en) * 1991-06-21 1992-09-22 Compaq Computer Corporation Optically alignable printed circuit board test fixture apparatus and associated methods
US5177864A (en) * 1989-09-06 1993-01-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronic component mounting apparatus and method of mounting electronic component

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5972727A (ja) * 1982-10-19 1984-04-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置合わせ用テ−ブル
US5172922A (en) * 1991-04-25 1992-12-22 Digital Equipment Corporation Self aligning vacuum nozzle
US5442299A (en) * 1994-01-06 1995-08-15 International Business Machines Corporation Printed circuit board test fixture and method
SG52900A1 (en) * 1996-01-08 1998-09-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Mounting apparatus of electronic components and mounting methods of the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5177864A (en) * 1989-09-06 1993-01-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronic component mounting apparatus and method of mounting electronic component
US5150041A (en) * 1991-06-21 1992-09-22 Compaq Computer Corporation Optically alignable printed circuit board test fixture apparatus and associated methods

Also Published As

Publication number Publication date
US20060155396A1 (en) 2006-07-13
US7841071B2 (en) 2010-11-30
DE102004057776A1 (de) 2005-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102004057776B4 (de) Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente
DE2163970C3 (de) Prüfeinrichtung zur Prüfung von Leiterplatten
DE112019003784T5 (de) Vorrichtung zur montage von flugzeugkomponenten und werkzeug zur inspektion von flugzeugkomponenten
DE60317182T2 (de) Halbleiterprüfsystem mit leicht wechselbarer schnittstelleneinheit
DE102006015363B4 (de) Testvorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen
DE102012209353B4 (de) Prüfvorrichtung zum Testen einer Flachbaugruppe
DE102013209111B4 (de) Einspannvorrichtung, insbesondere zur Aufnahme und zum Einspannen eines Bauteils, sowie Einspannsystem mit einer solchen Einspannvorrichtung
DE3511821C1 (de) Adapter zur Aufnahme von beidseitig zu prüfenden Leiterplatten
DE102017104516A1 (de) Plattenförmiges Verbindungssystem zum Verbinden von zwei Testeinheiten sowie Verbindungseinheit und Testsystem mit jeweils einem solchen plattenförmigen Verbindungssystem
DE102014110278B4 (de) Halterahmen für Steckverbindermodule und/oder Steckverbinder
DE202019102646U1 (de) Probenhalter für ein plattenartiges Substrat bei der Halbleiterbearbeitung, der anverschiedene Größen des Substrats angepasst werden kann
DE102020208040A1 (de) Verstellbare Prüflingsaufnahme für einen Antriebsstrangprüfstand und Antriebsstrangprüfstand
DE3819884A1 (de) Geraet zum pruefen von elektronischen baugruppen
DE10159165B4 (de) Vorrichtung zum Messen und/oder Kalibrieren eines Testkopfes
DE102016102836A1 (de) Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten
DE102007005208A1 (de) Verfahren zum Prüfen elektronischer Bauelemente und Prüfvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE3101972C2 (de)
DE69512231T2 (de) Testsystem für bestückte und unbestückte schaltungsplatten
EP3715864B1 (de) Testvorrichtung und verwendung der testvorrichtung
EP3500398B1 (de) Aufnahmevorrichtung zum aufnehmen eines beliebig geformten objekts
CH683420A5 (de) Vorrichtung zum Halten und Positionieren einer Substratkassette.
EP3557111B1 (de) Positioniereinrichtung für alignments schwerer anlagenkomponenten
DE102022203222A1 (de) Sensortestvorrichtung mit Zentrierung
WO2023066597A1 (de) Verfahren zum herstellen eines energiespeichers, energiespeicher sowie vorrichtung
AT513343B1 (de) Haltevorrichtung zum Halten eines Messobjektes

Legal Events

Date Code Title Description
OAV Publication of unexamined application with consent of applicant
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final

Effective date: 20111119

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee