JPS5972727A - 位置合わせ用テ−ブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、一平面上で位置合わせを行なう、例えば、半
導体パターン添付けを行なうときの、マ２／、− スフ合わせを必要とする露光装置の位置合わせ用テーブ
ルに関するものである。

従来例の構成とその問題点 従来の位置合わせ用テーブルでは、第１図にその具体構
成を示すように、Ｘ方向直線ガイド１を有スるＸテーブ
ル２と、Ｘテーブル２上に設けられたＸ方向直線ガイド
１と直交するｙ方向直線ガイド３を有するｙテーブル４
とｙテーブル４上に設けられた回転軸６を有する回転テ
ーブル６を重ね合わせた構成で、Ｘ方向の移動は、ベー
ス７に固定されだモータ８により駆動し、Ｘ方向と直交
するｙ方向の移動は、Ｘテーブル２に固定された、モー
タ９により駆動し、回転方向の移動は、ｙテーブル４に
固定されたモータ１ｏによって駆動が行なわれ、直交す
る二方向、及び回転方向の位置合わせが行なわれていた
。

しかしながら、上記のような構成では、直交する二方向
に移動するＸテーブル２とｙテーブル４を重ね合わせ、
さらに、回転方向に移動する回転テーブル６を重ねるた
め、三段重ねの構成となる３ぺ−“ ので、位置合わせ用テーブルの全高が高くなり、剛性が
低下するという欠点を有していた。また、回転テーブル
６の回転軸５が、ｙテーブル４上の一定の位置に固定さ
れるため、ｙテーブル４上の任意の位置を回転中心とし
て、回転運動をすることができないという欠点を有して
いた。

律発明の目的 本発明は、上記欠点に鑑み、全高が低く、剛性が高く、
正確な位置合わせができ移動テーブル上の任意の位置を
回転中心として回転運動することができる位置合わせ用
テーブルを提供するものである。

発明の構成 本発明は、一枚の平板のテーブルと、上記テーブルの運
動を一平面上で行なわせる規制手段と、直線上を往復運
動可能な、三軸の位置決め手段と、上記三軸の位置決め
手段の動作の方向を規制する手段とからなり、位置合わ
せ用テーブルの全高が低く、剛性が高く、正確な位置合
わせができまた移動テーブル上の任意の位置を回転中心
として、回転運動することができるという効果を有する
。

実施例の説明 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。第２図は本発明の一実施例における位置合わせ
用テーブルを示すものである。１１は移動テーブル、１
２はベース、１３は、」二記移動テーブル１１と上記ベ
ース１２の両方に接し、上記移動テーブルが一平面上で
移動するように規制する同じ直径の球体群、１４は、上
記球体群１３が、離散しないよう規制し、かつ上記球体
群１３が上記ベース１２上をどの方向にも回転しながら
移動できるよう保持するケージ、１５は、上記移動テー
ブル１１の一端面に回転軸が、ベース１２に垂直になる
ように取り付けられた回転可能な回転軸に垂直な断面形
状が金形のＸローラー、１６゜１７は、上記Ｘローラー
１５が取りつけられた上記移動テーブル１１の端面と垂
直な端面にそれぞれ回転軸が、上記ベース１２に垂直に
なるように取りつけられた回転軸に垂直な断面形状が円
形のＹ１０−ラー、とＹ２０−ラ、１８は」二記Ｘロー
５１・−；゛ ラー１５と接する端面が上記ベース１２と垂直なＸロー
ラープッシャーである。１９は上記Ｘローラープッシャ
ー１８が、上記ベース１２と平行に直線運動をするよう
に規制するＸ直線ガイド、２゜は上記Ｘローラープッシ
ャー１８を直線運動させるＸネジ軸、２１は上記Ｘネジ
軸２ｏを駆動するＸモータ、２２は上記Ｘローラー１５
を常に上記Ｘローラープッシャー１８に押しあてるよう
な方向に上記移動テーブル１１を加圧するＸバネ、２３
は上記Ｙ１０−ラー１６と接する端面が、上記ベース１
２に垂直で、かつ、上記Ｘローラープッシャー１８が上
記Ｘローラー１５と接する端面と垂直な上記Ｙ１０−ラ
ープッシャーである。２４は上記Ｙ１０−ラープッシャ
−２３が上記ベース１２と平行でかつ、上記Ｘローラー
プッシャー１８の直線運動方向と垂直な方向に直線運動
するように規制するＹ１直線ガイド、２６は上記Ｙ１０
−ラプクシャーを直線運動させるＹ１ネジ軸、２６は上
記Ｙ１ネジ軸を駆動するＹ１モータ、２７は上記Ｙ１０
−ラー１６を常に上記Ｙ１プッシャー２３６　／、 に押しあてるような方向に上記移動テーブル１１を加圧
するＹ１バネ、２８は上記Ｙ２０−ラー１７と接する端
面が、上記ベース１２と垂直で、かつ上記Ｘローラーブ
ツシャ−１８が上記Ｘローラー１６と接する端面と垂直
な上記Ｙ２０−ラーブノシャーである。２９は、上記Ｙ
２０−ラープシャー２８が上記ベース１２と平行でかつ
上記Ｘローラープッシャー１８の直線運動方向と垂直な
方向に直線運動するように規制するＹ２直線ガイド３゜
は上記Ｙ２０−ラープッシャ−２８を直線運動させるＹ
２ネジ軸３１は、上記Ｙ２ネジ軸３ｏを駆動するＹ２モ
ータ、３２は上記Ｙ２０−ラー１７を常に上記Ｙ２プッ
シャー２８に押しあてるような方向に移動テーブルを加
圧するＹ２バネテある。

