JPH11173293A - ターボ分子ポンプ装置 - Google Patents

ターボ分子ポンプ装置

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JPH11173293A JP36182097A JP36182097A JPH11173293A JP H11173293 A JPH11173293 A JP H11173293A JP 36182097 A JP36182097 A JP 36182097A JP 36182097 A JP36182097 A JP 36182097A JP H11173293 A JPH11173293 A JP H11173293A
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明子 平
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宏之 千野
Toshiharu Nakazawa
敏治 中澤
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松太郎 宮本
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
    • F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポンプ本体と制御装置を一体化したターボ分
子ポンプ装置を提供すること。 【解決手段】 ポンプ本体１と該ポンプ本体１を制御す
る制御装置３を具備するターボ分子ポンプ装置におい
て、ポンプ本体１と制御装置３をポンプ本体と制御装置
が着脱可能に一体化すると共に、ポンプ本体１と制御装
置３を冷却できるように、冷却ジャケット２を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造設備等超
真空を用いる設備に使用されるターボ分子ポンプ装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のターボ分子ポンプ装置
は、図３に示すように、ポンプ本体２１と該ポンプ本体
２１を制御する制御装置２３はそれぞれ別々に構成さ
れ、該ポンプ本体２１と制御装置２３の間はケーブル２
７で接続される構成となっている。なお、図３におい
て、２２はポンプ本体２１を冷却するための冷却水が通
る冷却ジャケット、２４は電源供給用コネクタ、２５は
ポンプ／コントローラ接続コネクタ、２８は外部インタ
フェースコネクタである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記ポンプ本体２１と
制御装置２３を別々に構成するターボ分子ポンプ装置に
おいては、制御装置２３はケーブル２７の長さによって
調整する必要のあるものもあるので、数台のポンプ本体
２１及び同類異機種のポンプ本体２１が混在した場合は
ケーブル２７の接続ミスが発生するという恐れがあっ
た。また、制御装置２３もケーブル２７の長さ毎に調整
する必要性があった。
【０００４】また、制御装置２３は、空冷ファンにより
冷却するように構成されているので、恒温クリーンルー
ム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置する場合、
コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することにな
ると共に、ホットスポットの原因にもなるという問題も
あった。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、ポンプ本体と制御装置を一体化することにより、上
記問題点を解決したターボ分子ポンプ装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を
制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置にお
いて、ポンプ本体と制御装置を一体化したことを特徴と
する。
【０００７】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ本体を
冷却する冷却水で制御装置も冷却できるように、冷却ジ
ャケットを設けたことを特徴とする。
【０００８】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
又は２に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ
本体と制御装置が着脱可能に構成されることを特徴とす
る。
【０００９】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
又は２又は３に記載のターボ分子ポンプ装置において、
制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備するこ
とを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明に係るターボ分子
ポンプ装置の構成を示す図で、同図（ａ）は正面図、同
図（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。図１において、１はポ
ンプ本体であり、３は制御装置である。ポンプ本体１は
制御装置（コントローラ）３の上部に勘合する構造で、
ポンプ本体１と制御装置３の電気系統はポンプ／コント
ローラ接続コネクタ５で接続されるようになっている。
ポンプ本体１と制御装置３には双方に冷却されるよう
に、ポンプ冷却水が流れる冷却ジャケット２が配置され
ている。
【００１１】ポンプ本体１と制御装置３は、制御装置３
から突出している固定脚６によって固定され、互いに冷
却ジャケット２とも密着している。電源供給用コネクタ
４は制御装置３に電源を供給するためのコネクタであ
る。また、制御装置３には外部インタフェースコネクタ
８が設けられ、外部Ｉ／Ｏ（入出力）インタフェース機
能を有している。
【００１２】上記のようにポンプ本体１が制御装置３の
上部に勘合する構造とすることにより、ポンプ本体１と
制御装置３が一体となり、従来のようにポンプ本体１と
制御装置３を接続するケーブルが不要となると同時にそ
の敷設作業が不要となる。また、冷却ジャケット２を流
れる冷却水でポンプ本体１と制御装置３を同時に冷却す
るので、制御装置３に冷却ファンが不要になり、恒温ク
