KR101264686B1 - 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커 - Google Patents

카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커 Download PDF

Info

Publication number
KR101264686B1
KR101264686B1 KR1020060052042A KR20060052042A KR101264686B1 KR 101264686 B1 KR101264686 B1 KR 101264686B1 KR 1020060052042 A KR1020060052042 A KR 1020060052042A KR 20060052042 A KR20060052042 A KR 20060052042A KR 101264686 B1 KR101264686 B1 KR 101264686B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
guide
seating
groove
guide block
Prior art date
Application number
KR1020060052042A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070117868A (ko
Inventor
손용수
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020060052042A priority Critical patent/KR101264686B1/ko
Publication of KR20070117868A publication Critical patent/KR20070117868A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101264686B1 publication Critical patent/KR101264686B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 카세트를 정위치에 위치시킬 수 있는 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커에 관한 것으로, 카세트가 놓여지는 몸체부; 및, 상기 몸체부의 상부면에 구비되며, 상기 카세트가 안착되는 안착부 및 상기 카세트를 상기 안착부로 안내시키기 위한 안내부로 구성된 복수의 가이드 블록들을 포함하는 것이다.
액정표시장치, 카세트 안착부, 스토커, 카세트

Description

카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커{A cassette loader and a stocker including the same}
도 1은 종래의 카세트 안착부를 나타낸 도면
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부를 나타낸 도면
도 3은 도 2를 상부에서 바라다본 모습을 나타낸 도면
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부상에 카세트를 안착시키는 과정을 나타낸 도면
도 5는 경사면을 갖는 카세트의 구조를 나타낸 도면
도 6은 도 5의 카세트의 구체적인 모습을 나타낸 도면
도 7은 도 6의 하부 프레임을 나타낸 사시도
도 8은 도 7의 하부 프레임을 하부에서 바라다본 사시도
도 9는 가이드 블록의 안착부에 형성된 완충부를 설명하기 위한 도면
도 10은 도 9의 고정수단에 대한 사시도
도 11은 완충부를 구비한 카세트 안착부에 카세트를 안착시킨 상태를 나타낸 도면
도 12는 완충부가 형성된 가이드 블록을 갖는 카세트 안착부의 상면을 나타낸 도면
도 13은 카세트의 반송 시스템을 설명하기 위한 도면
도 14는 도 13의 카세트 반송 시스템의 스토커를 일부 절개하여 보여주는 사시도
＊도면의 주요부에 대한 부호 설명
201 : 몸체부 202 : 가이드 블록
203 : 카세트
본 발명은 액정표시장치 제조용 장치에 관한 것으로, 가이드 블록에 경사면을 형성하여 카세트를 정위치에 위치시킬 수 있는 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커에 대한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 저전압 구동, 저소비 전력, 풀 칼라 구현, 경박 단소 등의 특징을 가지며, 시계, 계산기, PC용 모니터, 노트북 등으로부터 항공용 모니터, 개인 휴대용 단말기 등에 다양하게 적용되고 있다.
상기 액정표시장치의 액정표시패널은, 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소전극이 구비된 박막트랜지스터 기판, 컬러필터층과 공통전극이 구비된 컬러필터 기판, 그리고 상기 두 기판 사이에 게재된 액정층으로 이루어진다.
상기와 같이 구성되는 액정표시장치의 제조공정은, 크게 어레이 공정, 셀 제 조공정, 그리고 모듈공정으로 나뉘어진다.
