KR101266634B1 - 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템 - Google Patents

솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템

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Abstract

본 발명은 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템에 관한 것으로, 본 발명은 서로 설정된 간격을 두고 배치되는 웨이퍼 지지유닛들; 상기 웨이퍼 지지유닛들에 각각 인접하게 설치되며, 상기 웨이퍼 지지유닛에 지지되는 웨이퍼를 인쇄하는 스크린 인쇄유닛; 상기 웨이퍼 지지유닛들의 한쪽 옆에 배치되며, 웨이퍼들을 이송시키는 웨이퍼 공급용 이송유닛; 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛과 나란하게 위치하도록 상기 웨이퍼 지지유닛들의 다른 한쪽 옆에 배치되며, 인쇄된 웨이퍼들을 이송시키는 웨이퍼 배출용 이송유닛; 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급용 이송유닛 사이에 설치되며, 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛으로 이송되는 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛에 올려놓는 로딩 유닛; 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 설치되며, 웨이퍼 지지유닛에서 인쇄된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛에 올려놓는 언로딩 유닛을 포함한다. 본 발명은 시스템의 구성이 컴팩트하고, 짧은 시간 내에 많은 양의 솔라셀용 웨이퍼들을 스크린 인쇄하게 된다.

Description

솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템{SCREEN PRINTING SYSTEM FOR PRINTING WAFER MAKING SOLAR CELL}
본 발명은 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템에 관한 것이다.
태양전지는 태양의 빛에너지를 전기에너지로 바꾼다. 광전효과를 이용하여 발전시키는 최소 단위를 셀(cell)이라 한다.
일반적으로, 태양전지는 다이오드와 같이 p형 반도체와 n형 반도체의 접합 구조를 가지며, 태양전지에 빛이 입사되면 빛과 태양전지의 반도체를 구성하는 물질과의 상호작용으로 "-" 전하를 띤 전자와 전자가 빠져나가 "+" 전하를 띤 정공이 발생하여 이들이 이동하면서 전류가 흐르게 된다. 태양전지를 구성하는 p형 및 n형 반도체 중 전자는 n형 반도체쪽으로 끌어 당겨지고 정공은 p형 반도체쪽으로 끌어 당겨져 각각 n형 반도체 및 p형 반도체와 접합된 전극으로 이동하게 된다. 전극들을 전선으로 연결하여 전기가 흐르게 된다.
태양전지를 제작하는 방법들 중의 일예로, 사각형으로 절단된 단결정 또는 다결정의 p형 실리콘 웨이퍼에 표면 자국을 없애기 위하여 에칭을 실시한 후, 5족원소(P, As, Sb)를 도펀트로 하여 음극층(n형 반도체층)을 형성시킨다. 그리고 반사 방지층을 음극층에 형성한다. 후면에 실버 버스(silver bus) 전극을 형성하고, 알루미늄으로 된 후면전극(150)을 순차적으로 인쇄한다. 태양전지 전극 형성용 페이스트를 스크린 프린팅 기법으로 전면 인쇄한 후 건조기에 웨이퍼를 건조하며, 저온 또는 고온으로 소성하여 전면전극을 형성한다. 위와 같은 과정으로 태양전지가 제작된다.
한편, 태양전지는 다수 개의 장비들이 배열된 태양전지 제작 라인에서 제작된다. 상기 태양전지 제작 라인에 스크린 프린팅을 위하여 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄장비가 구비된다.
상기 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄장비는 설치 공간이 최소화되어야 할 뿐만 아니라 생산성을 높일 수 있어야 한다.
본 발명의 목적은 시스템의 구성을 컴팩트하게 하고, 짧은 시간 내에 많은 양의 솔라셀용 웨이퍼들을 스크린 인쇄하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 서로 설정된 간격을 두고 배치되는 웨이퍼 지지유닛들; 상기 웨이퍼 지지유닛들에 각각 인접하게 설치되며, 상기 웨이퍼 지지유닛에 지지되는 웨이퍼를 인쇄하는 스크린 인쇄유닛; 상기 웨이퍼 지지유닛들의 한쪽 옆에 배치되며, 웨이퍼들을 이송시키는 웨이퍼 공급용 이송유닛; 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛과 나란하게 위치하도록 상기 웨이퍼 지지유닛들의 다른 한쪽 옆에 배치되며, 인쇄된 웨이퍼들을 이송시키는 웨이퍼 배출용 이송유닛; 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급용 이송유닛 사이에 설치되며, 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛으로 이송되는 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛에 올려놓는 로딩 유닛; 및 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 설치되며, 웨이퍼 지지유닛에서 인쇄된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛에 올려놓는 언로딩 유닛을 포함하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템이 제공된다.
상기 웨이퍼 지지유닛과 스크린 인쇄유닛으로 구성되는 어셈블리는 세 개인 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 지지유닛과, 상기 웨이퍼 지지유닛의 양쪽에 각각 위치하는 로딩 유닛과 언로딩 유닛은 직선으로 배열되는 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 지지유닛들 중 서로 인접한 두 개의 웨이퍼 지지유닛을 제1,2 웨이퍼 지지유닛이라 할 때, 상기 제1 웨이퍼 지지유닛의 양쪽에 위치하는 로딩 유닛과 언로딩 유닛으로 이루어지는 라인과 상기 제2 웨이퍼 지지유닛의 양쪽에 위치하는 로딩 유닛과 언로딩 유닛으로 이루어지는 라인은 서로 나란하게 위치하는 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 공급용 이송유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛은 각각 일렬로 배열된 복수 개의 단위 컨베이어들을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 단위 컨베이어는 서로 간격을 두고 위치하는 두 개의 롤러 축들과, 상기 롤러 축에 결합된 복수 개의 롤러들과, 한 개의 롤러 축에 결합된 롤러와 다른 한 개의 롤러 축에 결합된 롤러를 서로 연결하는 복수 개의 벨트들과, 상기 두 개의 롤러 축들 중 한 개의 롤러 축에 결합되는 회전 모터를 포함할 수 있다.
