TWI314996B - Test handler - Google Patents

Description

1314996 九、發明說明： 【發明所>1之技術領域】 本發 —托盤輪 明係關於一測試搬運機，且更明確地說，係關於 场設備其能夠輸送一使用者托盤。 【先前技術】

、來半導體裝置（下文稱為一「裝置」）已可運用於 、.竟中’其中該裝置是否能夠在惡劣的狀況下執行也 就非關鍵。因而，在將裝置販售到市場上之前，其必須 紅過測试，以得知其在惡劣的狀況下能夠如何運行。根據 本發明之一測試搬運機可用以在產品上市前決定所生產之 裝置在一特定狀況下之優劣。上述程序稱為一種用以測試 這些裝置之方法。 與測試搬運機相關之技術可見於：韓國新式樣公告N0. 1 998-0625 68’標題為用以測試半導體裝置之搬運機系統之 托盤承集器；韓國新式樣公告No. 1998-062567標題為搬 運機系統之輸送設備；韓國專利公告No. 2003-0062702標 題為半導體裝置之測試搬運機的托盤輸送設備；韓國專利 公告No. 10-2004-0043 92 5標題為托盤輸送設備；韓國專 利公告No. 2002-0031461標題為搬運機之托盤輸送設備； 及韓國專利公告No. 2003-0029266標題為測試搬運機。這 些公告案件詳細揭露了測試搬運機之結構。 如上述公告案件中所揭露，測試搬運機包括一托盤輸 送設備，當托盤輸送設備抓取裝載於堆疊機中之複數個使 5 1314996

用者托盤其t一者時，其可將一使用者托盤由一輸送設 備用狀態輸送至一輸送設備位置，且上述使用者托係裝 於裝載板及卸載板之下。之後，其可執行一運動以將該 取之使用者托盤輸送至裝載板及卸載板，或托盤輸送設 可抓取位於裝載板及卸載板之一使用者托盤，以便執行 運動以堆疊堆疊機上之該抓取之使用者托盤。本發明係 於托盤輸送設備之技術特性。在此處，「輸送備用狀態」 詞係指一使用者托盤必須進行輸送之狀態，例如，一狀 中當使用者托盤包括欲進行測試之一目標裝置時將一相 應使用者托盤裝載於堆疊機之上；或一狀態中當完成一 載或卸載作業後緊接著將一相對應使用者粍盤置於裝載 卸載板。同樣地，「輸送位置」表示必須將在輸送備用狀 下之一使用者托盤輸送至該位置，例如，一使用者托盤 一裝載板位置，其中包括欲進行測試之一目標裝置，且 該位置將使用者托盤裝載至堆疊機上，或在裝載板中完 一裝載作業的一空使用者托盤之一卸載板位置。同樣地 可將此種概念套用於下文欽述中。 第1圖為一區塊圖，闡明一傳統測試搬運機之一托 輸送設備100。參照第1圖，傳統托盤輸送設備100包 一輸送設備101，其具有一對握爪11a及lib其可選擇 抓取或鬆開一使用者托盤及一對垂直運動組1 2a及1 2b 可分別垂直移動對握爪1 1 a及1 1 b，一水平運動組1 0 2 可水平移動輸送101、及一其可控制該對垂直運動組： 及1 2b以及水平運動組1 02。在第2圖中詳細揭露了傳 備 置 抓 備 關 態 對 裝 或 態 之 在 成 盤 括 性 其 其 2a 統 6

