KR101137995B1 - 웨이퍼 위치 교체 장치 - Google Patents

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KR101137995B1 KR1020110104253A KR20110104253A KR101137995B1 KR 101137995 B1 KR101137995 B1 KR 101137995B1 KR 1020110104253 A KR1020110104253 A KR 1020110104253A KR 20110104253 A KR20110104253 A KR 20110104253A KR 101137995 B1 KR101137995 B1 KR 101137995B1
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Abstract

본 발명은 베이스 플레이트(1100)와, 상기 베이스 플레이트(1100)에 이동가능하게 형성되며, 수직구동모터(1240)에 의해 승하강되는 제 1 이송헤드(1210)가 형성되는 제 1 이동부(1200)와, 상기 베이스 플레이트(1100)에 제 1 이동부(1200)와 이격되어 형성되며, 수직구동모터(1340)에 의해 승하강되는 제 2 이송헤드(1310)가 형성되는 제 2 이동부(1300) 및 상기 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)를 수평으로 교차 이동시키는 수평구동부(1400)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 교체 장치에 관한 것이다.
본 발명은 2개의 웨이퍼가 나란히 이동되면서 서로 위치가 교체되도록 하여 프린터 구조를 변경시키지 않고 2열로 형성된 프린터 라인을 구축할 수 있는 효과가 발생된다.

Description

웨이퍼 위치 교체 장치{Position Exchanging Device Of Wafer}
본 발명은 태양 전지 제조 장치에 사용되는 웨이퍼 위치 교체 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 태양전지는 열증착법에 의한 박막전극공정과, 스크린인쇄에 의한 후막전극공정에 의해 생산되고 있다.
그 중에서, 스크린 인쇄에 의한 후막전극공정은 비교적 재료와 단위 공정장비가 박막전극공정에 비하여 저가이며, 다량의 제품을 대기 중에서 대면적으로 빠른 시간 내에 생산할 수 있어 많이 쓰이고 있다.
스크린 인쇄에 의한 후막전극공정은 비저항이 1~5(Ωcm)인 P형단결정 실리콘웨이퍼 표면에 인을 확산이나 이온주입 등의 방법으로 n+층을 형성한 후, 후면에 150~300μm 정도의 메쉬크기(mesh size)인 스크린을 이용, 알루미늄페이스트(Al paste)를 인쇄하여 후면전극을 형성하고, 건조한 후 800~900℃에서 1~5분정도 열처리하고, 스크린으로 전면에 은페이스트(Ag paste)를 인쇄하여 전면전극을 형성하고, 건조한 후 600~700℃에서 1~5분간 열처리하여 제조된다.
이러한, 후막전극공정에 사용되는 스크린 인쇄 방법은 예전에 인쇄에서 사용되는 스크린 인쇄기법에서 유래하여 현재에는 웨이퍼에서 회로소자를 고정시키기 위한 접착점을 형성하는 기법으로 널리 사용되는 인쇄 기법이며, 이러한 방법을 구현하는 장치는 스크린 프린터라 한다.
종래의 스크린 프린터는 이동되는 웨이퍼의 좌측 또는 우측에 설치되는데, 만약, 스크린 프린터가 웨이퍼 이동방향의 일측에 위치되도록 형태가 형성된 경우에는 이를 웨이퍼 이동방향의 타측에 위치되도록 하는 위해서 스크린 프린터 설비 일부를 변형시켜야 하는 문제가 발생된다.
따라서, 종래의 스크린 프린터를 이용하여 하나의 작업라인에서 2개의 웨이퍼를 프린팅 하기 위해서는 2개의 스크린 프린터를 웨이퍼 이동방향의 일측에 직렬로 위치시킨 후에 2개의 웨이퍼를 나란하게 이동시키면서 일측에 위치된 웨이퍼를 첫번째 스크린 프린터로 먼저 프린팅 하고, 타측에 위치된 웨이퍼를 두번째 스크린 프린터로 프린팅하면 된다.
