JP2015031151A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ロータ組立体に用いられるボルトが緩まないターボ分子ポンプの提供。【解決手段】ターボ分子ポンプのロータ組立体１０におけるロータ１２とシャフト１４とを含む被締結部材が螺子部材２で締結され、螺子部材２の頭部９の座面８ａが被締結部材１６に当接して押圧されることで被締結部材１６が締結され、螺子部材２の頭部９の座面８ａと被締結部材１６との当接面積が、螺子部材２の呼び径に対応する規格品である螺子部材に比べて大きくなるように、螺子部材２の頭部９の形状を定めた。【選択図】図２

Description

本発明は、ターボ分子ポンプに関する。

ターボ分子ポンプは、ロータ翼とステータ翼が交互に積層された構造を有する。ロータ翼はロータに形成されている。ロータとシャフトは、例えば、特許文献１に記載されているようにボルトなどの螺子部材で締結され、ロータ組立体（ロータアッシー）を構成する。このロータ組立体が高速回転することで、気体を排出して高真空状態を作り出す。なお、ロータ組立体の構成として、ロータとシャフトとの他にバランスディスクが含まれることもある。

一般的に、ロータ組立体のロータとシャフトは、六角ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１８０）や六角穴付きボルト（ＪＩＳ Ｂ１１７６）などによって締結されている。ボルト座面と被締結体とが当接する面積（以下、当接面積）がボルト締め付けトルクに比べて小さい場合、ボルトの座面における平均面圧が高くなる。

特開２００３−１４８３８０号公報

その結果、ボルト座面と当接している被締結体であるロータまたはシャフトが塑性変形しやすくなり、ボルトが緩みやすくなるという問題があった。

（１）本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、ロータ翼を有するロータをモータで駆動されるシャフトに締結してなるロータ組立体と、ロータ翼の間に介在されるように設けられたステータ翼とを備え、少なくともロータとシャフトとを含む被締結部材が螺子部材で締結され、螺子部材の頭部の座面が被締結部材に当接して押圧されることで被締結部材が締結され、螺子部材の頭部の座面と被締結部材との当接面積が、当該螺子部材の呼び径に対応する規格品である螺子部材に比べて大きくなるように、螺子部材の頭部の形状を定めたことを特徴とする。
（２）さらに好ましい実施形態では、螺子部材が日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１１９４で規定される六角穴付き皿ボルト、および、ＪＩＳ Ｂ１１７９で規定される皿ボルトのいずれか一方である場合、被締結部材には六角穴付き皿ボルトまたは皿ボルトの座面となる円錐面と当接する円錐穴が形成されることを特徴とする。
（３）本発明の他の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、ロータ翼を有するロータをモータで駆動されるシャフトに締結してなるロータ組立体と、ロータ翼の間に介在されるように設けられたステータ翼とを備え、少なくともロータとシャフトとを含む被締結部材が螺子部材で締結され、螺子部材の頭部の座面が被締結部材に当接して押圧されることで被締結部材が締結され、座面が被締結部材に当接する面積は、螺子部材の雄螺子部の呼び径に対して日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１２５６により規定される平座金の面積と同等もしくはそれ以上であることを特徴とする。
（４）さらに好ましい実施形態では、螺子部材は、座面を有するフランジが頭部に設けられたフランジ付きボルトおよびフランジ付き六角穴付きボルトのいずれかであることを特徴とする。
（５）さらに好ましい実施形態では、螺子部材は、フランジなしの六角ボルト、または、フランジなしの六角穴付きボルトであることを特徴とする。
（６）さらに好ましい実施形態では、被締結部材はさらに、ロータの上面に配置されたバランスディスクを含み、バランスディスクとロータとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合され、ロータとシャフトとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合されていることを特徴とする。
（７）さらに好ましい実施形態では、螺子部材は、日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１１９４で規定される六角穴付き皿ボルト、および、ＪＩＳ Ｂ１１７９で規定される皿ボルトのいずれか一方であり、被締結部材には、六角穴付き皿ボルトまたは皿ボルトの座面となる円錐面と当接する円錐穴が形成されることを特徴とする。
（８）さらに好ましい実施形態では、被締結部材はさらに、ロータの上面に配置されたバランスディスクを含み、バランスディスクとロータとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合され、ロータとシャフトとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合され、螺子部材は、日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１１９４で規定される六角穴付き皿ボルト、および、ＪＩＳ Ｂ１１７９で規定される皿ボルトのいずれか一方であり、被締結部材のバランスディスクには、六角穴付き皿ボルトまたは皿ボルトの座面となる円錐面と当接する円錐穴が形成されることを特徴とする。