以上のように構成された位置合わせ用テーブルについて
、以下にその動作を説明する。まず前記Ｘモータ２１、
Ｙ１モータ２６、Ｙ２−２−夕３１をそれぞれ所定の角
度回転させることにより、それぞれＸネジ軸２０Ｙ１ネ
ジ軸２５Ｙ２ネジ軸３゜を介して、Ｘローラープッシャ
ー１８、Ｙ１０−７ヘージ ラープツシヤー２３、Ｙ２０−ラープツシャ−２８を所
定の量だけ直線移動させることができる。また、移動テ
ーブル１１に取り付けられたＸローラー１５、Ｙ１０−
ラー１６、Ｙ２０−ラー１７は、ｘバネ２２、Ｙ　１　
ハネ２７、Ｙ２バ、ｉ３２に、ｌ：す、それぞれＸロー
ラープッシャー１８、Ｙ１０−ラープッシャ−２３、Ｙ
２０−ラープツシャ−２８と常に接するように加圧され
てい為だめ、Ｘローラープッシャー１８、Ｙ１０−ラー
プツシャ−２３、Ｙ２０−ラープッシャー２８がそれぞ
れ前後どちらの方向に移動しても、Ｘローラー１５の、
Ｘロラープッシャー１８の移動方向への移動量は、Ｘロ
ーラープッシャーの移動量と同じであり、同様にＹ１０
−ラー１６の、Ｙ１０−ラーブツシャー２３の移動方向
への移動量は、Ｙ１０−ラーブツシャーの移動量と同じ
であり、またＹ２０−ラー１７のＹ２０−ラーブソシャ
−２８の移動方向への移動量はＹ２０−ラープツシャー
の移動量と同じである。またその際Ｘローラー１５はＸ
ローラプッシャー１８の端面に沿って、Ｘローラープッ
シャー１８の移動方向と垂直な方向へ回転し々から移動
でき、Ｙ１０−ラーとＹ２０−ラーも同様に、Ｙ１０−
ラープッシャ−２３の端面とＹ２０−ラープッシャ−２
８の端面に沿って、Ｙ１０−ラープッシャー２３、Ｙ２
０−ラープッシャー２８の移動方向と垂直な方向へ回転
しながら移動できるようになっている０従って、Ｘモー
タ２１、Ｙ１モータ２６、Ｙ２モータ３１を所定の角度
回転させることにより、Ｘローラープッシャー１８、Ｙ
１０−ラープッシャー２３、Ｙ２０−ラープッシャー２
８が移動し、それに伴い、Ｘローラー１５、Ｙ１０−ラ
ー１６、Ｙ２０−ラ１７が移動し、移動テーブル１１が
、所定の量だけ移動することになる。

