JPH10129471A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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- JPH10129471A JPH10129471A JP28428296A JP28428296A JPH10129471A JP H10129471 A JPH10129471 A JP H10129471A JP 28428296 A JP28428296 A JP 28428296A JP 28428296 A JP28428296 A JP 28428296A JP H10129471 A JPH10129471 A JP H10129471A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】途中にポートを設けた真空配管内を往復移動し
て１基の浮上体により搬送物を搬送する、長い真空配管
を搬送路として使用できる磁気浮上搬送装置を提供する 【解決手段】非磁性体で形成された配管１の外部上方に
該配管に沿って往復走行する走行体２を設け、該配管の
内部に浮上体３を収容して該浮上体と該走行体に設けた
磁石から成る磁気浮上手段１１により該浮上体を浮上さ
せ、該浮上体の前後に該配管の軸線方向に延びる搬送物
保持用のハンド１７ａ、１７ｂを設け、該配管の浮上体
の走行経路の中間にポート２２を設けてそこに搬送物Ａ
を一時的に保持して昇降する昇降台２１を設けた
て１基の浮上体により搬送物を搬送する、長い真空配管
を搬送路として使用できる磁気浮上搬送装置を提供する 【解決手段】非磁性体で形成された配管１の外部上方に
該配管に沿って往復走行する走行体２を設け、該配管の
内部に浮上体３を収容して該浮上体と該走行体に設けた
磁石から成る磁気浮上手段１１により該浮上体を浮上さ
せ、該浮上体の前後に該配管の軸線方向に延びる搬送物
保持用のハンド１７ａ、１７ｂを設け、該配管の浮上体
の走行経路の中間にポート２２を設けてそこに搬送物Ａ
を一時的に保持して昇降する昇降台２１を設けた
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
表面分析装置の真空配管等の狭く長い真空雰囲気中で搬
送物を搬送するに適した磁気浮上搬送装置に関する。
表面分析装置の真空配管等の狭く長い真空雰囲気中で搬
送物を搬送するに適した磁気浮上搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空配管内で搬送物を搬送する場
合、真空配管内にベルト駆動装置を設け、そのベルト上
に搬送物を直接載せ、或いはベルトにパレットを介して
搬送物を載せて搬送する方法や、図１、図２に示すよう
に、磁気浮上搬送装置ａにより搬送物ｂを真空室ｃとこ
れに連なる真空配管ｄ内の間で搬送する方法が知られて
いる。
合、真空配管内にベルト駆動装置を設け、そのベルト上
に搬送物を直接載せ、或いはベルトにパレットを介して
搬送物を載せて搬送する方法や、図１、図２に示すよう
に、磁気浮上搬送装置ａにより搬送物ｂを真空室ｃとこ
れに連なる真空配管ｄ内の間で搬送する方法が知られて
いる。
【０００３】該磁気浮上搬送装置ａは、搬送台ｅに設け
たモータｆで回転されるボール螺子ｇに螺合させた走行
体ｈを備え、該走行体ｈに真空配管ｄの円周方向に等間
隔で設けた４個の電磁石ｉが該配管ｄ内に設けた浮上体
ｊを浮上させる構成を有し、該搬送台ｅ上のレールｋに
沿って走行体ｈが走行すると、該電磁石ｉの磁力により
該浮上体ｊが配管ｄ内で浮上して該走行体ｈと共に走行
する。該浮上体ｊの一端にはアームｌを介してハンドｍ
を取り付け、該ハンドｍに搬送物ｂを載せて搬送が行わ
れる。
たモータｆで回転されるボール螺子ｇに螺合させた走行
体ｈを備え、該走行体ｈに真空配管ｄの円周方向に等間
隔で設けた４個の電磁石ｉが該配管ｄ内に設けた浮上体
ｊを浮上させる構成を有し、該搬送台ｅ上のレールｋに
沿って走行体ｈが走行すると、該電磁石ｉの磁力により
該浮上体ｊが配管ｄ内で浮上して該走行体ｈと共に走行
する。該浮上体ｊの一端にはアームｌを介してハンドｍ
を取り付け、該ハンドｍに搬送物ｂを載せて搬送が行わ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のベルト駆動によ
る搬送方法では、摩擦摺動部があるためにその摺動部か
ら細かい塵が放出され、真空配管ｄ内で搬送物ｂに付着