그러나, 종래의 스크린 프린터는 2열로 형성된 프린터 라인을 따라 이동되는 웨이퍼 사이의 위치를 첫번째 스크린 프린터 작업 후에 교환하는 구조가 없어 2열로 형성된 프린터 라인을 구축하기 위해서는 프린터 구조를 변경해야하는 문제가 발생된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 프린터 구조를 변경시키지 않고 2열로 형성된 프린터 라인을 구축할 수 있는 웨이퍼 전후 위치 교체 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 베이스 플레이트(1100)와,
상기 베이스 플레이트(1100)에 이동가능하게 형성되며, 수직구동모터(1240)에 의해 승하강되는 제 1 이송헤드(1210)가 형성되는 제 1 이동부(1200)와,
상기 베이스 플레이트(1100)에 제 1 이동부(1200)와 이격되어 형성되며, 수직구동모터(1340)에 의해 승하강되는 제 2 이송헤드(1310)가 형성되는 제 2 이동부(1300) 및
상기 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)를 수평으로 교차 이동시키는 수평구동부(1400)
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 교체 장치를 제공한다.
상기 수평구동부(1400)는 수평구동모터(1406)와, 상기 수평구동모터(1406)에 의해 이동되는 구동벨트(1410) 및 상기 구동벨트(1410)의 이동경로를 가이드하도록 베이스 플레이트(1100)에 형성되는 복수개의 가이드롤러들(1420, 1422, 1424)을 포함하며, 상기 제 1 이동부(1200)는 구동벨트(1410) 중 좌측방향에 위치된 부분에 연결되고, 제 2 이동부(1300)는 구동벨트(1410) 중 우측방향에 위치된 부분에 연결될 수 있다.
상기 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)가 병렬로 나란히 위치될 수 있다.
상기 베이스 플레이트(1100)에는 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)가 수평으로 이동되는 이동구멍(1102)과, 상기 이동구멍(1102)의 좌측방향에 형성되는 좌방가이드레일(1120)과 우측방향에 형성되는 우방가이드레일(1130) 및 상기 이동구멍(1102)의 양측에 형성되는 양측벽(1140, 1150)이 마련될 수 있다.
상기 제 1 이동부(1200)는 웨이퍼를 고착시키기 위해 진공패드(1230)가 형성된 제 1 이송헤드(1210)와, 상기 제 1 이송헤드(1210)와 결합되며 수직플레이트 형상인 수직부재(1220)와, 상기 수직부재(1220)를 상하로 이동시키도록 수직부재(1220)의 하방에 형성된 수직구동모터(1240)와, 상기 좌방가이드레일(1120)을 따라 이동되는 좌방레일연결부재(1250)와, 상기 좌방레일연결부재(1250)의 하부에 형성되어 구동벨트(1410)와 결합되는 벨트크램프(1242)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 수직부재(1220)의 전면에 형성되는 오목부재(1222)와, 상기 좌방레일연결부재(1250)의 후면에 형성되어 오목부재(1222)의 상하이동을 가이드하는 수직가이드돌출부재(1252)가 더 포함될 수 있다.
본 발명은 2개의 웨이퍼가 나란히 이동되면서 서로 위치가 교체되도록 하여 프린터 구조를 변경시키지 않고 2열로 형성된 프린터 라인을 구축할 수 있는 효과가 발생된다.
도 1은 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치를 나타내는 상부 사시도.
도 2는 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치를 나타내는 하부 사시도.
도 3은 도 1의 제 1 이동부를 나타내는 사시도.
도 4는 도 1의 제 2 이동부를 나타내는 사시도.
도 5는 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치가 장착된 스크린 프린터 장치의 일부를 나타내는 사시도.
도 6은 도 5에서 위치 교체가 진행되는 측면도.
도 7은 도 5에서 웨이퍼가 다음 단계로 이동되는 것을 나타내는 개략도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치를 나타내는 상부 사시도이고, 도 2는 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치를 나타내는 하부 사시도이며, 도 3은 도 1의 제 1 이동부를 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 1의 제 2 이동부를 나타내는 사시도이다.
본 발명인 웨이퍼 교체 장치(1000)는 나란히 이동되는 2개의 웨이퍼를 일시 정지시킨 후에 웨이퍼들의 위치를 상호 교체하고 다시 웨이퍼들을 우측방향으로 이동시킬 수 있는 구조를 형성하는 것이 특징이다.
이를 위해서 본 발명은 양측 하부에 다리(1110)가 형성된 베이스 플레이트(1100)와, 상기 베이스 플레이트(1100) 상에서 형성되는 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)와, 상기 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)를 수평으로 이동시키는 수평구동부(1400)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스 플레이트(1100)에는 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)가 수평으로 이동되는 이동구멍(1102)이 내부에 형성된다.
그리고 베이스 플레이트(1100) 상면에는 상기 이동구멍(1102)의 좌측방향에 형성되는 좌방가이드레일(1120)과, 이동구멍(1102)의 우측방향에 형성되는 우방가이드레일(1130) 및 이동구멍(1102)의 양측에 형성되는 양측벽(1140, 1150)이 마련된다.