ここで、Ｘローラープッシャー１８、Ｙ１０−ラープッ
シャー２３、Ｙ２０−ラーブッシャー２８の移動量と移
動テーブル１１上の任意点の移動量及び、その点を中心
とする移動テーブル１１０回転量の関係を次に説明する
。第３図において、移動テーブル１１上の任意の点０を
原点とする直交９　へ−ノ 座標系を考え、Ｙ１０−ラー１６とＹ２０−ラー１７の
中心を通る直線に平行で、原点０を通る直線をｌ軸、原
点０を通り、ｌ軸に垂直な軸をｍ軸とするような、１ｍ
座標系で、Ｘローラー１６、Ｙ１０−ラー１６、Ｙ２０
−ラー１７の中心の座標をそれぞれ（１１２ｍ１）、（
１２２ｍ２）、（１３，ｒｎ３）とする。また同じく、
０を原点として、Ｘローラーブツシャ−１８の端面に平
行で、０を通る直線をＹ軸、０を通りＹ軸に垂直な軸を
Ｘ軸とする直交座標系（ｘｙ座標系とする）において、
ｌ軸とＸ軸の間の角度をθとすると、ｍｌ座標系で表わ
した。Ｘ　Ｃ１−ラ−１５、Ｙ　１ｏ−ラ−１６、Ｙ２
０−ラー１７の中心の座標を、ＸＹ座標系に変換すると
、Ｘローラー１５の中心の座標（ｘｌｌ　、　ｙ１／　
）。

Ｙ１０−ラー１６の中心の座標（！２’　、　ｙ２／　
）　Ｙ　２　。

−ラー１７の中心の座標（ｘ３′、ｙ３′）はｉ＝１　
　２　　３ １０．１．− と々る。

次に第４図に示すように、移動テーブル１１上の原点０
が第３図に示す位置からｘｙ座標系のＸ方向にΔに、７
方向にΔｙだけ移動した点０′に移りさらに、０′を中
心にΔθだけ回転したとき、ｘＹ座標系に対する、Ｘロ
ーラー１６、Ｙ１０−ラー１６、Ｙ２Ｏ−ラー１７の中
心の座標（”１”ｌ”１″）。

（Ｘダ、ｙ、；　）　、　（ｘ７　、　ｙ、；　）は、
ｉ＝１　　　２　　３ となる。従って、第３図に示す位置から第４図に示す位
置に移動テーブル１１が移動したときの３１−１　　２
　　３ となる。以上より、Ｘローラー１５のＸ軸方向の変位Δ
ｘ１、Ｙ１０−ラー１６のＹ軸方向の変位Δｙ１．Ｙ２
０−ラーのＹ軸方向の変位Δｙ２は、Δｘ１　　＝（ｃ
ｏｓ（θ＋Δθ）−ｃｏｓθｌ１１−　（ｓｉｎ（θ十
Δθ）−ｓｉｎθ）ｍ１＋ΔＸΔＹ１：＝（ｓ＋喧θ＋
Δθ）−ｓｉｎθｌ　１２−　（ｃｏｓ（θ＋Δθ）−
ｃｏｓθ）ｍ２＋ΔｙΔｙ２　＝（ｓｉ喧θ＋Δθ）−
５ｉ口θｌ　１３−　（ｃｏｓ（θ＋Δθ）−ｃｏｓθ
）ｍ３＋Δｙとなる。ことで、Ｘ軸方向へのＸローラ’
−１５の変位とＸローラーブツシャ−１８の変位は等し
く、まだ、Ｙ軸方向へのＹ１０−ラー１６、Ｙ２０−ラ
ー１７の変位はそれぞれＹ１０−ラープッシャー２３、
Ｙ２０−ラープッシャー２８の変位に等しい、従って、
上記、移動テーブル上の任意の点０がＸ方向へΔｘ、ｙ
方向へΔｙだけ移動し、かつΔθだけ、回転するには、
３個のローラープッシャー　はそれぞれΔｘ１．Δｙ１
＋Δｙ２　　だけ移動すればよい。

