KR100715469B1 - 테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 하방향에 위치한 고객트레이를 파지한 상태에서, 다시 하방향에 위치한 또 다른 고객트레이를 파지 또는 파지 해제할 수 있도록 하여 테스트핸들러의 로딩 또는 언로딩장치의 가동률을 향상시킴으로써 처리속도를 향상시킬 수 있는 테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드에 관한 기술이 개시된다.

테스트핸들러, 반도체소자, 트랜스퍼, 트랜스퍼 헤드, 고객트레이, 유저트레이

Description

테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드{TRANSFER HEAD OF TEST HANDLER}

도1은 본 발명의 실시예에 따른 트랜스퍼 헤드에 대한 부분 분해사시도이다.

도2a 및 도2b는 도1의 트랜스퍼 헤드에 구성되는 제1 및 제2그리퍼의 결합관계를 보여주는 단면도이다.

도3 및 도4는 도1의 트랜스퍼 헤드의 제1파지장치에 대한 작동상태를 설명하기 위한 평면도이다.

도5 및 도6은 도1의 트랜스퍼 헤드의 제2파지장치에 대한 작동상태를 설명하기 위한 평면도이다.

도7a는 도1의 트랜스퍼 헤드가 하나의 고객트레이를 파지하고 있는 상태를 표현한 정면도이다.

도7b는 도1의 트랜스퍼 헤드가 두개의 고객트레이를 파지하고 있는 상태를 표현한 정면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100 : 트랜스퍼 헤드 110 : 제1파지장치

111 : 제1그리퍼 112 : 제1실린더

113a : 제1안내레일 113b : 제1레일결합블록

113c-L, 113c-R : 제1직선이동부재

113d-L, 113d-R : 제1회전링크

120 : 제2파지장치 121 : 제2그리퍼

122 : 제2실린더 123a : 제2안내레일

123b : 제2레일결합블록

123c-L, 123c-R : 제2직선이동부재

123d-L, 123d-R : 제2회전링크

124 : 지지판 130 : 설치판

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로 더욱 상세하게는 테스트핸들러에 구비되는 트랜스퍼의 헤드에 관한 것이다.

일반적으로 테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자를 테스터에 의해 테스트할 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기로서 이미 대한민국 공개특허공보 공개번호 특2003-0029266호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

그러한 종래기술에 따른 테스트핸들러는 로딩 셋플레이트(set plate) 및 언로딩 셋플레이트의 하측에 구비된 스택커(stacker)에 적재되어 있는 고객 트레이를 파지한 후 이동하여 로딩 셋플레이트 또는 언로딩 셋플레이트로 이송시키거나, 로딩 셋플레이트 또는 언로딩 셋플레이트에 위치한 고객 트레이를 파지한 후 이동하여 스택커에 적재시키는 등 이송대기상태에 있는 고객 트레이를 이송위치로 이송시키기 위한 2개의 트랜스퍼를 구비한다. 즉, 테스트핸들러는 로딩 셋플레이트 상에 있는 고객트레이의 미테스트된 반도체소자를 테스트트레이로 로딩시킨 후, 일정한 순환경로(소크챔버->테스트챔버->디소크챔버)를 순환함으로써 테스터에 의한 테스트를 지원한 다음, 테스트 완료된 반도체소자를 테스트트레이로부터 언로딩 셋플레이트 상에 위치한 빈 고객트레이로 언로딩시키는 작업을 수행한다. 이 때, 트랜스퍼는, 미테스트된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 로딩 셋플레이트 상에 위치시키거나 로딩 셋플레이트 상에 위치된 빈 고객트레이를 빈 고객트레이를 수납하기 위해 마련되는 스택커에 적재(또는 로딩 셋플레이트 상에 위치된 빈 고객트레이를 언로딩 셋플레이트 상에 위치)시키며, 언로딩 셋플레이트 상에 위치된 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 수납하기 위해 마련되는 스택커에 적재시키거나 상기한 빈 고객트레이를 수납하기 위해 마련되는 스택커로부터 빈 고객트레이를 파지하여 언로딩 셋플레이트 상에 위치시키는 동작을 수행하고, 경우에 따라서는 스택커에서 다른 스택커로 고객트레이를 이송시키는 동작을 수행함으로써, 궁극적으로 로딩 또는 언로딩장치가 적절히 로딩 또는 언로딩 작업을 수행할 수 있도록 지원한다.