するおそれがある。また、その摺動部からガス放出が生
じ、真空圧力に変動を来す不都合があり、更に、ベルト
駆動のための駆動系が配管内に存在するため、該配管ｄ
にゲートバルブを設けて配管を閉鎖することができない
不都合があった。
る搬送方法では、摩擦摺動部があるためにその摺動部か
ら細かい塵が放出され、真空配管ｄ内で搬送物ｂに付着
するおそれがある。また、その摺動部からガス放出が生
じ、真空圧力に変動を来す不都合があり、更に、ベルト
駆動のための駆動系が配管内に存在するため、該配管ｄ
にゲートバルブを設けて配管を閉鎖することができない
不都合があった。
【０００５】一方、上記の磁気浮上搬送装置ａでは、真
空配管ｄの周囲を囲んで電磁石とこれを取り付けた走行
体ｈが移動するので、搬送経路の途中の真空配管ｄには
ポートを設けることが出来ず、また、浮上体ｊを配管ｄ
内に位置させたまま搬送物ｂを配管ｄの一端から他端へ
直線的に搬送することもできない。該配管ｄの外面と電
磁石ｉの間のギャップは、通常１ｍｍ程度の狭いもの
で、電磁石ｉの移動のために配管ｄの外面を円柱精度を
高めなければならないが、円柱精度は配管ｄが長いと低
下するので、長い配管には磁気浮上搬送装置を使用でき
ない制限がある。該ギャップは、通常、浮上体ｊに設け
た磁性体と磁束を発生させるコイル又はトランスとの間
の磁気抵抗を走行体ｈに設けたギャップ検出器で検出し
ているが、該磁性体とギャップ検出器の間に非磁性体の
板が介在した場合、２〜３ｍｍ程度のギャップを検出す
るのが限界で、そのため真空配管ｄの厚みを厚くするこ
とができず、配管強度が弱いので配管を長い真空搬送路
として用いることができない欠点があった。
空配管ｄの周囲を囲んで電磁石とこれを取り付けた走行
体ｈが移動するので、搬送経路の途中の真空配管ｄには
ポートを設けることが出来ず、また、浮上体ｊを配管ｄ
内に位置させたまま搬送物ｂを配管ｄの一端から他端へ
直線的に搬送することもできない。該配管ｄの外面と電
磁石ｉの間のギャップは、通常１ｍｍ程度の狭いもの
で、電磁石ｉの移動のために配管ｄの外面を円柱精度を
高めなければならないが、円柱精度は配管ｄが長いと低
下するので、長い配管には磁気浮上搬送装置を使用でき
ない制限がある。該ギャップは、通常、浮上体ｊに設け
た磁性体と磁束を発生させるコイル又はトランスとの間
の磁気抵抗を走行体ｈに設けたギャップ検出器で検出し
ているが、該磁性体とギャップ検出器の間に非磁性体の
板が介在した場合、２〜３ｍｍ程度のギャップを検出す
るのが限界で、そのため真空配管ｄの厚みを厚くするこ
とができず、配管強度が弱いので配管を長い真空搬送路
として用いることができない欠点があった。
【０００６】本発明は、途中にポートを設けた真空配管
内を往復移動して１基の浮上体により搬送物を搬送する
こと、及び長い真空配管を搬送路として使用できる磁気
浮上搬送装置を提供することを目的とするものである。
内を往復移動して１基の浮上体により搬送物を搬送する
こと、及び長い真空配管を搬送路として使用できる磁気
浮上搬送装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、非磁性体で
形成された配管の外部上方に該配管に沿って往復走行す
る走行体を設け、該配管の内部に浮上体を収容して該浮
上体と該走行体に設けた磁石から成る磁気浮上手段によ
り該浮上体を浮上させ、該浮上体の前後に該配管の軸線
方向に延びる搬送物保持用ハンドを設け、該配管の浮上
体の走行経路の中間にポートを設けてそこに搬送物を一
時的に保持して昇降する昇降台を設けることにより、上
記第１の目的を達成するようにした。この場合、該浮上
体を非磁性体により形成し、該磁気浮上手段を、該走行
体の前後に１対ずつ設けた電磁石と該浮上体の各電磁石
に対応した位置に設けた永久磁石とで構成し、各対の電
磁石及び永久磁石を該配管の頂点を挟んで対称の位置に
互いに離間させて設け、該浮上体の最低点を挟んで対称
の位置に１対の姿勢安定用錘を設けた構成とすることが
好ましい。また、該浮上体に該走行体とのギャップの測
定手段を構成するターゲット磁石を設け、該走行体に該
測定手段を構成する磁束検出型のギャップ検出器を設
け、該ターゲット磁石の磁極面を該ギャップ検出器の測
定面積より大幅に大きくすることにより、上記第２の目
的が達成される。上記の目的は、請求項４、５の構成と
することにより一層適切に達成できる。
形成された配管の外部上方に該配管に沿って往復走行す