1314996 托盤輸送設備 1 〇 〇，Η I M A β W、 且興其相關之說明見於韓國新式樣 Νο. 1998-062567Γ τ -v ^ C下文稱之為「引用文獻」）。在弓丨用 獻中，以輸送设備來表示托盤輸送設備，立以一輪送 備頭來表示一對握爪。 然而，由於該對握爪Ua及llb在垂直方向中為獨 移動且其在水平方向中為共同移動，當事件（其代表 一狀態中，當使用者托盤位於一裝載板上或一卸載板完 執打一裝載或卸載時，一使用者托盤處於一輸送設備備 狀態中，纟意義可可同樣套用至下文敘述中）同時在裝 板及卸載板上發生時，處於—輸送設備備用狀態且位於 中之一者上的一使用者托盤必須保持其狀態。因而，傳 托盤輸送設備100的缺點之—為其處理逮度會減慢。 同樣地，由於在一單一輪送101中連同其他元件實 該傳統托盤輸送設備100，當—對握爪lia及llb共同 水平方向中移動時，其可執行所有輸送作業。此外’因 難以得知一事件是在一裝載板或一卸載板中之何者上 生’在欠缺先前程序之情形下傳統托盤輸送設備不能執 抓取、移動及等候作業。亦即，當設備抓取處於一輸送 備備用狀態中之一使用者托盤時，其無法在欠缺先前程 之情形下執行移動及等候作業。因而，傳統托盤輸送設 的缺點之一在於其處理速度會減。 此外，由於該對握爪丨i a及丨丨b全部必須由裝載板 水平移動至卸載板區’ It水平運動距離相對延長。因而 傳統托盤輸送設備的缺點之一在於其處理速度會減慢。 公 文 設 立 在 全 用 載 其 統 施 在 為 發 行 ML 序 備 區 7 1314996 上述問題在相關領域中更形嚴重，這是因為測試搬運 機之技術不斷發展，而使得測試搬運機能處理大容量之裝 置。 【發明内容】

有鑑於上述問題因而提出本發明，且本發明之一目為 提出一測試搬運機其包括三輸送設備其中每一者具有一握 爪及一垂直運動組可用以在垂直方向中移動握爪，而該三 輸送設備能在水平方向獨立移動。 本發明之另一目的為提出一測試搬運機其包括能在水 平方向獨立移動之三輸送設備。該三輸送設備個別分配了 不同功能，使得其可在產生一事件之前執行先前分配之程 序，因而可減低個別輸送設備之運動距離。 根據本發明之一態樣，可藉由提出包括第一至第三輸 送設備及第一至第三水平運動裝置之一測試搬運機測試搬 運機，達成上述及其他目的。每一輸送包括一握爪可用以 選擇性抓取並鬆開一使用者托盤.；及一垂直運動組可用以 在垂直方向移動握爪，其中第一至第三輸送設備在水平方 向依序排列。第一至第三水平運動組可用以在水平方向個 別移動第一至第三輸送設備，其中可獨立操作第一至第三 水平運動組。 在較佳的情形中，第一輸送設備在一第一區中執行一 水平運動、及第三輸送設備在獨立於第一區之一第三區中 執行一水平運動。因而，可減低每一輸送之水平運動距離， 8 1314996 且因此加速使用者托盤之輸送速度。

根據本發明之另一態樣，對於一測試搬運機提供了包 括第一至第三輸送設備。在此處，第一輸送設備可用以抓 取一第一受測使用者托盤在其中具有複數個欲進行測試之 目標裝置，且之後將第一受測使用者托盤放置於裝載板之 一者上。當第二輸送設備將其中之複數個目標裝置輸送至 —測試托盤而使得第二受測使用者托盤空出後，其可用以 自裝載板之一者抓取一第二受測托盤，且之後將第二受測 使用者托盤放置於卸載板之一者上。當第三輸送設備中裝 載了複數個欲測試裝置後，其可用以自卸載板之一者抓取 ~第三受測使用者托盤，且之後在堆疊機之一者中堆疊第 三受測使用者托盤，其中第一至第三輸送設備能在水平方 向獨立移動。 在較佳的情形中，當第一輸送設備抓取其中具有複數 個欲測試目標裝置的第一受測使用者托盤之後’其可在在 裝栽板附近等候，而已經空出之第二輸送設備可由裝載板 之一者抓取第二受測使用者托盤；且之後當第二輸送設備 完成抓取第二受測使用者托盤之後，第一輸送設備可將第 ~受測使用者托盤放置於裝載板之一者上。 在較佳的情形中，第當二輸送設備抓取已經空出之第 二受測使用者托盤之後，其可在卸載板附近等候，而第三 輪送設備可由卸載板之一者抓取其中裝載複數個欲測試裝 置之第三受測使用者托盤，·且之後當第三輸送設備完成抓 取第三受測使用者托盤之後，第二輸送設備可將第二受别 9 1314996 使用者托盤放置於卸載板之一者上。

