WO2018135412A1

WO2018135412A1 - 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ

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Publication number: WO2018135412A1
Application number: PCT/JP2018/000698
Authority: WO
Inventors: 坂口　祐幸; 彦斌孫; 健吾三枝; 大森　秀樹
Original assignee: エドワーズ株式会社
Priority date: 2017-01-20
Filing date: 2018-01-12
Publication date: 2018-07-26
Also published as: KR20190105579A; EP3572667A1; KR102440090B1; EP3572667B1; EP3572667A4; CN110139985A; US20200124043A1; CN110139985B; JP2018115631A; JP7048210B2; US11408429B2

Abstract

【課題】真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にする真空ポンプ装置を提供する。　【解決手段】ポンプ本体ユニット（１１）とポンプ本体ユニット（１１）の駆動を制御する制御ユニット（１２）を一体化した真空ポンプ装置（１０）であって、制御ユニットユニット（１２）の筐体（２２）に加わる荷重を支えるスペーサ（１３）を、ポンプ本体ユニット（１１）のベース（１５）と制御ユニット（１２）の筐体（２２）との間に備える構成とした。

Description

真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ

　本発明は真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ関するものであり、特に、ポンプ本体ユニットと一体化される制御ユニットの薄形化及びコンパクト化を可能にする構造にした真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサに関するものである。

　従来、吸気口及び排気口を有するケーシングの内部で、ロータを高速回転させて排気処理を行う、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプは知られている。また、その真空ポンプ本体のロータを回転させるためのモータの駆動を制御する真空ポンプ制御装置（コントローラ）を、その真空ポンプ本体に電気的に接続してなる真空ポンプ装置も知られている（例えば、特許文献１参照）。

　このように、真空ポンプ装置を用いて排気処理を行うことで、内部を真空に保つようにする真空装置は、例えば半導体製造装置、電子顕微鏡装置、表面分析装置、微細加工装置等で使用される。また、一般に、こうした真空装置は、真空ポンプ本体と真空ポンプ制御装置をそれぞれ別々に構成し、その真空ポンプ本体と真空ポンプ制御装置の間をケーブルで接続した構成となっている。

　真空ポンプ本体と真空ポンプ制御装置を別々に構成した真空ポンプ装置では、真空ポンプ本体と真空ポンプ制御装置をそれぞれ、床面上に別々に設置した場合では大きな設置スペースを必要とする。このため、真空ポンプ本体と真空ポンプ制御装置を縦方向に重ねて設置する方法、すなわち、真空ポンプ制御装置の上に真空ポンプ本体を設置する構造等が採用されている場合もある（同じく特許文献１参照）。

特許第３１６５８５７号公報

　しかしながら、真空ポンプ本体を真空ポンプ制御装置の上に設置してなる構造では、運搬時や前述の半導体製造装置等の装置への設置前の仮置き時等、真空ポンプ本体の全ての重量が真空ポンプ制御装置の上面に負荷される場合がある。そのため、真空ポンプ制御装置における筐体（ハウジング）の上面及び全体の強度を大きくしておく必要がある。したがって、真空ポンプ制御装置の強度を大きくするのに、天面の厚みを大きくするだけでなく、真空ポンプ制御装置全体の厚みを大きくしたりする必要がある。また、特殊な材料を使用したりして、強度を大きくする必要等もある。これにより、真空ポンプ制御装置自体のサイズが大きくなったり、重量が大きくなったりして、取り扱いが不便になるとともに、コストも高くなるという問題点があった。

　そこで、真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にする真空ポンプ装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

