JP3372586B2 - Ｉｃ試験装置用ローダ・アンローダ - Google Patents
Ｉｃ試験装置用ローダ・アンローダInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ試験装置用ロー
ダ・アンローダに関し、特に、ローダおよびアンローダ
に使用するレーンの使用割合を変更することができるＩ
Ｃ試験装置用ローダ・アンローダに関する。 【０００２】 【従来の技術】ＩＣ試験装置の概要を図２を参照して説
明する。ＩＣ試験装置の恒温槽２０内の高／低温雰囲気
においてＩＣ試験を実施するに際して、ハンドラ１０内
部のローダ部１１においてトレイ１３に載置されている
ＩＣをハンドラ１０内の高／低温に耐えるテストトレイ
１４に転送載置し直す。このＩＣが載置されたテストト
レイ１４は恒温槽２０に送り込まれ、テスト領域２１に
おいてＩＣの高／低温試験を実施する。高／低温試験実
施後、当該ＩＣは今度はアンローダ部１２においてテス
トトレイ１４からトレイ１３に転送載置される。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上述のＩＣ試験装置に
おいて、ローダ部１１にトレイ１３を搬送するための搬
送レーンは通常複数レーン具備されると共に、アンロー
ダ部１２においてトレイ１３を収容するためのレーンも
試験結果に基づく分類に対応する数だけ具備される。 【０００４】この場合、ローダ部１１におけるレーン数
およびアンローダ部１２におけるレーン数は共にＩＣ試
験装置製造時に設定された或る一定の数に限定されてい
る。しかしながら、実際の使用時（試験時）においては
状況に応じてローダ部１１におけるレーン数を増加し
て、アンローダ部１２におけるレーン数を減少したい場
合もあるし、この逆にしたい場合もある。この発明は、
上述の通りの要請を満足するＩＣ試験装置用ローダ・ア
ンローダを提供するものである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】この発明によれば、複数
のトレイ収容部を水平方向に配列して具備し、トレイを
解放自在に保持する部材を有し、トレイ収容部の上方に
おいてポジション２のレベルとポジション２より下のレ
ベルとの間を上下動可能とされ、かつポジション２のレ
ベルにおいてトレイ収容部の配列の全体に亘って水平移
動可能とされたトランアームを具備し、載置されたトレ
イとテストトレイとの間のＩＣの受け渡しをポジション
２より上のポジション１のレベルで行い、かつポジショ
ン１のレベルとポジション２より下のレベルとの間を上
下動可能とされたトレイセットを具備し、トレイ収容部
からポジション２より下のレベルに位置されたトレイセ
ットへのトレイの搬送およびポジション２より下のレベ
ルに位置されたトレイセットからトレイ収容部へのトレ
イの搬送がトランアームによって行われるものとされ
る。 【０００６】 【実施例】この発明の実施例を図１を参照して説明す
る。このＩＣ試験装置用ローダ・アンローダは、トレイ
収容部６０およびトレイ収容部６０に収容されているト
レイ１３を例えばの如く、トレイ収容部６０の上方の
ポジション３のレベル迄駆動するトレイ駆動装置である
エレベータ５０より成るレーンを複数本例えば１０レー
ン具備している。全レーンはそれ自体互いに同一であっ
て、ローダ用レーンとアンローダ用レーンとの間の区別
はなされておらず、単に複数のレーンが具備されている
に過ぎない。これらのレーンを必要に応じて適宜にロー
ダ用として指定し、或はアンローダ用として割り当て指
定して使用する。例えば、レーン１をこれから試験測定
しようとするＩＣを装填するローダ部１１として割り当
て、レーン２ないしレーン９の８レーンを試験測定の終
了したＩＣを試験結果のカテゴリ毎に収容するアンロー
ダ部１２として割り当てる。レーン１０をローダ使用済
みのトレイを収容する空トレイ収容部４０に割り当て
る。これらレーン数は必要に応じて相対的に増減するこ
とができる。 【０００７】３０はトランアームであり、左アーム３０
L と右アーム３０R とを具備するものとされる。各アー
ム３０L ，３０R はトレイ１３を保持或は解放する部材
としてフック３０F を有している。このトランアーム３
０は、トランアーム駆動装置（図示されず）によりの
如くポジション３のレベル或はポジション２のレベルに
駆動されると共に、ポジション３より上のポジション２
のレベルにおいてはの如く水平方向に配列される全レ
ーン１ないし１０に亘って水平駆動される。９０ａ〜９
０ｄはトレイセットであり、搬送されたトレイ１３とテ
ストトレイ１４との間のＩＣ受け渡しをここにおいて行
う。トレイセット９０ａ〜９０ｄはの如くトレイセッ
ト駆動装置（図示されず）によりポジション３のレベル
或はポジション２より上のポジション１のレベルに駆動
される。なお、この例ではトレイセット９０ａはローダ
用として使用し、９０ｂ〜９０ｄはアンローダ用として
使用するものとなっている。 【０００８】ここで、試験測定されるべきＩＣの載置さ