상기 제 1 이동부(1200)는 상기 양측벽(1140, 1150) 사이에서 좌방가이드레일(1120)을 따라서 전후로 수평이동되는 구조로 형성되고 제 2 이동부(1300)는 우방가이드레일(1130)을 따라서 전후로 수평이동되는 구조로 형성된다.
도 2와 같이 수평구동부(1400)는 베이스 플레이트(1100) 하방에 위치되며, 수평구동모터(1406)와, 상기 수평구동모터(1406)에 의해 이동되는 구동벨트(1410) 및 상기 구동벨트(1410)가 이동구멍(1102) 하부 둘레를 감싸는 형태로 이동되도록 4각형 형태의 이동구멍(1102) 중 4개 모서리에 인접한 베이스 플레이트(1100) 하면 부분 4개 지점에 형성되는 가이드롤러들(1420, 1422, 1424)을 포함한다.
그리고 도 2를 기준으로 제 1 이동부(1200)는 이동구멍(1102)의 전측좌측방향에 위치된 구동벨트(1410) 부분에 연결되고, 제 2 이동부(1300)는 이동구멍(1102)의 우측후방에 위치된 구동벨트(1410) 부분에 연결된다.
이 상태에서 수평구동모터(1406)를 작동시켜 구동벨트(1410)를 반시계 방향으로 이동시키면 제 1 이동부(1200)는 이동구멍(1102)의 전측에서 후측으로 이동되고, 제 2 이동부(1300)는 이동구멍(1102)의 후측에서 전측으로 이동된다.
한편, 상기 제 1 이동부(1200)와 제 2 이동부(1300)는 이동구멍(1102) 내에서 서로 충돌되지 않으면서 교차되어 서로의 위치가 교체될 수 있는 구조가 형성된다.
이를 위해서 제 1 이동부(1200)의 구성은 모두 제 2 이동부(1300)보다 좌측방향에 위치되도록 형성되고, 제 2 이동부(1300)의 구성은 모두 제 1 이동부(1200)보다 우측방향에 위치되도록 형성되는 것이 바람직하나, 이 경우에 제 1 이동부(1200)로 이동되는 웨이퍼의 정지 위치는 제 2 이동부(1300)로 이동되는 웨이퍼의 정지 위치보다 좌측방향에 위치되어야 하기 때문에 나란히 이동되는 2개의 웨이퍼 정지 위치를 서로 상이하게 제어해야하는 문제가 발생된다.
따라서, 본원발명은 나란히 이동되는 2개의 웨이퍼 정지 위치를 동일하게 하기 위해서 제 1 이동부(1200)에 형성되며 정지된 웨이퍼가 고착되는 제 1 이송헤드(1210)와 나란히 위치되는 제 2 이송헤드(1310)가 제 2 이동부(1300)에 형성된다.
그리고 상기 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)가 나란히 위치되기 때문에 제 1 이동부(1200)와 제 2 이동부(1300)가 서로 위치를 교체하기 위해 이동될 때 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)가 서로 충돌되기 않도록 제 1 이동부(1200)와 제 2 이동부(1300)에는 각각 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)을 위한 수직 이동 구조가 형성된다.
2개의 웨이퍼는 인입 방향(1501)으로 나란히 이동되어 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)에 각각 안착된 후에 서로 위치가 교체된 후 인출 방향(1502)으로 이동된다.
제 1 이송헤드(1210)는 수직 방향(1507)으로 상하이동되며, 제 2 이송헤드(1310)도 수직 방향(1508)으로 상하이동되는 구조이며, 제 1 이동부(1200)와 제 2 이동부(1300)는 수평 방향(1510)으로 전후이동되는 구조이다.
상기에서 설명된 내용을 토대로 제 1 이동부(1200)와 제 2 이동부(1300)의 구조를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3과 같이 상기 제 1 이동부(1200)는 웨이퍼를 고착시키기 위해 4개의 진공패드(1230)가 형성된 제 1 이송헤드(1210)와, 상기 제 1 이송헤드(1210)와 결합되며 수직플레이트 형상인 수직부재(1220)와, 상기 수직부재(1220)를 상하로 이동시키도록 수직부재(1220)의 후측하방에 형성된 수직구동모터(1240)와, 상기 수직부재(1220)의 좌면에 형성되는 오목부재(1222)와, 상기 오목부재(1222)의 상하이동을 가이드하는 형상의 수직가이드돌출부재(1252)가 우면에 형성되며 상기 좌방가이드레일(1120)을 따라 이동되는 좌방레일연결부재(1250)와, 상기 좌방레일연결부재(1250)의 하부에 형성되어 구동벨트(1410)와 결합되는 벨트크램프(1242)를 포함하여 구성된다.