　本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ポンプ本体ユニットと前記ポンプ本体ユニットの駆動を制御する制御ユニットを一体化した真空ポンプ装置において、前記ポンプ本体ユニットの筐体と、前記制御ユニットの筐体と、前記制御ユニットの前記筐体に配設され、前記制御ユニットの前記筐体に加わる荷重を支えるスペーサと、を備える真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記ポンプ本体ユニット側の重量は、前記ポンプ本体ユニットの前記筐体と前記制御ユニットの前記筐体との間に配設されているスペーサを経由して前記制御ユニット側に伝えられ、更に前記制御ユニットの前記筐体を通して床面等の接地面に伝えられる。すなわち、前記ポンプ本体ユニット側の重量を、一度、スペーサが受けるようにコントロールしている。したがって、前記制御ユニットの前記筐体等は、その全体の強度を大きくしなくても、スペーサを通して受ける箇所の強度だけ、すなわちスペーサと対応する箇所の強度だけを大きくしておけば良く、スペーサと対応する箇所以外の箇所の強度はさほど要求されない。これにより、制御ユニット全体の大きさ、及び、重量を小さくすることが可能になり、コスト低減に寄与する。

　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記スペーサは、前記ポンプ本体ユニットと前記制御ユニットとの間に所定の隙間を形成する、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記スペーサは、前記ポンプ本体ユニットと前記制御ユニットとの間に所定の隙間を形成して、前記ポンプ本体ユニット側の重量を前記制御ユニット側に前記スペーサを介して伝え、その後、その重量が前記制御ユニットの前記筐体の所定の箇所を通して接地面に伝えられる。したがって、前記ポンプ本体ユニット側の重量はスペーサ以外、すなわち前記ポンプ本体ユニット側から前記制御ユニットの前記筐体側へ直に伝わることがないので、更に前記制御ユニットの前記筐体の強度を小さくすることが可能になる。

　請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記スペーサは、複数本設けられているとともに、前記制御ユニットの前記筐体に所定間隔をあけて立設してなる、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記ポンプ本体ユニット側の重量を、複数本のスペーサに分散させて前記制御ユニット側に伝えることができる。これにより、小さなスペーサを使用して更に前記制御ユニットの強度を小さくすることが可能になる。

　請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の構成において、前記スペーサは、前記制御ユニットの前記筐体側方に配置される、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記ポンプ本体ユニット側の重量を、前記制御ユニットの前記筐体側方に配置されるスペーサに分散させて前記制御ユニット側に伝えることができる。

　請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の構成において、前記スペーサは、前記制御ユニットの前記筐体内部に配置される、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記ポンプ本体ユニット側の重量を、前記制御ユニットの前記筐体内部に配置されるスペーサに分散させて前記制御ユニット側に伝えることができる。

　請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の構成において、前記制御ユニットの前記筐体の底面に、前記スペーサに対応して床面上に接地可能な脚部を設けている、前記筐体の底面に、前記スペーサに対応して脚部を設けている、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記スペーサを介して前記制御ユニット側に伝えられた前記ポンプ本体ユニット側の重量を、更に所定の脚部を通して接地面に伝えることができる。

　請求項７に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の構成において、前記スペーサの下端部を、前記制御ユニットの前記筐体を貫通させて据え付け床面上に接地可能である、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記スペーサを介して前記制御ユニット側に伝えられた前記ポンプ本体ユニット側の重量を、スペーサから直に接地面に伝えることができる。これにより、前記制御ユニットの強度を更に小さくすることが可能になるとともに、制御ユニット自体の大きさ及び重量を更に小さくすることが可能になる。

　請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれか１項に記載の構成において、前記制御ユニットの前記筐体は、前記制御ユニットの前記筐体の底面から天面に向かって突出しているボス部を有し、前記ボス部は少なくとも１つの前記スペーサと対峙して当接可能に設けられている、真空ポンプ装置を提供する。

　この構成によれば、前記ポンプ本体ユニット側の重量は、前記筐体の底面から天面に向かって突出しているボス部と、このボス部と対峙して当接するスペーサを通して接地面に伝えられる。これにより、前記制御ユニットの強度を更に小さくすることが可能になる。

　請求項９に記載の発明は、請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置に用いられる、真空ポンプユニットを提供する。

　この構成によれば、真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にする真空ポンプユニットが得られる。

　請求項１０に記載の発明は、請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置に用いられる、制御ユニットを提供する。

　請求項１１に記載の発明は、請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置に用いられる、スペーサを提供する。