상기 액정표시패널의 제조에는 유기기판과 같은 기판이 이용되며, 상기 유리기판은 카세트(Cassette)라고 지칭되는 수납부에 수납된 상태로 각 공정장치에 투입되어 단위 공정을 거치게 된다.
그리고, 상기 액정표시장치의 유리기판은, 각 공정을 거치기 위해 각각의 공정에 사용되는 제조장비로 순차적으로 또는 그룹형태로 반송 또는 이송되어 각 공정을 거치게 된다.
이와 같은 카세트는 카세트 안착부에 놓여져 대기하게 되는데, 도 1은 종래의 카세트 안착부를 나타낸 도면이다.
종래의 카세트 안착부는, 도 1에 도시된 바와 같이, 몸체부(101)와, 상기 몸체부(101)의 상면에 설치된 복수의 가이드 블록(102)들을 포함한다.
상기 가이드 블록(102)들은 상기 카세트의 가장자리와 상기 몸체부(101)간에 구비되어 있다.
상기 카세트(103)는 카세트 반송 장치에 의해 이송되어, 상기 카세트 안착부에 놓여지게 된다.
이때, 상기 카세트 반송 장치의 정밀도에 따라 상기 카세트(103)가 안착되는 위치가 변화될 수 있다.
이 카세트(103)가 여러 카세트 안착부를 옮겨다니면서 안착됨에 따라, 이 카세트(103)의 위치 변화량이 계속 누적되며, 이로 인해 상기 카세트(103)가 정확히 가이드 블록(102)상에 위치하지 못하고, 일측 방향으로 치우친 상태로 위치할 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 카세트(103)가 왼쪽으로 심하게 치우친 경우, 카세트 반송 장치가 상기 카세트(103)를 반송할 때 상기 카세트 반송 장치가 상기 카세트(103)의 중심부를 제대로 지지하지 못하기 때문에, 상기 카세트(103)가 상기 카세트 반송 장치의 포크(pork)로부터 바닥으로 떨어져 파손될 수 있다.
또한, 상기 카세트(103)가 정확한 위치에 정렬하지 못한 경우, 상기 카세트(103)로부터 기판을 취부하는 로봇의 암(arm)과 상기 카세트(103)간에 충돌이 발생하여 상기 카세트(103)가 파손될 수 있다.
상기 카세트(103)가 정확한 위치에 정렬하지 못한 경우, 상기 카세트(103)로부터 기판을 취부하는 로봇의 암과 상기 기판간에 충돌이 발생하여 상기 기판이 파손될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 가이드 블록에 경사면을 형성하여, 상기 카세트가 상기 경사면에 의해 가이드 되도록 함으로써 상기 카세트를 항상 정위치에 안착시킬 수 있는 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 카세트 안착부는, 카세트가 놓여지는 몸체부; 및, 상기 몸체부의 상부면에 구비되며, 상기 카세트가 안착되는 안착부 및 상기 카세트를 상기 안착부로 안내시키기 위한 안내부로 구성된 복수 의 가이드 블록들을 포함함을 그 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스토커는, 복수의카세트들이 저장되는 복수의 저장부와, 상기 카세트들이 대기하는 복수의 대기부와, 상기 각 대기부에 위치한 카세트 안착부를 구비하며; 상기 카세트 안착부가, 상기 카세트가 놓여지는 몸체부; 및, 상기 몸체부의 상부면에 구비되며, 상기 카세트가 안착되는 안착부 및 상기 카세트를 상기 안착부로 안내시키기 위한 안내부로 구성된 복수의 가이드 블록들을 포함함을 그 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2를 상부에서 바라다본 모습을 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 몸체부(201)와, 상기 몸체부(201)의 상부면에 설치되며 안내부(202a) 및 안착부(202b)로 이루어진 복수의 가이드 블록(202)들을 포함한다.
이 가이드 블록(202)들은 상기 몸체부(201)의 상면 가장자리를 따라 설치된다.
상기 가이드 블록(202)상에는 카세트(203)(Cassette)가 안착된다.
액정표시패널의 제조에는 유리기판과 같은 기판이 이용되며, 상기 유리기판은 상기 카세트(203)에 수납된 상태로 각 공정장치에 투입되어 단위 공정을 거치게 된다.
상기 카세트(203)의 하부면은 직사각형 형태를 이루는데, 상기 가이드 블록(202)들은 상기 직사각형의 꼭지점 부분에 해당하는 부분에 위치하도록 상기 몸체부(201)의 상면에 설치된다.
또한, 상기 가이드 블록(202)들은 상기 직사각형의 서로 마주보는 변의 중심부에 해당하는 부분에 위치하도록, 상기 몸체부(201)의 상부면에 설치된다.
여기서, 상기 직사각형이 제 1 내지 제 4 변으로 이루어져 있고, 제 1 및 제 2 변이 서로 마주보며, 그리고 제 3 및 제 4 변이 서로 마주보는 위치에 있다고 가정하자. 이때, 상기 가이드 블록(202)들은 상기 서로 마주보는 제 1 및 제 2 변의 각 중심부 또는 서로 마주보는 제 3 및 제 4 변의 각 중심부에 위치한다.
즉, 네 개의 변 중 서로 마주보는 두 개의 변에는 가이드 블록(202)이 설치되며, 나머지 서로 마주보는 두 개의 변에는 가이드 블록(202)이 설치되지 않는다. 이는, 상기 나머지 서로 마주보는 두 개의 변이 카세트 반송 장치의 포크(pork)(301)가 이동하는 진행경로상에 위치하기 때문이다.
