JP2017211557A - 両面露光装置及び両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る両面露光装置10を説明するために示す斜視図である。
図2は、実施形態に係る両面露光装置10を説明するために示す正面図である。なお、図2は一部が断面図として示されている。
実施形態に係る両面露光装置10は、第1マスクM1をxy平面に沿って移動可能とするとともにxy平面に沿って回転可能とする第1マスクテーブル100と、第2マスクM2をxy平面に沿って移動可能とするとともにxy平面に沿って回転可能とする第2マスクテーブル200とを有している。なお、「xy平面に沿って移動可能」とは、x軸に沿って移動可能であるとともにy軸に沿って移動可能であることを指しており、「xy平面に沿って回転可能」とは、xy平面に垂直なz軸周りに回転可能であることを指している。
Claims (10)
- 露光対象となるワークの第1面を第1マスクによって露光し、当該第1面とは反対側の第2面を第2マスクによって露光する両面露光装置であって、
前記第1面及び前記第2面に平行な面を、直交するx軸及びy軸を含むxy平面としたとき、
前記第1マスクを前記xy平面に沿って移動可能とするとともに前記xy平面に沿って回転可能とする第1マスクテーブルと、
前記第2マスクを前記xy平面に沿って移動可能とするとともに前記xy平面に沿って回転可能とする第2マスクテーブルと、
を有し、
前記第2マスクテーブルは、
前記第1マスクテーブル上に載置され、当該第1マスクテーブル上で当該第1マスクテーブルとは別に前記xy平面に沿って移動可能であるとともに前記xy平面に沿って回転可能となっており、前記第1マスクテーブルが前記xy平面に沿って移動すると、当該第1マスクテーブルとともに前記xy平面上で当該第1マスクテーブルと同方向に同量だけ移動し、前記第1マスクテーブルが前記xy平面に沿って回転すると、当該第1マスクテーブルとともに前記xy平面上で当該第1マスクテーブルと同方向に同量だけ回転することを特徴とする両面露光装置。 - 請求項1に記載の両面露光装置において、
前記ワークの第1面の側に設けられ、前記第1マスクを着脱自在に取り付け可能な第1マスク取り付けプレートと、
前記ワークの第2面の側に設けられ、前記第2マスクを着脱自在に取り付け可能な第2マスク取り付けプレートと、
を有し、
前記第1マスク取り付けプレートは、前記第1マスクテーブルに立設されている支持部材を介して当該第1マスクテーブルに固定されており、前記第2マスク取り付けプレートは、前記第2マスクテーブルに立設されている支持部材を介して当該第2マスクテーブルに固定されていることを特徴とする両面露光装置。 - 請求項1又は2に記載の両面露光装置において、
前記xy平面に沿って移動可能とは、前記x軸に沿って移動可能であるとともに前記y軸に沿って移動可能であり、前記xy平面に沿って回転可能とは、前記xy平面に垂直なz軸周りに回転可能であることを特徴とする両面露光装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の両面露光装置において、
前記第1マスクと前記第2マスクとの位置合わせを行うためのマスク位置合わせマークが、前記第1マスクと前記第2マスクとにそれぞれ設けられているとともに、前記第1マスク及び前記第2マスクと前記ワークとの位置合わせを行うためのワーク位置合わせマークが、前記第1マスク及び第2マスクの少なくとも一方のマスクと前記ワークとにそれぞれ設けられていることを特徴とする両面露光装置。 - 請求項4に記載の両面露光装置において、
前記マスク位置合わせマーク及びワーク位置合わせマークを撮像可能な撮像装置と、
当該撮像装置によって得られた撮像データに基づいて、前記第1マスクと前記第2マスクとにそれぞれに設けられている前記マスク位置合わせマークが一致するように前記第2マスクテーブルを制御するとともに、前記第1マスク及び第2マスクの少なくとも一方のマスクと前記ワークとにそれぞれ設けられている前記ワーク位置合わせマークが一致するように前記第1マスクテーブルを制御する機能を有する位置合わせ制御装置と、
をさらに有することを特徴とする両面露光装置。 - 請求項5に記載の両面露光装置において、
前記撮像装置を移動させるための制御が可能な撮像装置移動制御装置をさらに有し、当該撮像装置移動制御装置は、少なくとも露光時においては、前記撮像装置がワークにおける露光対象領域から外れた位置となるように前記撮像装置を移動させるように制御する機能を有することを特徴とする両面露光装置。 - 請求項4〜6のいずれかに記載の両面露光装置において、
前記マスク位置合わせマークは、
前記第1マスクにおいては、当該第1マスク上の互いに離間した所定位置にm箇所(mは2以上の整数とする。)設けられており、前記第2マスクにおいては、当該第2マスク上の互いに離間した所定位置に、前記第1マスクのm箇所に設けられているマスク位置合わせマークに対応してm箇所設けられており、
前記ワーク位置合わせマークは、
前記第1マスク及び第2マスクの少なくとも一方のマスクにおいては、当該マスク上の互いに離間した所定位置にn箇所(nは2以上の整数とする。)設けられており、前記ワークにおいては、当該ワーク上の互いに離間した所定位置に、前記マスク上のn箇所に設けられているワーク位置合わせマークに対応してn箇所設けられている、ことを特徴とする両面露光装置。 - 露光対象となるワークの第1面を第1マスクによって露光し、当該第1面とは反対側の第2面を第2マスクによって露光する両面露光装置において、前記第1マスクと前記第2マスクとの位置合わせを行うとともに、前記第1マスク及び第2マスクとワークとの位置合わせを行う両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法であって、
前記両面露光装置としては、請求項1〜7のいずれかに記載の両面露光装置を用い、
前記第1マスクと前記第2マスクとの位置合わせを行うとともに、前記第1マスク及び第2マスクとワークとの位置合わせを行う工程として、
前記第2マスクテーブルに対して前記xy平面に沿った移動及び前記xy平面に沿った回転の少なくとも一方を行わせることにより、前記第1マスクと前記第2マスクとを位置合わせするマスク位置合わせ工程と、
前記第1マスクテーブルに対してxy平面に沿った移動及び回転の少なくとも一方を行わせることにより、前記第1マスクと前記ワークとを位置合わせするマスク・ワーク位置合わせ工程と、
を有することを特徴とする両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法。 - 請求項8に記載の両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法において、
前記マスク位置合わせ工程を行った後に前記マスク・ワーク位置合わせ工程を行うことを特徴とする両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法。 - 請求項8に記載の両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法において、
前記マスク・ワーク位置合わせ工程を行った後に前記マスク位置合わせ工程を行うことを特徴とする両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法。
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