る走行体を設け、該配管の内部に浮上体を収容して該浮
上体と該走行体に設けた磁石から成る磁気浮上手段によ
り該浮上体を浮上させ、該浮上体の前後に該配管の軸線
方向に延びる搬送物保持用ハンドを設け、該配管の浮上
体の走行経路の中間にポートを設けてそこに搬送物を一
時的に保持して昇降する昇降台を設けることにより、上
記第１の目的を達成するようにした。この場合、該浮上
体を非磁性体により形成し、該磁気浮上手段を、該走行
体の前後に１対ずつ設けた電磁石と該浮上体の各電磁石
に対応した位置に設けた永久磁石とで構成し、各対の電
磁石及び永久磁石を該配管の頂点を挟んで対称の位置に
互いに離間させて設け、該浮上体の最低点を挟んで対称
の位置に１対の姿勢安定用錘を設けた構成とすることが
好ましい。また、該浮上体に該走行体とのギャップの測
定手段を構成するターゲット磁石を設け、該走行体に該
測定手段を構成する磁束検出型のギャップ検出器を設
け、該ターゲット磁石の磁極面を該ギャップ検出器の測
定面積より大幅に大きくすることにより、上記第２の目
的が達成される。上記の目的は、請求項４、５の構成と
することにより一層適切に達成できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
き説明すると、図３及び図４に於いて符号１はＳＵＳ等
の非磁性体で形成された真空配管、２は該配管１の外部
上方で該配管１に沿って往復走行する走行体、３は該配
管１の内部に収容された浮上体を示す。図示のもので
は、該配管１の外部上方に駆動モータ４によりガイド５
と平行にリニア走行するタイミングベルト６を設け、該
タイミングベルト６に取り付けたコントローラから成る
移動体７に支柱８、８を介して該走行体２を設けた。
き説明すると、図３及び図４に於いて符号１はＳＵＳ等
の非磁性体で形成された真空配管、２は該配管１の外部
上方で該配管１に沿って往復走行する走行体、３は該配
管１の内部に収容された浮上体を示す。図示のもので
は、該配管１の外部上方に駆動モータ４によりガイド５
と平行にリニア走行するタイミングベルト６を設け、該
タイミングベルト６に取り付けたコントローラから成る
移動体７に支柱８、８を介して該走行体２を設けた。
【０００９】該走行体２は、走行ベース２ａと、これに
ダンパ９及びばね１０を介して吊り下げられ且つ該配管
１の外面の略沿って湾曲した断面を有する揺動ベース２
ｂとで構成し、該揺動ベース２ｂの下面に磁気浮上手段
１１を構成する少なくとも４個の電磁石１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄと、該電磁石と同数のギャップ検出
器１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを設けるようにし
た。
ダンパ９及びばね１０を介して吊り下げられ且つ該配管
１の外面の略沿って湾曲した断面を有する揺動ベース２
ｂとで構成し、該揺動ベース２ｂの下面に磁気浮上手段
１１を構成する少なくとも４個の電磁石１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄと、該電磁石と同数のギャップ検出
器１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを設けるようにし
た。
【００１０】該浮上体３は、非磁性体の例えば中空筒体
にて形成され、その上面に磁気浮上手段１１を構成する
少なくとも４個の永久磁石１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１
４ｄを設け、その下面に該浮上体３の姿勢安定用の錘１
５ａ、１５ｂを設け、更に該浮上体３の前後にアーム１
６ａ、１６ｂを延長形成し、各アームの先端に搬送物Ａ
を保持する例えば２叉状に分岐したハンド１７ａ、１７
ｂを設けるようにした。該永久磁石１４は、該浮上体３
の前後の上面に、図４に示すように配管１の頂点から円
周方向に４５゜ずつずらして２個１対として設けるもの
とし、各永久磁石の反対側の下面に配管１の最低点から
４５゜ずらして２個の姿勢安定用錘１５を設けた。走行
体２の各電磁石１２は配管１の殻を介して各永久磁石１
４と対向するように設けられる。
にて形成され、その上面に磁気浮上手段１１を構成する
少なくとも４個の永久磁石１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１