本発明によれば、ターボ分子ポンプのロータ組立体を締結するボルトの座面における平均面圧が低くなり、ボルトの緩みが抑制される。

第１実施形態のターボ分子ポンプの断面図。 第１実施形態のターボ分子ポンプにおけるロータ組立体およびボルトの図。 第１実施形態の変形例１のターボ分子ポンプにおけるボルト周辺の図。 第１実施形態の変形例２のターボ分子ポンプにおけるボルト周辺の図。 第１実施形態の変形例３のターボ分子ポンプにおけるボルト周辺の図。 第２実施形態のターボ分子ポンプにおけるロータ組立体の図。 第３実施形態のターボ分子ポンプにおけるロータ組立体の図。

以下、図を用いて本発明の実施形態および変形例について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成については、以降の実施形態および変形例において説明を省略する。また、以下では、ロータ組立体の締結に従来用いられていたボルトである六角ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１８０）や六角穴付きボルト（ＪＩＳ Ｂ１１７６）を総称して、従来のボルトと呼ぶことにする。
――第１実施形態――
図１は、ターボ分子ポンプ１００の概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ１００のケーシング５２内にはロータ組立体１０が回転自在に設けられている。ターボ分子ポンプ１００は磁気軸受式のポンプであり、ロータ組立体１０は、上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６によって非接触支持される。

ロータ組立体１０は、ロータ１２と、シャフト１４と、バランスディスク１６と、ボルト２で構成される。バランスディスク１６は、ロータ組立体１０の重心をロータ１２側に移動させるために設けられている。ロータ１２の材料として、Ａｌ合金を用いることができる。シャフト１４の材料として、ニッケルメッキされたＳ４５Ｃなどを用いることができる。バランスディスク１６の材料として、ＳＵＳ３０４などを用いることができる。ボルト２は、当接する部材と同じ材料を用いるのが好ましいので、第１実施形態においては、バランスディスク１６と同じ材料を用いるのが好ましい。

ロータ１２には、複数段のロータ翼２０と円筒部１８とが設けられている。複数段のロータ翼２０の間には、軸方向に対して複数段のステータ翼４４が設けられ、円筒部１８の外周側にはネジステータ４８が設けられている。各ステータ翼４４は、スペーサ５０を介してベース５４上に配設されている。ケーシング５２をベース５４に固定すると、積層されたスペーサ５０がベース５４とケーシング５２との間に挟持され、各ステータ翼４４が位置決めされる。

ベース５４には排気口５６が設けられ、この排気口５６にバックポンプが接続される。ロータ組立体１０が上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６によって磁気浮上されつつモータ４０により高速回転駆動されることにより、吸気口３０側の気体分子は排気口５６側へと排気される。

図２は、ターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０に関する図である。図２（ａ）は、ターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０を回転軸方向で、かつ、ロータ１２側から見た図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。ロータ組立体１０は、被締結部材であるロータ１２、シャフト１４、および、バランスディスク１６を、螺子部材であるボルト２で締結して構成されている。バランスディスク１６は、ロータ１２の上面２１に配置されている。ロータ１２には位置決め用の突起２２が形成される。突起２２とバランスディスク１６の中心孔１７とが凹凸嵌合される。ロータ１２には位置決め用の突起２４が形成され、シャフト１４の中心穴１５と凹凸嵌合されて位置決めされる。このように、凹凸嵌合して位置決めされることで、偏心防止の効果がある。ボルト２による締結の詳細は、図２（ｃ）を用いて後述する。