상기 단위 컨베이어는 웨이퍼의 유무를 감지하는 센서를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 로딩 유닛은 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급용 이송유닛 사이에 구비된 얼라인 유닛과, 상기 얼라인 유닛에 놓여진 웨이퍼와 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛을 통해 이송된 웨이퍼를 동시에 들어 상기 얼라인 유닛의 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛에 놓음과 동시에 웨이퍼 공급용 이송유닛의 웨이퍼를 상기 얼라인 유닛에 놓는 트랜스퍼를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 언로딩 유닛은, 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 구비된 얼라인 유닛과, 상기 얼라인 유닛에 놓여진 웨이퍼와 상기 웨이퍼 지지유닛에 놓인 웨이퍼를 동시에 들어 상기 얼라인 유닛의 웨이퍼를 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛에 놓음과 동시에 웨이퍼 지지유닛의 웨이퍼를 상기 얼라인 유닛에 놓는 트랜스퍼를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 트랜스퍼는 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급 이송유닛 사이에 설치되는 직선왕복 구동유닛과, 상기 직선왕복 구동유닛에 결합되어 직선 왕복 운동하는 상하 구동유닛과, 상기 상하 구동유닛에 결합되어 상하 운동하는 전달부재를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명은 웨이퍼 공급용 이송유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛이 서로 일정 간격을 두고 평행하게 배치되고, 웨이퍼 공급용 이송유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 복수 개의 웨이퍼 지지유닛들과 스크린 인쇄유닛들을 구비하게 되므로 웨이퍼 공급용 이송유닛을 통해 연속으로 이송되는 웨이퍼들을 복수 개의 웨이퍼 지지유닛들에 각각 연속적으로 공급하고 각 웨이퍼 지지유닛에서 동시에(또는 따로따로) 스크린 인쇄가 진행된다. 그리고 복수 개의 웨이퍼 지지유닛들에서 각각 스크린 인쇄를 마친 웨이퍼들은 웨이퍼 배출용 이송유닛에 연속적으로 전달되어 배출된다. 이와 같이, 복수 개의 웨이퍼 지지유닛들에 각각 연속적으로 웨이퍼가 공급되고 각 웨이퍼 지지유닛에 공급된 웨이퍼를 각 스크린 인쇄유닛이 인쇄한 다음 연속적으로 배출되므로 짧은 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 스크린 인쇄하게 되어 생산성을 높이게 된다.
또한, 본 발명은 웨이퍼 공급용 이송유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛이 서로 일정 간격을 두고 평행하게 배치되고, 웨이퍼 공급용 이송유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 복수 개의 웨이퍼 지지유닛들과 스크린 인쇄유닛들을 구비하게 되므로 시스템의 구성이 컴팩트하여 설치 공간을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예의 일부분을 도시한 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예의 일부분을 도시한 측면도,
도 4는 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 구성하는 웨이퍼 지지유닛의 실시예를 도시한 측면도,
도 5는 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 구성하는 웨이퍼 지지유닛의 실시예를 도시한 평단면도,
도 6은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 구성하는 단위 컨베이어를 도시한 평면도,
도 7은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 구성하는 단위 컨베이어의 다른 실시예를 도시한 평면도,
도 8, 9는 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 구성하는 트랜스퍼의 작동상태를 각각 도시한 평면도,
도 10, 11은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예에서 웨이퍼를 공급하는 상태를 각각 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예의 일부분을 도시한 평면도이다. 도 3은 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예의 일부분을 도시한 측면도이다.
도 1, 2, 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 일실시예는 외곽 프레임(F), 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3), 스크린 인쇄유닛들(B1)(B2)(B3), 웨이퍼 공급용 이송유닛(400), 웨이퍼 배출용 이송유닛(500), 로딩 유닛들(D1)(D2)(D3), 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)을 포함한다.
상기 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)은 서로 설정된 간격을 두고 위치한다. 상기 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)은 일렬로 배열되는 것이 바람직하다. 상기 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)은 두 개 또는 세 개일 수 있고, 또한 네 개 이상일 수 있다. 이하에서, 상기 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)이 세 개인 경우에 대하여 설명한다.
상기 웨이퍼 지지유닛(A)은 베이스 부재(110)와, 상기 베이스 부재(110)에 상하로 움직임 가능하게 결합되는 테이블(120)과, 상기 테이블(120)에 관통하도록 상기 베이스 부재(110)에 고정된 복수 개의 지지축들(130)과, 상기 테이블(120)을 상하로 움직이는 구동유닛(140)을 포함한다.
상기 테이블(120)은 균일한 두께와 면적을 갖는 지지판(121)과 상기 지지판(121)의 하부에 연결된 연결축(122)을 포함한다. 상기 지지판(121)은 균일한 두께는 갖는 사각판인 것이 바람직하다. 상기 사각판에 네 개의 관통 구멍들이 구비되며, 네 개의 관통 구멍들은 사각판의 모서리 부분에 각각 위치하는 것이 바람직하다. 상기 연결축(122)은 베이스 부재(110)를 관통하며 상기 구동유닛(140)에 연결된다. 상기 지지축들(130)은 상기 지지판(121)의 관통 구멍들에 각각 삽입되며 지지축들(130)의 각 한쪽 끝(하단)은 베이스 부재(110)에 고정된다. 상기 테이블(120)이 아래로 이동한 상태에서 상기 지지축들(130)의 상면에 웨이퍼가 놓여지며, 상기 테이블(120)이 위로 이동하면 지지축들(130)의 상면에 놓여진 웨이퍼가 테이블(120)의 지지판(121) 상면에 놓여진다. 또한, 상기 테이블(120)이 아래로 이동하면 테이블(120)의 지지판(121)에 놓여진 웨이퍼는 지지축들(130)의 상면에 놓여진다.