　この構成によれば、真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にするスペーサが得られる。

　本発明によれば、ポンプ本体ユニット側の重量は、ポンプ本体ユニットの筐体と制御ユニットの筐体との間に配設されているスペーサを経由して制御ユニット側に伝えられた後、制御ユニットの筐体を通して接地面に伝えられるというようにコントロールされる。したがって、制御ユニットの筐体等においては、全体の強度を大きくしなくても、スペーサと対応する箇所の強度だけを大きくしておけばよい。すなわち、スペーサと対応する箇所以外の箇所における強度はさほど要求されないので、ポンプ本体ユニット自体の大きさ及び重量を小さくすることが可能になり、コスト低減に寄与する。

本発明の第１実施形態に基づく真空ポンプ装置の側面図である。一部を破断して示す図１のＡ―Ａ線矢視拡大概略図である。図１に示す同上真空ポンプ装置における制御ユニットの側面図である。図３に示す制御ユニットの縦断側面図である。図３に示す制御ユニットの要部斜視図である。図５に示す制御ユニットの要部における平面図である。本発明の第２実施形態に基づく真空ポンプ装置の側面図である。図７に示す同上真空ポンプ装置における制御ユニットの側面図である。図８に示す制御ユニットの縦断側面図である。図９に示す制御ユニットにおける蓋板の平面図である。同上第２実施形態の一変形例を説明する概略断面図である。

　本発明は、真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にする真空ポンプ装置を提供するという目的を達成するために、ポンプ本体ユニットと前記ポンプ本体ユニットの駆動を制御する制御ユニットを一体化してなる真空ポンプ装置において、前記ポンプ本体ユニットの筐体と、前記制御ユニットの筐体と、前記制御ユニットの前記筐体に配設され、前記ポンプ本体ユニットを支えるスペーサと、を備える構成として実現した。

　以下、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という）を、添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明では、各実施形態の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。また、以下の説明では、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明の真空ポンプ装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

　図１から図６は本発明の第１実施形態に係る真空ポンプ装置１０を示すものであり、図１はその真空ポンプ装置１０の側面図、図２は一部を破断して示す図１のＡ－Ａ線拡大概略図、図３は真空ポンプ装置１０における制御ユニット１２の側面図、図４は図３に示す制御ユニット１２の縦断側面図、図５は図３に示す制御ユニット１２の要部斜視図、図６は図５に示す制御ユニット１２の要部における平面図である。

　図１において、真空ポンプ装置１０は、ポンプ本体ユニット１１と、ポンプ本体ユニット１１を制御する制御ユニット１２を備えている。真空ポンプ装置１０は、ポンプ本体ユニット１１と制御ユニット１２との間に複数本（本実施形態では４本）のスペーサ１３を介在させて、このスペーサ１３を介してポンプ本体ユニット１１と制御ユニット１２を一体化した構造としている。そして、ポンプ本体ユニット１１側の重量が、各スペーサ１３を介して制御ユニット１２側の所定の位置、すなわちスペーサ１３が配置されている下側の箇所に伝わるようにコントロールしている。したがって、真空ポンプ装置１０における制御ユニット１２側では、ポンプ本体ユニット１１側の重量が直接負荷される箇所、すなわちスペーサ１３が各々設置されている箇所の強度を上げ、その他の箇所の強度は逆に減らすようにして、制御ユニット１２全体の強度を上げることにより、制御ユニット１２全体の大きさと重量を各々減らして、コストの低減を図るようにしたものである。

　まず、ポンプ本体ユニット１１側の構造について説明する。ポンプ本体ユニット１１は、ポンプ本体ユニット１１の外装体を形成するケーシング１４を有している。ケーシング１４は、略筒形の形状をしており、ケーシング１４の下部に設けられたベース１５と共にポンプ本体ユニット１１の筐体１６を構成している。なお、図示しないがポンプ本体ユニット１１の筐体１６の内部には、ポンプ本体ユニット１１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に軸支された回転部と、ポンプ本体ユニット１１の筐体に対して固定された固定部と、から構成されている。