根據本發明之進一步態樣，對一測試搬運機提供包括 第一至第三輸送設備》在此處，第一輸送設備可用以：由 一堆疊機抓取一第一使用者托盤，第一使用者托盤其中具 有複數個欲測試目標裝置；當仍抓取著第一使用者托盤時 在裝载板附近等候；當由裝載板之一者移除一空使用者托 盤之後，將第一使用者托盤放置於該裝載板之一者上；再 度向堆疊機移動以抓取其中具有複數個欲測試目標裝置之 另一第一使用者托盤；當仍抓取另一第一使用者托盤時， 在裝載板附近等候。第二輸送設備可用以：當抓取裝載板 之一者之一第二使用者托盤時，可在卸載板附近等候，該 第二使用者托盤已藉由將其中之複數個目標裝置輸送至一 測拭托盤而清空；當自卸載板之一者移除具有裝載於其中 之複數個欲測試裝置之一使用者托盤時，將第二使用者托 盤放置於卸載板之一者上；再度於裝栽板附近等候以自裝 載板之一者抓取另一第二使用者托盤。第三輸送設備可用 以：在卸載板附近等候；自卸載板之~者抓取一第三使用 者托盤，第三使用者托盤其中裝載複數個欲測試裝置；再 度於卸載板附近等候以自卸載板之一者抓取另一第三使用 者托盤。在此處，第一至第三輸送設備可在水平方向獨立 移動。 根據本發明之另一進一步態樣’對一測試搬運機提供 包括至少二輸送設備用以將一輸.送設備備用狀態下之一使 用者托盤個別輸送至一目標位置、至少二水平運動組、及 10

1314996 一控制器。在此處，每一輸送包括：一握爪可用以選擇 抓取並鬆開一使用者托盤；及一垂直運動組可用以在一 直方移動該握爪。相對應於至少二輸送設備製備至少二 平運動組，用以分別水平移動該至少二輸送設備。控制 可獨立控制至少二垂直運動組之作業，其可個別提供給 至少二輸送設備並使得該至少二水平運動组能彼此獨立 業，因而使得該至少二輸送設備能獨立執行水平運動。 在較佳的情形中，該至少二輸送設備包括一第一輸 設備可用以將一第一使用者托盤由一堆疊機輸送至裝載 之一者；當藉由將其中之複數個目標裝置輪送至一測試 盤之後清空裝載板之一者上的第二使用者托盤之後，一 二輸送設備可用以將一第二使用者托盤由裝載板之一者 送至卸載板之一者；以及一第三輸送設備，其可用以在 將複數個欲測試裝置裝載至卸載板上之第三使用者托 後，將一第三使用者托盤由卸載板之一者輸送至堆疊機 一者。 根據本發明之又另一態樣，對一測試搬運機提供包 至少二輸送設備、至少二水平運動組、及一控制器。在 處，可組態至少二輸送設備使得其能夠分別在不同水平 動區中移動，以將一輸送設備備用狀態下之一使用者托 輸送至一輪送設備位置。對應於至少二輸送設備來裝置 少二水平運動組，使得其能分別水平移動該輸送設備所 之水平運動區中之至少二輸送設備。 性 垂 水 器 該 作 送 板 托 第 輸 已 盤 之 括 此 運 盤 至 處 11 1314996 【實施方式】 此處將參照附隨圖式描述本發明，圖式中闡明了本發 明之較佳具體實施例。 第2圖為一透視圖，闡明根據本發明之一測試搬運機 的主要部分、及第3圖為一區塊圖闡明根據本發明之測試 搬運機的主要部分。