図２（ｃ）は、図２（ｂ）の図示右のボルト２周辺を表す断面図である。ボルト２として、フランジ付き六角穴付きボルトを用いている。ボルト２にはネジ部６、六角穴４、頭部９、フランジ８が形成されている。バランスディスク１６には、貫通孔３２が形成されている。ロータ１２には貫通孔３４が形成されている。シャフト１４には、ネジ穴１３が形成されている。ボルト２は、バランスディスク１６の貫通孔３２およびロータ１２の貫通孔３４に挿入された後、ボルト２のネジ部６が、シャフト１４のネジ穴１３と螺合される。螺合される際は、ボルト２の六角穴４に六角レンチが挿入され、六角レンチを回すことでボルト２がシャフト１４に所定の締め付けトルクで螺合される。これによって、ロータ１２と、シャフト１４と、バランスディスク１６とが締結されて一体化され、ロータ組立体１０となる。その際、ボルト２には軸力が発生している。

ボルト２は、ボルト２の座面であるフランジ８の当接面８ａ（以降、ボルト２の座面８ａ）を介して、バランスディスク１６の当接面１６ａと当接される。ボルト２は、当接されると同時に、バランスディスク１６を押圧する。本発明のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体に用いられるボルト（以下、本発明におけるボルト）と、従来のボルトで呼び径の等しいものに関して、頭部の座面の当接面積を比較した場合、本発明におけるボルトのほうが従来のボルトよりも大きくなるように設定されている。また、本発明におけるボルトの座面の当接面積は、本発明のボルトの呼び径に対応する平座金（ＪＩＳ Ｂ１２５６）と同等もしくはそれ以上になるように設定されている。具体的に、第１実施形態においては、ボルト２の頭部９にフランジ８が形成されているため、ボルト２の座面８ａとバランスディスク１６の当接面１６ａとの当接面積は、従来のボルトを用いた場合よりも大きくなる。その結果、従来のボルトを用いた場合と比較して、ボルト２の座面における平均面圧が低くなり、バランスディスク１６の塑性変形が起こりにくくなり、ボルト２の緩みが抑制される。

従来のボルトを用いた場合では、従来のボルトにフランジがないため、ボルトの座面とバランスディスク１６との当接面積が小さくなり、その結果としてボルトの座面における平均面圧が高くなり、バランスディスク１６が塑性変形してボルトの緩みが生じやすくなる。

従来のボルトとともに平座金（ＪＩＳ Ｂ１２５６）を用いてロータ１２とシャフト１４とバランスディスク１６を締結し、ロータ組立体１０を構成すると、平座金の面積分だけ当接面積が大きくなるので、平座金の座面における平均面圧は低くなり、バランスディスク１６のへたりが抑制されてボルトの緩みが抑制される。しかし、ボルトの呼び径と平座金の内径の差に起因した平座金の位置ずれが起こり、ロータ組立体１０の重量バランスが不安定になるという新たな問題が生じていた。

第１実施形態のターボ分子ポンプ１００に用いられるボルト２の頭部９には、フランジ８が一体的に設けられている。そのため、フランジ８が位置ずれすることはなく、ロータ組立体１０の重量バランスが不安定になる問題は起こらない。

なお、第１実施形態においては、ボルト２としてフランジ付き六角穴付きボルトを用いたが、フランジ付き六角穴付きボルトの代わりに、フランジ付き六角ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１８９）を用いても同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