상기 수직구동모터(1240)에는 수직부재(1220)와 연결되는 스크류축(1244)이 형성되어 수직부재(1220)를 승하강시키는 작용을 한다.
그리고 상기 좌방레일연결부재(1250)에는 전측으로 센서플레이트(1260)가 형성되고, 상기 센서플레이트(1260)의 우면에는 복수개의 센서(1262, 1264)가 형성된다.
상기 복수개의 센서(1262, 1264) 중에는 제 1 이동부(1200)의 수평 위치를 감지하는 수평위치센서(1262)와, 수직부재(1220)의 수직 위치를 감지하는 수직위치센서(1264) 등이 마련된다.
상기 센서플레이트(1260)는 좌방레일연결부재(1250)를 따라서 전후로 이동되며 수평위치센서(1262)는 전측벽(1140)과의 이격거리를 측정한다.
그러나 센서플레이트(1260)는 수직부재(1220)와 결합되어 있지는 않기 때문에, 상기 수직위치센서(1264)는 수직부재(1220)에 추가적으로 형성된 수직탭(1224)의 위치를 측정하여 수직부재(1220)의 상하 위치 변화를 측정한다.
제 1 이동부(1200)는 상기와 같은 구조에 의해 웨이퍼가 제 1 이송헤드(1210)의 상방으로 이동되어 정지되면 4개의 진공패드(1230)가 웨이퍼의 하면을 진공고착한 후에 수직구동모터(1240)에 의해 수직부재(1220)가 상방으로 이동된다.
그리고 제 1 이동부(1200) 전체는 수평구동부(1400)의 수평구동모터(1406)에 의해 좌방레일연결부재(1250)가 좌방가이드레일(1120)을 따라서 이동됨에 따라서 수평이동된다.
한편, 도 4와 같이 상기 제 2 이동부(1300)는 웨이퍼를 고착시키기 위해 4개의 진공패드(1330)가 형성된 제 2 이송헤드(1310)와, 상기 제 2 이송헤드(1310)와 결합되며 수직플레이트 형상인 수직부재(1320)와, 상기 수직부재(1320)를 상하로 이동시키도록 수직부재(1320)의 후측 하방에 형성된 수직구동모터(1340)와, 상기 수직부재(1320)의 우면에 형성되는 오목부재(1322)와, 상기 오목부재(1322)의 상하이동을 가이드하는 형상의 수직가이드돌출부재(1352)가 좌면에 형성되며 상기 우방가이드레일(1130)을 따라 이동되는 우방레일연결부재(1350)와, 상기 우방레일연결부재(1350)의 하부에 형성되어 구동벨트(1410)와 결합되는 벨트크램프(1342)을 포함하여 구성된다.
상기 수직구동모터(1340)에는 수직부재(1320)와 연결되는 스크류축(1344)가 형성되어 수직부재(1320)를 승하강시키는 작용을 한다.
그리고 상기 우방레일연결부재(1350)에는 전측으로 센서플레이트(1360)가 형성되고, 상기 센서플레이트(1360)의 좌면에는 복수개의 센서(1362, 1364)가 형성된다.
상기 복수개의 센서(1362, 1364) 중에는 제 2 이동부(1300)의 수평 위치를 감지하는 수평위치센서(1362)와, 수직부재(1220)의 수직 위치를 감지하는 수직위치센서(1364) 등이 마련된다.
상기 센서플레이트(1360)는 우방레일연결부재(1350)를 따라서 전후로 이동되며 수평위치센서(1362)는 전측벽(1140)과의 이격거리를 측정한다.
그러나 센서플레이트(1360)는 수직부재(1320)와 결합되어 있지는 않기 때문에, 상기 수직위치센서(1364)는 수직부재(1320)에 추가적으로 형성된 수직탭(1324)의 위치를 측정하여 수직부재(1320)의 상하 위치 변화를 측정한다.
제 2 이동부(1300)는 상기와 같은 구조에 의해 웨이퍼가 제 2 이송헤드(1310)의 상방으로 이동되어 정지되면 4개의 진공패드(1330)가 웨이퍼의 하면을 진공고착한 후에 수직구동모터(1340)에 의해 수직부재(1320)가 상방으로 이동된다.
그리고 제 2 이동부(1300) 전체는 수평구동부(1400)의 수평구동모터(1406)에 의해 우방레일연결부재(1350)가 우방가이드레일(1130)을 따라서 이동됨에 따라서 수평이동된다.
한편, 상기 좌측벽(1140)에는 좌방레일연결부재(1250)와 우방레일연결부재(1350)가 전측벽(1140)에서 일정거리 이격된 위치에 멈추도록 스톱퍼(1142, 1143)가 형성되며, 후측벽(1150)에도 같은 기능의 스톱퍼(1152)가 형성된다.
도 5는 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치가 장착된 스크린 프린터 장치의 일부를 나타내는 사시도이고, 도 6은 도 5에서 위치 교체가 진행되는 측면도이며, 도 7은 도 5에서 웨이퍼가 다음 단계로 이동되는 것을 나타내는 개략도이다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명인 웨이퍼 위치 교체 장치는 도 5와 같이 좌방컨베이어 벨트 유닛과 우방컨베이어 벨트 유닛 사이에 위치된다.
상기 좌방컨베이어 벨트 유닛은 전측좌방컨베이어 벨트부(1620)와 후측좌방컨베이어 벨트부(1610)로 구성되고, 전측좌방컨베이어 벨트부(1620)는 제 1 이송헤드(1210)가 위치될 수 있는 이격 공간을 두고 나란히 2개의 컨베이어 벨트(1622, 1624)가 형성되며, 후측좌방컨베이어 벨트부(1610)도 제 2 이송헤드(1310)가 위치될 수 있는 이격 공간을 두고 나란히 2개의 컨베이어 벨트(1612, 1614)가 형성된다.
그리고 웨이퍼가 이동되기 전에는 제 1 이송헤드(1210) 및 제 2 이송헤드(1310)의 높이는 동일하게 인접된 컨베이어 벨트들의 높이보다 약간 낮은 높이에 위치된다.
한편, 상기 우방컨베이어 벨트 유닛은 전측우방컨베이어 벨트부(1640)와 후측우방컨베이어 벨트부(1630)로 구성되고, 전측우방컨베이어 벨트부(1640)는 2개의 컨베이어 벨트(1642, 1644)가 형성되며, 후측우방컨베이어 벨트부(1630)도 2개의 컨베이어 벨트(1632, 1634)가 형성된다.
수직부재(1220, 1320)들은 좌방컨베이어 벨트 유닛과 우방컨베이어 벨트 유닛 사이에 위치된다.
도 5에서 2개의 웨이퍼가 좌방컨베이어 벨트 유닛을 따라 나란히 인입방향으로 이동되어 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310) 위에 위치되면 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)가 인접된 컨베이어 벨트과 같은 높이로 이동되면서 진공패드(1230, 1330)들에 의해 웨이퍼들의 하면이 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)에 고정된다.
이 상태에서 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)는 인접한 컨베이어 벨트(1622, 1624, 1612, 1614)보다 상방으로 이동되는데, 도 6과 같이 제 1 이송헤드(1210)의 위치보다 제 2 이송헤드(1310)의 위치가 상부에 위치되도록 할 수 있다. 필요한 경우에는 제 1 이송헤드(1210)이 위치보다 제 2 이송헤드(1310)의 위치가 하부에 위치되도록 할 수도 있다.
그리고 제 1 이동부(1200)는 후측으로 이동되어 제 2 이동부(1300)가 위치했던 후측좌방컨베이어 벨트부(1610)로 이동되고, 제 2 이동부(1300)는 전측으로 이동되어 제 1 이동부(1200)가 위치했던 전측좌방컨베이어 벨트부(1620)로 이동된다.
전후 이동이 완료되면 제 1 이동부(1200)는 후측좌방컨베이어 벨트부(1610)의 컨베이어 벨트(1612, 1614) 높이까지 이동되어 웨이퍼를 컨베이어 벨트(1612, 1614)에 위치시킨 상태에서 진공패드(1230)의 작동을 정지시켜 웨이퍼를 분리한다.
분리된 웨이퍼는 후측좌전방컨베이어 벨트 유닛에서 후측우방컨베이어 벨트 유닛으로 이동된다.