　ケーシング１４の上端部には、ポンプ本体ユニット１１へ気体を導入する吸気口１７が形成されている。また、ケーシング１４の吸気口１７側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部１８が形成されている。

　なお、ベース１５には、ポンプ本体ユニット１１から気体を排気するための排気口１９が形成されている。また、ベース１５には、図２に示すように、スペーサ１３と対応する位置に、ベース１５とスペーサ１３との間をネジ止めして固定するボルト２０を装着するための、取付孔２１が各々形成されている。

　次に、制御ユニット１２の構造について説明する。制御ユニット１２は、制御ユニット１２の外装体である筐体２２を有する。筐体２２は、図３～図５に示すように、概略矩形状をした側面部２３と、その筐体２２の下端側を閉塞してなる底面部２４とを一体に有して、上面が開口（以下、これを「上面開口」と言う）されて、下面が底面部２４で閉じられ、内部にポンプ本体ユニット１１の各種動作を制御する制御回路を構成する回路基板２５等が配設される空間２６を設けている。なお、筐体２２の上面開口は、蓋板２２ａにより開閉可能に閉じられる。また、筐体２２と蓋板２２ａは、本実施形態では、アルミダイキャスト製である。

　筐体２２における側面部２３の４つの各角部には、それぞれ外側から内側に向かって切欠して形成された凹部２７が設けられている。各凹部２７には、それぞれスペーサ１３が立設した状態で取り付けられる。その各凹部２７の底面２７ａには、図２に示すようにスペーサ１３の下端突出部１３ａを挿入係合させて、スペーサ１３を位置決めするための位置決め穴２７ｂが形成されている。また、位置決め穴２７ｂと対応する側面部２３には、位置決め穴２７ｂへ向かって直角に、その位置決め穴２７ｂ内まで形成したネジ穴２７ｃが設けられている。ネジ穴２７ｃには、位置決め穴２７ｂ内に挿入されたスペーサ１３の下端突出部１３ａを固定するスペーサ固定用ボルト２８が取り付けられる。さらに、筐体２２の下面には、筐体２２の各凹部２７が形成される箇所の略真下の位置にそれぞれ対応して、凸状の脚部２２ｄが筐体２２の下面から下方に突出して各々設けられている。したがって、この第１実施形態における制御ユニット１２は、床面上に制御ユニット１２の全体が接地されるのではなく、脚部２２ｄだけが接地される。

　また、筐体２２内において、底面部２４には、底面部２４から上面開口へ向かって垂直に突出した状態にして、底面部２４と一体に形成されたピン状の基板位置決め用のボス部２４ａが設けられている。この基板位置決め用のボス部２４ａには、図４に示すように回路基板２５が載置されて、この回路基板２５が空間２６の所定の位置に固定される。

　スペーサ１３は、断面が六角形をした棒状体として形成されており、本実施形態ではステンレス鋼材を使用している。図２に示すように、スペーサ１３の上面には、ベース１５とスペーサ１３との間をネジ止め固定するボルト２０を螺合させるための、取り付けネジ穴１３ｂが形成されている。一方、スペーサ１３の下面には、前記下端突出部１３ａが一体に形成されている。また、スペーサ１３の、下端突出部１３ａを除いた長さＬは、筐体２２の凹部２７の底面２７ａから蓋板２２ａの上面までの高さＨよりも若干（１～２ミリ程度）大きく、（Ｌ＞Ｈ）の関係で形成されている。

　このように構成された真空ポンプ装置１０は、制御ユニット１２上にポンプ本体ユニット１１を載置させて、制御ユニット１２とポンプ本体ユニット１１を一体化した状態で使用する場合は、例えば次の（１）～（３）のような手順で組み立てられる。

　（１）まず、制御ユニット１２の筐体２２内に所定の回路基板２５を組み込んだ後、蓋板２２ａを閉じる。次いで、各位置決め凹部２７の位置決め穴２７ｂにそれぞれ、対応するスペーサ１３の下端突出部１３ａを差し込む。