４ｄを設け、その下面に該浮上体３の姿勢安定用の錘１
５ａ、１５ｂを設け、更に該浮上体３の前後にアーム１
６ａ、１６ｂを延長形成し、各アームの先端に搬送物Ａ
を保持する例えば２叉状に分岐したハンド１７ａ、１７
ｂを設けるようにした。該永久磁石１４は、該浮上体３
の前後の上面に、図４に示すように配管１の頂点から円
周方向に４５゜ずつずらして２個１対として設けるもの
とし、各永久磁石の反対側の下面に配管１の最低点から
４５゜ずらして２個の姿勢安定用錘１５を設けた。走行
体２の各電磁石１２は配管１の殻を介して各永久磁石１
４と対向するように設けられる。
【００１１】各対向する電磁石１２と永久磁石１４との
間のギャップの測定手段として、浮上体３の各永久磁石
１４の近傍に夫々永久磁石から成るターゲット磁石１８
ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄを設けるとともに、該走行
体２にこれらのターゲット磁石１８と対向する磁束検出
型のギャップ検出器１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを
設けた。各ターゲット磁石１８の端面の磁極面２０は、
各ギャップ検出器１３の測定面積よりも例えば１０倍以
上の大幅に広い面積に形成し、該ターゲット磁石１８と
ギャップ検出器１３の対向位置関係が当初の設定位置か
ら多少ずれても、該ギャップ検出器１３に於いて測定用
の磁束を十分に捕捉できるようにした。
間のギャップの測定手段として、浮上体３の各永久磁石
１４の近傍に夫々永久磁石から成るターゲット磁石１８
ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄを設けるとともに、該走行
体２にこれらのターゲット磁石１８と対向する磁束検出
型のギャップ検出器１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを
設けた。各ターゲット磁石１８の端面の磁極面２０は、
各ギャップ検出器１３の測定面積よりも例えば１０倍以
上の大幅に広い面積に形成し、該ターゲット磁石１８と
ギャップ検出器１３の対向位置関係が当初の設定位置か
ら多少ずれても、該ギャップ検出器１３に於いて測定用
の磁束を十分に捕捉できるようにした。
【００１２】各電磁石１２の磁力は、図７に示すよう
に、設定値をギャップ検出器１３からの検出値でＰＩＤ
制御されたパワーアンプ１９により制御され、該浮上体
３の姿勢が左右にずれたりピッチング或いはヨーイング
したとき、各検出器１３からの検出信号を演算して必要
な電磁石１２の磁力を補正し、その姿勢を配管軸に合わ
せて水平に修正する。尚、該走行体２の揺動ベース２ｂ
に該配管１の周面に接して回転する２個の車輪２ｄを設
け、電磁石１２等が配管１の外周面に異常に接近或いは
接触することを防止した。
に、設定値をギャップ検出器１３からの検出値でＰＩＤ
制御されたパワーアンプ１９により制御され、該浮上体
３の姿勢が左右にずれたりピッチング或いはヨーイング
したとき、各検出器１３からの検出信号を演算して必要
な電磁石１２の磁力を補正し、その姿勢を配管軸に合わ
せて水平に修正する。尚、該走行体２の揺動ベース２ｂ
に該配管１の周面に接して回転する２個の車輪２ｄを設
け、電磁石１２等が配管１の外周面に異常に接近或いは
接触することを防止した。
【００１３】該配管１の途中には、図３に示すように、
下方に昇降台２１を備えたポート２２を設け、該昇降台
２１が浮上体３の２叉状のハンド１７で保持する搬送物
Ａを一時的に受け取ってポート２２内へ下降し、その上
方を浮上体３が通過したのち再び上昇して搬送物Ａを該
浮上体３へ引き渡すようにした。この場合、該昇降台２
１の平面積はハンド１７の２叉状間を通過できる程度に
形成した。該配管１の両端には受け渡し室２７、２７が
バルブ２３やベロー２４を介して接続され、各受け渡し
室２７には浮上体３との間で搬送物Ａを受け渡しするた
めの昇降台等の受け渡し手段２９を設けた。該受け渡し
室２７には、例えば図６に示すように、分析チャンバや
プロセスチャンバ等の真空チャンバ２５、２６が接続さ
れ、該受け渡し手段２９と真空チャンバ２５、２６との
間で搬送物Ａを搬送するため、該受け渡し室２７に超伝
導型の搬送アーム装置２８を設けた。
下方に昇降台２１を備えたポート２２を設け、該昇降台
２１が浮上体３の２叉状のハンド１７で保持する搬送物
Ａを一時的に受け取ってポート２２内へ下降し、その上