參照第2圖及第3圖，根據本發明之測試搬運機包括 三輸送設備200’、200’’、及200’’’、三水平運動組300’、 300，，、及300，”、及一控制器。三輸送設備200’、200’’、 及200 ’’’可將使用者托盤由一輪送設備備用狀態輸送至一 輸送設備位置，且三水平運動組300’、300”、及300’”可 在水平方向獨立移動該三輸送設備200’、200’’、及200’’’。 另一方面，此處並未詳述之符號「T」表示一裝置板可供 所有元件裝置於其上。 下文將詳細描述測試搬運機之組態。 將三輸送設備200’、200’，、及200’’’重新命名如下： 參照數值 200’稱為一第一輸送設備其可用以在一第一區 A中執行一運動作業；參照數值2 0 0 ’’稱為一第二輸送設備 其可用以在一第二區B中執行一運動作業；及200’’’稱為 一第三輸送設備其可用以在一第三區 C 中執行一運動作 業。該第一至第三輸送設備200’、200’’、及200’’’之每一 者包括一握爪 2 1其可用以選擇性抓取並鬆開一使用者托 盤、及一垂直運動組22其可用以在垂直方向中移動握爪 2 1。本說明書中不會詳細描述握爪2 1，因為在引用文獻中 12 1314996 已詳細描述與其相關之組態。

垂直運動組22包括一垂直導執22a其使得握爪21可 沿著其在垂直方向中上下移動、一馬達22b其可供應該處 機械動力使得握爪2 1能執行一垂直方向運動。同樣地，為 了將馬達22b之機械動力輸送至握爪21，垂直運動組22 包括一輸送設備軸22c、一帶輪22d其裝置於輸送轴22c 之一端、一馬達帶輪22e其裝置於馬達22b之旋轉軸、及 一皮帶22f其可將帶輪22d連接至馬達帶輪22e。此外垂 直運動組22更包括一握持板22g其可握持垂直導軌22a。 因而，當將馬達22b之機械動力經由馬達帶輪22e、帶輪 22d及輸送軸22c輪送至握爪21時，垂直運動組22使得 握爪2 1可根據馬達22b之向前或向後旋轉而上下移動。 為求簡潔，雖然握爪21及垂直運動組22係裝置於該 第一至第三輸送設備200’、200’’、及200’’’之每一者，在 第2圖中，將第一至第三輸送設備200’、200’’、及200’’’ 之其他握爪及垂直運動組標示成21及22。 另一方面，將三水平運動組300’，300’’、及300’’’ 重新命名如下：參照數值3 0 0 ’稱為一第一水平運動組其能 在第一區A中於水平方向移動第一輸送設備2 0 0 ’；參照數 值300’’稱為一第二水平運動組其能在第二區B中於水平 方向移動第二輸送設備200”、及參照數值300’’’稱為一第 三水平運動組其能在第三區C中於水平方向移動第三輸送 設備 200’’’。 更明確地說，第一水平運動組3 0 0 ’可在第一區A中水 13 1314996