　また、筐体２２の位置決め穴２２ｂにそれぞれ、スペーサ固定用ボルト２８を各々螺合させて各スペーサ１３の抜け止め固定を各々行う。これにより、各スペーサ１３は、凹部２７の底面２７ａに固定されて立設状態で配置される。図２及び図３は、その状態を示している。

　（２）次いで、制御ユニット１２上にポンプ本体ユニット１１を載置する。この場合、制御ユニット１２上に立設されている各スペーサ１３にそれぞれ、ポンプ本体ユニット１１のベース１５に設けられている取付孔２１を対応させて、各スペーサ１３の上面にポンプ本体ユニット１１を載置させる。すると、ポンプ本体ユニット１１は、各スペーサ１３で下側から支えられる。

　（３）また、各スペーサ１３により下側から支えられ状態では、スペーサ１３の長さＬが、筐体２２の位置決め凹部２７の底面２７ａから蓋板２２ａの上面までの高さＨよりも若干大きく形成されているので、その寸法差により、ポンプ本体ユニット１１の底面（下面）と制御ユニット１２の蓋板２２ａの上面との間には所定の隙間σが形成されて、ポンプ本体ユニット１１は制御ユニット１２上に直に載置されない。

　さらに、ポンプ本体ユニット１１のベース１５側において、ボルト２０を取付孔２１から差し込み、このボルト２０をスペーサ１３の取り付けネジ穴１３ｂに螺合させ、かつ、締め付けると、ポンプ本体ユニット１１と制御ユニット１２とがスペーサ１３を介して互いに一体化される。その後、ポンプ本体ユニット１１と制御ユニット１２との間を、図示しない電気ケーブルで接続すると組立が完了する。

　したがって、このように構成された第１実施形態における真空ポンプ装置１０では、ポンプ本体ユニット１１側の重量は、ポンプ本体ユニット１１のケーシング（筐体）１４と制御ユニット１２の筐体２２との間に配設されているスペーサ１３を経由して制御ユニット１２側に伝えられ、更に制御ユニット１２の脚部２２ｄを通して接地面に伝えられる。すなわち、ポンプ本体ユニット１１側の重量をスペーサ１３で一度受け、その後、スペーサ１３から制御ユニット１２の所定の位置（凹部２７の底面２７ａ）に負荷するようにコントロールする。これにより、制御ユニット１２の筐体２２等は、筐体２２全体の強度を大きくしなくても、スペーサ１３と対応する箇所の強度、すなわち、凹部２７の真下の部分や脚部２２ｄだけの強度を大きくしておけばよく、スペーサ１３と対応する箇所以外の箇所の強度はさほど要求されない。この結果、制御ユニット１２全体の大きさ及び重量を小さくすることが可能になり、コスト低減に寄与する。

　また、スペーサ１３は、それぞれ複数本（本実施形態で４本）の棒状をしたスペーサ１３で形成され、各スペーサ１３を制御ユニット１２の筐体２２における外側円周上、すなわち所定の間隔をあけて設けられた凹部２７内にそれぞれ立設している。したがって、ポンプ本体ユニット１１側の重量を分散させて前記制御ユニット１２側に伝えることができるので、制御ユニット１２の強度を更に小さくすることも可能になる。

　なお、ポンプ本体ユニット１１の底面（下面）と制御ユニット１２の蓋板２２ａの上面との間に設けられている上記所定の隙間σは、ポンプ本体ユニット１１と制御ユニット１２の間の断熱効果の役割も果たす。例えば、ポンプ本体ユニット１１が制御ユニット１２に比べ、高温になった場合、ポンプ本体ユニット１１の底面（下面）から制御ユニット１２の蓋板２２ａへ熱が伝わり、制御ユニット１２の内部が高温化してしまうことを生じ難くできる。

