JP3165857B2 - ターボ分子ポンプ装置 - Google Patents
ターボ分子ポンプ装置Info
- Publication number
- JP3165857B2 JP3165857B2 JP36182097A JP36182097A JP3165857B2 JP 3165857 B2 JP3165857 B2 JP 3165857B2 JP 36182097 A JP36182097 A JP 36182097A JP 36182097 A JP36182097 A JP 36182097A JP 3165857 B2 JP3165857 B2 JP 3165857B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- control device
- turbo
- pump body
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0693—Details or arrangements of the wiring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
真空を用いる設備に使用されるターボ分子ポンプ装置に
関するものである。
は、図3に示すように、ポンプ本体21と該ポンプ本体
21を制御する制御装置23はそれぞれ別々に構成さ
れ、該ポンプ本体21と制御装置23の間はケーブル2
7で接続される構成となっている。なお、図3におい
て、22はポンプ本体21を冷却するための冷却水が通
る冷却ジャケット、24は電源供給用コネクタ、25は
ポンプ/コントローラ接続コネクタ、28は外部インタ
フェースコネクタである。
制御装置23を別々に構成するターボ分子ポンプ装置に
おいては、制御装置23はケーブル27の長さによって
調整する必要のあるものもあるので、数台のポンプ本体
21及び同類異機種のポンプ本体21が混在した場合は
ケーブル27の接続ミスが発生するという恐れがあっ
た。また、制御装置23もケーブル27の長さ毎に調整
する必要性があった。
冷却するように構成されているので、恒温クリーンルー
ム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置する場合、
コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することにな
ると共に、ホットスポットの原因にもなるという問題も
あった。
で、ポンプ本体と制御装置を一体化することにより、上
記問題点を解決したターボ分子ポンプ装置を提供するこ
とを目的とする。
請求項1に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を
制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置にお
いて、ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成する
と共に、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可
能な構成としたことを特徴とする。
に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ本体と
制御装置を互いに嵌合し一体化した状態でポンプ本体を
冷却する冷却水で制御装置も冷却できるように構成した
冷却ジャケットを設けたことを特徴とする。
又は2に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ
制御装置は外部I/Oインタフェース機能を具備するこ
とを特徴とする。
面に基づいて説明する。図1は本発明に係るターボ分子
ポンプ装置の構成を示す図で、同図(a)は正面図、同
図(b)はA−A断面図である。図1において、1はポ
ンプ本体であり、3は制御装置である。ポンプ本体1は
制御装置(コントローラ)3の上部に勘合する構造で、
ポンプ本体1と制御装置3の電気系統はポンプ/コント
ローラ接続コネクタ5で接続されるようになっている。
ポンプ本体1と制御装置3には双方に冷却されるよう
に、ポンプ冷却水が流れる冷却ジャケット2が配置され
ている。
から突出している固定脚6によって固定され、互いに冷
却ジャケット2とも密着している。電源供給用コネクタ
4は制御装置3に電源を供給するためのコネクタであ
る。また、制御装置3には外部インタフェースコネクタ
8が設けられ、外部I/O(入出力)インタフェース機
能を有している。
上部に勘合する構造とすることにより、ポンプ本体1と
制御装置3が一体となり、従来のようにポンプ本体1と
制御装置3を接続するケーブルが不要となると同時にそ
の敷設作業が不要となる。また、冷却ジャケット2を流
れる冷却水でポンプ本体1と制御装置3を同時に冷却す
るので、制御装置3に冷却ファンが不要になり、恒温ク
リーンルーム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置
する場合、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用す
ることなく、ホットスポットの原因にもなることがな
い。
り、冷却ジャケット2は環状に構成され、入口2aから
冷却水を供給し、出口2bから排出することにより、該
冷却ジャケットに密着するポンプ本体1及び制御装置3
を冷却する。
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。 (1)請求項1乃至3に記載の発明によれば、ポンプ本
体と制御装置をそれぞれ別体に構成すると共に、互いに
嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とした
ので、ポンプ本体と制御装置を接続するケーブルが不要
になると同時にその敷設作業も不要となり、ケーブルの
誤接続もなくなる。また、ケーブルの長さによる制御装
置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性
が持たせられ、故障等の問題発生のときポンプ本体のみ
又は制御装置のみ交換が可能となり、メンテナンス性が
向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少
し、耐ノイズ性が向上する。
ば、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状
態でポンプ本体を冷却する冷却水で制御装置も冷却でき
るように構成した冷却ジャケットを設けたので、制御装
置に冷却ファンが不要となり、本ターボ分子ポンプ装置
をクリーンルームに設置する場合、コストの高いクリー
ンな空気を冷却に使用することなく、ホットスポットの
原因になることもない。
す図である。
ある。
Claims (3)
- 【請求項1】 ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制
御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、 前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成すると
共に、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能
な構成としたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載のターボ分子ポンプ装置
において、前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化し
た状態で ポンプ本体を冷却する冷却水で制御装置も冷却
できるように構成した冷却ジャケットを設けたことを特
徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載のターボ分子ポン
プ装置において、前記ポンプ制御装置は外部I/Oインタフェース機能を
具備する ことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36182097A JP3165857B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | ターボ分子ポンプ装置 |
EP98957125A EP1036951B1 (en) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetic bearing device and turbo-molecular pump device |
US09/555,648 US6398524B1 (en) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetic bearing control device and turbo-molecular pump device |
PCT/JP1998/005427 WO1999028640A1 (fr) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Organe de commande a palier magnetique et dispositif a pompe turbomoleculaire |
DE69840607T DE69840607D1 (de) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetlagervorrichtung und turbomolekularpumpe |
TW087119954A TW470821B (en) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetic bearing controlling device and turbo pump |
KR10-2000-7005904A KR100528263B1 (ko) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | 자기베어링제어장치 및 터보분자펌프장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36182097A JP3165857B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | ターボ分子ポンプ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11173293A JPH11173293A (ja) | 1999-06-29 |