상기 지지축들(130)의 각 상면에 버큠 구멍(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 지지축들(130)의 각 상면에 버큠 구멍이 구비될 경우 지지축들(130)의 상면에 웨이퍼가 놓여진 상태에서 버큠 구멍에 버큠을 작용시켜 웨이퍼를 견고하게 고정시킬 수 있다. 한편, 상기 테이블(120)의 지지판(121)에 놓인 웨이퍼를 견고하게 고정하기 위해 지지판(121)의 상면에 버큠 구멍들이 구비될 수 있다.
한편, 상기 웨이퍼 지지유닛(A)은 테이블(120)에 놓인 웨이퍼의 위치를 감지할 수 있도록 카메라(미도시)를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 테이블(120)에 놓인 웨이퍼의 위치를 상기 카메라를 통해 제어유닛(미도시)에서 인식하여 웨이퍼가 설정된 인쇄 위치와 일치하지 않을 경우 웨이퍼의 위치를 설정된 인쇄 위치로 정렬하거나 상기 스크린 인쇄유닛(B)이 웨이퍼를 스크린 인쇄할 때 스크린 인쇄유닛(B)이 웨이퍼의 위치에 맞게 움직인 다음 스크린 인쇄유닛(B)이 웨이퍼를 스크린 인쇄하게 된다.
상기 테이블(120)에 놓인 웨이퍼를 설정된 인쇄 위치와 일치하도록 정렬하기 위한 웨이퍼 지지유닛(A)의 다른 실시예는, 도 4, 5에 도시한 바와 같이, 테이블 지지대(150)와, 상기 테이블 지지대(150)에 상하로 움직임 가능하게 결합되는 테이블(120)과, 상기 테이블(120)에 관통하도록 상기 테이블 지지대(150)에 고정된 복수 개의 지지축들(130)과, 상기 테이블 지지대(150)에 설치되어 테이블(120)을 상하로 움직이는 제1 구동유닛(130)과, 상기 테이블(120)에 놓인 웨이퍼를 수평방향으로 움직일 뿐만 아니라 회전시킬 수 있도록 테이블 지지대(150)를 움직이는 제2 구동유닛(160)을 포함한다.
상기 제2 구동유닛의 일예로, 상기 테이블 지지대(150)를 회전시키는 회전 구동유닛(N1)과, 상기 테이블 지지대(150)를 X축 방향(스크린 인쇄유닛이 움직이는 방향)으로 움직이는 X축 방향 구동유닛(N2)과, 상기 테이블 지지대(150)를 Y축 방향(스크린 인쇄유닛이 움직이는 방향의 수직 방향)으로 움직이는 Y축 방향 구동유닛(N3)을 포함한다. 상기 회전 구동유닛(N1)은 회전 모터를 포함한다. 상기 Y축 구동유닛(N3)은 베이스 블록(161)과 상기 베이스 블록(161)에 결합된 볼 스크류 어셈블리(163)와 상기 볼 스크류 어셈블리(163)를 회전시키는 모터(164)와 상기 베이스 블록(161)의 움직임을 안내하는 가이드 바(165)들을 포함한다. 상기 X축 구동유닛(N2)은 상기 베이스 블록(161)의 상면에 구비된 직선홈에 하부가 직선 움직임 가능하게 삽입되는 무빙 블록(166)과 상기 무빙 블록(166)을 움직이는 볼 스크류 어셈블리(167)와 상기 볼 스크류 어셈블리(167)를 회전시키는 모터(168)를 포함한다. 상기 회전 구동유닛(N1)은 상기 테이블 지지대(150)를 회전시킨다.
상기 스크린 인쇄유닛(B)은 상기 웨이퍼 지지유닛(A)의 테이블(120)에 놓여진 웨이퍼를 스크린 인쇄한다. 상기 스크린 인쇄유닛(B)은 웨이퍼 지지유닛(A)에 인접하게 구비된다. 상기 스크린 인쇄유닛(B)들의 수와 웨이퍼 지지유닛(A)들의 수는 같다.
상기 스크린 인쇄유닛(B)의 일예로, 상기 스크린 인쇄유닛(B)은 상기 테이블(120)의 양쪽에 위치하는 가이드 유닛(210)과, 상기 가이드 유닛에 직선 왕복 움직임 가능하게 결합되는 인쇄 헤드 어셈블리(220)와, 상기 인쇄 헤드 어셈블리(220)를 구동시키는 헤드 구동유닛(미도시)을 포함한다. 상기 가이드 유닛(210)은 상기 테이블(120)의 한쪽에 위치하는 제1 가이더(211)와, 상기 테이블(120)의 다른 한쪽에 위치하는 제2 가이드(212)를 포함한다. 상기 제1,2 가이더(211)(212)는 서로 평행하게 배치된다. 상기 인쇄 헤드 어셈블리(220)는 두 개의 인쇄 헤드를 포함하는 것이 바람직하며, 상기 인쇄 헤드는 양단부가 제1,2 가이더(211)(212)에 각각 움직임 가능하게 연결되는 헤드(221)와, 상기 헤드(221)에 연결되는 스퀴즈(222)와, 상기 스퀴즈(222)를 상하로 움직이는 스퀴즈 구동유닛(미도시)을 포함한다.