第１実施形態のターボ分子ポンプ１００の特徴とその特徴が奏する作用効果を以下にまとめる。
（１）ターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０は、ロータ１２とシャフト１４とバランスディスク１６がボルト２で締結されて構成される。また、ボルト２の座面８ａはバランスディスク１６の当接面１６ａと当接している。ボルト２にはフランジ８が形成されている。フランジ８が形成されたボルト２を締結に用いたことによって、従来のボルトで締結された場合よりも、ボルト２とバランスディスク１６との当接面積が広くなり、ボルト２の座面における平均面圧が低くなる。ボルト２の座面における平均面圧が低くなったことで、ボルト２と当接する被締結部材であるバランスディスク１６の塑性変形が起こりにくくなり、ボルト２の緩みが抑制される。
（２）フランジ８は、ボルト２の頭部９に形成されている。すなわち、フランジ８がボルト２と一体的に設けられている。そのため、フランジ８の位置ずれは起こらず、ロータ組立体１０の重量バランスの安定性を維持することができる。
（３）ターボ分子ポンプを分解修理して組立する際、従来のように平座金を使用する場合は、ボルト軸心に対する平座金の軸心が、工場出荷時のターボ分子ポンプのボルト軸心に対する平座金の軸心の位置関係とずれるおそれがあり、再組立にあたり動釣合を計測して修正作業を行うことが不可避であった。しかし、第１実施形態のターボ分子ポンプ１００では、ボルト２の頭部９とフランジ８が一体化されているので、分解修理して組立する際に動釣合計測と修正作業が不要となる。

――第１実施形態の変形例１――
図３は、第１実施形態の変形例１のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０に用いられるボルト７０の周辺を示す図である。ボルト７０には、六角穴付き皿ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１９４）を用いている。ボルト７０の頭部７８の座面７８ｂは、円錐台状になっている。一方、バランスディスク１６の貫通孔３２ｂの端部に設けられた当接部１６ｂは、円錐台状の凹部となっている。これによって、当接部１６ｂと座面７８ｂは面（円錐面）で当接される。その当接面積は、従来のボルトを用いた場合よりも大きくなっている。その結果、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。
なお、第１実施形態の変形例１では、ボルト７０に六角穴付き皿ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１９４）を用いたが、六角穴付き皿ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１９４）の代わりに、皿ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１７９）を用いても同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

――第１実施形態の変形例２――
図４は、第１実施形態の変形例２のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０に用いられるボルト８０の周辺を示す図である。ボルト８０の頭部８８の座面８８ｃは、半球状になっている。一方、バランスディスク１６の貫通孔３２ｃの端部に設けられた当接部１６ｃは、半球状の凹部となっている。これによって、当接部１６ｃと座面８８ｃは面（球面）で当接される。その当接面積は、従来のボルトを用いた場合よりも大きくなっている。その結果、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

――第１実施形態の変形例３――
図５は、第１実施形態の変形例３のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０に用いられるボルト９０の周辺を示す図である。ボルト９０には、フランジのない六角ボルトやフランジのない六角穴付きボルトを用いることができるが、従来のボルトである六角ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１８０）や六角穴付きボルト（ＪＩＳ Ｂ１１７６）とは異なるものである。ボルト２の頭部９８の座面９８ｄの当接面積は、第１実施形態のボルト２のフランジ８の当接面積と等しく設定されている。よって、第１実施形態の変形例３のボルト２の座面９８ｄにおける平均面圧は、第１実施形態のボルト２の座面８ａにおける平均面圧と等しくなる。その結果、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

――第２実施形態――
図６は、第２実施形態のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体２１０に関する図である。図６（ａ）は、第２実施形態のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体２１０を回転軸方向で、かつ、ロータ２１２側から見た図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。第２実施形態のターボ分子ポンプ１００の構成は、ロータ組立体２１０以外は、第１実施形態と同様である。第２実施形態でも、ボルト２としてフランジ付き六角穴付きボルトを用いている。第１実施形態のロータ組立体１０はバランスディスク１６を有しているが、第２実施形態のロータ組立体２１０はバランスディスクを有していない。そのため、第２実施形態においては、ボルト２はロータ２１２と当接する。また、第２実施形態のロータ組立体２１０はバランスディスクを有していないため、ロータ２１２は、バランスディスクと嵌合させるための突起は有していない。ロータ２１２は、シャフト１４と嵌合させるための突起２４は有しており、シャフト１４の中心穴１５と突起２４が互いに嵌合され、位置決めされる。上述のように、第２実施形態においても、ロータ２１２とシャフト１４を締結するボルト２としてフランジ付き六角穴付きボルトを用いている。その結果、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