그러한 종래의 트랜스퍼에 관하여는 대한민국 공개특허공보 공개번호 10-2004-0105127호(발명의 명칭 : 트레이 트랜스퍼 유닛 및 그를 포함하는 자동 테스 트 핸들러, 이하 '인용기술1'이라 함), 대한민국 공개실용신안공보 공개번호 실1998-047508호(고안의 명칭 : 반도체 소자검사기용 트랜스퍼의 충돌방지장치, 이하 '인용기술2'라 함), 실1998-062567호(고안의 명칭 : 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치, 이하 '인용기술3'이라 함) 등과 같은 공개문서들을 통해 비교적 상세히 소개되어 있다.

인용기술1 내지 3들에서 설명되는 바와 같이, 한 쌍의 트랜스퍼는 각각 고객트레이를 파지 또는 파지 해제할 수 있는 트랜스퍼 헤드(인용기술3에서 정의된 명칭을 따름) 및 트랜스퍼 헤드를 상하방향으로 수직 이동시키기 위한 수직이동장치를 가지고 있으며, 이렇게 구성되는 한 쌍의 트랜스퍼는 수평이동장치에 의해 함께 수평 이동할 수 있도록 구비된다.

위와 같은 트랜스퍼는 수평이동장치에 의해 수평이동된 후, 각각의 트랜스퍼 헤드를 상하방향으로 수직이동시킨 다음 고객트레이를 파지하거나 파지 해제하는 동작을 수행하는데, 이러한 동작을 수행함으로써, 로딩작업의 완료에 의해 로딩 셋플레이트에 위치한 고객트레이가 비워지게 되면(로딩 셋플레이트 측 이벤트 발생) 해당 빈 고객트레이를 빈 고객트레이를 수납하기 위해 마련되는 스택커로 적재(또는 로딩 셋플레이트에 위치한 빈 고객트레이를 언로딩 셋플레이트 측에 위치)시킨 후, 미테스트된 반도체소자가 채워진 고객트레이를 로딩 셋플레이트로 위치시키며, 언로딩 셋플레이트에 위치한 고객트레이가 언로딩작업의 완료에 의해 테스트 완료된 반도체소자로 채워지면(언로딩 셋플레이트 측 이벤트 발생) 테스트 완료된 반도체소자가 채워진 고객트레이를 테스트 완료된 반도체소자를 수납하기 위해 마련되 는 스택커에 적재시킨 후 빈 고객트레이를 언로딩 셋플레이트에 위치시킬 수 있게 되는 것이다.

위와 같은 종래의 테스트핸들러에는 처리속도를 향상시키기 위하여 상기한 바와 같이 2개의 트랜스퍼를 구비시키는데, 인용기술들에는 수직이동에 있어서는 독립적이나 수평이동에 있어서는 비독립적인 한 쌍의 트랜스퍼에 관한 기술이 개시되어 있다. 그런데 이러한 기술에 의하면 한 쌍의 트랜스퍼가 함께 수평이동을 하여야 하기 때문에 로딩 셋플레이트 측과 언로딩 셋플레이트 측에서 동시에 이벤트가 발생한 경우에 대응능력이 떨어져 처리속도가 느려지는 등의 문제점이 있어왔다.