れたトレイ１３がローダ用のトレイセット９０ａに搬送
され、ＩＣがテストトレイ１４に転送されて空となった
トレイ１３が空トレイ収容部４０に収容されるところを
主に説明する。（ト レイ１３のローダ用トレイセット９０ａへのセッ
ト） 第１ レーン１のトレイ収容部６０1 に積層されてい
るトレイ１３をエレベータ５０ 1 により上昇させること
により最上層のトレイ１３をポジション３のレベル迄駆
動する。 【０００９】 第２ トランアーム３０をポジション２のレベルにお
いて水平駆動して、その左アーム３０ L をレーン１の真
上に位置させる。 第３ 左アーム３０L をポジション３のレベルに迄駆
動降下させる。 第４ 左アーム３０L のフック３０F を制御してレー
ン１の最上層トレイ１３とその下のトレイ１３との間に
割って入れる。 【００１０】第５ 最上層トレイ１３を保持した左ア
ーム３０L をポジション３からポジション２のレベルに
上昇させる。 第６ トランアーム３０をポジション２のレベルにお
いて水平駆動して左アーム３０ L をレーン３に位置させ
る。 第７ トレイセット９０ａはレーン３のポジション３
のレベルに予め位置されている。 【００１１】第８ 左アーム３０L をポジション３の
レベルに降下させる。 第９ 左アーム３０L のフック３０ F を制御して保持
しているトレイ１３を解放し、トレイセット９０ａ上に
載置する。 第１０ 左アーム３０L をポジション３のレベルからポ
ジション２のレベルに上昇させ、次いでトランアーム３
０を水平駆動して左アーム３０ L をレーン１に位置させ
る。 【００１２】第１１ トレイセット９０ａをポジション
３のレベルからポジション１のレベルに上昇させ、ここ
にトレイ１３のセットは完了する。ここで、トレイ１３
に載置されているＩＣをハンドラ１０内の高／低温に耐
えるテストトレイ１４に転送載置し、このＩＣが載置さ
れたテストトレイ１４は恒温槽２０に送り込まれて試験
測定が実施される。 （空になったトレイ１３の回収） 第１ 試験測定されるべきＩＣがテストトレイ１４に
すべて転送されて空になったトレイ１３をトレイセット
９０ａを駆動してポジション１のレベルからポジション
３のレベルに降下させる。 【００１３】第２ トランアーム３０をポジション２
のレベルにおいて水平駆動して、その右アーム３０ R を
レーン３に合致させる。 第３ 右アーム３０R をポジション２のレベルからポ
ジション３のレベルに降下させる。 【００１４】第４ 右アーム３０R のフック３０F を
制御してトレイセット９０ａの空にされたトレイ１３を
把持する。 第５ トレイ１３を保持した右アーム３０R をポジシ
ョン３のレベルからポジション２のレベルに上昇させ
る。 【００１５】第６ トランアーム３０をポジション２
のレベルにおいて水平駆動することにより、その右アー
ム３０ R を空トレイ収容部４０に対応するレーン１０に
位置させる。 第７ 右アーム３０R をポジション２のレベルからポ
ジション３のレベルに降下させる。 第８ トレイ収容部６０10に収容されているトレイ１
３の最上層のものがポジション３のレベルからトレイ１
枚分下位に位置する様にエレベータ５０10を駆動する。 【００１６】第９ 右アーム３０R のフック３０F を
解放制御してトレイ１３をエレベータ５０ 10 上のトレイ
１３上に載置する。 第１０ 右アーム３０R をポジション３のレベルからポ
ジション２のレベルに上昇させる。 第１１ 右アーム３０R のフック３０F を閉（トレイ保
持の状態）にする。 （トレイ１３のアンローダ用トレイセット９０ｂ〜９０
ｄへのセット）試験が終了したＩＣをテストトレイ１４から転送載置す
るためのトレイ１３は空トレイ収容部４０からトレイセ
ット９０ｂ〜９０ｄに搬送されてセットされる。レーン
が異なるのみで、動作は前述の「トレイ１３のローダ用
トレイセット９０ａへのセット」と同様である。 （試験済ＩＣが載置されたトレイ１３の回収）前述の「空になったトレイ１３の回収」と同様の動作に
よって行われ、試験結果のカテゴリに応じてアンローダ
部１２の対応するレーンのトレイ収容部６０に収容され
る。 【００１７】 【発明の効果】以上の通りであって、ローダ部における
レーン数を増加してアンローダ部におけるレーン数を減
少したい場合もあるし、或はこの逆にしたい場合もある
が、この発明はこの様な要請を満足するＩＣ試験装置用
ローダ・アンローダを提供することができる。 【００１８】このＩＣ試験装置用ローダ・アンローダに
おいて、水平方向に配列されてレーンをなす各トレイ収
容部はそれ自体互いに同一であって、ローダ用トレイ収
容部とアンローダ用トレイ収容部との間の区別はなされ
ておらず、これらのトレイ収容部を必要に応じて適宜に
ローダ用として指定し、或はアンローダ用として割り当
て指定して、これらトレイ収容部のレーン数を必要に応
じて相対的に増減使用するものであるので、ローダ用レ
ーンおよびアンローダ用レーンの設定の融通性は大であ
る。
ダ・アンローダに関し、特に、ローダおよびアンローダ