方を浮上体３が通過したのち再び上昇して搬送物Ａを該
浮上体３へ引き渡すようにした。この場合、該昇降台２
１の平面積はハンド１７の２叉状間を通過できる程度に
形成した。該配管１の両端には受け渡し室２７、２７が
バルブ２３やベロー２４を介して接続され、各受け渡し
室２７には浮上体３との間で搬送物Ａを受け渡しするた
めの昇降台等の受け渡し手段２９を設けた。該受け渡し
室２７には、例えば図６に示すように、分析チャンバや
プロセスチャンバ等の真空チャンバ２５、２６が接続さ
れ、該受け渡し手段２９と真空チャンバ２５、２６との
間で搬送物Ａを搬送するため、該受け渡し室２７に超伝
導型の搬送アーム装置２８を設けた。
【００１４】該配管１内の浮上体３は、走行体２の電磁
石１２が励磁されるとギャップ検出器１３により制御さ
れて所定の位置に浮上し、該タイミングベルト６により
移動体７及び走行体２が水平走行すると、該浮上体３は
永久磁石１４と電磁石１２の磁気的結合により吸引され
且つギャップ検出器１３により姿勢を制御されながら配
管１内を磁気浮上走行する。該配管１の両端の、例えば
図６の平面図に示したような、バルブ２３やベロー２４
を介して設けた受け渡し室２７の間で搬送物Ａを搬送す
る場合、受け渡し室２７に用意した受け渡し手段２９に
より浮上体３に搬送物Ａを搭載できても、浮上体３が搬
送物Ａを他方の受け渡し室２７へ搬送するとき、配管内
で浮上体３が方向転換できないからそのままでは浮上体
３から他方の受け渡し室２７の受け渡し手段２９で積み
下ろすことができないが、本発明の装置では、浮上体３
の走行方向の前後に搬送物保持用ハンド１７を設けると
共に、該配管１の途中にポート２２から昇降する昇降台
２１を設けたので、配管１内で浮上体３の一方のハンド
１７ａから他方のハンド１７ｂへ搬送物Ａを積み換える
ことができ、搬送先で受け渡し手段２９により搬送物Ａ
を浮上体３から積み下ろすことができる。
石１２が励磁されるとギャップ検出器１３により制御さ
れて所定の位置に浮上し、該タイミングベルト６により
移動体７及び走行体２が水平走行すると、該浮上体３は
永久磁石１４と電磁石１２の磁気的結合により吸引され
且つギャップ検出器１３により姿勢を制御されながら配
管１内を磁気浮上走行する。該配管１の両端の、例えば
図６の平面図に示したような、バルブ２３やベロー２４
を介して設けた受け渡し室２７の間で搬送物Ａを搬送す
る場合、受け渡し室２７に用意した受け渡し手段２９に
より浮上体３に搬送物Ａを搭載できても、浮上体３が搬
送物Ａを他方の受け渡し室２７へ搬送するとき、配管内
で浮上体３が方向転換できないからそのままでは浮上体
３から他方の受け渡し室２７の受け渡し手段２９で積み
下ろすことができないが、本発明の装置では、浮上体３
の走行方向の前後に搬送物保持用ハンド１７を設けると
共に、該配管１の途中にポート２２から昇降する昇降台
２１を設けたので、配管１内で浮上体３の一方のハンド
１７ａから他方のハンド１７ｂへ搬送物Ａを積み換える
ことができ、搬送先で受け渡し手段２９により搬送物Ａ
を浮上体３から積み下ろすことができる。
【００１５】これを更に説明すると、まず、一方の受け
渡し室２７の受け渡し手段２９に搬送物Ａを載せて上昇
させておき、図８の（ａ）のように、浮上体３の一方の
ハンド１７ａが該搬送物Ａの下方へ進出するように該浮
上体３を移動させ、該受け渡し手段２９を降下させると
搬送物Ａが一方のハンド１７ａ上に載せられる（図８の
（ｂ）参照）。次いで、該浮上体３を図８の（ｃ）のよ
うに搬送物Ａがポート２２の昇降台２１上方に位置する
まで移動させ、昇降台２１を上昇させてその台上に搬送
物Ａを受け取り、浮上体３を図８の（ｄ）のように多少
退去移動させたところで該昇降台２１を下降させる。そ
して該浮上体３を一旦ポート２２を越えて逆走させたと
ころで昇降台２１を上昇させ（図８の（ｅ）（ｆ）参
照）、更に該昇降台２１の下方へ他方のハンド１７ｂが
進出するように浮上体３を移動させる（図８の（ｇ）参
照）。このあと昇降台２１を下降させるとこれに載せら
れていた搬送物Ａが他方のハンド１７ｂに積み換えら
れ、図８の（ｈ）のように浮上体３を前進させて他方の
受け渡し室２７の受け渡し手段２９上に搬送物Ａを位置
させたところで該受け渡し手段２９を上昇させると、搬
送物Ａが浮上体３から該受け渡し手段２９に積み換えら
れ、その搬送が完了し、次の搬送に備えて浮上体３が後
退する（図８の（ｉ）参照）。
渡し室２７の受け渡し手段２９に搬送物Ａを載せて上昇