平移動第一輸送設備200，，使得第一輸送設備200,能將 輸送执備備用狀態不之—使用者托盤（此處未顯示）輸送 至裝載板上。使用者托盤包括欲進行測試之複數個目標裝 置其中之~ (此處未顯示），其係堆疊於一堆疊機（此處未 顯示）上。該堆昼機位於裝載板之下。為達此—目的，第 一水平運動組3 00’包括：水平導軌313及31b其可導弓丨第 一輸送設備200’之一握持板22g使得握持板22能執行， 水平運動，一第一馬達32’其可供應機械動力以用於該處 之第一輸送設備200’的水平運動；一第一 &帶輪33, a裝置 於第一馬達32’之旋轉軸；一第_ b帶輪33,b裝置於在水 平方向中遠離該第一 a帶輪33, &之一相對應位置；及一第 一皮帶34’可將第一 a帶輪33、、第一 b帶輪33, b及第/ 輸送設備200,之握持板22g互相連接。在此處，如第2圖 中所示，第一 a帶輪33，a位於第一區A之一端且第一 b 帶輪33’b位於另一端。 第二水平運動組300’，可在第二區B中水平移動第二 輸送設備2 0 0 ’’’使得第二輸送設備2 0 0，，能將一輸送設備 備用狀態下位於裝載板上之一空使用者托盤由一抓取位置 輸送至一輸送設備位置，在該處可放置一卸載板上之空使 用者托盤。在此處’第二區B係由抓取位置至輸送位置。 為達此一目的，第二水平運動組300，’包括：水平導軌31a 及3 1b其可導引第二輪送設備200，，之一握持板22g使得握 持板22g能執行一水平運動；一第二馬達32，，供應機械動 力以用於該處之第二輪送設備200’’的水平運動；一第二a 14 1314996

帶輪33’’a裝置於第二馬達32’’之旋轉軸；一第二b帶輪 33’’b裝置於在水平方向中遠離該第二a帶輪33’’a之一相 對應位置；及一第二皮帶34’’可將第二a輪33’’a、第二b 帶輪33’’b及第二輸送設備200’’之握持板22g互相連接。 在此處，如第2圖中所示，第二a帶輪33’’a位於第二區B 之一端且第二b帶輪33’’b位於另一端。雖然在本具體實 施例之實作中，使得第一至第三水平運動組能共享水平導 執3 1 a及3 1 b，習知技藝人士可輕易理解，能修改該具體 實施例，使得水平運勤組之每一者能利用個別的水平導軌。 第三水平運動、组300’’’可在第三區C中水平移動第三 輸送設備200’’’，使得第三輸送設備200’’’能將一使用者 托盤（其上包括了測試完成之裝置）由一卸載板上之位置 輸送至一輸送設備位置，而托盤處於一輸送設備備用狀態 中，使得可將測試完成裝置裝載到該裝置於卸載板下之一 堆疊機。為達此一目的，第三水平運動組300’’’包括：水 平導軌31a及31b其可導引第三輸送設備200’’’之一握持 板22g，使得握持板22g能執行一水平運動；一第三馬達 32’’’供應機械動力以用於該處之第三輸送設備200’’’的水 平運動；一第三a帶輪33’’’a裝置於第三馬達32’’’之旋轉 轴；一第三b帶輪33’’’b裝置於在水平方向中遠離該第三 a帶輪33’’’a之一相對應位置；及一第三皮帶34’’’可將第 三a帶輪33’’’a、第三b帶輪33’’’b及第三輸送設備200’’’ 之握持板22g彼此連接。在此處，如第2圖中所示，該第 三a帶輪33’’’a位於第三區C之一端且第三b帶輪33’’’b 15 1314996 位於另一端。

可操作第一至第三水平運動組300’、300’’及300’’’而 使得：當根據控制器400之控制個別操作第一至第三馬達 3 2 ’、3 2 ’ ’及3 2 ’ ’ ’時，亦可同時操作相對應帶輪（33’3、33’1?; 33’’a、33’’b; 33”’a、33，’’b)及皮帶（34，； 34，，； 34，，’）， 且相對應地，由水平導軌31a及31b導引該第一至第三輸 送設備200’、200’’、及200’’’之每一者的握持板22g，因 而其可在水平方向平順地移動第一至第三輸送設備 200’、200”、及 200”，° 另一方面，控制器400可控制垂直運動組22之馬達 2 2b以及第一至第三水平運動組300’、300’’及300…之第 一至第三馬達32’、32’’及32’’’之作業，以控制第一至第 三輸送設備200’、200’’、及200’’’之作業。 下文描述第一至第三輸送設備200’、200”、及200’’’ 之作業，當測試搬運機啟動時前述作業係由控制器400控 制。為求說明之簡潔，將參照參照第4圖至第6圖描述第 一至第三輸送設備200’、200’’、及200’’’之每一者，在上 述圖式中僅闡明一水平運動距離。 第一輸送設備之作業-第4圖 在步驟S41(闡明一握爪21，其位於裝載板61左方 旁側，如第4圖中所示），當第二輸送設備2 0 0 下文將 詳述）正由裝載板61之一者抓取一空使用者托盤時，第一 輸送設備2 0 0 ’由位於一裝載板6 1下方之一堆疊機7 1抓取 16 1314996 一使用者托盤8 1，其中擁有複數個欲測試目標裝置且其處 於一輸送設備備用狀態，且之後在鄰近裝載板6 1處等候。 其後，在步驟S42，當第二輸送設備200’’完成抓取空使用 者托盤後，第一輸送設備 2 0 0 ’將該抓取之使用者托盤 8 1 放置於裝載板61之一者上。其後，第一輸送設備200’在 第一區内重複其作業。