그리고 대한민국 공개특허공보 공개번호 특1999-0083190호(발명의 명칭 : 트레이 이송 암 및 이를 사용한 트레이의 이재 장치, 집적 회로 시험 장치 및 트레이의 처리 방법, 이하 '인용기술4'라 함)에는 하나의 트랜스퍼(인용기술4에는 트레이 이송 암-부호 205-으로 정의 됨)에 2개의 파지장치{인용기술4에는 상측의 트레이 수납부(205a) 및 하측의 트레이 수납부(부호 205b)로 정의 됨, 이하 인용기술4에 대한 설명에서는 상측의 트레이 수납부 및 하측의 트레이 수납부로 표현함}를 구비시키는 기술이 개시되어 있다. 이 기술에 의하면 상측의 트레이 수납부는 상방향에 위치한 고객트레이(인용기술4에는 커스터머 트레이로 정의됨)를 파지할 수 있으며, 하측의 트레이 수납부는 하방향에 위치한 고객트레이를 파지할 수 있도록 되어 있되, 상측의 트레이 수납부와 하측의 트레이 수납부는 상호 선택적으로 고객트레이를 파지할 수 있도록 되어 있다. 예를 들어 언로딩 셋플레이트 측에서 이벤트가 발 생하면, 인용기술4의 도면 11 내지 20에서와 같은 순서에 의해 상측 또는 하측의 트레이 수납부가 상호 선택적으로 고객트레이를 파지하면서 언로딩 셋플레이트 측에서 발생되는 이벤트에 대응하여 공정이 이루어졌던 것이다. 그러나 이러한 인용기술4에 의하면 고객트레이를 로딩 또는 언로딩 셋플레이트 상에 위치시키거나 제거시키는 공정을 수행하기 위하여 트레이 설치 장치(인용기술4에 부호 206으로 구분됨), 트레이 설치 장치의 유지용 훅(인용기술4에 부호 206a로 구분됨), 창부(인용기술4에 부호 406으로 구분됨)의 유지용 훅(인용기술4에 부호 406a로 구분됨), 승강기(인용기술4에 부호 204로 구분됨) 등을 더 구비시켜야 함에 따라 장치가 복잡해지고 생산단가가 상승하며, 각 장치가 유기적으로 연결되어 동작되는 데 걸리는 시간이 증가하여 테스트핸들러의 전체 공정시간이 길어지는 문제점을 가지고 있다. 또한, 인용기술4에 의하면, 하나의 트랜스퍼에 2개의 트레이 수납부를 구비시키고는 있지만 각 트레이 수납부가 모두 고객트레이를 파지하고 있는 상태에서 다음 공정을 위해 수평이동될 수는 없다. 즉, 예를 들어, 어느 일측의 트레이 수납부가 고객트레이를 파지한 상태에서 다른 일측 트레이도 고객트레이를 파지함으로써 동시에 파지상태를 유지한 상태로 다음 공정을 수행하기가 불가능한 것이다. 따라서 인용기술4를 실제 테스트핸들러에 적용시킨다는 것은 여러 가지 문제로 인하여 의심의 여지가 있고, 오히려 인용기술 1 내지 3에서와 같이 트랜스퍼에 의해 고객트레이를 로딩 및 언로딩 셋플레이트에 위치시키거나 제거시키도록 하는 기술이 널리 보급되어 있는 실정이다.

한편, 반도체소자의 수요는 지속적으로 증가하고 있으며, 이에 발맞춰 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수가 늘어나면서 테스트핸들러의 처리속도 향상은 큰 문제로 대두되고 있는 실정이다.

따라서 처리속도의 향상을 위해 상기한 인용기술들에서 발생하는 문제점들을 해결할 목적으로 본 발명의 출원인은 대한민국 특허출원 출원번호 10-2005-0075534호(발명의 명칭 : 테스트핸들러, 이하 '인용기술5'라 함)에 따른 발명을 제안한 바 있다. 인용기술5에 따르면, 로딩 또는 언로딩 셋플레이트에 고객트레이를 위치시키거나 제거시키기 위한 복수의 트랜스퍼를 구비시키되, 트랜스퍼 헤드가 독립적으로 수직 이동할 수 있음은 물론이고 복수의 트랜스퍼 각각이 정해진 구간에서 독립적으로 수평 이동할 수 있도록 하여 상호간의 이동간섭을 배제시키면서도 이벤트 발생에 대비하여 대기상태를 유지할 수 있도록 함으로써 처리속도를 향상시키도록 하고 있다.

그러나 인용기술5에도 불구하고 반도체소자 수요의 지속적인 증가에 따라 테스트핸들러에서 단위 시간 당 더 많은 반도체소자의 테스트가 테스터에 의해 이루어지도록 지원할 것이 요구되고 있으며, 이러한 요구는 로딩 또는 언로딩장치에 의한 로딩 작업 또는 언로딩 작업이 가급적 시간의 손실없이 지속적이면서 원활히 이루어질 수 있도록 하여 로딩 또는 언로딩장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 트랜스퍼에 관한 더욱 진보적인 기술을 요구하게 되었다.

또한, 인용기술 1 내지 5에 의하면, 트랜스퍼가 하나의 고객트레이를 파지하고 있는 상태에서 다음 공정을 수행하기 위해 다시 여분의 고객트레이를 파지한 후 수평이동 할 수는 없으므로, 다음 공정을 수행하기 위해서는 파지하고 있는 고 객트레이의 파지를 해제하여 정해진 위치에 고객트레이를 위치시킨 다음 다시 필요한 고객트레이를 파지함으로써 다음 공정을 위한 수평이동을 수행해야 한다. 따라서 다양한 이벤트 발생에 신속하고 효과적으로 대응하기에는 많은 제약이 있다.