第２実施形態において、ボルト２としてフランジ付き六角穴付きボルトを用いたが、フランジ付き六角穴付きボルトの代わりに、フランジ付き六角ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１８９）を用いても第１実施形態および第２実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

第２実施形態では、第１実施形態で示したボルト２を適用したが、第１実施形態の変形例１〜３で示したボルト７０、８０、９０も同様に適用できる。ボルト７０、８０を用いる際は、ボルトが貫通する貫通孔の端部を適宜変形して第１実施形態および第２実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

――第３実施形態――
図７は、第３実施形態のターボ分子ポンプ１００のロータ組立体３１０の回転軸方向断面図である。第３実施形態のターボ分子ポンプ１００の構成は、ロータ組立体３１０以外は、第１実施形態と同様である。ロータ組立体３１０においては、ロータ３１２にネジ穴３１３が形成されている。また、シャフト３１４にフランジ３１６が形成されており、さらにフランジ３１６に貫通孔３３４が形成されている。第３実施形態においても、ロータ３１２とシャフト３１４の締結には、フランジ付き六角穴付きボルトであるボルト２が用いられる。ボルト２が貫通孔３３４に通され、ボルト２のネジ部６がネジ穴３１６と螺合されることにより、ロータ３１２とシャフト３１４が締結されて、ロータ組立体３１０となる。そのため、第３実施形態においては、ボルト２はフランジ３１６と当接する。

第１実施形態のロータ組立体１０はバランスディスク１６を有しているが、第３実施形態のロータ組立体３１０はバランスディスクを有していない。また、第３実施形態のロータ組立体３１０はバランスディスクを有していないため、ロータ３１２は、バランスディスクと嵌合させるための突起は有していない。ロータ３１２は、シャフト３１４と嵌合させるための突起３２４は有しており、シャフト３１４の中心穴３１５と突起３２４が互いに嵌合され、位置決めされる。

上述のように、第３実施形態においても、ロータ３１２とシャフト３１４を締結するボルト２としてフランジ付き六角穴付きボルトを用いている。その結果、第１実施形態およびだ２実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

第３実施形態において、ボルト２としてフランジ付き六角穴付きボルトを用いたが、フランジ付き六角穴付きボルトの代わりに、フランジ付き六角ボルト（ＪＩＳ Ｂ１１８９）を用いても第１実施形態、第２実施形態、および、第３実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

第３実施形態では、第１実施形態で示したボルト２を適用したが、第１実施形態の変形例１〜３で示したボルト７０、８０、９０も同様に適用できる。ボルト７０、８０を用いる際は、ボルトが貫通する貫通孔の端部を適宜変形して第１実施形態、第２実施形態、および、第３実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、ロータ組立体の重量バランスを維持しつつ、ボルトの緩みを抑制することができる。

本発明におけるターボ分子ポンプ１００のロータ組立体１０、２１０、３１０に用いられるボルトをＪＩＳ（日本工業規格）に基づいて説明した箇所については、ＩＳＯ規格（国際標準化機構）、ＡＮＳＩ規格（アメリカ）、ＧＢ規格（中国）、ＫＳ規格（韓国）、ＤＩＮ規格（ドイツ）などの規格に基づいて説明することも可能である。