以上のように、本実施例によれば、一平面上で運動する
ように規制された一枚の平板の移動テーブルに対して、
上記移動テーブル端面に常に接し、かつ直線上を往復運
動するよう規制された三軸の位置決め手段を設けること
により、上記、三軸の位置決め手段を計算によって決め
られる量だけ、それぞれ直線運動させれば、上記移動テ
ーブル」−の任意の点を中心に上記移動テーブルを任意
の角度回転させ、かつ任意の量だけ平面上を移動させる
ことができる。また位置合わせ用テーブルの全高が低い
ため、剛性が高く正確な位置合わせができる位置合わせ
用テーブルが提供される。

以下、本発明の第２の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。第５図は、本発明の第２の実施例を示す、
位置合わせ用テーブルの説明図である。同図において、
１１ａは移動テーブル、１５ａ。

１６ａ、１７ａは、それぞれＸｏ−ラー、Ｙ１゜１３ヘ
ージ ーラー、Ｙ２Ｏ−ラー、１８ａ　、２３ａ　、２８ａは
それぞれ、Ｘローラープッシャー、Ｙ１０−ラーフッシ
ャー、Ｙ２０−ラープッシャーである。

移動テーブル１１ａの規制方法、Ｘローラープッシャー
１８ａ、Ｙ１０−ラープッシャー２３８１Ｙ２０−ラー
プッシャー２８ａの配置、規制方法及び駆動方法は第２
図の構成と同じであるが、第２図の構成と異なるのは、
Ｘローラープッシャー１８　ａ、　Ｙ’ｔ　ｏ−ラープ
ッシャ−２，３，ａ、Ｙ２゜−ラブラシャ−２３ａの先
端にそれぞれＸローラー１５ａ、Ｙｌｏ−シー１６ａ、
Ｙ２ｏ−ラー１７ａを設けた点である。上記のように構
成された位置合わせ用テーブルについても、Ｘローラー
１プツシヤー　１８　ａ　、　Ｙ　１　ｏ−ラープッシ
ｊ２３ａ。

Ｙ２０−ラープッシャー２８ａをそれぞれ所定の量だけ
移動させると、移動テーブル１１ａを所定の量だけ移動
させることができる。また移動テーブル１１ａ上の任意
の点の移動量とＸローラー１５ａ、Ｙｌｏ−シー１６ａ
、Ｙ２ｏ−ラー１７ａの移動量の関係式が得られる。

１４、＝−ッ 以上のようにＸローラープッシャー１８８．Ｙ１０−ラ
ープッシャー２３ａ、Ｙ、２０−ラープツシヤー２８ａ
の先端にそれぞれＸローラー１５８１Ｙ１０−ラー１６
ａ、Ｙ２０−ラー１７ａを設けても、三軸の位置決め手
段を計算によって求められる量だけ、それぞれ直線運動
させれば、移動テーブル上の任意の点を中心に上記移動
テーブルを任意の角度回転させ、かつ任意の量だけ平面
上を移動させることができる。また位置合わせ用テーブ
ルの全高が低いため、剛性が高く正確な位置合わせがで
きる位置合わせ用テーブルが提供される。

以下、本発明の第３の実施例について、図面を参照しな
がら説明する。第６図は、本発明の第３の実施例を示す
位置合わせ用テーブルの説明図である。同図において、
１２ｂはベース、１ｉｂは移動テーブル、１５ｂ、１６
ｂ、１’７ｂはそれぞれＸ　ｏ　−−ｙ　−、Ｙ　１　
ロー　ラー　、　Ｙ　２１ニア　−ラ、１８　ｂ。

２３ｂ　、２８ｂはそれぞれＸローラープッシャー、Ｙ
１０−ラーフッシャー、Ｙ２０−ラーフッシャー、１２
ｂはベース、３３はベース１２ｂに取り１５ヘ−ソ つけられた互いに垂直な２つの面を持つガイドである。