に使用するレーンの使用割合を変更することができるＩ
Ｃ試験装置用ローダ・アンローダに関する。 【０００２】 【従来の技術】ＩＣ試験装置の概要を図２を参照して説
明する。ＩＣ試験装置の恒温槽２０内の高／低温雰囲気
においてＩＣ試験を実施するに際して、ハンドラ１０内
部のローダ部１１においてトレイ１３に載置されている
ＩＣをハンドラ１０内の高／低温に耐えるテストトレイ
１４に転送載置し直す。このＩＣが載置されたテストト
レイ１４は恒温槽２０に送り込まれ、テスト領域２１に
おいてＩＣの高／低温試験を実施する。高／低温試験実
施後、当該ＩＣは今度はアンローダ部１２においてテス
トトレイ１４からトレイ１３に転送載置される。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上述のＩＣ試験装置に
おいて、ローダ部１１にトレイ１３を搬送するための搬
送レーンは通常複数レーン具備されると共に、アンロー
ダ部１２においてトレイ１３を収容するためのレーンも
試験結果に基づく分類に対応する数だけ具備される。 【０００４】この場合、ローダ部１１におけるレーン数
およびアンローダ部１２におけるレーン数は共にＩＣ試
験装置製造時に設定された或る一定の数に限定されてい
る。しかしながら、実際の使用時（試験時）においては
状況に応じてローダ部１１におけるレーン数を増加し
て、アンローダ部１２におけるレーン数を減少したい場
合もあるし、この逆にしたい場合もある。この発明は、
上述の通りの要請を満足するＩＣ試験装置用ローダ・ア
ンローダを提供するものである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】この発明によれば、複数
のトレイ収容部を水平方向に配列して具備し、トレイを
解放自在に保持する部材を有し、トレイ収容部の上方に
おいてポジション２のレベルとポジション２より下のレ
ベルとの間を上下動可能とされ、かつポジション２のレ
ベルにおいてトレイ収容部の配列の全体に亘って水平移
動可能とされたトランアームを具備し、載置されたトレ
イとテストトレイとの間のＩＣの受け渡しをポジション
２より上のポジション１のレベルで行い、かつポジショ
ン１のレベルとポジション２より下のレベルとの間を上
下動可能とされたトレイセットを具備し、トレイ収容部
からポジション２より下のレベルに位置されたトレイセ
ットへのトレイの搬送およびポジション２より下のレベ
ルに位置されたトレイセットからトレイ収容部へのトレ
イの搬送がトランアームによって行われるものとされ
る。 【０００６】 【実施例】この発明の実施例を図１を参照して説明す
る。このＩＣ試験装置用ローダ・アンローダは、トレイ
収容部６０およびトレイ収容部６０に収容されているト
レイ１３を例えばの如く、トレイ収容部６０の上方の
ポジション３のレベル迄駆動するトレイ駆動装置である
エレベータ５０より成るレーンを複数本例えば１０レー
ン具備している。全レーンはそれ自体互いに同一であっ
て、ローダ用レーンとアンローダ用レーンとの間の区別
はなされておらず、単に複数のレーンが具備されている
に過ぎない。これらのレーンを必要に応じて適宜にロー
ダ用として指定し、或はアンローダ用として割り当て指
定して使用する。例えば、レーン１をこれから試験測定
しようとするＩＣを装填するローダ部１１として割り当
て、レーン２ないしレーン９の８レーンを試験測定の終
了したＩＣを試験結果のカテゴリ毎に収容するアンロー
ダ部１２として割り当てる。レーン１０をローダ使用済
みのトレイを収容する空トレイ収容部４０に割り当て
る。これらレーン数は必要に応じて相対的に増減するこ
とができる。 【０００７】３０はトランアームであり、左アーム３０
L と右アーム３０R とを具備するものとされる。各アー
ム３０L ，３０R はトレイ１３を保持或は解放する部材
としてフック３０F を有している。このトランアーム３
０は、トランアーム駆動装置（図示されず）によりの
如くポジション３のレベル或はポジション２のレベルに
駆動されると共に、ポジション３より上のポジション２
のレベルにおいてはの如く水平方向に配列される全レ
ーン１ないし１０に亘って水平駆動される。９０ａ〜９
０ｄはトレイセットであり、搬送されたトレイ１３とテ
ストトレイ１４との間のＩＣ受け渡しをここにおいて行
う。トレイセット９０ａ〜９０ｄはの如くトレイセッ
ト駆動装置（図示されず）によりポジション３のレベル
或はポジション２より上のポジション１のレベルに駆動
される。なお、この例ではトレイセット９０ａはローダ
用として使用し、９０ｂ〜９０ｄはアンローダ用として
使用するものとなっている。 【０００８】ここで、試験測定されるべきＩＣの載置さ
れたトレイ１３がローダ用のトレイセット９０ａに搬送
され、ＩＣがテストトレイ１４に転送されて空となった
トレイ１３が空トレイ収容部４０に収容されるところを
主に説明する。（ト レイ１３のローダ用トレイセット９０ａへのセッ
ト） 第１ レーン１のトレイ収容部６０1 に積層されてい