リーンルーム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置
する場合、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用す
ることなく、ホットスポットの原因にもなることがな
い。
【００１３】図２は冷却ジャケットの構成を示す図であ
り、冷却ジャケット２は環状に構成され、入口２ａから
冷却水を供給し、出口２ｂから排出することにより、該
冷却ジャケットに密着するポンプ本体１及び制御装置３
を冷却する。
【００１４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば下
記のような優れた効果が得られる。 （１）請求項１乃至４に記載の発明によれば、ポンプ本
体と制御装置を一体化したので、ポンプ本体と制御装置
を接続するケーブルが不要になると同時にその敷設作業
も不要となり、ケーブルの誤接続もない。また、ケーブ
ルが不要となるから、ケーブルの長さによる制御装置の
調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性が持
たせられると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少
し、耐ノイズ性が向上する。
【００１５】（２）また、請求項２に記載の発明によれ
ば、ポンプ本体を冷却する冷却水で制御装置も冷却でき
るように、冷却ジャケットを設けたので、制御装置に冷
却ファンが不要となり、クリーンルームに設置する場
合、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用すること
なく、ホットスポットの原因にもなることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るターボ分子ポンプ装置の構成を示
す図である。
【図２】冷却ジャケットの構成を示す図である。
【図３】従来のターボ分子ポンプ装置の構成を示す図で
ある。
【符号の説明】
１ ポンプ本体 ２ 冷却ジャケット ３ 制御装置 ４ 電源供給用コネクタ ５ ポンプ／コントローラ接続コネクタ ６ 固定脚 ８ 外部インタフェースコネクタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中澤 敏治 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原電産内 (72)発明者 宮本 松太郎 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制
    御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、 前記ポンプ本体と前記制御装置を一体化したことを特徴
    とするターボ分子ポンプ装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のターボ分子ポンプ装置
    において、前記ポンプ本体を冷却する冷却水で前記制御
    装置も冷却できるように、冷却ジャケットを設けたこと
    を特徴とするターボ分子ポンプ装置。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のターボ分子ポン
    プ装置において、前記ポンプ本体と前記制御装置が着脱
    可能に構成されることを特徴とするターボ分子ポンプ装
    置。
  4. 【請求項４】 請求項１又は２又は３に記載のターボ分
    子ポンプ装置において、前記制御装置は外部Ｉ／Ｏイン
    タフェース機能を具備することを特徴とするターボ分子
    ポンプ装置。
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1732178A2 (en) 2005-06-09 2006-12-13 BOC Edwards Japan Limited Terminal structure and vacuum pump
WO2007013274A1 (ja) * 2005-07-29 2007-02-01 Boc Edowards Japan Limited 真空ポンプ装置とそのコントローラ
JP2007255223A (ja) * 2006-03-20 2007-10-04 Shimadzu Corp 真空ポンプ
JP2009174333A (ja) * 2008-01-22 2009-08-06 Shimadzu Corp 真空ポンプ
JP2010216413A (ja) * 2009-03-18 2010-09-30 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
CN102220980A (zh) * 2010-04-19 2011-10-19 株式会社荏原制作所 干式真空泵设备及冷却干式真空泵设备的方法
JP2011226365A (ja) * 2010-04-19 2011-11-10 Ebara Corp ドライ真空ポンプ装置
WO2012053270A1 (ja) * 2010-10-19 2012-04-26 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
US20120321442A1 (en) * 2010-03-11 2012-12-20 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump device
WO2014034645A1 (ja) 2012-08-28 2014-03-06 株式会社大阪真空機器製作所 分子ポンプ
WO2018074191A1 (ja) 2016-10-21 2018-04-26 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置
WO2018123522A1 (ja) 2016-12-28 2018-07-05 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置
WO2018150911A1 (ja) 2017-02-17 2018-08-23 エドワーズ株式会社 コントローラ及び真空ポンプ装置