移動テーブル１１ｂの規制方法、Ｘローラープッシャー
１８ｂ１Ｙ１０−ラープツシヤー２３ｂ１Ｙ２０−ラー
プツシヤー２８ｂの規制方法及び駆動方法は、第２図の
構成と同じであるが、第２図の構成と異なるのけ、ｘロ
ーラープッシャー１ｓｂ、Ｙ１０−ラープッシャ−２５
ｂ１Ｙ２０−ラープツシヤー２８ｂの先端にそれぞれＸ
ローラー１５ｂ１Ｙ１０−ラー１ｅｂ、Ｙ２０−ラー１
７ｂが設けられ、かつ上記三つのローラープッシャーが
移動テーブル１１ｂの上に設けられており、Ｘローラー
プッシャー１８ｂの移動方向と、Ｙ１０−ラープッシャ
ー２ｓｂ、Ｙ２０−ラープッシャ−２３ｂの移動方向は
互いに垂直な方向となるように配置されている。まだＸ
ローラー１５ｂＹ１０−ラー１６ｂ１Ｙ２０−ラー２８
ｂは常にガイド３３と接するような構造となっている点
である。上記のように構成された位置合わせ用テーブル
についても、Ｘローラープッシャー１８ｂ。

Ｙ１０−ラープッシャ−２５ｂ１Ｙ２０−ラープソシヤ
ー２８ｂをそれぞれ所定の量だけ移動させると、移動テ
ーブル１１ｂを所定の量だけ移動させることができる。

また移動テーブル１１ｂ上の任意の点の移動量とＸロー
ラ１ｓｂ、Ｙ１０−ラー１ｅｂＸＹ２０−ラー１７ｂの
移動量の関係式が得られる。以上のように、３個のロー
ラープッシャーを移動テーブル上に設け、それぞれのロ
ーラープッシャーの先端にローラーを設け、ローラーを
互いに垂直をなす２つの面に常に接するような構成にし
ても三軸の位置決め手段を計算によって求められる量だ
け、それぞれ直線連動させれば、移動テーブル上の任意
の点を中心に上記移動テーブルを任意の角度回転させ、
かつ任意の量だけ平面上を移動させることができる。ま
た位置合わせ用テーブルの全高が低いため、剛性が高く
正確な位置合わせができる位置合わせ用テーブルが提供
される。

以下本発明の第３の実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。第７図は、本発明の第３の実施例を示す位
置合わせ用テーブルの説明図であ１７ヘージ る。１１ｃは移動テーブル、１５ｃ、１６ｃ。

１７ｃはそれぞれＸｏ−ラー、Ｙ１０−ラー、Ｙ２０−
ラー、１８ｃ、２３ｃ、２８ｃはそれぞれＸローラーフ
ッシャー、Ｙ１０−ラーフッシャー、Ｙ２０−ラープッ
シャーである。移動テーブル１１ｃの規制方法、Ｘロー
ラープッシャー１８０１Ｙ１０−ラープツシヤー２３０
．Ｙ２０−ラープッシャー２８ｃの規制方法及び駆動方
法は、第２図の構成と同じであるが、第２図の構成と異
なるのは、３つのローラープッシャーが移動テーブル１
１ｃの上に設けられ、かつＸローラープッシャー１８０
の移動方向とＹ１０−ラープッシャー２３Ｃ，Ｙ２０−
ラープッシャ−２３ｃの移動方向が互いに垂直になるよ
うに配置され、また、Ｘローラー１５Ｃ２Ｙ１０−ラー
１６０．Ｙ２０−ラー１７ｃの回転軸が移動テーブルの
外部に固定され、各ローラーと各ローラープリラシャ−
は、常に接するような構造となっている点である。

上記のように構成された位置合わせ用テーブルについて
も、Ｘローラープッシャー１８０．Ｙ１１８・・−ノ ローラープッシャ−２５ｃ、Ｙ２０−ラーブッシャ−２
３ｃをそれぞれ所定の量だけ移動させると、移動テーブ
ル１１ｃを所定の量だけ移動させることができる。また
移動テーブル上の任意の点の移動量トＸ　ｏ　　７−１
５　ｃ　、　Ｙ　１　ｏ−７１６ｃ　。