２：ボルト、 ４：穴、 ６：ネジ部、 ８：フランジ、 ８ａ：座面、 ９：頭部、
１０：ロータ組立体、 １２：ロータ、 １３：ネジ穴、 １４：シャフト、
１５：中心孔、 １６：バランスディスク、 １６ａ〜ｄ：当接面、
１７：中心穴、 １８：円筒部、 ２０：ロータ翼、 ２１：上面、
２２、２４：突起、 ３０：吸気口、 ３２、３２ｂ、３２ｃ、３４：貫通孔、
４０：モータ、 ４４：ステータ翼、 ４８：ネジステータ、 ５０：スペーサ、
５２：ケーシング、 ５４：ベース、 ５６：排気口、 ６２：上部ラジアル電磁石、
６４：下部ラジアル電磁石、 ６６：スラスト電磁石、 ７０：ボルト、
７４：穴、 ７８：頭部、 ７８ｂ：座面、 ８０：ボルト、 ８４：穴、
８８：頭部、 ８８ｃ：座面、 ９０：ボルト、 ９４：穴、 ９８：頭部、
９８ｄ：座面、 １００：ターボ分子ポンプ、 ２１０：ロータ組立体、
２１２：ロータ、 ３１０：ロータ組立体、 ３１２：ロータ、 ３１３：ネジ穴、
３１４：シャフト、３１５：中心穴、 ３１６：シャフトフランジ、 ３２４：突起、
３３４：貫通孔

Claims (8)

1. ロータ翼を有するロータをモータで駆動されるシャフトに締結してなるロータ組立体と、
   前記ロータ翼の間に介在されるように設けられたステータ翼とを備え、
   少なくとも前記ロータと前記シャフトとを含む被締結部材が螺子部材で締結され、
   前記螺子部材の頭部の座面が前記被締結部材に当接して押圧されることで前記被締結部材が締結され、
   前記螺子部材の頭部の座面と前記被締結部材との当接面積が、当該螺子部材の呼び径に対応する規格品である螺子部材に比べて大きくなるように、前記螺子部材の頭部の形状を定めたターボ分子ポンプ。
2. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記螺子部材が日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１１９４で規定される六角穴付き皿ボルト、および、ＪＩＳ Ｂ１１７９で規定される皿ボルトのいずれか一方である場合、前記被締結部材には前記六角穴付き皿ボルトまたは前記皿ボルトの前記座面となる円錐面と当接する円錐穴が形成されるターボ分子ポンプ。
3. ロータ翼を有するロータをモータで駆動されるシャフトに締結してなるロータ組立体と、
   前記ロータ翼の間に介在されるように設けられたステータ翼とを備え、
   少なくとも前記ロータと前記シャフトとを含む被締結部材が螺子部材で締結され、
   前記螺子部材の頭部の座面が前記被締結部材に当接して押圧されることで前記被締結部材が締結され、
   前記座面が前記被締結部材に当接する面積は、前記螺子部材の雄螺子部の呼び径に対して日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１２５６により規定される平座金の面積と同等もしくはそれ以上であるターボ分子ポンプ。
4. 請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記螺子部材は、前記座面を有するフランジが前記頭部に設けられたフランジ付きボルトおよびフランジ付き六角穴付きボルトのいずれかであるターボ分子ポンプ。
5. 請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記螺子部材は、フランジなしの六角ボルト、または、フランジなしの六角穴付きボルトであるターボ分子ポンプ。
6. 請求項３〜５のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記被締結部材はさらに、前記ロータの上面に配置されたバランスディスクを含み、
   前記バランスディスクと前記ロータとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合され、前記ロータとシャフトとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合されているターボ分子ポンプ。
7. 請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記螺子部材は、日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１１９４で規定される六角穴付き皿ボルト、および、ＪＩＳ Ｂ１１７９で規定される皿ボルトのいずれか一方であり、前記被締結部材には、前記六角穴付き皿ボルトまたは前記皿ボルトの前記座面となる円錐面と当接する円錐穴が形成されるターボ分子ポンプ。
8. 請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記被締結部材はさらに、前記ロータの上面に配置されたバランスディスクを含み、
   前記バランスディスクと前記ロータとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合され、前記ロータとシャフトとは偏心防止用に相互に凹凸嵌合され、
   前記螺子部材は、日本工業規格ＪＩＳ Ｂ１１９４で規定される六角穴付き皿ボルト、および、ＪＩＳ Ｂ１１７９で規定される皿ボルトのいずれか一方であり、前記被締結部材のバランスディスクには、前記六角穴付き皿ボルトまたは前記皿ボルトの前記座面となる円錐面と当接する円錐穴が形成されるターボ分子ポンプ。
   

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