るトレイ１３をエレベータ５０ 1 により上昇させること
により最上層のトレイ１３をポジション３のレベル迄駆
動する。 【０００９】 第２ トランアーム３０をポジション２のレベルにお
いて水平駆動して、その左アーム３０ L をレーン１の真
上に位置させる。 第３ 左アーム３０L をポジション３のレベルに迄駆
動降下させる。 第４ 左アーム３０L のフック３０F を制御してレー
ン１の最上層トレイ１３とその下のトレイ１３との間に
割って入れる。 【００１０】第５ 最上層トレイ１３を保持した左ア
ーム３０L をポジション３からポジション２のレベルに
上昇させる。 第６ トランアーム３０をポジション２のレベルにお
いて水平駆動して左アーム３０ L をレーン３に位置させ
る。 第７ トレイセット９０ａはレーン３のポジション３
のレベルに予め位置されている。 【００１１】第８ 左アーム３０L をポジション３の
レベルに降下させる。 第９ 左アーム３０L のフック３０ F を制御して保持
しているトレイ１３を解放し、トレイセット９０ａ上に
載置する。 第１０ 左アーム３０L をポジション３のレベルからポ
ジション２のレベルに上昇させ、次いでトランアーム３
０を水平駆動して左アーム３０ L をレーン１に位置させ
る。 【００１２】第１１ トレイセット９０ａをポジション
３のレベルからポジション１のレベルに上昇させ、ここ
にトレイ１３のセットは完了する。ここで、トレイ１３
に載置されているＩＣをハンドラ１０内の高／低温に耐
えるテストトレイ１４に転送載置し、このＩＣが載置さ
れたテストトレイ１４は恒温槽２０に送り込まれて試験
測定が実施される。 （空になったトレイ１３の回収） 第１ 試験測定されるべきＩＣがテストトレイ１４に
すべて転送されて空になったトレイ１３をトレイセット
９０ａを駆動してポジション１のレベルからポジション
３のレベルに降下させる。 【００１３】第２ トランアーム３０をポジション２
のレベルにおいて水平駆動して、その右アーム３０ R を
レーン３に合致させる。 第３ 右アーム３０R をポジション２のレベルからポ
ジション３のレベルに降下させる。 【００１４】第４ 右アーム３０R のフック３０F を
制御してトレイセット９０ａの空にされたトレイ１３を
把持する。 第５ トレイ１３を保持した右アーム３０R をポジシ
ョン３のレベルからポジション２のレベルに上昇させ
る。 【００１５】第６ トランアーム３０をポジション２
のレベルにおいて水平駆動することにより、その右アー
ム３０ R を空トレイ収容部４０に対応するレーン１０に
位置させる。 第７ 右アーム３０R をポジション２のレベルからポ
ジション３のレベルに降下させる。 第８ トレイ収容部６０10に収容されているトレイ１
３の最上層のものがポジション３のレベルからトレイ１
枚分下位に位置する様にエレベータ５０10を駆動する。 【００１６】第９ 右アーム３０R のフック３０F を
解放制御してトレイ１３をエレベータ５０ 10 上のトレイ
１３上に載置する。 第１０ 右アーム３０R をポジション３のレベルからポ
ジション２のレベルに上昇させる。 第１１ 右アーム３０R のフック３０F を閉（トレイ保
持の状態）にする。 （トレイ１３のアンローダ用トレイセット９０ｂ〜９０
ｄへのセット）試験が終了したＩＣをテストトレイ１４から転送載置す
るためのトレイ１３は空トレイ収容部４０からトレイセ
ット９０ｂ〜９０ｄに搬送されてセットされる。レーン
が異なるのみで、動作は前述の「トレイ１３のローダ用
トレイセット９０ａへのセット」と同様である。 （試験済ＩＣが載置されたトレイ１３の回収）前述の「空になったトレイ１３の回収」と同様の動作に
よって行われ、試験結果のカテゴリに応じてアンローダ
部１２の対応するレーンのトレイ収容部６０に収容され
る。 【００１７】 【発明の効果】以上の通りであって、ローダ部における
レーン数を増加してアンローダ部におけるレーン数を減
少したい場合もあるし、或はこの逆にしたい場合もある
が、この発明はこの様な要請を満足するＩＣ試験装置用
ローダ・アンローダを提供することができる。 【００１８】このＩＣ試験装置用ローダ・アンローダに
おいて、水平方向に配列されてレーンをなす各トレイ収
容部はそれ自体互いに同一であって、ローダ用トレイ収
容部とアンローダ用トレイ収容部との間の区別はなされ
ておらず、これらのトレイ収容部を必要に応じて適宜に
ローダ用として指定し、或はアンローダ用として割り当
て指定して、これらトレイ収容部のレーン数を必要に応
じて相対的に増減使用するものであるので、ローダ用レ
ーンおよびアンローダ用レーンの設定の融通性は大であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を説明する図。
【図２】ＩＣ試験装置の概要を説明する図。
【符号の説明】
１３ トレイ
３０ トランアーム
５０ エレベータ
６０ トレイ収容部
３０F フック
９０ａ〜９０ｄ トレイセット