본 발명은 상기한 요구에 따른 것으로, 하방향에 위치한 복수의 고객트레이를 파지 또는 파지 해제할 수 있되, 대기 중인 고객트레이를 파지하고 있는 상태에서 다시 여분의 고객트레이를 파지할 수 있는 트랜스퍼 헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드는, 설치판과, 제1고객트레이를 파지하여 상기 설치판의 수직 하방에 유지시키기 위한 제1파지장치와, 제2고객트레이를 파지하여 상기 제1고객트레이의 수직 하방에 유지시키기 위한 제2파지장치를 포함하며, 상기 제1 및 제2파지장치는 상기 설치판에 함께 설치되어 있고, 상기 제1파지장치의 파지 및 파지 해제 동작과 상기 제2파지장치의 파지 및 파지 해제 동작은 서로 독립적으로 이루어질 수 있는 것을 특징으로 한다.

상기 제1파지장치는, 하방향에 위치한 고객트레이를 파지 또는 파지 해제하기 위한 적어도 1이상의 제1그리퍼와, 상기 적어도 1이상의 제1그리퍼의 파지 또는 파지 해제 동작에 필요한 동력을 제공하는 제1동력원과, 상기 제1동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 적어도 1이상의 제1그리퍼에 전달하는 제1동력전달기를 구비하고, 상기 제2파지장치는, 하방향에 위치한 고객트레이를 파지 또는 파지 해제하기 위한 적어도 1이상의 제2그리퍼와, 상기 적어도 1이상의 제2그리퍼의 파지 또는 파지 해제 동작에 필요한 동력을 제공하는 제2동력원과, 상기 제2동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 적어도 1이상의 제2그리퍼에 전달하는 제2동력전달기를 구비하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 제1동력원과 제1동력전달기는 상기 설치판의 수직 상방에 위치하고, 상기 제2동력원과 제2동력전달기는 상기 제1동력원 및 제1동력전달기의 수직 상방에 위치하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 적어도 1이상의 제1그리퍼 및 제2그리퍼는 주어진 범위의 각도를 회전함으로써 고객트레이를 각각 파지 또는 파지 해제할 수 있도록 구비되고, 상기 제1동력원 및 제1동력전달기는 상기 적어도 1이상의 제1그리퍼를 주어진 범위의 각도로 회전시키며, 상기 제2동력원 및 제2동력전달기는 상기 적어도 1이상의 제2그리퍼를 주어진 범위의 각도로 회전시키는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 제1그리퍼 중의 적어도 하나와 상기 제2그리퍼 중의 적어도 하나는 동일한 회전축을 가지는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 제1그리퍼 및 제2그리퍼는 각각 회전축단과 파지단을 가지며, 상기 제1그리퍼의 회전축단과 상기 제2그리퍼의 회전축단 중 어느 하나의 회전축단은 관형상이고 다른 하나의 회전축단은 상기 일측의 회전축단에 회전축방향으로 관통되도록 구비되는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명한다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 트랜스퍼 헤드(100)가 고객트레이(21)를 파지하고 있는 상태를 부분 분해하여 도시한 분해사시도이다.

도1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 트랜스퍼 헤드(100)는 파지블록(110+120) 및 설치판(130)을 포함하여 구성된다.

상기 파지블록(110+120)은 하방향에 위치한 2개의 고객트레이(21)를 파지 또는 파지 해제하기 위한 것으로 상기 설치판(130)에 동작 가능하도록 고정 설치되며, 더 세분화시키면 고객트레이를 상기 설치판의 수직 하방에 유지시키기 위한 제1파지장치(110) 및 또 다른 고객트레이를 파지하여 상기 제1고객트레이의 수직 하방에 유지시키기 위한 제2파지장치(120)를 포함하여 구성된다.

상기 제1파지장치(110)는, 하방향에 위치한 고객트레이(21)를 파지 또는 파지 해제하기 위한 것으로, 구체적으로는 4개의 제1그리퍼(111), 제1실린더(112) 및 제1동력전달기 등을 포함하여 구성된다.

상기 제1그리퍼(111)는 대략 90도 정도로 회전하면서 고객트레이(21)를 파지 또는 파지 해제하도록 구비되며, 상하방향으로 형성된 회전축단(111a)과 회전축단(111a)의 하단 부분에서 수평방향으로 돌출된 파지단(111b)을 가지고 있다. 한편, 도2a 및 도2b는 제1그리퍼(111) 및 후술될 제2그리퍼(121)의 결합상태를 설명하기 위한 참조도로서, 도1 및 도2를 참조하면, 제1그리퍼(111)의 회전축단(111a) 은 관형상이며 상기 설치판(130)을 상하방향으로 회전가능하도록 통과함으로써 회전축(Z)을 중심으로 회전 가능하도록 되어 있다. 도2a는 현재 제1그리퍼(111)와 제2그리퍼(121)가 분해되어 있는 상태를, 도2b는 현재 제1그리퍼(111)와 제2그리퍼(121)가 결합되어 있는 상태를 각각 표현하고 있다.

