JP6758865B2 - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6758865B2 JP6758865B2 JP2016041802A JP2016041802A JP6758865B2 JP 6758865 B2 JP6758865 B2 JP 6758865B2 JP 2016041802 A JP2016041802 A JP 2016041802A JP 2016041802 A JP2016041802 A JP 2016041802A JP 6758865 B2 JP6758865 B2 JP 6758865B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- strength member
- rotor
- strength
- pump according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 70
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 claims description 64
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 34
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 31
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 29
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims description 28
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 15
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 15
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- 239000012778 molding material Substances 0.000 claims description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 229920002430 Fibre-reinforced plastic Polymers 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000011151 fibre-reinforced plastic Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 3
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
図1の真空ポンプP1は、ロータ6の略中間より上流が第1の排気機構部、具体的には翼排気部Ptとして機能するように構成してある。以下、この翼排気部Ptを詳細に説明する。
以上の構成からなる翼排気部Ptでは、駆動モータMOの起動により、ロータ軸5、ロータ6および複数の回転翼7が一体に高速で回転し、最上段の回転翼7が吸気口2から入射したガス分子に下向き方向(吸気口2から排気ポート3へ向かう方向)の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有するガス分子が固定翼8によって次段の回転翼7側へ送り込まれる。以上のようなガス分子への運動量の付与と送り込み動作とが繰り返し多段に行われることにより、吸気口2側のガス分子はロータ6の下流に向かって順次移行するように排気される。
図1の真空ポンプP1においては、ロータ6の略中間より下流が第2の排気機構部、具体的にはネジ溝排気部Psとして機能するように構成してある。以下、このネジ溝排気部Psを詳細に説明する。
先に説明した翼排気部Ptの排気動作による移送で前述の最終隙間G1に到達したガス分子は、ネジ溝排気流路Rに移行する。移行したガス分子は、ロータ6の回転によって生じるドラッグ効果によって、遷移流から粘性流に圧縮されながらポンプ内排気口側流路Sに向かって移行する。そして、ポンプ内排気口側流路Sに到達したガス分子は、排気ポート3に流入し、図示しない補助ポンプを通じて外装ケース1の外へ排気される。
ネジ溝排気部ステータ9(固定部材)の外周側には、ロータ破損対策として、そのネジ溝排気部ステータ9の材質よりも比強度の高い材質からなる高強度部材10を取付けてある。この高強度部材10としては例えばCFRP(炭素繊維強化プラスチック)を採用することができるが、CFRPに限定されることはない。
図1の真空ポンプP1では、排気するガス中の腐食成分による高強度部材10の腐食を抑制する手段として、高強度部材10の周囲に図2から図11に示した腐食防止構造St1のいずれかを設けることができる。
図2の腐食防止構造St1は、高強度部材10の周囲にシール部材12A、12B、12Cを設置することで、高強度部材10を腐食性ガスから保護したものである。シール部材12A、12B、12Cの設置場所は必要に応じて適宜変更することが可能であるが、図1の真空ポンプP1では、下記ガスリーク部(第1から第3のガスリーク部)にシール部材12A、12B、12Cを設置している。
外装ケース1(具体的にはステータ取付け部材1D)に対するネジ溝排気部ステータ9の取付け部(この取付け部にシール部材12Aを設置)。
(2)第2のガスリーク部