한편, 제 2 이동부(1300)도 전측좌방컨베이어 벨트부(1620)의 컨베이어 벨트(1622, 1624) 높이까지 이동되어 웨이퍼를 컨베이어 벨트(1622, 1624)에 위치시킨 상태에서 진공패드(1230)의 작동을 정지시켜 웨이퍼를 분리한다.
분리된 웨이퍼는 전측좌방컨베이어 벨트 유닛에서 전측우방컨베이어 벨트 유닛으로 이동된다.
따라서, 2개의 프린터를 좌방컨베이어 벨트 유닛 후측과 우방컨베이어 벨트 유닛 후측에 장착한 상태로 2개의 웨이퍼를 나란히 이동시키면서 한 번의 위치 교체를 통하여 2개의 웨이퍼를 모두 프린터할 수 있다.
상기와 같이 본 발명은 2개의 웨이퍼가 나란히 이동되면서 서로 위치가 교체되도록 하여 프린터 구조를 변경시키지 않고 2열로 형성된 프린터 라인을 구축할 수 있는 효과가 발생된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1100: 베이스 플레이트 1102: 이동구멍
1120: 좌방가이드레일 1130: 우방가이드레일
1200: 제 1 이동부 1210: 제 1 이송헤드
1220: 수직부재 1250: 좌방레일연결부재
1300: 제 2 이동부 1310: 제 2 이송헤드
1350: 우방레일연결부재 1400: 수평구동부
1410: 구동벨트 1420, 1422, 1424: 가이드롤러

Claims (6)

  1. 좌방컨베이어 벨트 유닛과 우방컨베이어 벨트 유닛 사이에 형성되는 베이스 플레이트(1100)와,
    상기 베이스 플레이트(1100)에 이동가능하게 형성되며, 수직구동모터(1240)에 의해 승하강되는 제 1 이송헤드(1210)가 형성되는 제 1 이동부(1200)와,
    상기 베이스 플레이트(1100)에 제 1 이동부(1200)와 이격되어 형성되며, 수직구동모터(1340)에 의해 승하강되는 제 2 이송헤드(1310)가 형성되는 제 2 이동부(1300) 및
    상기 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)를 수평으로 교차 이동시키는 수평구동부(1400)
    를 포함하여 구성되며,
    상기 수평구동부(1400)는
    수평구동모터(1406)와, 상기 수평구동모터(1406)에 의해 이동되는 구동벨트(1410) 및 상기 구동벨트(1410)의 이동경로를 가이드하도록 베이스 플레이트(1100)에 형성되는 복수개의 가이드롤러들(1420, 1422, 1424)을 포함하며,
    상기 제 1 이동부(1200)는 구동벨트(1410) 중 좌측방향에 위치된 부분에 연결되고, 상기 제 2 이동부(1300)는 구동벨트(1410) 중 우측방향에 위치된 부분에 연결되며,
    2개의 웨이퍼가 좌방컨베이어 벨트 유닛을 따라 나란히 이동되어 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310) 위에 위치되면 수직구동모터에 의해 제 1 이송헤드(1210)와 제 2 이송헤드(1310)가 상방으로 이동되고 수평구동부(1400)에 의해 수평 교차 이동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 교체 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 베이스 플레이트(1100)에는 제 1 이동부(1200) 및 제 2 이동부(1300)가 수평으로 이동되는 이동구멍(1102)과,
    상기 이동구멍(1102)의 좌측방향에 형성되는 좌방가이드레일(1120)과 우측방향에 형성되는 우방가이드레일(1130) 및
    상기 이동구멍(1102)의 양측에 형성되는 양측벽(1140, 1150)이 마련되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 교체 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제 1 이동부(1200)는
    웨이퍼를 고착시키기 위해 진공패드(1230)가 형성된 제 1 이송헤드(1210)와,
    상기 제 1 이송헤드(1210)와 결합되며 수직플레이트 형상인 수직부재(1220)와,
    상기 수직부재(1220)를 상하로 이동시키도록 수직부재(1220)의 하방에 형성된 수직구동모터(1240)와,
    상기 좌방가이드레일(1120)을 따라 이동되는 좌방레일연결부재(1250)와, 상기 좌방레일연결부재(1250)의 하부에 형성되어 구동벨트(1410)와 결합되는 벨트크램프(1242)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 교체 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 수직부재(1220)의 전면에 형성되는 오목부재(1222)와, 상기 좌방레일연결부재(1250)의 후면에 형성되어 오목부재(1222)의 상하이동을 가이드하는 수직가이드돌출부재(1252)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 교체 장치.
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