상기 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)의 한쪽 옆으로 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)이 위치하고, 상기 웨이퍼 지지유닛(A)의 다른 한쪽으로 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)이 위치한다. 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)과 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)은 서로 평행하게 위치하는 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)은 웨이퍼를 이송시킨다. 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)은 다수 개의 단위 컨베이어들을 포함한다.
상기 단위 컨베이어(C)의 일예로, 도 6에 도시한 바와 같이, 단위 컨베이어(C)는 서로 간격을 두고 위치하는 두 개의 롤러 축(310)들과, 상기 롤러 축(310)에 결합된 복수 개의 롤러(320)와, 한 개의 롤러 축(310)에 결합된 롤러(320)와 다른 한 개의 롤러 축(310)에 결합된 롤러(320)를 서로 연결하는 복수 개의 벨트(330)들과, 상기 두 개의 롤러 축(310)들 중 한 개의 롤러 축(310)에 결합되는 회전 모터(340)를 포함한다. 상기 단위 컨베이어(C)에 웨이퍼의 유무를 감지하는 한 개 또는 두 개의 센서(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 두 개의 롤러 축(310)들은 서로 평행하게 위치한다. 상기 벨트(330)들은 두 개인 것이 바람직하고, 서로 평행하다. 상기 두 개의 벨트(330)의 간격은 웨이퍼의 폭보다 작다. 상기 벨트(330)들은 롤러 축(310)과 직교한다.
상기 다수 개의 단위 컨베이어(C)들은 일렬로 배열된다. 서로 인접하는 두 개의 단위 컨베이어(C)들 설정된 간격을 갖는다.
상기 다수 개의 단위 컨베이어(C)들 중 유출쪽 끝부분에 위치하는 단위 컨베이어(C)는 다수 개의 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3) 중 한쪽 끝에 위치하는 웨이퍼 지지유닛(A)과 대응되게 위치한다. 즉, 일렬로 배열된 세 개의 웨이퍼 지지유닛(A)들을, 웨이퍼가 이송되는 방향을 기준으로 순서적으로, 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛(A1)(A2)(A3)이라 할 때 제3 웨이퍼 지지유닛(A3)과 유출쪽 끝부분에 위치하는 단위 컨베이어(C)와 서로 대면된다.
상기 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 각각 대응되는 단위 컨베이어(C)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 한 개의 벨트(330)만이 바깥쪽에 구비됨이 바람직하다. 한 개의 벨트(330)만이 구비되는 것은 후술될 트랜스퍼의 일부분이 위치할 수 있게 하기 위한 것이다.
상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)은 단위 컨베이어(C)들의 각 회전 모터(340)가 작동함에 따라 단위 컨베이어(C)들의 벨트(330)들이 회전하게 된다. 상기 벨트(330)들이 회전함에 따라 벨트(330)들에 놓여진 웨이퍼들은 벨트(330)들을 따라 이송된다. 그리고 단위 컨베이어(C)들 중 한 개 또는 두 개의 단위 컨베이어(C)의 회전 모터(340)를 정지시키게 되면 벨트(330)들을 따라 일렬로 이송되던 웨이퍼들 중 임의 웨이퍼(들)가 정지하여 웨이퍼의 간격이 벌어지게 된다.
상기 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)은 웨이퍼를 이송시킨다. 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)은 다수 개의 단위 컨베이어(C)들을 포함한다. 상기 단위 컨베이어(C)는 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)을 구성하는 단위 컨베이어(C)의 구성과 같다. 따라서, 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)의 단위 컨베이어(C)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)을 구성하는 다수 개의 단위 컨베이어(C)들은 일렬로 배열된다. 서로 인접하는 두 개의 단위 컨베이어(C)들은 설정된 간격을 갖는다.
상기 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)을 구성하는 다수 개의 단위 컨베이어(C)들 중 유입쪽 끝부분에 위치하는 단위 컨베이어(C)는 제1 웨이퍼 지지유닛(A1)과 서로 대응된다.
상기 웨이퍼 지지유닛(A)과 웨이퍼 공급용 이송유닛(300) 사이에 상기 로딩 유닛(D)이 위치한다. 상기 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 각각 대응되게 제1,2,3 로딩 유닛들(D1)(D2)(D3)이 구비된다. 상기 제1,2,3 로딩 유닛들(D1)(D2)(D3)들은 각각 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)으로 이송되는 웨이퍼를 들어올려 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 각각 올려놓는다. 상기 로딩 유닛(D)은 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛(A)에 올려놓기 전에 웨이퍼의 위치를 정렬한 다음 웨이퍼 지지유닛(A)에 올려놓는다.
상기 로딩 유닛(D)의 일예로, 상기 로딩 유닛(D)은 상기 웨이퍼 지지유닛(A)과 웨이퍼 공급용 이송유닛(300) 사이에 구비된 얼라인 유닛(510)과, 웨이퍼를 전달하는 트랜스퍼(520)를 포함한다.
상기 얼라인 유닛(510)은 제1 얼라인 부재(511)와, 상기 제1 얼라인 부재(511)와 일정 간격을 두고 위치하는 제2 얼라인 부재(512)를 포함한다. 상기 제1 얼라인 부재(512)의 상면에 웨이퍼의 한쪽 부분이 삽입되는 얼라인 홈(513)이 구비되고, 상기 제2 얼라인 부재(512)의 상면에 상기 웨이퍼의 다른 한쪽 부분이 삽입되는 얼라인 홈(514)이 구비된다. 상기 제1 얼라인 부재(511)의 얼라인 홈(513)과 제2 얼라인 부재(512)의 얼라인 홈(514)에 웨이퍼가 놓여진다. 이때, 상기 웨이퍼의 양쪽 부분이 각각 제1 얼라인 부재(511)의 얼라인 홈(513)과 제2 얼라인 부재(512)의 얼라인 홈(514)에 삽입되면서 웨이퍼가 얼라인된다. 상기 얼라인 홈(513)(514)의 내측 테두리는 모따기됨이 바람직하다.