ネジ溝排気部ステータ9の下端部に対する保持片9Bの取付け部(この取付け部にシール部材12Bを設置)。
(3)第3のガスリーク部
前記保持片9Bと外装ケース1(具体的にはポンプベース1Bまたはステータ取付け部材1D)との間(ここにシール部材12Cを設置)。
図6の腐食防止構造St1は、高強度部材10の周囲に対して、不活性ガス等の腐食対策ガスを供給する腐食対策ガス供給手段14を設けたものである。この腐食対策ガス供給手段14は、具体的には、外装ケース1の外側からガス供給路14Aを介して緩衝空間G2へ腐食対策ガスを供給する構成になっている。不活性ガスの例としては、工業ガスとしても良く使用される窒素ガスが挙げられる。
図示は省略するが、前記以外の他の腐食防止構造として、高強度部材10の外面(表面)に耐腐食性表面処理を施してもよい。この種の耐腐食性表面処理としては、例えば高強度部材10の外面に対して、ニッケルメッキ等のような耐腐食性材料のメッキ処理、または、耐腐食性塗料の塗布処理、あるいは樹脂コーティングを施す方式が考えられる。樹脂コーティングではエポキシ系樹脂を用いることができる。
図7の腐食防止構造St1は、高強度部材10の周囲(具体的には、緩衝空間G2、G3)に樹脂等のモールド材MMを充填することによって、そのモールド材MMで高強度部材10がモールドされるモールド構造を採用したものである。モールド材MMとしては例えばエポキシ系樹脂を用いることができる。
図8の腐食防止構造St1は、ネジ溝排気部ステータ9を鋳造で製造する際に、その製造に用いる鋳型の中に高強度部材10をセットして鋳込むことにより、ネジ溝排気部ステータ9の中に高強度部材10が埋め込まれた形態となるように構成したものである。
図10の腐食防止構造St1は、ネジ溝排気部ステータ9の中に収容空間G4を設けるとともに、その収容空間G4内に高強度部材10を設置した構造になっている。
図1の真空ポンプP1において、外装ケース1に対するネジ溝排気部ステータ9の取付け部は、図11に示したように、ネジ溝排気部ステータ9の上端部と外装ケース1(具体的には、外装ケース1の内側に取付けてあるステータ取付け部材1D)とが嵌め合い19によって連結した構造(嵌め合い構造)になっている。
図1の真空ポンプP1では、ロータ6が破壊したときに外装ケース1に伝わる破壊の衝撃力とトルクを低減する手段として、図12から図16に示した衝撃力・トルク低減構造のいずれかを設けることができる。
図1の真空ポンプP1において、外装ケース1に対するネジ溝排気部ステータ9の取付け部は、図12に示したように、ネジ溝排気部ステータ9の上端部と外装ケース1とが連結フランジ21を介して連結した構造になっている。なお、図12の例では、連結フランジ21をネジ溝排気部ステータ9の上端部外周に設けているが、これに代えて、そのような連結フランジ21を外装ケース1側に設ける構成も採用し得る。
高強度部材10としては、例えば公知のCFRPのような繊維強化プラスチックを採用することができるが、繊維強化プラスチックからなる高強度部材10の端部はそれ以外の部分に比べて引っ張り強度が低い。繊維強化プラスチックからなる高強度部材10の端部では内部の繊維が途切れていることがその強度低下の原因になっていると考えられる。
図15を参照すると、前述の通り、図1の真空ポンプP1において、ネジ溝排気部ステータ9に対する高強度部材10の取付け部は、ネジ溝排気部ステータ9側に設けた保持溝11A、11Bに高強度部材10の端部(上端10Aと下端10B)を挿入する形式で保持する構造になっている。
ネジ溝排気部ステータ9(固定部材)の強度よりも保持片9Bの強度の方が低い場合は、ネジ溝排気部ステータ9に加わった破壊の衝撃力やトルクによって、ネジ溝排気部ステータ9よりも先に保持片9Bが破損し、高強度部材10の保持状態が崩壊してしまうため、高強度部材10において破壊の衝撃力やトルクを十分に吸収することができない。このことから、図15の衝撃力・トルク低減構造St2では、後述する構造によって、保持片9Bの強度がネジ溝排気部ステータ9の強度より高くなるように構成している。
1A ポンプケース
1B ポンプベース
1C フランジ
1D ステータ取付け部材
2 吸気口
3 排気ポート
4 ステータコラム
5 ロータ軸
6 ロータ
6A ロータの最上端
6B ロータの最下端
7 回転翼
8 固定翼
9 ネジ溝排気部ステータ(固定部材)
9A フランジ
9B 保持片
91 ネジ溝
10 高強度部材
10A 高強度部材の端部(上端)
10B 高強度部材の端部(下端)
11A、11B 保持溝
11W 保持溝の壁
12A、12B、12C シール部材
13 保持片の薄肉部
14 腐食対策ガス供給手段
15 ケース
16 モールド部
17 貫通穴
18 抜け止め突起
19 ネジ溝排気部ステータの上端部と外装ケースとの嵌め合い
20 ネジ溝排気部ステータの下端部と外装ケースとの嵌め合い
21 連結フランジ
22 溝
23 段部
BT1 ボルト
DR 駆動手段
G1 最終隙間
G2、G3 緩衝空間
G4 収容空間
G5 空隙部
MM モールド材
MB 磁気軸受
MB1 ラジアル磁気軸受
MB2 アキシャル磁気軸受
MO モータ
P1 真空ポンプ
Pt 翼排気部
Ps ネジ溝排気部
R ネジ溝排気流路
S ポンプ内排気口側流路
SP 支持手段
St1 腐食防止構造
St2 衝撃力・トルク低減構造
Claims (21)
- 外装ケース内に配置されたロータと、
前記ロータを回転可能に支持する支持手段と、
前記ロータを回転駆動する駆動手段と、
前記ロータの回転により吸気したガスを排気する排気機構部と、を備え、
前記排気機構部は、前記ロータの外周側にネジ溝排気流路を形成するために、前記外装ケースの内周側に取付けた固定部材を有し、