　図７から図１０は本発明の第２実施形態としての真空ポンプ装置５０を示すものであり、図７はその真空ポンプ装置５０の側面図、図８は図７に示す真空ポンプ装置５０における制御ユニット５２の側面図、図９は図８に示す制御ユニット５２の縦断側面図、図１０は図９に示す制御ユニット５２における蓋板６８の平面図である。

　図７において、真空ポンプ装置５０は、ポンプ本体ユニット５１と、ポンプ本体ユニット５１を制御する制御ユニット５２を備えている。真空ポンプ装置５０は、制御ユニット５２の天面部６４に複数本（本実施形態では４本）のスペーサ５３を設けて、ポンプ本体ユニット５１側の重量が、各スペーサ５３を介して床面等の設置面に伝わるようにコントロールしている。したがって、真空ポンプ装置５０における制御ユニット５２側では、ポンプ本体ユニット５１側の重量が直接負荷されるスペーサ５３自体の強度を上げるとともに、その他の箇所の強度は逆に減らすようにして、制御ユニット５２全体の強度を上げるようにしている。これにより、制御ユニット５２全体の大きさと重量を各々減らして、コストの低減を図るようにしたものである。

　まず、ポンプ本体ユニット５１側の構造について説明する。ポンプ本体ユニット５１は、ポンプ本体ユニット１１の外装体を形成するケーシング１４を有している。ケーシング１４は、略筒形の形状をしており、ケーシング１４の下部に設けられたベース５５と共にポンプ本体ユニット５１の筐体５６を構成している。なお、図示しないがポンプ本体ユニット５１の筐体５６の内部には、ポンプ本体ユニット５１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に軸支された回転部と、ポンプ本体ユニット５１の筐体に対して固定された固定部と、から構成されている。

　ケーシング１４の上端部には、ポンプ本体ユニット５１へ気体を導入する吸気口１７が形成されている。また、ケーシング１４の吸気口１７側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部１８が形成されている。

　なお、ベース５５には、ポンプ本体ユニット５１から気体を排気するための排気口１９が形成されている。

　次に、制御ユニット５２の構造について説明する。制御ユニット５２は、制御ユニット５２の外装体である筐体６２を有する。筐体６２は、図９～図１１に示すように、概略矩形状をした側面部６３と、その筐体６２の上端（天面）側を閉塞してなる天面部６４とを一体に有して、下面が開口（以下、これを「上面開口」と言う）されて、上面が天面部６４で閉じられ、内部にポンプ本体ユニット１１の各種動作を制御する制御回路を構成する回路基板６５等が配設される空間６６を設けている。なお、筐体６２の下面開口は、蓋板６８により開閉可能に閉じられる。また、筐体６２と蓋板６８は、本実施形態では、アルミダイキャスト製である。

　天面部６４には、所定の間隔をあけて４本のピン状をしたスペーサ５３が天面部６４の内面から真っ直ぐ垂れ下げられた状態にして、天面部６４と一体に形成されている。

　蓋板６８は、筐体６２の下面に図示しない固定ネジを使用して着脱自在に取り付けられる。蓋板６８には、天面部６４の各スペーサ５３にそれぞれ対応して複数個の貫通孔６８ａが各々形成されているとともに、空間６６内で回路基板６５を支える複数個（本実施形態では４個）のボス部６８ｂが各々形成されている。

　各貫通孔６８ａは、天面部６４から垂れ下がるスペーサ５３が貫通できる大きさで形成されている。ボス部６８ｂは、ピン状のボスであり、蓋板６８の内面から上方（天面部６４）に向かって突出されており、上端面に回路基板６５が載置され、この回路基板６５を下側から支えて空間６６の所定の位置に固定できるようになっている。

　回路基板６５は、図９に示すように、貫通孔６８ａとそれぞれ対応する位置に、貫通孔６５ａが形成されている。この貫通孔６５ａは、天面部６４から垂れ下がるスペーサ５３が貫通できる大きさで形成されている。

　このように構成された真空ポンプ装置５０は、制御ユニット５２上にポンプ本体ユニット５１を載置させて、制御ユニット５２とポンプ本体ユニット５１を一体化した状態で使用する場合は、例えば次の（１）～（５）のような手順で組み立てられる。