한편, 상기 가이드 블록(202)들은 서로 대각선으로 마주보는 꼭지점 부근에만 형성될 수 도 있고, 또한 상기 서로 마주보는 두 변의 각 중심부에만 형성될 수 도 있다.
상기 안내부(202a)는 카세트(203)를 카세트 안착부로 안내하는 역할을 하는 것으로, 이러한 역할을 할 수 있도록 상기 안내부(202a)는 소정 각도로 기울어진 경사면을 갖는다.
상기 안내부(202a)에 의해서 상기 카세트(203)는 상기 안착부(202b)상에 놓 여지게 된다.
이때, 상기 각 가이드 블록(202)의 안내부(202a)는 몸체부(201)의 중심부를 향해서 내려가는 방향으로 기울어진 경사면을 갖고 있기 때문에, 상기 가이드 블록(202)들에 놓여진 카세트(203)의 무게 중심은 상기 몸체부(201)의 중심부와 일치하는 방향으로 움직이게 된다.
즉, 상기 카세트(203)가 가이드 블록(202)의 안착부(202b)로부터 벗어난 위치(예를들면 안내부(202a))에 안착되더라도, 상기와 같은 경사면을 갖는 안내부(202a)에 의해서 상기 카세트(203)의 무게 중심은 몸체부(201)의 무게 중심쪽으로 자동적으로 이동하게 된다. 이에 따라 자동적으로 카세트(203)의 정위치가 보정된다.
이러한 본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부에 카세트(203)를 안착시키는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 안착부상에 카세트를 안착시키는 과정을 나타낸 도면이다.
카세트 반송 장치는 포크(301)를 이용하여 카세트(203)를 들어올린다. 그리고, 이 카세트(203)를, 도 4a에 도시된 바와 같이, 카세트 안착부에 안착시킨다.
이때, 상기 카세트(203)의 위치가, 가이드 블록(202)의 안착부(202b)에 정확하게 정렬하지 않는다고 가정하자. 즉, 도 4a에 도시된 바와 같이, 카세트(203)가 정위치보다 왼쪽으로 더 쉬프트된 상태로 가이드 블록(202)상에 놓여진다고 가정하자.
이에 따라, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(203)의 왼쪽 모서리는 왼쪽에 위치한 가이드 블록(202)의 안내부(202a)와 접촉하게 되는 반면, 상기 카세트(203)의 오른쪽 모서리는 오른쪽에 위치한 가이드 블록(202)의 안내부(202a)와 소정간격 이격된다.
이와 같은 상태에서, 상기 카세트 반송 장치의 포크(301)가 상기 몸체부(201)의 상면을 향해 하강하면, 상기 카세트(203)의 왼쪽 모서리가 상기 왼쪽에 위치한 가이드 블록(202)의 경사면을 따라 이동하게 된다.
여기서, 상기 경사면이 몸체부(201)의 중심부를 향해 내려가는 방향으로 기울어진 경사를 가지므로, 상기 카세트(203)는 상기 몸체부(201)의 중심부를 향해 이동하게 된다. 즉, 상기 카세트(203)는 서서히 오른쪽으로 쉬프트된다.
다시말하면, 상기 카세트 반송 장치의 포크(301)가 하강함에 따라, 상기 카세트(203)는 하강함과 아울러 오른쪽으로 이동하게 된다.
그러면, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(203)의 왼쪽 모서리가 상기 경사면을 따라 안착부(202b)에 놓여진다. 이때, 카세트(203)의 오른쪽 모서리도 안착부(202b)에 놓여진다.
결국, 본 발명의 실시예에 따른 구조를 갖는 가이드 블록(202)에 의해, 상기 카세트(203)는 상기 카세트(203)와 가이드 블록(202)간의 오정렬에 상관없이 항상 정위치에 놓여진다.
한편, 상기 가이드 블록(202)의 안내부(202a)와 접촉하는 카세트(203)의 가장자리 부분이 경사를 갖도록 하여, 상기 카세트(203)와 가이드 블록(202)간의 스 크래치(scratch)를 줄일 수 있다. 이를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 5는 경사면을 갖는 카세트의 구조를 나타낸 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 카세트(503)의 가장자리 부분에 경사면이 형성되어 있다. 이 경사면은 상기 가이드 블록(202)의 경사면과 동일한 경사 각도를 갖는다.
이와 같이, 상기 카세트(503)의 가장자리에 경사면을 형성함으로써, 상기 카세트(503)의 가장자리와 상기 가이드 블록(202)의 경사면간이 면접촉한다. 따라서, 상기 카세트(503)를 카세트 안착부에 안착시키는 과정에서, 상기 카세트(503)와 상기 가이드 블록(202)간의 스크래치를 방지할 수 있다.
도 6은 도 5의 카세트의 구체적인 모습을 나타낸 도면이다.
카세트(503)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상부 프레임(611)과, 상기 상부 프레임(611)을 마주보도록 위치하며 상기 상부 프레임(611)으로부터 소정 간격 이격되어 위치하는 하부 프레임(612)과, 상기 상부 프레임(611)의 일측 가장자리와 상기 하부 프레임(612)의 일측 가장자리간에 결합된 복수의 제 1 사이드 플레이트(651)와, 상기 상부 프레임(611)의 타측 가장자리와 상기 하부 프레임(612)의 타측 가장자리간에 결합된 복수의 제 2 사이드 플레이트(652)와, 상기 상부 프레임(611)의 또 다른 일측 가장자리와 상기 하부 프레임(612)의 또 다른 일측 가장자리간에 결합된 복수의 스토퍼(653)를 포함한다.
상기 상부 프레임(611)에는 상기 상부 프레임(611)을 관통하는 복수의 개구부가 형성되어 있다. 이 개구부들은 상기 상부 프레임(611)의 강도를 증가시키고, 변형을 방지하는 역할을 한다.
상기 하부 프레임(612)에도 상기와 같은 개구부가 형성된다.
상기 상부 프레임(611)의 상면 가장자리에는 작업자가 직접 상기 카세트(503)를 운반할 수 있도록 복수의 운반손잡이(688)가 설치되어 있다.
상기 상부 프레임(611) 및 하부 프레임(612)은 각각 직사각형 형태를 이루며, 상기 상부 프레임(611) 및 하부 프레임(612)의 각 3면이 상기 제 1 플레이트, 제 2 플레이트, 그리고 스토퍼(653)에 의해서 서로 결합된다.
이에 따라, 상기 카세트(503)는 내부 공간이 비어 있으며, 한 면이 개구된 직육면체를 이룬다.
이 개구된 면을 통해 기판이 상기 카세트(503) 내부에 수납된다.
상기 제 1 및 제 2 사이드 플레이트(651, 652)의 내측, 그리고 상기 스토퍼(653)의 내측에는 복수의 슬롯(666)들이 설치되어 있다.
상기 카세트(503) 내부에 수납된 기판은, 상기 슬롯(666)에 안착되어 지지된다.
상기 스토퍼(653)는 상기 카세트(503) 내에 수납된 기판이 카세트(503)의 뒤쪽으로 빠져나가는 것을 방지하는 역할을 한다.
여기서, 상기 하부 프레임(612)의 양측 가장자리 부분이 상기 카세트 안착부와 접촉하는 바, 상술한 바와 같이 카세트 안착부와 카세트(503)간의 스크래치를 방지하기 위해 이 하부 프레임(612)의 양측 가장자리 부분에 경사면이 형성된다.
도 7은 도 6의 하부 프레임을 나타낸 사시도이고, 도 8은 도 7의 하부 프레 임을 하부에서 바라다본 사시도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 하부 프레임(612)의 각 모서리 부분(841)이 소정 각도로 경사져 있으며, 또한 상기 각 모서리 부분(841)이 만나는 각 꼭지점 부분(842)도 소정 각도로 경사져 있다.
각 모서리 부분(841)은 도 3에 도시된 몸체(201)의 양 측 모서리 부분에 위치한 각 가이드 블록(202)에 안착된다. 그리고, 각 꼭지점 부분(842)은, 도 3에 도시된 몸체(201)의 각 꼭지점 부분에 위치한 각 가이드 블록(202)에 안착된다.
한편, 상기 카세트(503)를 상기 카세트 안착부에 안착시킬 때 상기 카세트(503)의 하중에 따라 상기 카세트(503)에 가해지는 충격을 완화시키기 위해, 상기 각 가이드 블록(202)의 안착부(202b)에 완충부(701)를 설치할 수 있다.
도 9는 가이드 블록의 안착부에 형성된 완충부를 설명하기 위한 도면이다.
완충부(701)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 탄성체(701c)와, 고정수단(701b)과, 그리고 롤러 베어링(701a)을 포함한다.
상기 탄성체(701c)는 안착부(202b)의 경사면에 형성된 홈(G1)의 내부에 위치한다.
상기 고정수단(701b)은 상기 탄성체(701c)의 일측과 상기 홈(G1)의 입구부 사이에 위치하며, 이 홈(G1)의 내부에 구속된다. 즉, 상기 홈(G1)의 입구부는 상기 홈(G1)내부에 설치된 상기 고정수단(701b)이 홈(G1)의 외부로 빠져나오지 않도록, 상기 고정수단(701b)보다 작은 크기를 갖는다.
상기 롤러 베어링(701a)은 상기 고정수단(701b)에 회전가능하게 결합되며, 일부가 상기 홈(G1)의 입구부를 통해 홈(G1)의 외부로 돌출된다.
상기 탄성체(701c)는 스프링을 사용할 수 있다.
여기서, 상기 고정수단(701b)에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 10은 도 9의 고정수단에 대한 사시도이다.
상기 고정수단(701b)에는, 도 10에 도시된 바와 같이, 홈(G2)이 형성되어 있다. 이 홈(G2)은 반원기둥형상을 이룬다. 이 홈(G2)의 내부에는 이 홈(G2)을 따라 축(701d)이 설치되어 있다. 이 축(701d)에는 롤러 베어링(701a)이 회전가능하게 축결합된다.
도 11은 완충부를 구비한 카세트 안착부에 카세트를 안착시킨 상태를 나타낸 도면이다.
가이드 블록(202)상에 카세트(503)가 안착되면, 도 11에 도시된 바와 같이, 롤러 베어링(701a)과 카세트(503)의 가장자리가 서로 접촉하게 된다. 이 상태에서, 상기 카세트(503)의 무게에 의해 상기 롤러 베어링(701a) 및 고정수단(701b)이 홈(G1)의 내부로 밀려들어간다. 이때, 상기 고정수단(701b)의 하부에 위치한 탄성체(701c)가 완충역할을 한다.
상기 카세트(503)가 상기 안착부(202b)의 경사면을 따라 이동할 때, 상기 경사면에 위치한 롤러 베어링(701a)은 상기 카세트(503)의 가장자리와 마찰하면서 일방향으로 회전한다. 이에 따라, 상기 카세트(503)의 가장자리와 경사면간의 마찰이 최소화된다.
도 12는 완충부가 형성된 가이드 블록을 갖는 카세트 안착부의 상면을 나타낸 도면으로서, 동 도면에 도시된 바와 같이, 모든 가이드 블록(202)은 완충부(701)를 구비한다.
이상과 같이 설명한 카세트 안착부는 다음과 같은 장비에 적용될 수 있다.
도 13은 카세트의 반송 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
자동 반송 장치(130)는, 도 13에 도시된 바와 같이, 카세트(203 또는 503)가 임시로 저장된 스토커(140)(stocker)와 공정을 수행하는 장비(120a, 120b)들 사이를 왕복하면서, 상기 카세트(203 또는 503)를 상기 스토커(140)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(120a, 120b)들에서 상기 스토커(140)로 각각 반송하게 된다. 이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 자동 반송 장치(130)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(111)이 제공된다.
상기 각 장비(120a, 120b)의 일측에는, 상술한 바와 같은 카세트 안착부가 설치될 수 있다. 이 카세트 안착부는 스토커(140)로부터 반송된 카세트(203 또는 503)가 안착되어 대기한다.
각 장비(120a, 120b)는 상기 카세트 안착부에 안착된 카세트(503)로부터 기판을 한 장씩 꺼내어 작업을 진행한다.
상기 스토커(140)는, 각 공정을 수행하는 상기 장비(120a, 120b)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르기 때문에 발생하는 카세트(203 또는 503) 운반의 버퍼링(buffering) 문제를 효과적으로 해결하기 위해 제공되는 것이다.
상기 스토커(140)를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 14는 도 13의 카세트 반송 시스템의 스토커를 일부 절개하여 보여주는 사시도이다.
상기 스토커(140)는, 도 14에 도시된 바와 같이, 복수의 층으로 이루어져 있다. 이 각 층에는 상기 카세트(203 또는 503)를 저장하기 위한 복수의 저장부(141)들과, 상기 카세트(203 또는 503)를 스토커(140)에 입고하기 위한 입고 대기부(142)가 구비된다.
여기서, 상기 스토커(140)의 맨 아래층에는 상기 카세트(203 또는 503)를 자동 반송 장치(130)로 출고하기 위한 출고 대기부(143)와, 상기 입고 대기부(142)와 출고 대기부 및 저장부 사이를 왕복하면서 카세트(203 또는 503)를 운반하는 랙 마스터(145)(rac master)가 구비된다. 이 랙 마스터(145)는 상술한 카세트 반송 장치이다.
여기서, 상기 각 저장부(141)에는 카세트(203 또는 503)가 안착되는 선반이 구비되어 있다. 각 저장부(141)는 일반적으로 2열로 배치되며, 각 열 사이에는 상기 랙 마스터(145)의 이동을 안내하는 레일(144)이 제공된다. 따라서, 상기 랙 마스터(145)에 카세트 운반 명령이 전달되면, 상기 랙 마스터(145)는 상기 입고 대기부(142) 및 출고 대기부(143) 또는 저장부(141)에 있는 카세트(203 또는 503)를 로딩(loading)한 후 목적지까지 상기 레일(144)을 따라 이동하고, 목적지에서 상기 카세트(203 또는 503)를 상기 입고 및 출고 대기부(142, 143) 또는 저장부(141)에 언로딩(unloading)하게 된다.
여기서, 상기 입고 대기부(142), 출고 대기부(143), 및 저장부(141)에는, 상 술한 바와 같은, 카세트 안착부가 구비된다.
한편, 상기 스토커(140)는 두 개 이상 구비될 수 있다. 이때, 각 스토커(140)간에도 카세트(203 또는 503)가 이동된다. 즉, 하나의 스토커(140)로부터 다른 스토커(140)로 카세트(203 또는 503)가 이송될 수 있다. 이와 같은 경우 각 스토커(140)간에는 컨베이어가 설치되며, 상기 컨베이어를 따라 컨베이어 로봇(conveyer robot)이 상기 각 스토커간을 이동한다. 이 컨베이어는 각 스토커(140)의 맨 윗층간을 서로 연결한다.
여기서, 이 컨베이어의 양 끝에도 상술한 바와 같은 카세트 안착부가 설치될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커에는 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 카세트 안착부에는 경사면을 갖는 가이드 블록들을 구비한다. 이 경사면을 갖는 가이드 블록에 의해, 상기 카세트는 상기 카세트와 가이드 블록간의 오정렬에 상관없이 항상 정위치에 놓여진다.