한편, 상기 제1,2 얼라인 부재들(511)(512)에 구동 유닛(미도시)을 연결하여 제1,2 얼라인 부재들(511)(512)의 간격을 서로 벌리거나 좁힐 수도 있다. 상기 구동 유닛을 이용하여 제1,2 얼라인 부재들(511)(512)의 간격을 서로 벌린 상태에서 제1,2 얼라인 부재(511)(512)들의 얼라인 홈(513)(514)에 웨이퍼를 놓은 다음 제1,2 얼라인 부재들(511)(512)의 간격을 서로 좁혀 웨이퍼를 얼라인시킨다.
상기 트랜스퍼(520)는 상기 웨이퍼 지지유닛(A)과 웨이퍼 공급용 이송유닛(300) 사이에 설치되는 직선왕복 구동유닛(521)과, 상기 직선왕복 구동유닛(521)에 결합되어 직선 왕복 운동하는 상하 구동유닛(522)과, 상기 상하 구동유닛(522)에 결합되어 상하 운동하는 전달부재(523)를 포함한다. 상기 직선왕복 구동유닛(521)은 상기 얼라인 유닛(510)의 제1,2 얼라인 부재들(511)(512) 사이에 위치하는 것이 바람직하다. 상기 직선왕복 구동유닛(521)이 상기 상하 구동유닛(522)을 직선 왕복 운동시킴에 따라 그 상하 구동유닛(522)에 연결된 전달부재(523)가 직선 왕복 운동한다. 상기 직선왕복 구동유닛(521)은 상기 웨이퍼 지지유닛(A)쪽과 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)쪽으로 상기 전달부재(523)를 직선 왕복 운동시킨다. 상기 전달부재(523)는 균일한 폭과 길이를 가진다. 상기 전달부재(523)의 하면 중간 부분에 상기 상하 구동유닛(522)이 연결된다. 상기 전달부재(523)의 상면에 버큠이 작용하는 버큠홀(미도시)들이 구비됨이 바람직하다.
상기 직선왕복 구동유닛(521)이, 도 8에 도시한 바와 같이, 전달부재(523)를 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)쪽으로 충분히 이동시켰을 때 상기 전달부재(523)의 위로 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)에 위치한 웨이퍼와 얼라인 유닛(510)에 위치한 웨이퍼가 위치하게 된다(이하, 공급 제1 위치라고 함). 그리고 상기 직선왕복 구동유닛(521)이, 도 9에 도시한 바와 같이, 전달부재(523)을 웨이퍼 지지유닛(A)쪽으로 충분히 이동시켰을 때 전달부재(523)의 위로 웨이퍼 지지유닛(A)에 놓여진 웨이퍼와 얼라인 유닛(510)에 놓여진 웨이퍼가 위치하게 된다(이하, 공급 제2 위치라고 함). 상기 전달부재(523)가 공급 제1 위치로 이동했을 때 전달부재(523)의 한쪽 부분이 단위 컨베이어(C)에 삽입된다.
상기 로딩 유닛(D)의 작동은 다음과 같다.
먼저, 직선왕복 구동유닛(521)이 전달부재(523)를 공급 제1 위치에 이동시킨다. 상하 구동유닛(522)이 전달부재(523)를 위로 움직여 전달부재(523)가 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)에 놓여진 웨이퍼를 들어올린다. 이때, 웨이퍼는 전달부재(523)의 한쪽 부분에 놓여진다. 직선왕복 구동유닛(521)이 전달부재(523)를 공급 제2 위치로 이동시킨다. 상하 구동유닛(522)이 전달부재(523)를 아래로 움직여 전달부재(523)에 놓여진 웨이퍼가 얼라인 유닛(510)에 놓여진다.
직선왕복 구동유닛(521)이 전달부재(523)를 다시 공급 제1 위치로 이동시킨다. 이때, 전달부재(523)의 한쪽 위에 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)을 통해 이송된 웨이퍼가 위치하고, 전달부재(523)의 다른 한쪽 위에 얼라인 유닛(510)에 놓여진 웨이퍼가 위치한다. 상하 구동유닛(522)이 전달부재(523)를 위로 움직여 전달부재(523)가 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)에 놓여진 웨이퍼와 얼라인 유닛(510)에 놓여진 웨이퍼를 들어올린다. 직선왕복 구동유닛(521)이 전달부재(523)를 공급 제2 위치로 이동시킨다. 상하 구동유닛(522)이 전달부재(523)를 아래로 움직여 전달부재(523)에 놓여진 한 개의 웨이퍼는 웨이퍼 지지유닛(A)에 놓여지고 다른 한 개는 얼라인 유닛(510)에 놓여진다.
직선왕복 구동유닛(521)이 전달부재(523)를 다시 공급 제1 위치로 이동시킨다. 그리고 이어지는 작동이 위와 같이 반복되면서 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)을 통해 이송되는 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛(A)에 올려놓는다.
상기 웨이퍼 지지유닛(A)과 웨이퍼 배출용 이송유닛(400) 사이에 상기 언로딩 유닛(E)이 구비된다.