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−229837（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−136402（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−256253（ＪＰ，Ａ)
実開 平３−99375（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/26
G01R 31/28 - 31/3193
H01L 21/66
B65G 1/00 - 1/20
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数のトレイ収容部を水平方向に配列し
て具備し、 トレイを解放自在に保持する部材を有し、上記トレイ収
容部の上方においてポジション２のレベルとポジション
２より下のレベルとの間を上下動可能とされ、かつポジ
ション２のレベルにおいて上記トレイ収容部の配列の全
体に亘って水平移動可能とされたトランアームを具備
し、 載置されたトレイとテストトレイとの間のＩＣの受け渡
しをポジション２より上のポジション１のレベルで行
い、かつポジション１のレベルとポジション２より下の
レベルとの間を上下動可能とされたトレイセットを具備
し、 上記トレイ収容部からポジション２より下のレベルに位
置された上記トレイセットへのトレイの搬送およびポジ
ション２より下のレベルに位置された上記トレイセット
から上記トレイ収容部へのトレイの搬送が上記トランア
ームによって行われることを特徴とするＩＣ試験装置用
ローダ・アンローダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09108893A JP3372586B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | Ｉｃ試験装置用ローダ・アンローダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09108893A JP3372586B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | Ｉｃ試験装置用ローダ・アンローダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300816A JPH06300816A (ja) | 1994-10-28 |
| JP3372586B2 true JP3372586B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=14016773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09108893A Expired - Fee Related JP3372586B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | Ｉｃ試験装置用ローダ・アンローダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3372586B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR0143334B1 (ko) * | 1995-04-17 | 1998-08-17 | 정문술 | 반도체 소자검사기의 고객트레이 이송장치 |
| JP3412114B2 (ja) | 1995-07-26 | 2003-06-03 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置 |
| DE19680913C2 (de) * | 1995-09-04 | 1999-06-17 | Advantest Corp | Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung |
| KR100706330B1 (ko) * | 2005-08-18 | 2007-04-13 | (주)테크윙 | 테스트 핸들러 |
| KR101040308B1 (ko) * | 2008-10-24 | 2011-06-10 | 세크론 주식회사 | 트레이 이송 장치 |
| KR101007934B1 (ko) * | 2008-12-19 | 2011-01-14 | 세크론 주식회사 | 테스트 트레이 이송 방법 및 장치 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP09108893A patent/JP3372586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06300816A (ja) | 1994-10-28 |
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