Ｙ２０−ラー１７ｃの移動量の関係式が得られる。

以上のように、３個のローラープッシャーを移動テーブ
ル上に設けそれぞれのローラープッシャーが外部に回転
軸を固定されたローラーに接するような構成にしても、
三軸の位置決め手段を計算によって求められる量だけ、
それぞれ直線連動させれば、移動テーブル上の任意の点
を中心に上記移動テーブルを任意の角度回転させ、かつ
任意の量だけ平面上を移動させることができる。

また位置合わせ用テーブルの全高が低いため、剛性が高
く正確な位置合わせができる位置合わせ用テーブルが提
供される。

なお、・第１の実施例から第４の実施例において移動テ
ーブルの運動を一平面内で行なわせる規制手段は、球体
群としたが、規制手段は、すべり軸１９ヘ−ノ 受、流体軸受でもよく、要は、移動テーブルの運動を一
平面内で行なわせるような構成であればよい。

また第１の実施例から第４の実施例でローラープッシャ
ーの直線運動は、モーターの回転をネジ軸で直線運動に
変換して駆動源としたが直線運動は、リニアモータでも
よく、要はローラープッシャーを直線運動させる構成で
あればよい。

また、第１の実施例においてローラーの取付は第２図に
示したような配置であるが、第８図力いし第１０図のよ
うな配置でもよく、要は三軸の直線位置決め手段のうち
、二軸の運動方向が平行でかつ、他の一軸の運動方向と
垂直であればよい。