第二輸送設備之作業-第5圖 在步驟S51(闡明一握爪21，其位於卸載板62之一 者的左方旁側，如第5圖中所示），當第三輸送設備200’’’ (下文將詳述）正由卸載板62之一者抓取其中裝載了複數 個欲測試裝置之一使用者托盤時，第二輸送設備2 0 0 ’’可由 裝载板6 1之一者抓取處於一輸送設備備用狀態之一空使 用者托盤，在上述裝載板6 1處，當將測試托盤之複數個目 標裝置輸送至該測試托盤時，可得到空使用者托盤，且之 後第二輸送設備200’’可在鄰近卸載板62處等候。其後， 在步驟S52，當第三輸送設備20’’’完成抓取該使用者托盤 後，第二輸送設備2 0 0 ”可將該抓取之空使用者托盤放置於 卸載板62之一者上。其後，在步驟S53(在第5圖中，闡 明之握爪2 1係位於裝載板之一者的右方旁側），第二輸送 設備200’’可移向裝載板61之一者，並再度等待下一次作 業。之後，第二輸送設備200’’可在第二區内重複其作業。 另一方面，當發生裝載板61上之使用者托盤中包括之 所有裝置並未裝載於測試托盤上之事件時，第二輸送設備 17

1314996 2 Ο Ο ’’可將一相對應使用者托盤裝載至一堆疊機7 4上。 即，可執行此一作業以防止當一裝置仍位於裝載板6 1之 對應使用者托盤上時，相對應使用者托盤在卸載板上 動。在此處，可修改本具體實施例使得有一額外之空間 接收該相對應使用者托盤。 同樣地，當裝載板61之一者上並未發生上述事件但 卻發生於卸載板62之一者上時，第二輸送設備200’可 一堆疊機73抓取一空使用者托盤，在該堆疊機73中可 疊空使用者托盤，且之後可將空使用者托盤輸送至發生 述事件之卸載板62之一者上。因而，可順利執行卸載作 而不致延遲。 第三輪送設備之作業-第6圖 第三輸送設備200’’’在卸載板62之一者附近等候（ 第6圖中，握爪2 1在卸載板62之一者的右方旁側等候 當出現一使用者托盤時，且因為將目標裝置卸載至測試 盤而該使用者托盤處於一輸送設備備用狀態下，在步 S61可抓取該卸載之使用者托盤，且之後在步驟 S62, 之裝載至位於卸載板62之一者下方之一堆疊機72上。 後，第三輸送設備200’’’可在第三區中重複其作業。 由上述實施方式可知，本發明提出一測試搬運機包 三輸送設備其中每一者具有一握爪及可在垂直方向移動 握爪之一垂直運動組，且其中該三輸送設備可在水平方 獨立移動，且每一輸送設備具有一功能使得可在一事件 亦 相 移 以 其 由 堆 前 業 在 )， 托 驟 將 其 括 該 向 發 18 1314996 生前執行一先前程序，且能以個別的輸送設備之功能為基 礎來劃分水平運動距離，而得個別的輸送設備能快速移 動，因而可加強其因為移動使用者托盤而產生之程序速度。 雖然基於說明之目的揭露了本發明之較佳具體實施 例，習知技藝人士可以理解可其進行種種修改、增加及取 代，而不致悖離附隨申請專利範圍所揭露之本發明之範圍 與精神。