US11408429B2 (en) 2017-01-20 2022-08-09 Edwards Japan Limited Vacuum pump apparatus, and pump main body unit, control unit, and spacer each for use in vacuum pump apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6884553B2 (ja) 2016-11-04 2021-06-09 エドワーズ株式会社 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1732178A3 (en) * 2005-06-09 2007-12-26 BOC Edwards Japan Limited Terminal structure and vacuum pump
US7393228B2 (en) 2005-06-09 2008-07-01 Edwards Japan Limited Terminal structure and vacuum pump
EP1732178A2 (en) 2005-06-09 2006-12-13 BOC Edwards Japan Limited Terminal structure and vacuum pump
WO2007013274A1 (ja) * 2005-07-29 2007-02-01 Boc Edowards Japan Limited 真空ポンプ装置とそのコントローラ
JP2007032535A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Boc Edwards Kk 真空ポンプ装置とそのコントローラ
JP2007255223A (ja) * 2006-03-20 2007-10-04 Shimadzu Corp 真空ポンプ
US8480379B2 (en) 2008-01-22 2013-07-09 Shimadzu Corporation Vacuum pump
JP2009174333A (ja) * 2008-01-22 2009-08-06 Shimadzu Corp 真空ポンプ
US20100303644A1 (en) * 2008-01-22 2010-12-02 Shimadzu Corporation Vacuum pump
US8613604B2 (en) 2009-03-18 2013-12-24 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump
JP2010216413A (ja) * 2009-03-18 2010-09-30 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
US9353755B2 (en) * 2010-03-11 2016-05-31 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump device
US20120321442A1 (en) * 2010-03-11 2012-12-20 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump device
JP2011226365A (ja) * 2010-04-19 2011-11-10 Ebara Corp ドライ真空ポンプ装置
CN102220980A (zh) * 2010-04-19 2011-10-19 株式会社荏原制作所 干式真空泵设备及冷却干式真空泵设备的方法
JP5778166B2 (ja) * 2010-10-19 2015-09-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JPWO2012053270A1 (ja) * 2010-10-19 2014-02-24 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
WO2012053270A1 (ja) * 2010-10-19 2012-04-26 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
KR20150048159A (ko) 2012-08-28 2015-05-06 가부시끼가이샤 오오사까 신꾸우기끼 세이사꾸쇼 분자 펌프
US9964112B2 (en) 2012-08-28 2018-05-08 Osaka Vacuum, Ltd. Molecular pump
WO2014034645A1 (ja) 2012-08-28 2014-03-06 株式会社大阪真空機器製作所 分子ポンプ
KR20190066009A (ko) 2016-10-21 2019-06-12 에드워즈 가부시키가이샤 진공 펌프 및 그 진공 펌프에 적용되는 방수 구조, 제어장치
WO2018074191A1 (ja) 2016-10-21 2018-04-26 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置
WO2018123522A1 (ja) 2016-12-28 2018-07-05 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置
KR20190100911A (ko) 2016-12-28 2019-08-29 에드워즈 가부시키가이샤 진공 펌프 및 당해 진공 펌프에 적용되는 커넥터, 제어 장치
US11081845B2 (en) 2016-12-28 2021-08-03 Edwards Japan Limited Vacuum pump, and connector and control device applied to vacuum pump
US11408429B2 (en) 2017-01-20 2022-08-09 Edwards Japan Limited Vacuum pump apparatus, and pump main body unit, control unit, and spacer each for use in vacuum pump apparatus
WO2018150911A1 (ja) 2017-02-17 2018-08-23 エドワーズ株式会社 コントローラ及び真空ポンプ装置
KR20190113783A (ko) 2017-02-17 2019-10-08 에드워즈 가부시키가이샤 컨트롤러 및 진공 펌프 장치

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