前記固定部材には、ネジ溝が形成されており、
前記固定部材の外周側には、その固定部材の材質よりも比強度の高い材質からなる高強度部材が取付けられており、
前記ガス中の腐食成分による前記高強度部材の腐食を抑制するために、その高強度部材の周囲に腐食防止構造を設け、
前記ロータが破壊した時に、前記高強度部材と接触して前記高強度部材を支持する部材の支持面が、前記高強度部材の内周側に配置され、前記高強度部材の外周面が該外周面と対峙する部材と接触するよりも先にもしくは同時に前記支持面が前記高強度部材の内周面と接触するように前記支持面を配置したこと
を特徴とする真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記高強度部材の周囲に前記ガスの流れ込みを低減または防止するシール部材を設置したこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記高強度部材の周囲に対して不活性ガス等の腐食対策ガスを供給する腐食対策ガス供給手段を設け、
前記固定部材の下端の、前記腐食対策ガスが流出する出口の隙間は、前記腐食対策ガスが供給される空間の隙間より狭いこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記高強度部材の外面に耐腐食性表面処理を施したこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記高強度部材の周囲に樹脂等のモールド材を充填したこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記固定部材の中に前記高強度部材が埋め込まれた形態となるように構成したこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記固定部材に前記高強度部材を収容する収容空間を設け、その収容空間に前記高強度部材を設置したこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記高強度部材の周囲に前記高強度部材を取り囲むケースを設置したこと
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造として、前記固定部材または前記外装ケースの少なくとも一部に嵌め合い構造が設けられていること
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記腐食防止構造は、前記嵌め合い構造を焼嵌め、冷やし嵌め、あるいは圧入のいずれかで構成したこと
を特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。 - 前記固定部材と前記外装ケースは、更に、前記固定部材と前記外装ケースの取付け部に、前記ロータが破壊したときに前記外装ケースに伝わる破壊の衝撃力とトルクを低減する衝撃力・トルク低減構造が設けられていること
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記取付け部は、前記固定部材と前記外装ケースとが連結フランジを介して連結した構造になっていて、
前記衝撃力・トルク低減構造は、前記連結フランジの塑性歪が、前記固定部材と前記外装ケースのいずれか少なくとも一つの塑性歪よりも大きくなるように、前記連結フランジが塑性変形するフランジ塑性変形構造であること
を特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。 - 前記フランジ塑性変形構造は、前記連結フランジの少なくとも一部の厚みが、前記固定部材と前記外装ケースのいずれか少なくとも一つの厚みよりも薄いこと
を特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ。 - 前記フランジ塑性変形構造は、前記連結フランジに溝、括れ、あるいは切欠きのいずれか少なくとも一つを形成したものであること
を特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ。 - 前記連結フランジは、前記固定部材と前記外装ケースのいずれか少なくとも一つと一体に形成されていること
を特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ。 - 前記衝撃力・トルク低減構造は、前記ロータの前記ネジ溝排気流路を形成する部分の最上端より上方に前記高強度部材の上端が位置する構造、または、前記ロータの前記ネジ溝排気流路を形成する部分の最下端より下方に前記高強度部材の下端が位置する構造、若しくは、その両方の構造を備えるものであること
を特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。 - 前記衝撃力・トルク低減構造は、前記固定部材に対して固定して形成された保持溝に、前記高強度部材の端部を挿入して、前記高強度部材を保持する構造であること
を特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。 - 前記保持溝の内周側の壁と前記高強度部材との間に空隙部を設けたこと
を特徴とする請求項17に記載の真空ポンプ。 - 前記固定部材に対して固定して設けられた保持片を備え、前記保持溝は、前記保持片に形成されたこと
を特徴とする請求項17に記載の真空ポンプ。 - 前記保持片の強度は、前記固定部材の強度より高いこと
を特徴とする請求項19に記載の真空ポンプ。 - 前記衝撃力・トルク低減構造は、前記高強度部材の周囲に衝撃を吸収する緩衝材が配設されたこと
