JP3165857B2 - ターボ分子ポンプ装置 - Google Patents
ターボ分子ポンプ装置Info
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- JP3165857B2 JP3165857B2 JP36182097A JP36182097A JP3165857B2 JP 3165857 B2 JP3165857 B2 JP 3165857B2 JP 36182097 A JP36182097 A JP 36182097A JP 36182097 A JP36182097 A JP 36182097A JP 3165857 B2 JP3165857 B2 JP 3165857B2
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- pump
- control device
- turbo
- pump body
- molecular pump
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0693—Details or arrangements of the wiring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造設備等超
真空を用いる設備に使用されるターボ分子ポンプ装置に
関するものである。
真空を用いる設備に使用されるターボ分子ポンプ装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のターボ分子ポンプ装置
は、図３に示すように、ポンプ本体２１と該ポンプ本体
２１を制御する制御装置２３はそれぞれ別々に構成さ
れ、該ポンプ本体２１と制御装置２３の間はケーブル２
７で接続される構成となっている。なお、図３におい
て、２２はポンプ本体２１を冷却するための冷却水が通
る冷却ジャケット、２４は電源供給用コネクタ、２５は
ポンプ／コントローラ接続コネクタ、２８は外部インタ
フェースコネクタである。
は、図３に示すように、ポンプ本体２１と該ポンプ本体
２１を制御する制御装置２３はそれぞれ別々に構成さ
れ、該ポンプ本体２１と制御装置２３の間はケーブル２
７で接続される構成となっている。なお、図３におい
て、２２はポンプ本体２１を冷却するための冷却水が通
る冷却ジャケット、２４は電源供給用コネクタ、２５は
ポンプ／コントローラ接続コネクタ、２８は外部インタ
フェースコネクタである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記ポンプ本体２１と
制御装置２３を別々に構成するターボ分子ポンプ装置に
おいては、制御装置２３はケーブル２７の長さによって
調整する必要のあるものもあるので、数台のポンプ本体
２１及び同類異機種のポンプ本体２１が混在した場合は
ケーブル２７の接続ミスが発生するという恐れがあっ
た。また、制御装置２３もケーブル２７の長さ毎に調整
する必要性があった。
制御装置２３を別々に構成するターボ分子ポンプ装置に
おいては、制御装置２３はケーブル２７の長さによって
調整する必要のあるものもあるので、数台のポンプ本体
２１及び同類異機種のポンプ本体２１が混在した場合は
ケーブル２７の接続ミスが発生するという恐れがあっ
た。また、制御装置２３もケーブル２７の長さ毎に調整
する必要性があった。
【０００４】また、制御装置２３は、空冷ファンにより
冷却するように構成されているので、恒温クリーンルー
ム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置する場合、
コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することにな
ると共に、ホットスポットの原因にもなるという問題も
あった。
冷却するように構成されているので、恒温クリーンルー
ム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置する場合、
コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することにな
ると共に、ホットスポットの原因にもなるという問題も
あった。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、ポンプ本体と制御装置を一体化することにより、上
記問題点を解決したターボ分子ポンプ装置を提供するこ
とを目的とする。
で、ポンプ本体と制御装置を一体化することにより、上
記問題点を解決したターボ分子ポンプ装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を
制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置にお
いて、ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成する
と共に、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可
能な構成としたことを特徴とする。
請求項１に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を
制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置にお
いて、ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成する
と共に、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可
能な構成としたことを特徴とする。
【０００７】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ本体と
制御装置を互いに嵌合し一体化した状態でポンプ本体を
冷却する冷却水で制御装置も冷却できるように構成した
冷却ジャケットを設けたことを特徴とする。
に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ本体と
制御装置を互いに嵌合し一体化した状態でポンプ本体を
冷却する冷却水で制御装置も冷却できるように構成した
冷却ジャケットを設けたことを特徴とする。
【０００８】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
又は２に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ
制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備するこ
とを特徴とする。
又は２に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ
制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備するこ
とを特徴とする。
【０００９】
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明に係るターボ分子
ポンプ装置の構成を示す図で、同図（ａ）は正面図、同
図（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。図１において、１はポ
ンプ本体であり、３は制御装置である。ポンプ本体１は
制御装置（コントローラ）３の上部に勘合する構造で、
ポンプ本体１と制御装置３の電気系統はポンプ／コント
ローラ接続コネクタ５で接続されるようになっている。
ポンプ本体１と制御装置３には双方に冷却されるよう
に、ポンプ冷却水が流れる冷却ジャケット２が配置され
ている。
面に基づいて説明する。図１は本発明に係るターボ分子
ポンプ装置の構成を示す図で、同図（ａ）は正面図、同
図（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。図１において、１はポ
ンプ本体であり、３は制御装置である。ポンプ本体１は
制御装置（コントローラ）３の上部に勘合する構造で、
ポンプ本体１と制御装置３の電気系統はポンプ／コント
ローラ接続コネクタ５で接続されるようになっている。
ポンプ本体１と制御装置３には双方に冷却されるよう
に、ポンプ冷却水が流れる冷却ジャケット２が配置され
ている。
【００１１】ポンプ本体１と制御装置３は、制御装置３
から突出している固定脚６によって固定され、互いに冷
却ジャケット２とも密着している。電源供給用コネクタ
４は制御装置３に電源を供給するためのコネクタであ