（１）まず、制御ユニット５２における蓋板６８のボス部６８ｂ上に回路基板６５を組み込んで保持する。

（２）次いで、筐体６２を、蓋板６８の上側から蓋板６８に被せる。このとき、筐体６２の天面部６４の内面から延びているスペーサ５３が、それぞれ対応している貫通孔６５ａ、６８ａを順に通って挿入され、かつ、位置決めされる。

（３）その後、筐体６２と蓋体６８を一体に裏返して、筐体６２と蓋板６８との間をビス等で固定する。このように、筐体６２と蓋板６８との間をビス等で固定すると、各スペーサ５３の下端部が蓋板６８の下面よりも僅かに突出した状態で組み立てられる。なお、この蓋板６８の下面から突出したスペーサ５３の下端部は、制御ユニット５２の脚部となる。

（４）次いで、再び筐体６２と蓋板６８を一体に裏返して、その後、一体化された筐体６２と蓋板６８の姿勢を再び上下逆さにし、制御ユニット５２の姿勢を図９に示すように正しい位置に戻す。すると、制御ユニット５２は、蓋板６８の下面よりも突出している各スペーサ５３の下端部、すなわち脚部を床面に接地した状態で床面上に配置される。

（５）次いで、制御ユニット５２上にポンプ本体ユニット５１を載置する。この場合、制御ユニット５２の筐体５６における天面部６４の下面には複数のスペーサ５３が一体に形成されているので、各スペーサ５３が天面部６４の補強用の支柱となり、ポンプ本体ユニット５１を下側から支えた状態で、制御ユニット５２上にポンプ本体ユニット５１が配置される。これにより、ポンプ本体ユニット５１の重量が制御ユニット５２の天面部６４に加わっても、天面部６４が簡単に変形するようなことはない。その後、ポンプ本体ユニット５１と制御ユニット５２との間を、図示しない電気ケーブルで接続すると組立が完了する。

　したがって、このように構成された第２の実施形態における真空ポンプ装置５０では、ポンプ本体ユニット５１側の重量は、ポンプ本体ユニット５１の筐体（ケーシング）５６と制御ユニット５２の筐体５６との間に配設されているスペーサ５３を経由して床面に伝えられる。すなわち、ポンプ本体ユニット５１側の重量をスペーサ５３が各々受けるようにコントロールする。この結果、制御ユニット５２の筐体６２等の強度はさほど大きくしなくても済む。これにより、ポンプ本体ユニット１１自体の大きさ及び重量を小さくすることが可能になり、コスト低減に寄与する。そして、この場合では、第１の実施形態において設けていた、ポンプ本体ユニット５１の筐体（ケーシング）５６と制御ユニット５２の筐体６２との間の隙間σは無くなり、ポンプ本体ユニット５１の下面と制御ユニット５２の上面とを密にした状態で配置することが可能になる。

　なお、スペーサ５３は、直接接地せずに、例えば図１１に示すように、蓋板６８の内面から上方（天面部６４）に向かって延びる少なくとも１つ以上のボス部６８ｂにスペーサ５３を対峙させ、そのボス部６８ｂとスペーサ５３を当接させて、ポンプ本体ユニット５１の重量をスペーサ５３とボス部６８ｂを介して受けるようにしてもよい。この場合、回路基板６５にはボス部６８ｂが貫通する貫通孔６５ｂを設けるとともに、ボス部６８ｂと対応する蓋板６８の裏面側に、床面に接地される凸状の脚部６９を設けることが好ましい。