상기 제1실린더(112)는 상기 제1그리퍼(111)의 회전동작에 필요한 동력을 제공하기 위한 동력원으로서 마련되며 상기 설치판(130)에 동작 가능하게 고정된다.

상기 제1동력전달기는, 보다 구체적으로 제1안내레일(113a), 제1레일결합블록(113b), 2개의 제1직선이동부재(113c-L, 113c-R) 및 4개의 제1회전링크(113d-L, 113d-R) 등을 포함하여 구성된다.

그리고 상기 제1실린더(112) 및 제1동력전달기는 상기 설치판(130)의 수직 상방에 위치하도록 설치된다.

상기 제1안내레일(113a)은 상기 설치판(130)의 대략 중앙부분에 전후방향으로 고정 설치된다.

상기 제1레일결합블록(113b)은 결합단(13b-L, 13b-R)이 좌우방향으로 돌출 형성된 T자 형상으로서 구비되며, 후단이 상기 제1실린더(112)의 피스톤로드(112a)에 결합되고, 피스톤로드(112a)의 전후진에 따라 제1안내레일(113a)에 안내되면서 전후진 이동되도록 제1안내레일(113a)에 결합되어 있다.

상기 두개의 제1직선이동부재(113c-L, 113c-R)는 좌우 대칭되게 구비되고, 전후방향으로 길게 마련되되, 중단부분에서 서로 마주보는 방향으로 결합단(13c-L, 13c-R)이 돌출되도록 형성되어 있으며, 이러한 결합단(13c-L, 13c-R)은 상기 제1레 일결합블록(113b)의 결합단(13b-L, 13b-R)과 결합한다. 따라서 상기 제1레일결합블록(113b)이 제1안내레일(113a)을 따라 전후방향으로 이동하게 되면 두개의 제1직선이동부재(113c-L, 113c-R)도 함께 전후방향으로 이동하게 된다.

상기 4개의 제1회전링크(113d-L, 113d-R)는 대략 ㄱ자(또는 ㄴ자) 형상으로 구비되며, 일단이 각각 상기 제1직선이동부재(113c-L, 113c-R)의 전후 양단에 회전가능하게 결합되고, 타단은 각각 상기 4개의 제1그리퍼(111)의 상단과 고정결합됨으로써 제1직선이동부재(113c-L, 113c-R)의 전후 이동에 따라 회전축(Z)을 중심으로 회전할 수 있도록 되어 있다.

상기 제2파지장치(120)는, 상기 제1파지장치(110)가 파지한 고객트레이(21)와 상하방향으로 겹치도록 하방향에 위치한 고객트레이(21)를 파지하기 위한 것으로, 상기 제1파지장치(110)의 상측에 구비된다. 이러한 제2파지장치(120)도 마찬가지로 4개의 제2그리퍼(121), 제2실린더(122) 및 제2동력전달기를 포함하고 있으며, 추가적으로 지지판(124)이 더 구성된다.

상기 제2그리퍼(121)는 대략 90도 정도로 회전하면서 고객트레이(21)를 파지 또는 파지 해제하도록 구비되며, 상하방향으로 형성된 회전축단(121a)과 회전축단(121a)의 하단에서 수평방향으로 돌출된 파지단(121b)을 가지고 있다. 그리고 도1 및 도2에서 참조되는 바와 같이, 회전축단(121a)은 봉형상이며 상기에서 설명한 제1그리퍼(111)의 관형상 회전축단(111a)을 상하방향으로 회전가능하도록 통과함으로써 회전축(Z)을 중심으로 회전 가능하도록 되어 있다. 즉, 제1그리퍼(111)와 제2그리퍼(121)는 동심의(coaxial) 회전축을 가지고 있는 것이다.

상기 제2실린더(122)는 상기 제2그리퍼(121)의 회전동작에 필요한 동력을 제공하기 위한 동력원으로서 마련되며 상기 지지판(124)에 고정된다.

상기 제2동력전달기는, 제2안내레일(123a), 제2레일결합블록(123b), 2개의 제2직선이동부재(123c-L, 123c-R) 및 4개의 제2회전링크(123d-L, 123d-R) 등을 포함하여 구성된다.

그리고 상기 제2실린더(122) 및 제2동력전달기는 상기 제1실린더(112) 및 제1동력전달기의 수직상방에 위치하도록 설치된다.