る。また、制御装置３には外部インタフェースコネクタ
８が設けられ、外部Ｉ／Ｏ（入出力）インタフェース機
能を有している。
から突出している固定脚６によって固定され、互いに冷
却ジャケット２とも密着している。電源供給用コネクタ
４は制御装置３に電源を供給するためのコネクタであ
る。また、制御装置３には外部インタフェースコネクタ
８が設けられ、外部Ｉ／Ｏ（入出力）インタフェース機
能を有している。
【００１２】上記のようにポンプ本体１が制御装置３の
上部に勘合する構造とすることにより、ポンプ本体１と
制御装置３が一体となり、従来のようにポンプ本体１と
制御装置３を接続するケーブルが不要となると同時にそ
の敷設作業が不要となる。また、冷却ジャケット２を流
れる冷却水でポンプ本体１と制御装置３を同時に冷却す
るので、制御装置３に冷却ファンが不要になり、恒温ク
リーンルーム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置
する場合、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用す
ることなく、ホットスポットの原因にもなることがな
い。
上部に勘合する構造とすることにより、ポンプ本体１と
制御装置３が一体となり、従来のようにポンプ本体１と
制御装置３を接続するケーブルが不要となると同時にそ
の敷設作業が不要となる。また、冷却ジャケット２を流
れる冷却水でポンプ本体１と制御装置３を同時に冷却す
るので、制御装置３に冷却ファンが不要になり、恒温ク
リーンルーム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置
する場合、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用す
ることなく、ホットスポットの原因にもなることがな
い。
【００１３】図２は冷却ジャケットの構成を示す図であ
り、冷却ジャケット２は環状に構成され、入口２ａから
冷却水を供給し、出口２ｂから排出することにより、該
冷却ジャケットに密着するポンプ本体１及び制御装置３
を冷却する。
り、冷却ジャケット２は環状に構成され、入口２ａから
冷却水を供給し、出口２ｂから排出することにより、該
冷却ジャケットに密着するポンプ本体１及び制御装置３
を冷却する。
【００１４】
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。 （１）請求項１乃至３に記載の発明によれば、ポンプ本
体と制御装置をそれぞれ別体に構成すると共に、互いに
嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とした
ので、ポンプ本体と制御装置を接続するケーブルが不要
になると同時にその敷設作業も不要となり、ケーブルの
誤接続もなくなる。また、ケーブルの長さによる制御装
置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性
が持たせられ、故障等の問題発生のときポンプ本体のみ
又は制御装置のみ交換が可能となり、メンテナンス性が
向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少
し、耐ノイズ性が向上する。
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。 （１）請求項１乃至３に記載の発明によれば、ポンプ本
体と制御装置をそれぞれ別体に構成すると共に、互いに
嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とした
ので、ポンプ本体と制御装置を接続するケーブルが不要
になると同時にその敷設作業も不要となり、ケーブルの
誤接続もなくなる。また、ケーブルの長さによる制御装
置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性
が持たせられ、故障等の問題発生のときポンプ本体のみ
又は制御装置のみ交換が可能となり、メンテナンス性が
向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少
し、耐ノイズ性が向上する。
【００１５】（２）また、請求項２に記載の発明によれ
ば、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状
態でポンプ本体を冷却する冷却水で制御装置も冷却でき
るように構成した冷却ジャケットを設けたので、制御装
置に冷却ファンが不要となり、本ターボ分子ポンプ装置
をクリーンルームに設置する場合、コストの高いクリー
ンな空気を冷却に使用することなく、ホットスポットの
原因になることもない。
ば、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状
態でポンプ本体を冷却する冷却水で制御装置も冷却でき
るように構成した冷却ジャケットを設けたので、制御装
置に冷却ファンが不要となり、本ターボ分子ポンプ装置
をクリーンルームに設置する場合、コストの高いクリー
ンな空気を冷却に使用することなく、ホットスポットの
原因になることもない。
【図１】本発明に係るターボ分子ポンプ装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】冷却ジャケットの構成を示す図である。
【図３】従来のターボ分子ポンプ装置の構成を示す図で
ある。
ある。
１ ポンプ本体 ２ 冷却ジャケット ３ 制御装置 ４ 電源供給用コネクタ ５ ポンプ／コントローラ接続コネクタ ６ 固定脚 ８ 外部インタフェースコネクタ
フロントページの続き (72)発明者 中澤 敏治 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会 社荏原電産内 (72)発明者 宮本 松太郎 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会 社荏原製作所内 (56)参考文献 特開 平８−338393（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−131887（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−14794（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−83990（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04D 19/04
Claims (3)
- 【請求項１】 ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制
御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、 前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成すると
共に、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能
な構成としたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のターボ分子ポンプ装置
において、前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化し
た状態で ポンプ本体を冷却する冷却水で制御装置も冷却
できるように構成した冷却ジャケットを設けたことを特
徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載のターボ分子ポン
プ装置において、前記ポンプ制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を
具備する ことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36182097A JP3165857B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | ターボ分子ポンプ装置 |
| DE69840607T DE69840607D1 (de) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetlagervorrichtung und turbomolekularpumpe |