상기 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 각각 대응되게 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)이 구비된다. 상기 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)들은 각각 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 놓인 웨이퍼를 들어올려 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 올려놓는다. 상기 언로딩 유닛(E)은 웨이퍼를 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 올려놓기 전에 웨이퍼의 위치를 정렬한 다음 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 올려놓는다.
상기 언로딩 유닛(E)의 일예로, 상기 언로딩 유닛(E)은 상기 웨이퍼 지지유닛(A)과 웨이퍼 배출용 이송유닛(400) 사이에 구비된 얼라인 유닛(610)과, 웨이퍼를 전달하는 트랜스퍼(620)를 포함한다.
상기 언로딩 유닛(E)을 구성하는 얼라인 유닛(610)은 상기 로딩 유닛의 얼라인 유닛(510)과 같고, 상기 언로딩 유닛(E)을 구성하는 트랜스퍼(620)는 상기 로딩 유닛의 트랜스퍼(620)와 같다. 따라서, 언로딩 유닛(E)의 얼라인 유닛(510)과 트랜스퍼(520)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 언로딩 유닛(E)에서, 직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)를 웨이퍼 지지유닛(A)쪽으로 충분히 이동시켰을 때 전달부재(623)의 위로 웨이퍼 지지유닛(A)에 놓여진 웨이퍼와 얼라인 유닛(610)에 놓여진 웨이퍼가 위치하게 된다(이하, 배출 제1 위치라고 함). 상기 직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)을 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)쪽으로 충분히 이동시켰을 때 상기 전달부재(623)의 위로 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 위치한 웨이퍼와 얼라인 유닛(610)에 위치한 웨이퍼가 위치하게 된다(이하, 배출 제2 위치라고 함).
상기 언로딩 유닛(E)의 작동은 다음과 같다.
먼저, 직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)를 배출 제1 위치에 이동시킨다. 상하 구동유닛(622)이 전달부재(623)를 위로 움직여 전달부재(623)가 웨이퍼 지지유닛(A)에 놓여진 웨이퍼를 들어올린다. 이때, 웨이퍼는 전달부재(623)의 한쪽 부분에 놓여진다. 직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)를 배출 제2 위치로 이동시킨다. 상하 구동유닛(622)이 전달부재(623)를 아래로 움직여 전달부재(623)에 놓여진 웨이퍼가 얼라인 유닛(610)에 놓여진다.
직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)를 다시 배출 제1 위치로 이동시킨다. 이때, 전달부재(623)의 한쪽 위에 웨이퍼 지지유닛(A)에 놓여진 웨이퍼가 위치하고, 전달부재(623)의 다른 한쪽 위에 얼라인 유닛(610)에 놓여진 웨이퍼가 위치한다. 상하 구동유닛(622)이 전달부재(623)를 위로 움직여 전달부재(623)가 웨이퍼 지지유닛(A)에 놓여진 웨이퍼와 얼라인 유닛(610)에 놓여진 웨이퍼를 들어올린다. 직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)를 배출 제2 위치로 이동시킨다. 상하 구동유닛(622)이 전달부재(623)를 아래로 움직여 전달부재(623)에 놓여진 한 개의 웨이퍼는 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 놓여지고 다른 한 개는 얼라인 유닛(610)에 놓여진다.
직선왕복 구동유닛(621)이 전달부재(623)를 다시 배출 제1 위치로 이동시킨다. 그리고 이어지는 작동이 위와 같이 반복되면서 웨이퍼 지지유닛(A)에서 스크린 인쇄를 마친 웨이퍼를 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 올려놓는다.
상기 로딩 유닛(D), 웨이퍼 지지유닛(A), 그리고 언로딩 유닛(E)은 일렬로 배열되는 것이 바람직하다.
또한, 제1 웨이퍼 지지유닛(A1), 제1 로딩 유닛(D1), 제1 언로딩 유닛(E)으로 구성되는 열(라인)과, 상기 제2 웨이퍼 지지유닛(A2), 제2 로딩 유닛(D2), 제2 언로딩 유닛(E2)으로 구성되는 열(라인)은 서로 평행한 것이 바람직하다. 이와 같이, 웨이퍼 지지유닛(A)과 상기 웨이퍼 지지유닛(A)의 양쪽에 위치한 로딩 유닛(D)과 언로딩 유닛(E)으로 구성되는 열(라인)은 상기 웨이퍼 지지유닛(A)과 인접한 웨이퍼 지지유닛(A)의 양쪽에 위치한 로딩 유닛(D)과 언로딩 유닛(E)으로 구성되는 열(라인)은 서로 평행한 것이 바람직하다.
한편, 상기 웨이퍼 지지유닛(A)이 두 개일 경우 제1 웨이퍼 지지유닛(A1)과 제2 웨이퍼 지지유닛(A2)만이 구비되고 제3 웨이퍼 지지유닛(A3)은 배제된다. 또한, 상기 웨이퍼 지지유닛(A)이 네 개일 경우 세 개의 웨이퍼 지지유닛들에 웨이퍼 지지유닛(A)이 한 개 더 구비된다.
상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300) 옆에 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)으로 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 공급유닛(미도시)이 구비된다. 그리고 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 옆에 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)을 통해 배출되는 웨이퍼를 건조시키는 건조 유닛(미도시)이 구비된다.
이하, 본 발명에 따른 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템의 작동과 효과를 설명하면 다음과 같다.
웨이퍼 공급유닛을 통해 웨이퍼들이 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)에 연속적으로 공급되며, 그 웨이퍼들은 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)의 단위 컨베이어(C)들을 따라 이송된다. 단위 컨베이어(C)들에 웨이퍼들이 서로 일정 간격을 두고 모두 채워지면 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3) 옆에 각각 위치한 제1,2,3 로딩 유닛(D1)(D2)(D3)의 각 트랜스퍼(520)가 웨이퍼를 들어 얼라인 유닛(510)에 놓는다. 이와 동시에, 웨이퍼 공급용 이송유닛의 단위 컨베이어들이 선택적으로 움직여 웨이퍼가 빠져나간 빈자리에 웨이퍼들을 이동시켜 빈자리에 웨이퍼가 각각 채워진다.
