JP6252336B2

JP6252336B2 - 真空ポンプ

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Publication number: JP6252336B2
Application number: JP2014089053A
Authority: JP
Inventors: 雅嗣眞鍋
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2014-04-23
Filing date: 2014-04-23
Publication date: 2017-12-27
Anticipated expiration: 2034-04-23
Also published as: JP2015206345A

Description

本発明は、真空ポンプに関する。

ターボ分子ポンプに代表される真空ポンプは、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの真空チャンバに取り付けられる。ターボ分子ポンプは、ロータ翼とロータ円筒部が形成されたロータ及びそのロータと互いに締結されるシャフトを有するロータ組立体と、シャフトを回転駆動するモータとを有する。モータは、シャフトを毎分数万回転という高速回転で回転駆動する。シャフトに締結されたロータも、シャフトの回転に伴って高速回転する。ロータ（ロータ組立体）の高速回転により、ロータ翼とステータ翼とが協働し、ロータ円筒部と円筒状ステータが協働して、その真空チャンバ内の気体を排気することで、高真空状態を作り出す。

ロータとシャフトを締結する際の芯出し（調芯）を目的として、ボス部（凸部）がロータに設けられ、上記のボス部と係合する凹部がシャフト頂面に設けられている。ロータのボス部の外周面とシャフトの凹部の内周面との間には、組立性及び分解性の観点から、隙間（クリアランス）が設けられている。この隙間ができることがロータ組立体の重量バランスを悪化させる原因となっていた。

特許文献１には、高速回転時に生じる遠心力によって、ロータのボス部がシャフトの凹部よりも径方向に膨張することで、ロータのボス部の外周面がシャフトの凹部の内周面に当接しロータ組立体が調芯される発明が記載されている。しかし、特許文献１に記載の発明では、ロータ組立体が高速回転していない時、すなわち、低速回転時や停止時には、ロータのボス部とシャフトの凹部の間に隙間ができ、ロータ組立体の重量バランスが崩れるおそれがあった。

特開２００６−５７８０５号公報

そのため、ロータ組立体の高速回転時だけでなく低速回転時や停止時においても、ロータのボス部とシャフトの凹部の間の隙間をなくすことが望まれていた。

（１）本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転駆動力を伝達するシャフトと、締結構造によりシャフトと締結され、シャフトから回転駆動力が伝達されて回転するロータとを備えた真空ポンプである。締結構造は、シャフトの端面に設けられた凹部と、ロータから凹部に向けて延設され、内周面に第１ネジが刻設された中空ボス部と、凹部の底面側から中空ボス部の第１ネジに螺合され、中空ボス部の外周面を凹部の内周面に向けて膨出させる第２ネジが外周面に設けられた拡張部材と、を備える。
（２）さらに好ましい実施形態では、拡張部材には、中空ボス部の中空孔に面して締め付けトルクが伝達される伝達部が設けられている。
（３）さらに好ましい実施形態では、中空ボス部の第１ネジは、平行ネジであり、拡張部材の第２ネジは、凹部側からロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである。
（４）さらに好ましい実施形態では、中空ボス部の第１ネジは、凹部側からロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジであり、拡張部材の第２ネジは、平行ネジである。
（５）さらに好ましい実施形態では、中空ボス部の第１ネジと拡張部材の第２ネジは、凹部側からロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである。
（６）さらに好ましい実施形態では、拡張部材には、中空ボス部と凹部と拡張部材とで囲まれた空間と、外界とを連通する貫通孔が設けられている。
（７）さらに好ましい実施形態では、拡張部材の第２ネジと中空ボス部の第１ネジとの螺合は、ロータの回転が加速する際に、進む方向に設定されている。

本発明によれば、ロータ組立体の高速回転時だけでなく低速回転時や停止時においても、ロータのボス部とシャフトの凹部の間の隙間をなくすことができる。その結果、ロータ組立体の重量バランスを良好に維持することができる。よって、例えば、ロータ組立体の回転を安定に保つことができる。

ターボ分子ポンプを示す図。ロータとシャフトとプラグを示した図。ロータとシャフトの締結構造の周辺を示した図。ボス部とプラグの形状とそれらの係合について示した図。実施形態および変形例のプラグを示した図。

本発明の真空ポンプを、複合型ターボ分子ポンプを一例として説明する。なお、本発明は、全翼型ターボ分子ポンプやモレキュラドラッグポンプなどの真空ポンプにも適用できる。
―実施形態―
図１は、ターボ分子ポンプ１００の概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ１００のケーシング９０内にはロータ組立体１０が回転自在に設けられている。ターボ分子ポンプ１００は磁気軸受式のポンプであり、ロータ組立体１０は、上部ラジアル電磁石８２、下部ラジアル電磁石８４、スラスト電磁石８６によって非接触支持される。

ロータ組立体１０は、ロータ２０と、シャフト３０と、プラグ４０と、ボルト５０と、ロータディスク６０とで構成される。ボルト５０およびプラグ４０は、ロータ２０とシャフト３０とを締結するための部材である。プラグ４０による締結については、図３を用いて後述する。

ロータ２０は、ロータ基部２９と、ロータ基部２９の周面に設けられた複数段のロータ翼２２と、ロータ基部２９の下端に設けられたロータ円筒部２４とを有している。複数段のロータ翼２２の間には、軸方向に対して複数段のステータ翼７０が設けられ、ロータ円筒部２４の外周側には円筒状ステータ７２が設けられている。各々のステータ翼７０は、スペーサ９２を介してベース９４上に配設されている。ケーシング９０をベース９４に固定すると、積層されたスペーサ９２がベース９４とケーシング９０との間に挟持され、各々のステータ翼７０が位置決めされる。

ベース９４には排気口９６が設けられ、この排気口９６にバックポンプが接続される。ロータ組立体１０が上部ラジアル電磁石８２、下部ラジアル電磁石８４、スラスト電磁石８６によって磁気浮上されつつモータ８０により高速回転駆動されることにより、吸気口９８側の気体分子は排気口９６側へと排気される。

図２（ａ）はロータ２０、図２（ｂ）はプラグ４０、図２（ｃ）はシャフト３０のそれぞれの断面図である。図５（ａ）は、図２（ｂ）の拡大図である。図２および図５（ａ）を用いてロータ２０とプラグ４０とシャフト３０の各部の説明をする。

図２（ａ）に示すように、ロータ２０の下面２７には、ボス部２１が突設されている。また、ロータ２０には、貫通孔２５が、ボス部２１の下端２１ａからロータ２０の上面、すなわち、真空排気上流側の面２６まで穿設されている。そのため、ボス部２１は、内部が中空であり、円筒状の形状を有している。貫通孔２５のボス部２１側の周面、すなわち、ボス部２１の内周面２１ｂには、雌ネジ２１ｃが刻設されている。貫通孔２５は平行孔であり、雌ネジ２１ｃも平行ネジである。ボス部２１は、外周面２１ｄを有する。

プラグ４０は、円錐台状の形状を有している。また、図２（ｂ）および図５（ａ）に示すように、プラグ４０の基部４０ｈの外周面４０ａは、下面４０ｇ側から上面４０ｅ側に向けて縮径されたテーパー形状を有している。外周面４０ａには、雄ネジ４０ｂが刻設されており、雄ネジ４０ｂも下面４０ｇ側から上面４０ｅ側に向けて縮径されたテーパーネジとなる。すなわち、プラグ４０は、下面４０ｇ側から上面４０ｅ側に向けて縮径されたテーパープラグである。換言すると、プラグ４０は上面４０ｅ側がロータ２０と対向するので、ロータ組立体１０に配置されたプラグ４０のテーパーネジは、シャフト３０の凹部３１側からロータ２０側に縮径されたものとなる。

図５（ａ）を用いて、本実施形態の雄ネジ４０ｂについてさらに説明する。図５（ａ）は、上記の実施形態のプラグ４０を示している。プラグ４０は、基部４０ｈの外周面４０ａがテーパー形状をしている。その上に、雄ネジ４０ｂが設けられている。雄ネジ４０ｂのネジ山の高さは一定である。しかし、上述のように、基部４０ｈの外周面４０ａがテーパー形状をしているため、雄ネジ４０ｂは、テーパーネジとなる。その結果、プラグ４０は、テーパープラグとなる。

図２（ｂ）および図５（ａ）に示すように、ロータ２０のボス部２１への挿入を容易にするため、プラグ４０の外周面４０ａの上端側に、面取り４０ｃが施されている。プラグ４０は、ロータ２０のボス部２１に螺合することによりシャフト３０をロータ２０に接続するため、プラグ４０には、締め付け工具（六角レンチ）を差し込むための凹部４０ｄ（六角穴４０ｄ）が上面４０ｅに設けられている。プラグ４０は上面４０ｅ側からロータ２０のボス部２１に螺合する。六角穴４０ｄは、六角レンチの締め付けトルクをプラグ４０に伝達するための伝達部である。さらに、プラグ４０には、凹部４０ｄの底面と下面４０ｇを連通する貫通孔４０ｆが設けられている。貫通孔４０ｆは、気圧調整のために設けられている（後述）。

図２（ｃ）に示すように、シャフト３０の上端３０ａには、凹部３１が形成されている。凹部３１は、内周面３１ａと底面３１ｂを有する。

図３は、ロータ２０とシャフト３０の締結構造の周辺を示した図である。図３を用いて、ロータ２０とシャフト３０の締結について説明する。

まず、ロータ２０のボス部２１にプラグ４０が緩く螺合される。すなわち、ボス部２１の雌ネジ２１ｃとプラグ４０の雄ネジ４０ｂとが螺合される。この時、ロータ２０のボス部２１は、プラグ４０から外向きの力を受けていない。

次に、プラグ４０が緩く螺合されたロータ２０のボス部２１は、シャフト３０の凹部３１に係合される。上述のように、ロータ２０のボス部２１は、未だプラグ４０から外向きの力を受けていないので、ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄは、シャフト３０の凹部３１の内周面３１ａと離間しているか、もしくは、一部のみ接触しその他は離間している。

そして、ボルト５０によって、ロータ２０とシャフト３０が仮止めされる。この時、ロータ２０とシャフト３０は、ボルト５０が挿設される貫通孔の遊び程度には互いに動くことができる。

ここで、ロータ２０に設けられた貫通孔２５を介して締め付け工具である六角レンチ（不図示）がプラグ４０の六角穴４０ｄに係合されてプラグ４０に締め付けトルクが与えられる。これにより、プラグ４０は、図示上方へ移動する。

図４（ａ）に、プラグ４０が進む向き（図示中央の矢印）と、ロータ２０のボス部２１がプラグ４０から受ける力（図示左方及び右方の矢印）を矢印で示した。上述したように、ロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃは平行ネジであり、プラグ４０の雄ネジ４０ｂはテーパーネジである。そのため、図４（ａ）に示すように、プラグ４０の雄ネジ４０ｂとロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃとの螺合がある程度進むと、プラグ４０は、ロータ２０のボス部２１に対して、外向きの力を与えるようになる。すなわち、プラグ４０は、ロータ２０のボス部２１の周壁を膨出させる拡張部材である。

図３を参照してさらに説明すると、上述のプラグ４０から外向きの力を受けて、ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄは、シャフト３０の凹部３１の内周面３１ａと全周に渡り当接する。これが、プラグ４０によるロータ２０とシャフト３０の締結構造となる。

プラグ４０によるロータ２０とシャフト３０の締結構造が完成した後で、ボルト５０が本締めされて、ボルト５０によるロータ２０とシャフト３０の締結構造が完成する。

上述のプラグ４０の貫通孔４０ｆは、ロータ２０のボス部２１とプラグ４０とシャフト３０の凹部３１とで囲まれた空間１２と、外界との気圧を等しくするために設けられている。貫通孔４０ｆが設けられていることで、真空排気中に空間１２から速やかに気体が流出できる。

プラグ４０の雄ネジ４０ｂと、ロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃとは、ロータ２０の回転が加速する際に、螺合が進むように、すなわち、いわゆる締まり勝手になるように、設定されている。具体的には、プラグ４０の雄ネジ４０ｂをボス部２１の雌ネジ２１ｃに螺合する際の雄ネジ４０ｂの回転方向が、ロータ２０の回転方向とは逆となるように雄ネジ４０ｂと雌ネジ２１ｃが形成されている。

上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）ターボ分子ポンプ１００は、回転駆動力を伝達するシャフト３０と、締結構造によりシャフト３０と締結され、シャフト３０から回転駆動力が伝達されて回転するロータ２０とを備える。
その締結構造は、シャフト３０の上端３０ａの端面に設けられた凹部３１と、凹部３１と同軸でロータ２０から凹部３１に向けて延設され、内周面２１ｂに雌ネジ２１ｃが刻設された中空で円筒状のボス部２１と、凹部３１の底面３１ｂ側からボス部２１の雌ネジ２１ｃに螺合され、ボス部２１の外周面２１ｄを凹部３１の内周面３１ａに向けて膨出させる雄ネジ４０ｂが外周面４０ａに設けられた拡張部材であるプラグ４０を備える。なお、凹部３１と、ボス部２１と、プラグ４０とをそれぞれ複数（例えば２組あるいは４組）設けてもよく、その場合には周方向に等間隔に設けられる。

以上の（１）の構成により、次の（１Ａ）〜（１Ｄ）の作用効果を奏することができる。

（１Ａ）常温でのロータ２０の停止時や、常温でのロータ２０の低速回転時においても、ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄとシャフト３０の凹部３１の内周面３１ａとの隙間をなくすことができる。その結果、ターボ分子ポンプ１００の加速時の遠心力によるロータ２０とシャフト３０の径方向のずれを防止することができ、ロータ組立体１０の重心バランスが崩れることを防止できる。

（１Ｂ）ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄがシャフト３０の凹部３１の内周面３１ａに全周に渡り当接し、外周面２１ｄと内周面３１ａの隙間をなくすことができる。ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄがシャフト３０の凹部３１の内周面３１ａに全周に渡り当接するので、ロータ２０の中心軸とシャフト３０の中心軸の軸ズレが小さくなるという調芯効果も奏することができる。

上述の（１Ａ）に記載の重心バランスの崩れを防止することと、（１Ｂ）に記載の調芯効果によって、振れ回りの発生を抑制し、ロータ組立体１０の回転を安定化することができる。

（１Ｃ）ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄとシャフト３０の凹部３１の内周面３１ａとの隙間をなくす締結作業が、焼嵌めや冷やし嵌めよりも容易となる。そのため、修理やオーバーホール時のロータ２０とシャフト３０の再締結作業が容易になる。

（１Ｄ）ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄがシャフト３０の凹部３１の内周面３１ａに全周に渡り当接し、外周面２１ｄと内周面３１ａの隙間をなくすことができる。外周面２１ｄと内周面３１ａの隙間は、凹部３１内のボス部２１の位置の自由度を生み出す要因であるので、本発明によってその隙間がなくなることで締結構造の再現性が向上する。その結果、例えば、ロータ２０のメッキ前の締結を、ロータ２０のメッキ後にも再現することができる。

上述の（１Ｄ）を具体的に説明する。ロータ２０にはメッキを施すことがある。その際、通常、ロータ２０をメッキする前にロータ組立体１０を組み立ててロータ組立体１０の重量バランスを調整し、ロータ組立体１０を分解してロータ２０をメッキした後にロータ組立体１０を再度組立てて、さらに再度ロータ組立体１０の重量バランスを調整する。従来では、再度の重量バランス調整にも多くの時間と労力を割いていたが、本発明では、締結構造の再現性が良いため、再度の重量バランス調整が容易になり、作業者の負担を軽減できる。

（２）拡張部材であるプラグ４０には、ボス部２１の中空孔である貫通孔２５に面して、六角レンチからの締め付けトルクが伝達される伝達部である凹部４０ｄ（六角穴４０ｄ）が設けられている。
これによって、六角穴４０ｄに六角レンチがロータ２０の上面２６側から差し込むことができる。このため、プラグ４０を締め付ける際の作業性も担保される。

（３）ボス部２１の雌ネジ２１ｃは、平行ネジである。また、拡張部材であるプラグ４０の雄ネジ４０ｂは、シャフト３０の凹部３１側からロータ２０側に縮径されたテーパネジである。
これによって、ボス部２１の雌ネジ２１ｃとプラグ４０の雄ネジ４０ｂの螺合が進むことにより、ボス部２１が外周側に膨出して、ロータ２０とシャフト３０とが締結される。ＪＩＳで規格化されているプラグ４０を使用すれば、コスト上昇も抑制される。

（４）ロータ２０の回転が加速する際に、拡張部材であるプラグ４０の雄ネジ４０ｂとボス部２１の雌ネジ２１ｃの螺合が進む方向に設定されている。
これによって、ロータ２０の加速に伴い、ロータ２０とプラグ４０の螺合がより強固なものとなり、その結果、ロータ２０のボス部２１の外周側への膨出の度合いが大きくなり、ロータ２０とシャフト３０の締結がより強固なものとなる。
なお、ロータ２０の回転減速時の加速度（負の加速度）の大きさは、ロータ２０の回転加速時の加速度（正の加速度）の大きさほど、大きくない。そのため、ロータ２０の回転減速時には、ロータ２０の回転加速時ほど、ボス部２１とプラグ４０の間で力が働かない。よって、上述のように、ロータ２０の回転加速時に締まり勝手となるような設定となっている。

（５）プラグ４０には、ロータ２０のボス部２１とプラグ４０とシャフト３０の凹部３１とで囲まれた空間１２と、外界とを連通する貫通孔４０ｆが設けられている。
これによって、真空排気中に、空間１２から外界に向けて速やかに気体が流出でき、空間１２と外界との気圧調整が容易となる。

（６）一般的に、ロータ２０のボス部２１はアルミ合金で作製され、シャフト３０の凹部３１は鉄で作製される。その場合において、高速回転時や高温時でのロータ２０の膨張率は、シャフト３０のそれより大きい。その結果、ロータ２０のボス部２１の外周面２１ｄが、シャフト３０の凹部３１の内周面３１ａに、低速回転時、停止時、常温時よりも押し付けられる。よって、高速回転時や高温時におけるロータ２０とシャフト３０の締結は、低速回転時、停止時、常温時のそれよりも強固なものとなる。

次のような変形も本発明の範囲内であり、変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。

図４（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示す変形例１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄは、図４（ａ）に示す実施形態におけるボス部２１とプラグ４０、およびそれらの係合（螺合）に関する変形例である。これらの変形例でも、実施形態と同様の作用効果を奏する。以下、実施形態と異なる点について説明する。

―変形例１Ａ―
図４（ｂ）において、ロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃは、ボス部２１の下端２１ａ側からロータ２０の上面２６（図２（ａ）参照）側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。一方、プラグ４０の雄ネジ４０ｂは、プラグ４０の下面４０ｇ側から上面４０ｅ側まで径が変化せず、平行ネジとなっている。このような雌ネジと雄ネジの係合（螺合）であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。

―変形例１Ｂ―
図４（ｃ）において、ロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃは、ボス部２１の下端２１ａ側からロータ２０の上面２６（図２（ａ）参照）側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。プラグ４０の雄ネジ４０ｂも、プラグ４０の下面４０ｇ側から上面４０ｅ側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。ただし、雌ネジ２１ｃのテーパー角θ１は、雄ネジ４０ｂのテーパー角φ１よりも小さく設定されている。このような雌ネジと雄ネジの係合（螺合）であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。

―変形例１Ｃ―
図４（ｄ）において、ロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃは、ボス部２１の下端２１ａ側からロータ２０の上面２６（図２（ａ）参照）側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。プラグ４０の雄ネジ４０ｂも、プラグ４０の下面４０ｇ側から上面４０ｅ側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。ただし、雌ネジ２１ｃのテーパー角θ２は、雄ネジ４０ｂのテーパー角φ２よりも大きく設定されている。このような雌ネジと雄ネジの係合（螺合）であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。

ここで、変形例１Ａおよび変形例１Ｃでは、プラグ４０は、ボス部２１と、上面４０ｅ側の角部４０ｉで当接している。そのプラグ４０とボス部２１の当接部は、ボス部２１の下端２１ａ近傍に位置することが好ましい。これは、ボス部２１を外周側に膨出させやすくするためである。実施形態や変形例１Ｂでは、プラグ４０とボス部２１の設定により、自ずと、雌ネジ２１ｃの下端（ボス部２１の下端２１ａ）が、プラグ４０とボス部２１の当接部となる。なお、以下に示す変形例１Ｄ（図４（ｅ）参照）では、プラグ４０とボス部２１の当接部が下端２１ａから上面４０ｅまでの領域となる。

―変形例１Ｄ―
図４（ｅ）において、ロータ２０のボス部２１の雌ネジ２１ｃは、ボス部２１の下端２１ａ側からロータ２０の上面２６（図２（ａ）参照）側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。プラグ４０の雄ネジ４０ｂも、プラグ４０の下面４０ｇ側から上面４０ｅ側に向けて縮径されたテーパーネジとなっている。ただし、雌ネジ２１ｃのテーパー角θ３は、雄ネジ４０ｂのテーパー角φ３と等しく設定されている。このように、両者のテーパー角が等しく設定されているため、プラグ４０とボス部２１の当接部が下端２１ａから上面４０ｅまでの領域となる。すなわち、プラグ４０とボス部２１は、面当接する。このような雌ネジと雄ネジの係合（螺合）であっても、実施形態と同様の作用効果を奏する。

図５（ｂ）、（ｃ）に示す変形例２Ａ、２Ｂは、図５（ａ）に示す実施形態におけるプラグ４０の変形例である。これらが実施形態と特に異なる点は、「基部の外周面の形状」と「雄ネジのネジ山の高さ」である。異なる構成のみ、実施形態と異なる符号を付した。これらの変形例に示すプラグであっても、実施形態のプラグ４０と同様の作用効果を奏する。

―変形例２Ａ―
図５（ｂ）は、本変形例のプラグ４１を示している。プラグ４１の基部４０ｈの外周面４０ａは、実施形態と同様にテーパー形状を有している。プラグ４１の雄ネジ４１ｂは、下面４０ｇから上面４０ｅに向けて縮径するように、ネジ山の高さが変化している。よって、本変形例の雄ネジ４１ｂも、実施形態のプラグ４０の雄ネジ４０ｂ同様に、テーパーネジとなる。そして、プラグ４１は、テーパープラグとなる。このようなプラグ４１であっても、実施形態のプラグ４０と同様の作用効果を奏する。

―変形例２Ｂ―
図５（ｃ）は、本変形例のプラグ４２を示している。プラグ４２の基部４２ｈの外周面４２ａは、実施形態と異なり、径が変化しない。また、プラグ４２の雄ネジ４２ｂは、下面４０ｇから上面４０ｅに向けて縮径するように、ネジ山の高さが変化している。よって、本変形例の雄ネジ４２ｂも、実施形態のプラグ４０の雄ネジ４０ｂ同様に、テーパーネジとなる。そして、プラグ４２は、テーパープラグとなる。このようなプラグ４２であっても、実施形態のプラグ４０と同様の作用効果を奏する。

以上では、本発明の真空ポンプとして複合型ターボ分子ポンプの例を挙げたが、本発明は、全翼型ターボ分子ポンプやモレキュラドラッグポンプなどの真空ポンプにも適用できる。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

１０：ロータ組立体、
２０：ロータ、
２１：ボス部、
２１ａ：下端、
２１ｂ：内周面、
２１ｃ：雌ネジ、
２１ｄ：外周面、
２２：ロータ翼、
２４：ロータ円筒部、
２５：貫通孔、
２６：上面、
２７：下面、
３０：シャフト、
３０ａ：上端、
３１：凹部、
３１ａ：内周面、
３１ｂ：底面、
４０：プラグ、
４０ａ：外周面、
４０ｂ：雄ネジ、
４０ｄ：凹部（六角穴）、
４０ｅ：上面、
４０ｆ：貫通孔、
４０ｇ：下面、
４０ｈ：基部、
４０ｉ：角部、
４１：プラグ、
４１ｂ：雄ネジ、
４２：プラグ、
４２ａ：外周面、
４２ｂ：雄ネジ、
４２ｈ：基部、
５０：ボルト、
６０：ロータディスク、
７０：ステータ翼、
７２：円筒状ステータ、
８０：モータ、
８２：上部ラジアル電磁石、
８４：下部ラジアル電磁石、
８６：スラスト電磁石、
９０：ケーシング、
９２：スペーサ、
９４：ベース、
９６：排気口、
９８：吸気口、
１００：ターボ分子ポンプ

Claims

回転駆動力を伝達するシャフトと、
締結構造により前記シャフトと締結され、前記シャフトから回転駆動力が伝達されて回転するロータとを備えた真空ポンプにおいて、
前記締結構造は、
シャフトの端面に設けられた凹部と、
前記ロータから前記凹部に向けて延設され、内周面に第１ネジが刻設された中空ボス部と、
前記凹部の底面側から前記中空ボス部の前記第１ネジに螺合され、前記中空ボス部の外周面を前記凹部の内周面に向けて膨出させる第２ネジが外周面に設けられた拡張部材と、を備える真空ポンプ。
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記拡張部材には、前記中空ボス部の中空孔に面して締め付けトルクが伝達される伝達部が設けられている真空ポンプ。
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記中空ボス部の第１ネジは、平行ネジであり、
前記拡張部材の第２ネジは、前記凹部側から前記ロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである真空ポンプ。
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記中空ボス部の第１ネジは、前記凹部側から前記ロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジであり、
前記拡張部材の第２ネジは、平行ネジである真空ポンプ。
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記中空ボス部の第１ネジと前記拡張部材の第２ネジは、前記凹部側から前記ロータの上面側に向けて縮径されたテーパネジである真空ポンプ。
請求項１〜５のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記拡張部材には、前記中空ボス部と前記凹部と前記拡張部材とで囲まれた空間と、外界とを連通する貫通孔が設けられている真空ポンプ。
請求項１〜６のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記拡張部材の第２ネジと前記中空ボス部の第１ネジとの螺合は、前記ロータの回転が加速する際に、進む方向に設定されている真空ポンプ。