상기 제2안내레일(123a)은 상기 지지판(124)의 대략 전방측 중앙부분에 전후방향으로 고정 설치된다.

상기 제2레일결합블록(123b)은 결합단(23b-L, 23b-R)이 좌우방향으로 돌출 형성된 T자 형상으로서 구비되며 후단이 상기 제2실린더(122)의 피스톤로드(122a)에 결합되고, 피스톤로드(122a)의 전후진에 따라 제2안내레일(123a)에 안내되면서 전후진 이동되도록 제2안내레일(123a)에 결합되어 있다.

상기 두개의 제2직선이동부재(123c-L, 123c-R)는 좌우 대칭되게 구비되며, 전후방향으로 길게 마련되되, 중단부분에서 서로 마주보는 방향으로 결합단(23c-L, 23c-R)이 돌출되도록 형성되어 있으며, 이러한 결합단(23c-L, 23c-R)은 상기 제2레일결합블록(123b)의 결합단(23b-L, 23b-R)과 결합한다. 따라서 상기 제2레일결합블록(123b)이 전후이동하게 되면 두개의 제2직선이동부재(123c-L, 123c-R)도 함께 전후 이동하게 된다.

상기 4개의 제2회전링크(123d-L, 123d-R)는 대략 ㄱ자(또는 ㄴ자) 형상으로 구비되며 각각 일단이 상기 제2직선이동부재(123c-L, 123c-R)의 전후 양단에 회전가능하게 결합되고, 타단은 상기 4개의 제2그리퍼(121)의 상단과 고정결합됨으로써 제2직선이동부재(123c-L, 123c-R)의 전후 이동에 따라 회전축(Z)을 중심으로 회전할 수 있도록 되어 있다.

상기 지지판(124)은 상기 제2실린더(122) 및 제2안내레일(123a) 등을 고정 지지하면서 상기 제1파지장치(110)의 상측에서 설치판(130)에 고정 결합되기 때문에 궁극적으로 제2파지장치(120)가 상기 제1파지장치(110)의 상측에서 설치판(130)에 고정될 수 있도록 한다.

그리고 상기 설치판(130)은 상기한 제1파지장치(110) 및 제2파지장치(120)를 작동 가능하도록 고정 설치하기 위해 마련되는데, 도1에서 참조되는 바와 같이 상방향으로 개구된 일정한 홈(131)이 형성되어 있고, 홈(131)의 일정 위치들에 4개의 결합돌기(132)들이 소정 높이로 형성되어 있다. 이렇게 구성된 설치판(130)에서 상기 제1파지장치(110)의 제1실린더(112) 및 제1안내레일(113a)은 홈(131)의 저면에 고정 설치된다. 또한, 4개의 결합돌기(132)는 제2파지장치(120)가 상기 제1파지장치(110)의 상측에 설치될 수 있도록 하는데, 더 구체적으로는, 제2파지장치(120)의 제2실린더(122) 및 제2안내레일(123a) 등이 고정 설치되는 지지판(124)이 4개의 결합돌기(132)에 고정 결합됨으로써 궁극적으로 제2파지장치(120)가 제1파지장치(110)를 사이에 두고 설치판(130)에 고정될 수 있도록 한다.

도3 및 도4는 제1파지장치(110)에 대한 부분을 상면에서 바라본 개념도로서 이를 참조하여 제1파지장치(110)에 대한 작동을 설명한다.

먼저 도3의 상태는 제1파지장치(110)가 고객트레이(21)의 파지를 해제한 상태를 도시하고 있다. 이러한 상태에서 제1실린더(112)의 피스톤로드(112a)는 전진한 상태를 유지한다.

만일 제1파지장치(110)에 의해 고객트레이(21)를 파지하고자 하는 경우에는 제1실린더(112)가 작동하여 피스톤로드(112a)가 후진하면, 제1레일결합블록(113b)이 제1안내레일(113a)에 안내되면서 후진하게 되고, 이에 따라 제1직선이동부재(113c-L, 113c-R)가 후진하게 된다. 그러면 4개의 제1회전링크(113d-L, 113d-R)는 각각 회전축(Z)을 회전고정점으로 하여 화살표방향으로 회전하게 되며, 이에 따라 제1그리퍼(111)가 회전하면서 각각의 파지단(111b)이 서로 마주보도록 회전함으로써 하방향에 위치한 고객트레이(21)를 파지할 수 있게 된다. 도7a는 제1파지장치(110) 작동하여 도4의 상태로 됨으로써 고객트레이(21)를 설치판(130)의 수직 하방에 유지시키고 있는 상태를 표현하고 있다. 물론 도4의 파지상태에서 제1실린더(112)가 역으로 동작하면 도3의 상태로 되돌아가게 된다.