보다 상세하게 설명하면, 도 10에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)에 웨이퍼가 모두 채워진 상태에서 각 웨이퍼가 위치하는 영역들을 제3 웨이퍼 지지유닛(A3)에 대면되는 위치부터 순서적으로 제R1,R2,R3,R4,R5,R6,R7,R8,R9,R10 영역이라 한다. 제2 웨이퍼 지지유닛(A2)에 대면되는 위치는 제R4 영역이 되고, 제1 웨이퍼 지지유닛(A1)에 대면되는 위치는 제R7 영역이 된다. 이와 같은 상태에서, 제1,2,3 로딩 유닛의 각 트랜스퍼(520)이 각각 제R1,R4,R7 영역에 있는 웨이퍼(W1)(W4)(W7)를 제1,2,3 로딩 유닛의 각 얼라인 유닛(510)에 올려놓게 되면, 도 11에 도시한 바와 같이, 제R2,R3 영역에 각각 있는 웨이퍼(W2)(W3)가 한 개 영역씩 전진하여 제1R 영역과 제2R 영역에 위치하게 된다. 그리고 제R5,R6 영역에 각각 있는 웨이퍼(W5)(W6)가 두 개 영역을 연속적으로 이동하여 제R3 영역과 제R4 영역에 위치하게 된다. 그리고 제R8,R9,R10 영역에 각각 있는 웨이퍼(W8)(W9)(W10)가 세 개 영역을 연속적으로 이동하여 제R5 영역, 제R6 영역, 제R7 영역에 위치하게 된다. 그리고 웨이퍼 공급유닛에서 제R8,R9,R10 영역에 웨이퍼를 각각 이송시킨다.
위와 같은 작동으로, 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)을 구성하는 다수 개의 단위 컨베이어(C)들에 웨이퍼가 모두 채워진 상태에서 제1,2,3 로딩 유닛들의 각 트랜스퍼(520)는 제R1,R4,R7 영역들에 놓인 웨이퍼(W2)(W6)(W10)와 얼라인 유닛(510)들에 놓여진 웨이퍼(W1)(W4)(W7)를 들어올려 얼라인 유닛(510)들에 위치했던 웨이퍼(W1)(W4)(W7)를 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)의 지지축들(130) 상면에 올려놓고 제R1,R4,R7 영역들에 위치했던 웨이퍼(W2)(W6)(W10)를 제1,2,3 로딩 유닛들의 각 얼라인 유닛(510)들에 올려놓는다.
제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)의 각 지지축(130)들 상면에 웨이퍼가 놓여지면 각 테이블(120)이 위로 이동하여 웨이퍼를 지지하게 된다. 웨이퍼가 테이블(120)의 지지판(121)에 놓여진 상태에서 각 스크린 인쇄유닛(B)이 테이블(120)의 지지판(121)에 놓인 웨이퍼를 스크린 인쇄하게 된다.
각 스크린 인쇄유닛(B)이 웨이퍼를 스크린 인쇄한 후 테이블(120)이 아래로 이동하면서 인쇄된 웨이퍼를 지지축(130)들 상면에 올려놓는다. 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)의 각 트랜스퍼(620)가 인쇄된 웨이퍼(W1)(W4)(W7)를 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)의 각 얼라인 유닛(610)들에 각각 올려놓는다.
제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)의 각 트랜스퍼(620)가 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에서 뒤이어 각각 인쇄된 다른 웨이퍼(W2)(W6)(W10)와 상기 얼라인 유닛(610)들에 놓인 인쇄된 웨이퍼(W1)(W4)(W7)를 함께 들어올려 얼라인 유닛(610)에 위치했던 웨이퍼(W1)(W4)(W7)는 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 올려놓고 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)의 각 지지축들(130)에 놓였던 웨이퍼(W2)(W6)(W10)는 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)의 각 얼라인 유닛(610)에 올려놓는다. 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 놓여진 웨이퍼(W1)(W4)(W7)는 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 의해 건조 유닛쪽으로 배출된다.
제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 각각 웨이퍼가 놓여지고 그 놓여진 웨이퍼를 각 스크린 인쇄 유닛이 인쇄하는 동작은 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)들에서 동시에 진행될 수 있고, 또한 따로따로 진행될 수 있다.
웨이퍼 배출용 이송유닛(400)을 구성하는 다수 개의 단위 컨베이어(C)들에 놓여져 웨이퍼들이 건조 유닛쪽으로 이송되는 중에 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)의 각 트랜스퍼(620)가 제1,2,3 언로딩 유닛들(E1)(E2)(E3)의 각 얼라인 유닛(610)에 놓인 다른 웨이퍼를 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 올려놓을 때 다른 웨이퍼가 놓여질 영역에 웨이퍼가 존재하면 그 영역에 있는 웨이퍼를 앞으로 이송시키고 뒤에 이어져 있는 웨이퍼의 이송을 정지시켜 다른 웨이퍼가 놓일 영역을 확보하게 된다. 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)은 다수 개의 단위 컨베이어(C)들을 포함하고 있으므로 이송되는 웨이퍼들의 간격 조절이 가능하게 된다.