　また、上記各実施態様では、ポンプ本体ユニット１１、５１と制御ユニット１２、５２をそれぞれ縦型に設置した場合、すなわち制御ユニット１２、５２の上側にポンプ本体ユニット１１、５１を設置した場合について説明した。しかし、図示しないが、ポンプ本体ユニット１１、５１と制御ユニット１２、５２を互いに横に並べて配置し、かつ、制御ユニット１２、５２の各スペーサ１３、５３をポンプ本体ユニット１１、５１に対し略直角に配設してなる横型設置とした場合でも、同様な効果が得られるものである。すなわち、この横型設置の場合は、例えばポンプ本体ユニット１１、５１と制御ユニット１２との間に揺れが生じて、ポンプ本体ユニット１１、５１からの重量が制御ユニット１２側に加わったようなとき、そのポンプ本体ユニット１１、５１からの重量がスペーサで受けられ、ポンプ本体ユニット１１、５１からの重量をコントロールすることができる。この結果、制御ユニット５２の筐体６２等の強度はさほど大きくしなくても済む。

　また、制御ユニット１２、５２にポンプ本体ユニット１１、５１からの重量が加わる場合だけでなく、制御ユニット１２、５２に外部から荷重が加わったときでも、その荷重をスペーサで受けられ、制御ユニット１２、５２の筐体６２等の強度をさほど上げなくても、筐体６２等の変形を低減させることができる。

　また、本発明の実施形態および各変形例は、必要に応じて組み合わせる構成にしてもよい。

　また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０　　　真空ポンプ装置
１１　　　ポンプ本体ユニット
１２　　　制御ユニット
１３　　　スペーサ
１３ａ　　下端突出部
１３ｂ　　取り付けネジ穴
１４　　　筐体（ケーシング）
１５　　　ベース
１６　　　ポンプ本体ユニットの筐体
１７　　　吸気口
１８　　　フランジ部
１９　　　排気口
２０　　　ボルト
２１　　　取付孔
２２　　　筐体
２２ａ　　蓋板
２２ｂ　　位置決め穴
２２ｃ　　ネジ穴
２２ｄ　　脚部
２３　　　側面部
２４　　　底面部
２４ａ　　ボス部
２５　　　回路基板
２６　　　空間
２７　　　凹部
２７ａ　　底面
２７ｂ　　位置決め穴
２７ｃ　　ネジ穴
２８　　　スペーサ固定用ボルト
５０　　　真空ポンプ装置
５１　　　ポンプ本体ユニット
５２　　　制御ユニット
５３　　　スペーサ
５５　　　ベース
５６　　　筐体（ケーシング）
６２　　　筐体
６３　　　側面部
６４　　　天面部
６５　　　回路基板
６５ａ、６５ｂ　貫通孔
６６　　　空間
６８　　　蓋板
６８ａ　　貫通孔
６８ｂ　　ボス部
６９　　　脚部

Claims

　ポンプ本体ユニットと前記ポンプ本体ユニットの駆動を制御する制御ユニットを一体化した真空ポンプ装置において、
　前記ポンプ本体ユニットの筐体と、
　前記制御ユニットの筐体と、
　前記制御ユニットの前記筐体に配設され、前記制御ユニットの前記筐体に加わる荷重を支えるスペーサと、
　を備える、ことを特徴とする真空ポンプ装置。
　前記スペーサは、前記ポンプ本体ユニットと前記制御ユニットとの間に所定の隙間を形成する、ことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
　前記スペーサは、複数本設けられているとともに、前記制御ユニットの前記筐体に所定間隔をあけて立設してなる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプ装置。
　前記スペーサは、前記制御ユニットの前記筐体側方に配置される、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
　前記スペーサは、前記制御ユニットの前記筐体内部に配置される、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
　前記制御ユニットの前記筐体の底面に、前記スペーサに対応して床面上に接地可能な脚部を設けている、ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
　前記スペーサの下端部を、前記制御ユニットの前記筐体を貫通させて据え付け床面上に接地可能である、ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
　前記制御ユニットの前記筐体は、前記制御ユニットの前記筐体の底面から天面に向かって突出しているボス部を有し、前記ボス部は少なくとも１つの前記スペーサと対峙して当接可能に設けられている、ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
　請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置に用いられることを特徴とする真空ポンプユニット。
　請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置に用いられることを特徴とする制御ユニット。
請求項１～８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置に用いられることを特徴とするスペーサ。