계속하여, 제1파지장치(110)가 도4와 같은 상태를 유지한 채 다른 고객트레이(21)를 파지해야 될 경우에는, 마찬가지로 제2파지장치(120)도 도5 및 도6에서 참조되는 바와 같이 제1파지장치(110)와 동일한 작동방법에 의해 고객트레이(21)를 파지하게 됨으로써, 하나의 트랜스퍼 헤드(100)가 두개의 고객트레이를 파지할수 있게 된다. 도7b는 제1파지장치(110)가 고객트레이를 파지한 상태에서 제2파지장치(120)가 작동하여 다른 고객트레이(21)를 파지함으로써 하나의 트랜스퍼 헤드(100)가 두개의 고객트레이를 파지하고 있는 상태가 도시되어 있다.

한편, 위에서 설명한 제1 및 제2파지장치(110, 120)는 서로 독립적으로 작동될 수 있는 것이 바람직하다. 즉, 제1실린더(112)와 제2실린더(122)의 작동이 서로 독립되도록 하여 서로 독립적으로 하방향에 위치한 고객트레이(21)의 파지상태를 유지하거나 파지상태를 해제할 수 있도록 함으로써 다양한 상황의 이벤트 발생에 따라 요구되는 제어방법에 적절히 적용될 수 있도록 하는 것이 바람직한 것이다.

물론, 상술한 제1 및 제2실린더(112, 122)와 제1 및 제2동력전달기 등은 정역회전모터(스탭모터인 것이 바람직하게 고려될 수 있다)와 렉 및 피니언 등으로 대체될 수 있음은 누구나 알 수 있는 것이며, 고객트레이(21)의 파지구조 또한 다양한 응용범위들을 가지고 있을 것이다. 그리고 상술한 실시예에서는 2개의 고객트레이(21)를 파지할 수 있는 예를 들어 설명하고 있지만 실시하기에 따라서는 2개 이상의 고객트레이(21)를 파지할 수 있도록 구성하는 것도 얼마든지 가능하다.

따라서 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 복수의 고객트레이를 파지하여 로딩 셋플레이트 또는 언로딩 셋플레이트 상에서 발생되는 이벤트에 대응 하여 로딩작업 또는 언로딩작업을 지원함으로써 로딩장치 또는 언로딩장치의 가동률을 높일 수 있는 효과가 있다. 즉, 예를 들면, 인용기술1 내지 3 및 5에서는 하나의 트랜스퍼가 하나의 고객트레이만을 파지하여야 하기 때문에 복수의 이벤트가 발생하였을 경우 복수의 고객트레이를 이송시키기 위한 경로는 그만큼 길어지게 되고 그에 따른 처리속도의 저하를 가져오지만, 본 발명에 따른 트랜스퍼 헤드가 적용된 트랜스퍼의 경우에는 여분의 고객트레이를 더 파지할 수 있기 때문에 복수의 고객트레이를 이송시키기 위한 경로가 짧아져 복수의 이벤트 발생에 신속히 대응할 수 있게 되는 것이다. 특히, 인용기술5의 경우에는 제2트랜스퍼가 빈 고객트레이를 파지하고 있는 상태에서 대기하고 있는 경우 로딩 셋플레이트 측과 언로딩 셋플레이트 측에서 동시에 이벤트가 발생하면, 제2트랜스퍼가 언로딩 셋플레이트 측에 빈 고객트레이를 안착시키는 시간동안 로딩 셋플레이트 측에서는 작업이 멈추게 되나, 제2트랜스퍼에 본 발명에 따른 트랜스퍼 헤드를 적용할 경우 제2트랜스퍼가 복수의 빈 고객트레이를 파지할 수 있기 때문에 제2트랜스퍼가 로딩 셋플레이트 측으로 이동하여 빈 고객트레이를 파지한 후 언로딩 셋플레이트 측에 안착시키고 나서 다시 대기상태로 돌아갈 수 있고, 그에 따라 로딩 셋플레이트 측이나 언로딩 셋플레이트 측에서의 로딩작업이나 언로딩 작업이 시간의 손실 없이 원활히 계속될 수 있어서 처리속도가 향상되는 이점이 있는 것이다.