させておき、図８の（ａ）のように、浮上体３の一方の
ハンド１７ａが該搬送物Ａの下方へ進出するように該浮
上体３を移動させ、該受け渡し手段２９を降下させると
搬送物Ａが一方のハンド１７ａ上に載せられる（図８の
（ｂ）参照）。次いで、該浮上体３を図８の（ｃ）のよ
うに搬送物Ａがポート２２の昇降台２１上方に位置する
まで移動させ、昇降台２１を上昇させてその台上に搬送
物Ａを受け取り、浮上体３を図８の（ｄ）のように多少
退去移動させたところで該昇降台２１を下降させる。そ
して該浮上体３を一旦ポート２２を越えて逆走させたと
ころで昇降台２１を上昇させ（図８の（ｅ）（ｆ）参
照）、更に該昇降台２１の下方へ他方のハンド１７ｂが
進出するように浮上体３を移動させる（図８の（ｇ）参
照）。このあと昇降台２１を下降させるとこれに載せら
れていた搬送物Ａが他方のハンド１７ｂに積み換えら
れ、図８の（ｈ）のように浮上体３を前進させて他方の
受け渡し室２７の受け渡し手段２９上に搬送物Ａを位置
させたところで該受け渡し手段２９を上昇させると、搬
送物Ａが浮上体３から該受け渡し手段２９に積み換えら
れ、その搬送が完了し、次の搬送に備えて浮上体３が後
退する（図８の（ｉ）参照）。
【００１６】該浮上体３の浮上は、その上方に設けた永
久磁石１４と配管１の外周上方の走行体２の電磁石１２
により行われ、該電磁石１２及び永久磁石１４は配管１
の頂点を挟んで対称の位置に離間させて設けられてお
り、浮上体３の下部には磁石がなく、姿勢安定用の錘１
５が配管１の最低点を挟んで対称の位置に設けられてい
るから、配管１の途中の側面や下部にポート２２を設け
ても浮上体３の走行に支障がなく、該ポート２２は必要
に応じて複数設けることができ、例えば排気用のポート
を配管途中に設けることもできる。
久磁石１４と配管１の外周上方の走行体２の電磁石１２
により行われ、該電磁石１２及び永久磁石１４は配管１
の頂点を挟んで対称の位置に離間させて設けられてお
り、浮上体３の下部には磁石がなく、姿勢安定用の錘１
５が配管１の最低点を挟んで対称の位置に設けられてい
るから、配管１の途中の側面や下部にポート２２を設け
ても浮上体３の走行に支障がなく、該ポート２２は必要
に応じて複数設けることができ、例えば排気用のポート
を配管途中に設けることもできる。
【００１７】また、各ギャップ検出器１３と対をなすタ
ーゲット磁石１８の磁極面を該検出器１３の測定面より
も十分に大きくしておくことで、浮上体３が揺れてもギ
ャップ検出器１３にターゲット磁石１８からの磁束を確
実に捕捉することができ、中間に非磁性体の配管１が存
在しても６ｍｍ程度以内のギャップは正確に検出できる
ようになり、ギャップ検出限度が増大することで配管１
の肉厚を厚くすることが可能になる。配管１の肉厚が厚
ければ、長い配管でも円柱精度が高まり、長い配管を搬
送路として使用でき、搬送距離を長く出来る。
ーゲット磁石１８の磁極面を該検出器１３の測定面より
も十分に大きくしておくことで、浮上体３が揺れてもギ
ャップ検出器１３にターゲット磁石１８からの磁束を確
実に捕捉することができ、中間に非磁性体の配管１が存
在しても６ｍｍ程度以内のギャップは正確に検出できる
ようになり、ギャップ検出限度が増大することで配管１
の肉厚を厚くすることが可能になる。配管１の肉厚が厚
ければ、長い配管でも円柱精度が高まり、長い配管を搬
送路として使用でき、搬送距離を長く出来る。
【００１８】尚、図３に示した装置を連続的に接続する
ことにより、長距離の搬送装置を構成できる。
ことにより、長距離の搬送装置を構成できる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、非磁
性体の配管の外部上方に沿って往復走行する走行体を設
け、該配管の内部に収容した浮上体を該浮上体と走行体
の磁気浮上手段により浮上させたので、該配管の途中の
下部や側面に走行体の走行を妨げることなくポートを設
けることができ、該浮上体の前後に搬送物保持用ハンド
を設けると共に該配管の浮上体の走行経路の中間にポー
トを設けてそこに搬送物を保持して昇降する昇降台を設
けたので、真空配管内を１基の浮上体を往復させて搬送
物を搬送することができ、該走行体に設けたギャップ検
出器の磁束測定面よりも十分に磁極面積の大きいターゲ
ット磁石を浮上体に設けたので、ギャップ検出器のギャ
ップ検出限度が向上して配管の肉厚を厚くすることがで
き、長い真空配管を搬送経路に使用して長い搬送距離を
構成できる等の効果がある。