JP3165857B2 true JP3165857B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=18474971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36182097A Expired - Lifetime JP3165857B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-10 | ターボ分子ポンプ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3165857B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018084160A1 (ja) | 2016-11-04 | 2018-05-11 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法 |
JP2018115631A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006344503A (ja) | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Boc Edwards Kk | 端子構造及び真空ポンプ |
JP4796795B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-10-19 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置とそのコントローラ |
JP2007255223A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP5104334B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2012-12-19 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP5396949B2 (ja) | 2009-03-18 | 2014-01-22 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
WO2011111209A1 (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
TWI491804B (zh) * | 2010-04-19 | 2015-07-11 | Ebara Corp | 乾真空泵裝置及該乾真空泵裝置之冷卻方法 |
JP5373691B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2013-12-18 | 株式会社荏原製作所 | ドライ真空ポンプ装置 |
KR101848528B1 (ko) * | 2010-10-19 | 2018-04-12 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
JP5511915B2 (ja) | 2012-08-28 | 2014-06-04 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ |
JP6753759B2 (ja) | 2016-10-21 | 2020-09-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置 |
JP6912196B2 (ja) | 2016-12-28 | 2021-08-04 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置 |
JP2018132024A (ja) | 2017-02-17 | 2018-08-23 | エドワーズ株式会社 | コントローラ及び真空ポンプ装置 |
-
1997
- 1997-12-10 JP JP36182097A patent/JP3165857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018084160A1 (ja) | 2016-11-04 | 2018-05-11 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法 |
KR20190079612A (ko) | 2016-11-04 | 2019-07-05 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 제어 장치 및 진공 펌프, 및 진공 펌프 제어 장치의 조립 방법 |
JP2018115631A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
WO2018135412A1 (ja) | 2017-01-20 | 2018-07-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
KR20190105579A (ko) | 2017-01-20 | 2019-09-17 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 장치, 및 그 진공 펌프 장치에 이용되는 펌프 본체 유닛, 제어 유닛, 및 스페이서 |
JP7048210B2 (ja) | 2017-01-20 | 2022-04-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
KR102440090B1 (ko) * | 2017-01-20 | 2022-09-05 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 장치, 및 그 진공 펌프 장치에 이용되는 펌프 본체 유닛, 제어 유닛, 및 스페이서 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11173293A (ja) | 1999-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3165857B2 (ja) | ターボ分子ポンプ装置 | |
US7218515B2 (en) | Cooling fan with external circuit board | |
US7976291B2 (en) | Motor cooler | |
US6992404B2 (en) | Line powering of auxiliary equipment | |
US10693347B2 (en) | Motor device and heat dissipation device | |
EP1712799B1 (en) | Fan | |
US20240183362A1 (en) | Water-cooled pump assembly for bathing unit system and pump assembly for bathing unit system with mounting brackets | |
JPWO2016194046A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2003269750A (ja) | 空気調和装置の電気絶縁装置及びそれを備えた空気調和装置 | |
US6812402B1 (en) | Apparatus for securing electrical wiring to a device | |
JP3324046B2 (ja) | 給湯装置 | |
JP3123370U (ja) | ターボ分子ポンプ装置 | |
US20160348939A1 (en) | Retrofit assembly for operating a motor of an hvac system as a multi-stage motor and an hvac system including the retrofit assembly | |
JP2003315918A (ja) | プロジェクター装置の基板配置部の構造 | |
JPH05183281A (ja) | 冷却装置 | |
JP2007201747A (ja) | 電力線アダプタ装置 | |
CN217354859U (zh) | 一种高速涡轮风机用电路板 | |
JPH01170306A (ja) | 電線管接続口 | |
KR20090075120A (ko) | 냉각팬 속도 제어 방법 | |
JP2000352391A (ja) | 循環ポンプユニット | |
JPH02215195A (ja) | 情報処理装置等の冷却方式 | |
JP3537735B2 (ja) | 電流出力装置 | |
RU2010749C1 (ru) | Система охлаждения блоков радиоэлектронной аппаратуры на стеллаже | |
FI20022142A (fi) | Sähkökojeyksikön jäähdytys | |
JP3188355B2 (ja) | 同軸ケーブル用接続コネクタ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080309 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100309 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100309 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130309 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130309 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140309 Year of fee payment: 13 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |