JP6252336B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
(2)さらに好ましい実施形態では、拡張部材には、中空ボス部の中空孔に面して締め付けトルクが伝達される伝達部が設けられている。
(3)さらに好ましい実施形態では、中空ボス部の第1ネジは、平行ネジであり、拡張部材の第2ネジは、凹部側からロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである。
(4)さらに好ましい実施形態では、中空ボス部の第1ネジは、凹部側からロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジであり、拡張部材の第2ネジは、平行ネジである。
(5)さらに好ましい実施形態では、中空ボス部の第1ネジと拡張部材の第2ネジは、凹部側からロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである。
(6)さらに好ましい実施形態では、拡張部材には、中空ボス部と凹部と拡張部材とで囲まれた空間と、外界とを連通する貫通孔が設けられている。
(7)さらに好ましい実施形態では、拡張部材の第2ネジと中空ボス部の第1ネジとの螺合は、ロータの回転が加速する際に、進む方向に設定されている。
―実施形態―
図1は、ターボ分子ポンプ100の概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ100のケーシング90内にはロータ組立体10が回転自在に設けられている。ターボ分子ポンプ100は磁気軸受式のポンプであり、ロータ組立体10は、上部ラジアル電磁石82、下部ラジアル電磁石84、スラスト電磁石86によって非接触支持される。
(1)ターボ分子ポンプ100は、回転駆動力を伝達するシャフト30と、締結構造によりシャフト30と締結され、シャフト30から回転駆動力が伝達されて回転するロータ20とを備える。
その締結構造は、シャフト30の上端30aの端面に設けられた凹部31と、凹部31と同軸でロータ20から凹部31に向けて延設され、内周面21bに雌ネジ21cが刻設された中空で円筒状のボス部21と、凹部31の底面31b側からボス部21の雌ネジ21cに螺合され、ボス部21の外周面21dを凹部31の内周面31aに向けて膨出させる雄ネジ40bが外周面40aに設けられた拡張部材であるプラグ40を備える。なお、凹部31と、ボス部21と、プラグ40とをそれぞれ複数(例えば2組あるいは4組)設けてもよく、その場合には周方向に等間隔に設けられる。
これによって、六角穴40dに六角レンチがロータ20の上面26側から差し込むことができる。このため、プラグ40を締め付ける際の作業性も担保される。
これによって、ボス部21の雌ネジ21cとプラグ40の雄ネジ40bの螺合が進むことにより、ボス部21が外周側に膨出して、ロータ20とシャフト30とが締結される。JISで規格化されているプラグ40を使用すれば、コスト上昇も抑制される。
これによって、ロータ20の加速に伴い、ロータ20とプラグ40の螺合がより強固なものとなり、その結果、ロータ20のボス部21の外周側への膨出の度合いが大きくなり、ロータ20とシャフト30の締結がより強固なものとなる。
なお、ロータ20の回転減速時の加速度(負の加速度)の大きさは、ロータ20の回転加速時の加速度(正の加速度)の大きさほど、大きくない。そのため、ロータ20の回転減速時には、ロータ20の回転加速時ほど、ボス部21とプラグ40の間で力が働かない。よって、上述のように、ロータ20の回転加速時に締まり勝手となるような設定となっている。
これによって、真空排気中に、空間12から外界に向けて速やかに気体が流出でき、空間12と外界との気圧調整が容易となる。
図4(b)において、ロータ20のボス部21の雌ネジ21cは、ボス部21の下端21a側からロータ20の上面26(図2(a)参照)側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。一方、プラグ40の雄ネジ40bは、プラグ40の下面40g側から上面40e側まで径が変化せず、平行ネジとなっている。このような雌ネジと雄ネジの係合(螺合)であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。
図4(c)において、ロータ20のボス部21の雌ネジ21cは、ボス部21の下端21a側からロータ20の上面26(図2(a)参照)側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。プラグ40の雄ネジ40bも、プラグ40の下面40g側から上面40e側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。ただし、雌ネジ21cのテーパー角θ1は、雄ネジ40bのテーパー角φ1よりも小さく設定されている。このような雌ネジと雄ネジの係合(螺合)であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。
図4(d)において、ロータ20のボス部21の雌ネジ21cは、ボス部21の下端21a側からロータ20の上面26(図2(a)参照)側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。プラグ40の雄ネジ40bも、プラグ40の下面40g側から上面40e側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。ただし、雌ネジ21cのテーパー角θ2は、雄ネジ40bのテーパー角φ2よりも大きく設定されている。このような雌ネジと雄ネジの係合(螺合)であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。
図4(e)において、ロータ20のボス部21の雌ネジ21cは、ボス部21の下端21a側からロータ20の上面26(図2(a)参照)側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。プラグ40の雄ネジ40bも、プラグ40の下面40g側から上面40e側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。ただし、雌ネジ21cのテーパー角θ3は、雄ネジ40bのテーパー角φ3と等しく設定されている。このように、両者のテーパー角が等しく設定されているため、プラグ40とボス部21の当接部が下端21aから上面40eまでの領域となる。すなわち、プラグ40とボス部21は、面当接する。このような雌ネジと雄ネジの係合(螺合)であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。
図5(b)は、本変形例のプラグ41を示している。プラグ41の基部40hの外周面40aは、実施形態と同様にテーパー形状を有している。プラグ41の雄ネジ41bは、下面40gから上面40eに向けて縮径するように、ネジ山の高さが変化している。よって、本変形例の雄ネジ41bも、実施形態のプラグ40の雄ネジ40b同様に、テーパーネジとなる。そして、プラグ41は、テーパープラグとなる。このようなプラグ41であっても、実施形態のプラグ40と同様の作用効果を奏する。
図5(c)は、本変形例のプラグ42を示している。プラグ42の基部42hの外周面42aは、実施形態と異なり、径が変化しない。また、プラグ42の雄ネジ42bは、下面40gから上面40eに向けて縮径するように、ネジ山の高さが変化している。よって、本変形例の雄ネジ42bも、実施形態のプラグ40の雄ネジ40b同様に、テーパーネジとなる。そして、プラグ42は、テーパープラグとなる。このようなプラグ42であっても、実施形態のプラグ40と同様の作用効果を奏する。
20:ロータ、
21:ボス部、
21a:下端、
21b:内周面、
21c:雌ネジ、
21d:外周面、
22:ロータ翼、
24:ロータ円筒部、
25:貫通孔、
26:上面、
27:下面、
30:シャフト、
30a:上端、
31:凹部、
31a:内周面、
31b:底面、
40:プラグ、
40a:外周面、
40b:雄ネジ、
40d:凹部(六角穴)、
40e:上面、
40f:貫通孔、
40g:下面、
40h:基部、
40i:角部、
41:プラグ、
41b:雄ネジ、
42:プラグ、
42a:外周面、
42b:雄ネジ、
42h:基部、
50:ボルト、
60:ロータディスク、
70:ステータ翼、
72:円筒状ステータ、
80:モータ、
82:上部ラジアル電磁石、
84:下部ラジアル電磁石、
86:スラスト電磁石、
90:ケーシング、
92:スペーサ、
94:ベース、
96:排気口、
98:吸気口、
100:ターボ分子ポンプ
Claims (7)
- 回転駆動力を伝達するシャフトと、
締結構造により前記シャフトと締結され、前記シャフトから回転駆動力が伝達されて回転するロータとを備えた真空ポンプにおいて、
前記締結構造は、
シャフトの端面に設けられた凹部と、
前記ロータから前記凹部に向けて延設され、内周面に第1ネジが刻設された中空ボス部と、
前記凹部の底面側から前記中空ボス部の前記第1ネジに螺合され、前記中空ボス部の外周面を前記凹部の内周面に向けて膨出させる第2ネジが外周面に設けられた拡張部材と、を備える真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記拡張部材には、前記中空ボス部の中空孔に面して締め付けトルクが伝達される伝達部が設けられている真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記中空ボス部の第1ネジは、平行ネジであり、
前記拡張部材の第2ネジは、前記凹部側から前記ロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記中空ボス部の第1ネジは、前記凹部側から前記ロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジであり、
前記拡張部材の第2ネジは、平行ネジである真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記中空ボス部の第1ネジと前記拡張部材の第2ネジは、前記凹部側から前記ロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである真空ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記拡張部材には、前記中空ボス部と前記凹部と前記拡張部材とで囲まれた空間と、外界とを連通する貫通孔が設けられている真空ポンプ。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記拡張部材の第2ネジと前記中空ボス部の第1ネジとの螺合は、前記ロータの回転が加速する際に、進む方向に設定されている真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014089053A JP6252336B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014089053A JP6252336B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015206345A JP2015206345A (ja) | 2015-11-19 |
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Family
ID=54603334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014089053A Active JP6252336B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
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Family Cites Families (2)
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-
2014
- 2014-04-23 JP JP2014089053A patent/JP6252336B2/ja active Active
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JP2015206345A (ja) | 2015-11-19 |
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