発明の効果 以上のように、本発明は、一枚の平板のテーブルと、上
記テーブルの運動を、一平面上で行なわせる規制手段と
、上記テーブルと常に接し、上記テーブルが運動する平
面と平行な平面上を直線運動する三軸の位置決め手段と
、上記三軸の位置決め手段の動作の方向を規制する手段
を設けることにより、位置合わせ用テーブルの全高が低
く、剛性が高く、精密な位置合わせができ、移動テーブ
ル上の任意の位置回転中心として回転運動することがで
き、その実用的効果は犬なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の位置合わせ用テーブルの一部破断の斜視
図、第２図は本発明の第１の実施例における位置合わせ
用テーブルの斜視図、第３図、第４図は同説明図、第５
図は本発明の第２の実施例における位置合わせ用テーブ
ルの説明図、第６図は本発明の第３の実施例における位
置合わせ用テーブルの説明図、第７図は本発明の第４の
実施例における位置合わせ用テーブルの説明図、第８図
〜第１０図は本発明の第１の実施例における位置合わせ
用テーブルのローラー取・付位置を変えた場合の説明図
である。 １・・・・・・Ｘ方向直線ガイド、２・・・・・・ステ
ーブノペ３・・・・・・ｙ方向同線ガイド、４・・・・
・・ｙテーブノへ６・・・・・・回転軸、６・・・・・
・回転テーブル、７・・・・・・ベース、８　、９　、
１０−・・・・・−６−タ、１１．１１ａ、１１ｂ。 ２１ヘーノ １１０・・・・・・移動テーブル、１２，１２ｂ・・・
・・・ペース、１３・・・・・・球体群、１４・・・・
・・ケージ、１６゜１６ａ、１ｒｓｂ、１６ｃｍ−−−
・−Ｘｏ−ラー、１６，１６ａ。 １　ｅｂ　、　１６　ｃ−−−−・−Ｙ　１　ｏ−ラー
、１７，１７ａ。 １７　ｂ　、　１７　ｃ−・・−・Ｙ２　ｏ−ラー、１
８，１８ａ。 １８ｂ、１８ｃ・・・・・・Ｘローラープッシャー、１
９・・・・・・Ｘ直線ガイド、２ｏ・・・・・・Ｘネジ
軸、２１・・・・・・Ｘモー）；ｌ、２２・・甲・ｘバ
ネ、２３，２３ａ、２３ｂ。 ２３ｃ・・・・・・Ｙ１０−ラープッシャー、２４・・
・・・・Ｙ１直線ガイド、２５・・・・・・Ｙ１ネジ軸
、２６・・・・・・Ｙ１モータ、２７−・−・Ｙ　１バ
ネ、２８．２８ａ、２８ｂ。 ２８ｃ・・・・・・Ｙ２０−ラープッシャー、２９・・
・・・・Ｙ２直線ガイド、３０・・・・・・Ｙ２ネジ軸
、３１・・・・・・Ｙ２モータ、３２・・・・・・Ｙ２
バネ、３３・・・・・・ガイド。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 、ダ Ｍ３図 第５図 第４図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図 手続補正書 ｌ事件の表示 昭和６７年特許願第　１８３９３３号 ２発明の名称 位置合わせ用テーブル ３補正をする者 事件との関係　　　　　　特　　許　　出　　願　　人
任　所　　大阪府門真市大字門真１００６番地名　称　
（５８２）松下電器産業株式会社代表者　　　　山　　
下　　俊　　彦 ４代理人　〒５７１ 住　所　　大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 明細書の発明の詳細な説明の欄 明細書の図面の簡単な説明の欄 ４、図面の簡単な説明 ２、、、、、． ６、補正の内容 （１）明細書箱１頁２０行目の「燃付け」を「焼付け」
と補正する。 （２）同第４頁１５行目の「金形」を「円形」と補正す
る。 （３）同第５頁１３行目の「直な一ヒ記Ｙ１０−ラープ
ッシャーＪ　をｒｉなＹ、ローラープ・ンシャー」ト補
正する。 （４）同第６頁５行目〜同頁６行目の「垂直な上記Ｙ２
０−ラーフッシャー」を「垂直なＹ２０−ラープッシャ
ー」と補正する。 （５）同第９頁１２行目の［した。Ｘローラー１”５］
を［したＸローラー１５］と補正する。 （６）明細書第１０頁９行目の と補正する。 （７）同第１００頁１５行目 ３１、 と補正する。 （８）同第１１頁１行目の （９）同第１１頁２行目の と補正する。 ０６　同第１１頁８行目の ［Δｙ、　＝　（５ｉｎ（θ＋Δの一５ｉｎθ）ｘ２−
（ｃｏｓ（θ＋Δの−ＣＯ８θ）ｍ２＋Δｙ１を ［Δ、９．＝（ｓｉｎ（θ十Δの一５ｉｎθ）４＋（Ｃ
ＯＢ（θ＋Δの−ＣＯ８θ）−十ΔｙＪと補正する。 ６１）同第１１頁９行目の ［Δｙ２＝　（５ｉｎ（θ十Δの−ｓｉｎθ）／３−（
ｃｏｓ（θ→−Δの−ＣＯ８θ）ｒｎ３＋Δｙ」を 「Δｙ２＝　（５ｉｎ（θ十Δの−ｓｉｎθ）ｚｓ＋（
ｃｏｓ（θ」−Δθ）−ｃｏｓθ）ｍ３＋Δン」と補正
する。 （１２）同第１４頁１７行目の「Ｙ２０−ラ」を「Ｙ２
０−ラー」と補正する。 （１３）同第１５頁１６行目の「Ｙ２０−ラー２８ｂ」
を［Ｙ２０−ラー１７ｂ」と補正する。 （１４）同第２０頁１７行目の「２・・・・・・ステー
ブル」を１−２．・・・・・・Ｉテーブル」と補正する
。 （１５）図面第７図を別紙のとおり補正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 一枚の平板のテーブルと、上記テーブルの運動を一平面
   内で行なわせる規制手段と、上記テーブルが運動する平
   面と平行な平面内で直線運動し、かつ上記テーブルの端
   面と常に接している第１の位置決め手段と、上記テーブ
   ルの運動する平面と平行な平面内で、上記第１の位置決
   め手段の運動方向と垂直な方向に直線運動し、かつそれ
   ぞれ上記テーブルの端面と常に接してる少なくとも２つ
   の第２の位置決め手段と、上記第１の位置決め手段と上
   記第２の位置決め手段の直線運動の方向を規制する規制
   手段とを備えた位置合わせ用テーブル。