【圖式簡單說明】 由上文實施方式中敘述連同附隨圖式可更清楚瞭解本 發明之上述及其他目標、特徵及其他優點，圖式如下： 第1圖為一區塊圖，闡明一傳統測試搬運機之一托盤 輸送設備； 第2圖為一透視圖，闡明根據本發明之一測試搬運機 的主要部分； 第3圖為一區塊圖，闡明根據本發明之測試搬運機的

第4至第6圖闡明根據本發明之測試搬運機的作業狀 態。 【主要元件符號說明】 100 傳統托盤輸送設備 101 輸送設備 1 1 a、1 1 b 握爪 1 2 a、1 2 b 垂直運動組 102 水平運動組 103 控制器 19 1314996

200, 第一輸送設備 200, ’ ’ 第三輸送設備 22 垂直運動組 22b 馬達 22d 帶輪 22f 皮帶 300, 第一水平運動組 300, ’ ’ 第三水平運動， 325 第一馬達 32，’， 第三馬達 33，，i i 第二a帶輪 33，b 第一 b帶輪 33 ’，， b 第三b帶輪 34’， 第二皮帶 400 控制器 62 卸載板 8 1 使用者托盤 200’ ’ 第二輸送設備 21 握爪 22a 垂直導執 22c 輸送設備轴 22e 馬達帶輪 22g 握持板 300, ’ 第二水平運動 3 1a、 • 31b 水平導軌 32，， 第二馬達 335a 第一 a帶輪 33，’’ a 第三a帶輪 33’’b 第二b帶輪 345 第一皮帶 34，，， '第三皮帶 61 裝載板 71、 72 、 73 、 74 堆 20

Claims (1)

1314996 第打丨妗4毛號專利案財年i月修正 十、申請專利範圍： 1 . 一種測試搬運機，其至少包含： 第一至第三輸送設備，其每一者包括：一握爪可用以選 擇性抓取並鬆開一使用者托盤；及一垂直運動組可用以在 垂直方向移動該握爪，其中該第一至第三輸送設備在水平 方向中依序排列；以及

第一至第三水平運動組，其可用以在水平方向個別移動 該第一至第三輸送設備， 其中該第一至第三水平運動組能獨立作業，使得該使用 者托盤能夠在該等堆疊機、一裝載板、以及一卸載板之間 輸送。 2. 如申請專利範圍第1項所述之測試搬運機，其中該第一 輸送設備可在一第一區内執行一水平運動、且第三輸送設 備可在獨立於該第一區以外之第三區内執行一水平運動。

3. —種測試搬運機，其至少包含： 一第一輸送設備，其可用以抓取其中具有複數個欲測試 目標裝置之一第一受測使用者托盤，且之後將該第一受測 使用者托盤放置於該等裝載板之一者上，其中該第一受測 使用者托盤係裝載於一堆疊機上； 一第二輸送設備，當將第二受測使用者托盤中之複數個 目標裝置輸送至一測試托盤而使其空出後，其可用以由裝 1314996 祕年1.身6 g修正替換頁 載板之一者抓取一第二受測托盤，且之後將該第二受測使 用者托盤放置於卸載板之一者上；以及 一第三輸送設備，當其中裝載複數個欲測試裝置後，其 可用以由卸載板之一者抓取一第三受測使用者托盤，且之 後將第三受測使用者托盤堆疊於堆疊機之一者中’ 其中該第一至第三輪送設備能在水平方向獨立移動。