더욱 더 본 발명에 따르면 상기한 처리속도의 향상을 가져오면서도 복수의 파지장치가 상하로 배열되어 하방향에 위치한 복수의 고객트레이를 상하 방향으로 겹치도록 파지할 수 있기 때문에 트랜스퍼 헤드의 폭을 종래와 같이 그대로 유지할 수 있어 장치의 간결함 및 트랜스퍼간 이동간섭(인용기술4의 경우)의 최소화를 꾀할 수 있다.

또한, 복수의 파지장치가 서로 독립적으로 작동하며, 각 파지장치가 동시에 고객트레이를 파지하는 것이 가능해지기 때문에, 다양한 형태의 이벤트 발생에 따른 처리속도의 향상을 위한 효과적인 제어방법의 선택폭이 넓어지는 이점이 있다. 즉, 하나의 파지장치가 고객트레이를 파지하고 있는 상황에서 여분의 고객트레이를 파지해야하는 상황이 발생된 경우에 다른 하나의 파지장치를 이용하여 여분의 고객트레이를 파지한 후 수평이동될 수 있기 때문에 이러한 점들을 활용하여 다양한 이벤트 상황에 대처할 수 있는 제어방법을 고려할 수 있는 것이다.

그리고 각각의 파지장치가 하방향에 위치된 고객트레이를 파지 및 파지해제하기 때문에 인용기술4에서와 같이 상방향에 위치한 고객트레이를 파지하기 위한 기타 보조적인 장치들이 필요 없어서 제작단가가 절감되며, 고객트레이의 이송처리속도도 빨라지게 된다.

Claims (6)

1. 테스트 핸들러의 셋플레이트와 스태커 사이 또는 스태커와 다른 스태커 사이에서 고객트레이를 이송하는 데 사용되는 트랜스퍼 헤드에 있어서,

   설치판과,

   제1고객트레이를 파지하여 상기 설치판의 수직 하방에 유지시키기 위한 제1파지장치와,

   제2고객트레이를 파지하여 상기 제1고객트레이의 수직 하방에 유지시키기 위한 제2파지장치를 포함하며,

   상기 제1 및 제2파지장치는 상기 설치판에 함께 설치되어 있고,

   상기 제1파지장치의 파지 및 파지 해제 동작과 상기 제2파지장치의 파지 및 파지 해제 동작은 서로 독립적으로 이루어질 수 있는 것을 특징으로 하는

   테스트 핸들러의 트랜스퍼 헤드.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1파지장치는,

   하방향에 위치한 고객트레이를 파지 또는 파지 해제하기 위한 적어도 1이상의 제1그리퍼와,

   상기 적어도 1이상의 제1그리퍼의 파지 또는 파지 해제 동작에 필요한 동력을 제공하는 제1동력원과,

   상기 제1동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 적어도 1이상의 제1그리퍼에 전달하는 제1동력전달기를 구비하고,

   상기 제2파지장치는,

   하방향에 위치한 고객트레이를 파지 또는 파지 해제하기 위한 적어도 1이상의 제2그리퍼와,

   상기 적어도 1이상의 제2그리퍼의 파지 또는 파지 해제 동작에 필요한 동력을 제공하는 제2동력원과,

   상기 제2동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 적어도 1이상의 제2그리퍼에 전달하는 제2동력전달기를 구비하는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드.
3. 제2항에 있어서,

   상기 제1동력원과 제1동력전달기는 상기 설치판의 수직 상방에 위치하고,

   상기 제2동력원과 제2동력전달기는 상기 제1동력원 및 제1동력전달기의 수직 상방에 위치하는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드.
4. 제2항에 있어서,

   상기 적어도 1이상의 제1그리퍼 및 제2그리퍼는 주어진 범위의 각도를 회전함으로써 고객트레이를 각각 파지 또는 파지 해제할 수 있도록 구비되고,

   상기 제1동력원 및 제1동력전달기는 상기 적어도 1이상의 제1그리퍼를 주어진 범위의 각도로 회전시키며,

   상기 제2동력원 및 제2동력전달기는 상기 적어도 1이상의 제2그리퍼를 주어진 범위의 각도로 회전시키는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드.
5. 제4항에 있어서,

   상기 제1그리퍼 중의 적어도 하나와 상기 제2그리퍼 중의 적어도 하나는 동일한 회전축을 가지는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드.
6. 제5항에 있어서,

   상기 제1그리퍼 및 제2그리퍼는 각각 회전축단과 파지단을 가지며,

   상기 제1그리퍼의 회전축단과 상기 제2그리퍼의 회전축단 중 어느 하나의 회전축단은 관형상이고 다른 하나의 회전축단은 상기 일측의 회전축단에 회전축방향으로 관통되도록 구비되는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 트랜스퍼 헤드.

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