본 발명은 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)과 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)이 서로 일정 간격을 두고 평행하게 배치되고, 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)과 웨이퍼 배출용 이송유닛(400) 사이에 복수 개의 웨이퍼 지지유닛(A)들과 스크린 인쇄유닛(B)들을 구비하게 되므로 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)을 통해 연속으로 이송되는 웨이퍼들을 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛들(A1)(A2)(A3)에 각각 연속적으로 공급하고 각 웨이퍼 지지유닛(A)들에서 동시에 스크린 인쇄가 진행된다. 그리고 제1,2,3 웨이퍼 지지유닛(A)들에서 각각 스크린 인쇄를 마친 웨이퍼들은 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)에 연속적으로 전달되어 배출된다.
이와 같이, 본 발명은 복수 개의 웨이퍼 지지유닛(A)들에 각각 연속적으로 웨이퍼가 공급되고 각 웨이퍼 지지유닛(A)에 공급된 웨이퍼를 각 스크린 인쇄유닛(B)이 인쇄한 다음 연속적으로 배출되므로 짧은 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 스크린 인쇄하게 되어 생산성을 높이게 된다.
또한, 본 발명은 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)과 웨이퍼 배출용 이송유닛(400)이 서로 일정 간격을 두고 평행하게 배치되고, 웨이퍼 공급용 이송유닛(300)과 웨이퍼 배출용 이송유닛(400) 사이에 복수 개의 웨이퍼 지지유닛(A)들과 스크린 인쇄유닛(B)들을 구비하게 되므로 시스템의 구성이 컴팩트하여 설치 공간을 줄일 수 있다.
A; 웨이퍼 지지유닛 B; 스크린 인쇄유닛
C; 단위 컨베이어 D; 로딩 유닛
E; 언로딩 유닛 300; 웨이퍼 공급용 이송유닛
400; 웨이퍼 배출용 이송유닛 510,610; 얼라인 유닛
520,620; 트랜스퍼

Claims (10)

  1. 서로 설정된 간격을 두고 배치되는 웨이퍼 지지유닛들;
    상기 웨이퍼 지지유닛들에 각각 인접하게 설치되며, 상기 웨이퍼 지지유닛에 지지되는 웨이퍼를 인쇄하는 스크린 인쇄유닛;
    상기 웨이퍼 지지유닛들의 한쪽 옆에 배치되며, 웨이퍼들을 이송시키는 웨이퍼 공급용 이송유닛;
    상기 웨이퍼 공급용 이송유닛과 나란하게 위치하도록 상기 웨이퍼 지지유닛들의 다른 한쪽 옆에 배치되며, 인쇄된 웨이퍼들을 이송시키는 웨이퍼 배출용 이송유닛;
    상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급용 이송유닛 사이에 설치되며, 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛으로 이송되는 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛에 올려놓는 로딩 유닛;
    상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 설치되며, 웨이퍼 지지유닛에서 인쇄된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛에 올려놓는 언로딩 유닛을 포함하며,
    상기 로딩 유닛은
    상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급용 이송유닛 사이에 구비된 얼라인 유닛과, 상기 얼라인 유닛에 놓여진 웨이퍼와 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛을 통해 이송된 웨이퍼를 동시에 들어 상기 얼라인 유닛의 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛에 놓음과 동시에 웨이퍼 공급용 이송유닛의 웨이퍼를 상기 얼라인 유닛에 놓는 트랜스퍼를 포함하며,
    상기 트랜스퍼는 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 공급 이송유닛 사이에 설치되는 직선왕복 구동유닛과, 상기 직선왕복 구동유닛에 결합되어 직선 왕복 운동하는 상하 구동유닛과, 상기 상하 구동유닛에 결합되어 상하 운동하는 전달부재를 포함하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지유닛과 스크린 인쇄유닛으로 구성되는 어셈블리는 두 개 이상인 것을 특징을 하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지유닛과, 상기 웨이퍼 지지유닛의 양쪽에 각각 위치하는 로딩 유닛과 언로딩 유닛은 직선으로 배열된 것을 특징으로 하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지유닛들 중 서로 인접한 두 개의 웨이퍼 지지유닛을 제1,2 웨이퍼 지지유닛이라 할 때, 상기 제1 웨이퍼 지지유닛의 양쪽에 위치하는 로딩 유닛과 언로딩 유닛으로 이루어지는 라인과 상기 제2 웨이퍼 지지유닛의 양쪽에 위치하는 로딩 유닛과 언로딩 유닛으로 이루어지는 라인은 서로 나란하게 위치하는 것을 특징으로 하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 공급용 이송유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛은 각각 일렬로 배열된 복수 개의 단위 컨베이어들을 포함하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 단위 컨베이어는 서로 간격을 두고 위치하는 두 개의 롤러 축들과, 상기 롤러 축에 결합된 복수 개의 롤러들과, 한 개의 롤러 축에 결합된 롤러와 다른 한 개의 롤러 축에 결합된 롤러를 서로 연결하는 복수 개의 벨트들과, 상기 두 개의 롤러 축들 중 한 개의 롤러 축에 결합되는 회전 모터를 포함하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 단위 컨베이어는 웨이퍼의 유무를 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 언로딩 유닛은, 상기 웨이퍼 지지유닛과 웨이퍼 배출용 이송유닛 사이에 구비된 얼라인 유닛과, 상기 얼라인 유닛에 놓여진 웨이퍼와 상기 웨이퍼 지지유닛에 놓인 웨이퍼를 동시에 들어 상기 얼라인 유닛의 웨이퍼를 상기 웨이퍼 배출용 이송유닛에 놓음과 동시에 웨이퍼 지지유닛의 웨이퍼를 상기 얼라인 유닛에 놓는 트랜스퍼를 포함하는 솔라셀용 웨이퍼 스크린 인쇄시스템.
  10. 삭제
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