4.如申請專利範圍第3項所述之測試搬運機’其中當第一 輸送設備抓取其中具有複數個欲測試目標裝置之第一受測 使用者托盤後，其可在裝載板附近等候，而第二輸送設備 正由裝載板之一者抓取已空出之第二受測使用者托盤；且 之後當第二輸送設備完成抓取第二受測使用者托盤後’第 一輸送設備將第一受測使用者托盤放置於裝載板之一者 5 .如申請專利範圍第3或4項所述之測試搬運機’其中當 該第二輸送設備抓取已空出之第二受測使用者托盤後’其 可在卸載板附近等候，而第三輸送設備正由卻載板之一者 抓取其中裝載複數個欲測試裝置之第三受測使用者托盤’ 且之後當第三輸送設備完成抓取第三受測使用者托盤後’ 第二輪送設備可將第二受測使用者托盤放置於卸載板之一 者上。

1314996 ⑷％修正替換頁 6. —種測試搬運機，其至少包含： 一第一輸送設備，其可用以：由一堆疊機抓取一第一使 用者托盤，該第一使用者托盤其中具有複數個欲測試目標 裝置；當仍抓取第一使用者托盤時，在裝載板附近等候； 當自裝載板之一者移除一空使用者托盤後，將第一使用者 托盤放置於裝載板之一者上；再度向堆疊機移動以抓取其 中具有複數個欲測試目標裝置之另一第一使用者托盤；當 仍抓取該另一第一使用者托盤，在裝載板附近等候； 一第二輸送設備，其可用以：當由該等裝載板之一者抓 取一第二使用者托盤時，在卸載板附近等候，且將該第二 使用者托盤中之複數個目標裝置輸送至一測試托盤而將之 空出；當由卸載板之一者移除所裝載之其中裝載複數個欲 測試裝置的使用者托盤後，將第二使用者托盤放置於卸載 板之一者上；再度於裝載板附近等候以由裝載板之一者抓 取另一第二使用者托盤；以及 一第三輸送設備，其可用於：在卸載板附近等候；由卸 載板之一者抓取一第三使用者托盤，該第三使用者托盤中 裝載複數個欲測試裝置；再度於卸載板附近等候以由卸載 板之一者抓取另一第三使用者托盤， 其中該第一至第三輸送設備能在水平方向獨立移動。 7. —種測試搬運機，其至少包含： 至少二輸送設備，用以將一使用者托盤個別輸送於該等

1314996 __ % 1月〇 %修正替換頁 堆疊機、一裝載板、以及一卸載板之間，每一輸送設備包 括：一握爪可用以選擇性抓取並鬆開一使用者托盤；及一 垂直運動組可用以在一垂直方向移動握爪； 至少二水平運動組，其係對應於用以水平移動該至少二 輸送設備之至少二輸送設備分別製備；以及 一控制器，用以：獨立控制個別提供給該至少二輸送設 備之至少二垂直運動組的作業；以及使得該至少二水平運 動組可彼此獨立作業，因而使得該至少二輸送設備可獨立 執行水平運動。 8.如申請專利範圍第7項所述之測試搬運機，包括用於該 至少二輸送設備：一第一輸送設備，其可用以將一第一使 用者托盤由一堆疊機輸送至裝載板之一者；一第二輸送設 備，當已將裝載板之一者上之第二使用者托盤中之複數個 目標裝置輸送至一測試托盤而使其空出之後，其可用以將 一第二使用者托盤由裝載板之一者輸送至卸載板之一者； 以及一第三輸送設備，當已將複數個欲測試裝置裝載至卸 載板上之第三使用者托盤中之後，其可用以將一第三使用 者托盤由卸載板之一者輸送至堆疊機之一者。 1314996 慕饮切6分號翻案％年；.月修正 98«_ ’矿”哎正替換頁

SI HL 搬

1314996 _Q %3.巧

曰修正替換叫

1314996 --OS I -oocvl

1314996 第4圖 %3·|5β修正替換頁

74 73 第5圖

73 72 1314996

第6圖