| EP98957125A EP1036951B1 (en) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetic bearing device and turbo-molecular pump device |
| KR10-2000-7005904A KR100528263B1 (ko) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | 자기베어링제어장치 및 터보분자펌프장치 |
| US09/555,648 US6398524B1 (en) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetic bearing control device and turbo-molecular pump device |
| PCT/JP1998/005427 WO1999028640A1 (fr) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Organe de commande a palier magnetique et dispositif a pompe turbomoleculaire |
| TW087119954A TW470821B (en) | 1997-12-02 | 1998-12-02 | Magnetic bearing controlling device and turbo pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36182097A JP3165857B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | ターボ分子ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11173293A JPH11173293A (ja) | 1999-06-29 |
| JP3165857B2 true JP3165857B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=18474971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36182097A Expired - Lifetime JP3165857B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-10 | ターボ分子ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3165857B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018084160A1 (ja) | 2016-11-04 | 2018-05-11 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法 |
| WO2018135412A1 (ja) | 2017-01-20 | 2018-07-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006344503A (ja) | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Boc Edwards Kk | 端子構造及び真空ポンプ |
| JP4796795B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-10-19 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置とそのコントローラ |
| JP2007255223A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| JP5104334B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2012-12-19 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP5396949B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2014-01-22 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| US9353755B2 (en) * | 2010-03-11 | 2016-05-31 | Shimadzu Corporation | Turbomolecular pump device |
| JP5373691B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2013-12-18 | 株式会社荏原製作所 | ドライ真空ポンプ装置 |
| TWI491804B (zh) * | 2010-04-19 | 2015-07-11 | Ebara Corp | 乾真空泵裝置及該乾真空泵裝置之冷卻方法 |
| JP5778166B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-09-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP5511915B2 (ja) | 2012-08-28 | 2014-06-04 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ |
| JP6753759B2 (ja) | 2016-10-21 | 2020-09-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置 |
| JP6912196B2 (ja) | 2016-12-28 | 2021-08-04 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置 |
| JP2018132024A (ja) | 2017-02-17 | 2018-08-23 | エドワーズ株式会社 | コントローラ及び真空ポンプ装置 |
-
1997
- 1997-12-10 JP JP36182097A patent/JP3165857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018084160A1 (ja) | 2016-11-04 | 2018-05-11 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法 |
| KR20190079612A (ko) | 2016-11-04 | 2019-07-05 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 제어 장치 및 진공 펌프, 및 진공 펌프 제어 장치의 조립 방법 |
| WO2018135412A1 (ja) | 2017-01-20 | 2018-07-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
| JP2018115631A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
| KR20190105579A (ko) | 2017-01-20 | 2019-09-17 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 장치, 및 그 진공 펌프 장치에 이용되는 펌프 본체 유닛, 제어 유닛, 및 스페이서 |
| JP7048210B2 (ja) | 2017-01-20 | 2022-04-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ |
| KR102440090B1 (ko) * | 2017-01-20 | 2022-09-05 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 장치, 및 그 진공 펌프 장치에 이용되는 펌프 본체 유닛, 제어 유닛, 및 스페이서 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11173293A (ja) | 1999-06-29 |
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