Claims (15)

  1. 카세트가 놓여지는 몸체부;
    상기 몸체부의 상부면에 구비되며, 상기 카세트가 안착되는 안착부 및 상기 카세트를 상기 안착부로 안내시키기 위한 안내부로 구성된 복수의 가이드 블록들; 및,
    각 안내부의 경사면에 설치되어, 상기 카세트의 하중에 의한 충격을 완화시키기 위한 완충부를 포함하며;
    상기 각 가이드 블록의 안내부가 상기 몸체부의 중심부를 향해 내려가는 방향으로 경사져 있으며;
    상기 안내부와 접촉하는 카세트의 가장자리 부분이 경사져 있으며;
    상기 안내부의 경사도와 상기 카세트의 가장자리 부분의 경사도가 동일하며;
    상기 완충부는,
    상기 경사면에 형성된 홈의 내부에 위치한 적어도 하나의 탄성체;
    상기 탄성체의 일측과 상기 홈의 입구부 사이에 위치하며, 상기 홈의 내부에 구속된 고정수단; 및,
    회전가능하게 상기 고정수단에 결합되며, 일부가 상기 홈의 입구부를 통해 홈의 외부로 돌출된 베어링을 포함함을 특징으로 하는 카세트 안착부.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성체는 스프링인 것을 특징으로 하는 카세트 안착부.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 홈의 입구부의 크기가 상기 고정수단보다 작은 것을 특징으로 하는 카세트 안착부.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트의 하부면은 복수의 변으로 이루어진 다각형 형태이며,
    상기 각 가이드 블록은 상기 다각형의 꼭지점 부근에 위치한 것을 특징으로 하는 카세트 안착부.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트의 하부면은 복수의 변으로 이루어진 다각형 형태이며,
    상기 각 가이드 블록은 상기 다각형의 변의 중심부에 위치한 것을 특징으로 하는 카세트 안착부.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 카세트의 하부면은 제 1 내지 제 4 변으로 이루어진 직사각형 형태를 이루며,
    상기 가이드 블록이 서로 마주보는 제 1 및 제 2 변의 중심부에 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트 안착부.
  12. 복수의 카세트들이 저장되는 복수의 저장부와, 상기 카세트들이 대기하는 복수의 대기부와, 상기 각 저장부 및 각 대기부에 위치한 카세트 안착부를 구비하며;
    상기 카세트 안착부가,
    상기 카세트가 놓여지는 몸체부;
    상기 몸체부의 상부면에 구비되며, 상기 카세트가 안착되는 안착부 및 상기 카세트를 상기 안착부로 안내시키기 위한 안내부로 구성된 복수의 가이드 블록들; 및,
    각 안내부의 경사면에 설치되어, 상기 카세트의 하중에 의한 충격을 완화시키기 위한 완충부를 포함하며;
    상기 각 가이드 블록의 안내부가 상기 몸체부의 중심부를 향해 내려가는 방향으로 경사져 있으며;
    상기 안내부와 접촉하는 카세트의 가장자리 부분이 경사져 있으며;
    상기 안내부의 경사도와 상기 카세트의 가장자리 부분의 경사도가 동일하며;
    상기 완충부는,
    상기 경사면에 형성된 홈의 내부에 위치한 적어도 하나의 탄성체;
    상기 탄성체의 일측과 상기 홈의 입구부 사이에 위치하며, 상기 홈의 내부에 구속된 고정수단; 및,
    회전가능하게 상기 고정수단에 결합되며, 일부가 상기 홈의 입구부를 통해 홈의 외부로 돌출된 베어링을 포함함을 특징으로 하는 스토커.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
KR1020060052042A 2006-06-09 2006-06-09 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커 KR101264686B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060052042A KR101264686B1 (ko) 2006-06-09 2006-06-09 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060052042A KR101264686B1 (ko) 2006-06-09 2006-06-09 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070117868A KR20070117868A (ko) 2007-12-13
KR101264686B1 true KR101264686B1 (ko) 2013-05-16