性体の配管の外部上方に沿って往復走行する走行体を設
け、該配管の内部に収容した浮上体を該浮上体と走行体
の磁気浮上手段により浮上させたので、該配管の途中の
下部や側面に走行体の走行を妨げることなくポートを設
けることができ、該浮上体の前後に搬送物保持用ハンド
を設けると共に該配管の浮上体の走行経路の中間にポー
トを設けてそこに搬送物を保持して昇降する昇降台を設
けたので、真空配管内を１基の浮上体を往復させて搬送
物を搬送することができ、該走行体に設けたギャップ検
出器の磁束測定面よりも十分に磁極面積の大きいターゲ
ット磁石を浮上体に設けたので、ギャップ検出器のギャ
ップ検出限度が向上して配管の肉厚を厚くすることがで
き、長い真空配管を搬送経路に使用して長い搬送距離を
構成できる等の効果がある。
【図１】従来の磁気浮上搬送装置の側面図
【図２】図１の２−２線断面図
【図３】本発明の実施の形態の切断側面図
【図４】図３の４−４線断面図
【図５】図３の要部の拡大図
【図６】本発明の実施例の外観平面図
【図７】本発明装置の制御ブロック図
【図８】本発明装置の作動の説明図
１ 真空配管、２ 走行体、３ 浮上体、１１ 磁気浮
上手段、１２・１２ａ・１２ｂ・１２ｃ・１２ｄ 電磁
石、１３・１３ａ・１３ｂ・１３ｃ・１３ｄ ギャップ
検出器、１４・１４ａ・１４ｂ・１４ｃ・１４ｄ 永久
磁石、１５ａ・１５ｂ 姿勢安定用錘、１７ａ、１７ｂ
ハンド、１８・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ・１８ｄ タ
ーゲット磁石、２０ 磁極面、２１ 昇降台、２２ ポ
ート、Ａ搬送物
上手段、１２・１２ａ・１２ｂ・１２ｃ・１２ｄ 電磁
石、１３・１３ａ・１３ｂ・１３ｃ・１３ｄ ギャップ
検出器、１４・１４ａ・１４ｂ・１４ｃ・１４ｄ 永久
磁石、１５ａ・１５ｂ 姿勢安定用錘、１７ａ、１７ｂ
ハンド、１８・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ・１８ｄ タ
ーゲット磁石、２０ 磁極面、２１ 昇降台、２２ ポ
ート、Ａ搬送物
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｂ６５Ｇ 49/00 Ｂ６５Ｇ 49/00 Ａ
Claims (5)
- 【請求項１】非磁性体で形成された配管の外部上方に該
配管に沿って往復走行する走行体を設け、該配管の内部
に浮上体を収容して該浮上体と該走行体に設けた磁石か
ら成る磁気浮上手段により該浮上体を浮上させ、該浮上
体の前後に該配管の軸線方向に延びる搬送物保持用のハ
ンドを設け、該配管の浮上体の走行経路の中間にポート
を設けてそこに搬送物を一時的に保持して昇降する昇降
台を設けたことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】上記浮上体を非磁性体により形成し、上記
磁気浮上手段を、上記走行体の前後に１対ずつ設けた電
磁石と該浮上体の各電磁石に対応した位置に設けた永久
磁石とで構成し、各対の電磁石及び永久磁石を該配管の
頂点を挟んで対称の位置に互いに離間させて設け、該浮
上体の最低点を挟んで対称の位置に１対の姿勢安定用錘
を設けたことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬
送装置。 - 【請求項３】上記浮上体に上記走行体とのギャップの測
定手段を構成するターゲット磁石を設け、該走行体に該
測定手段を構成する磁束検出型のギャップ検出器を設
け、該ターゲット磁石の磁極面を該ギャップ検出器の測
定面積より大幅に大きくしたことを特徴とする請求項１
に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項４】上記配管に沿って直線的に移動する移動体
を設け、該移動体に上記走行体を上下方向へ移動自在に
取り付けたことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上
搬送装置。 - 【請求項５】上記浮上体を細い中空円筒体で構成して上
記配管の内面との間に十分大きい空間を形成したことを
特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28428296A JP4180128B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28428296A JP4180128B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10129471A true JPH10129471A (ja) | 1998-05-19 |
| JP4180128B2 JP4180128B2 (ja) | 2008-11-12 |
Family
ID=17676519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28428296A Expired - Fee Related JP4180128B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4180128B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109094423A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-28 | 济南尚海流体控制设备有限公司 | 被动式磁悬浮管道交通运输装置及其应用 |
| CN112960006A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-15 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 基于相变吸热的冷却兼氧气供应系统及真空管道磁悬浮列车 |
| CN113183769A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-07-30 | 西南交通大学 | 一种中低速磁浮列车的悬浮控制方法 |
| CN114391002A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-04-22 | 张鲁国 | 具有动力优化的管道运输系统及运输方法 |
| WO2024087734A1 (zh) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | 西南交通大学 | 一种真空管道高温超导磁悬浮高速试验平台及其试验方法 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP28428296A patent/JP4180128B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109094423A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-28 | 济南尚海流体控制设备有限公司 | 被动式磁悬浮管道交通运输装置及其应用 |
| CN109094423B (zh) * | 2018-08-30 | 2024-02-06 | 济南尚海流体控制设备有限公司 | 被动式磁悬浮管道交通运输装置及其应用 |
| CN112960006A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-15 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 基于相变吸热的冷却兼氧气供应系统及真空管道磁悬浮列车 |
| CN113183769A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-07-30 | 西南交通大学 | 一种中低速磁浮列车的悬浮控制方法 |
| CN113183769B (zh) * | 2021-06-04 | 2022-08-12 | 西南交通大学 | 一种中低速磁浮列车的悬浮控制方法 |
| CN114391002A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-04-22 | 张鲁国 | 具有动力优化的管道运输系统及运输方法 |
| WO2024087734A1 (zh) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | 西南交通大学 | 一种真空管道高温超导磁悬浮高速试验平台及其试验方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4180128B2 (ja) | 2008-11-12 |
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