Family

ID=39142894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060052042A KR101264686B1 (ko) 2006-06-09 2006-06-09 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101264686B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI765260B (zh) * 2020-05-08 2022-05-21 特銓股份有限公司 自動粘脫設備

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070117868A (ko) 2007-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4182521B2 (ja) 容器の一時的搬入、留置、搬出用装置
KR100615026B1 (ko) 디스플레이용 기판 수납용 트레이, 및 그 디스플레이용기판을 제거하는 장치 및 방법
KR20160007946A (ko) 스토커 컨베이어용 대차
JP2007022809A (ja) 平板表示装置製造用搬送システム
KR101347531B1 (ko) 테스트 트레이 스핀장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러
KR20200039575A (ko) 기판 창고, 기판 처리 시스템 및 기판 검사 방법
KR102020227B1 (ko) 캐리어 이송 장치 및 방법
JP2005317826A (ja) 縦収納型カセット及びそれを備えた基板収納システム
JP2006347752A (ja) 搬送システム
KR101264686B1 (ko) 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커
KR20050038134A (ko) 기판 스토킹 시스템
JP4222007B2 (ja) 搬送システム
KR102173607B1 (ko) 스토커 컨베이어
WO2011141966A1 (ja) 移載装置
JP2008013268A (ja) 収納棚及び収納方法
KR101340786B1 (ko) 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치
KR20210041345A (ko) 물품 이송 장치
JP4192568B2 (ja) 搬送システム
KR101183040B1 (ko) 스토커 장치
KR101448527B1 (ko) 테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러
KR100959127B1 (ko) 스토커
JP5157787B2 (ja) 搬送システム
JP2013165177A (ja) ストッカー装置
JP7417861B2 (ja) 梱包体および梱包体の製造方法
KR20030038498A (ko) 판상물 운반용기

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160428

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170413

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180416

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190417

Year of fee payment: 7