を特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016041802A JP6758865B2 (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 真空ポンプ |
CN201710102875.6A CN107152408A (zh) | 2016-03-04 | 2017-02-24 | 真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016041802A JP6758865B2 (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017155709A JP2017155709A (ja) | 2017-09-07 |
JP6758865B2 true JP6758865B2 (ja) | 2020-09-23 |
Family
ID=59792089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016041802A Active JP6758865B2 (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 真空ポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6758865B2 (ja) |
CN (1) | CN107152408A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3626971B1 (de) * | 2019-08-30 | 2022-05-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
JP7459811B2 (ja) * | 2021-01-25 | 2024-04-02 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005180265A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
JP5719592B2 (ja) * | 2008-07-14 | 2015-05-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
US20130309076A1 (en) * | 2011-02-04 | 2013-11-21 | Edwards Japan Limited | Rotating Body of Vacuum Pump, Fixed Member Disposed Opposite Rotating Body, and Vacuum Pump Provided with Rotating Body and Fixed Member |
CN202290031U (zh) * | 2011-10-14 | 2012-07-04 | 唐山三孚硅业股份有限公司 | 一种集散控制系统操作站计算机防腐蚀保护装置 |
KR102106658B1 (ko) * | 2012-09-26 | 2020-05-04 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 로터, 및, 이 로터를 구비한 진공 펌프 |
JP6484920B2 (ja) * | 2013-11-26 | 2019-03-20 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
-
2016
- 2016-03-04 JP JP2016041802A patent/JP6758865B2/ja active Active
-
2017
- 2017-02-24 CN CN201710102875.6A patent/CN107152408A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107152408A (zh) | 2017-09-12 |
JP2017155709A (ja) | 2017-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5763660B2 (ja) | 排気ポンプ | |
US10508657B2 (en) | Stator component of vacuum pump | |
JP5626445B2 (ja) | ターボ分子ポンプのボルト締結構造およびターボ分子ポンプ | |
JP6208141B2 (ja) | ロータ、及び、このロータを備えた真空ポンプ | |
WO2012105116A1 (ja) | 真空ポンプの回転体と、これに対向設置する固定部材、及び、これらを備えた真空ポンプ | |
JP2004162696A (ja) | 分子ポンプ、及びフランジ | |
EP2722527B1 (en) | Vacuum pump and rotor therefor | |
KR20130114566A (ko) | 배기 펌프 | |
JP4949746B2 (ja) | 分子ポンプ、及びフランジ | |
JP6758865B2 (ja) | 真空ポンプ | |
WO2008035497A1 (fr) | Pompe À vide et bride | |
JP4872640B2 (ja) | 真空ポンプおよび製造方法 | |
JP4609082B2 (ja) | フランジおよびこのフランジを備えたターボ分子ポンプ | |
JP5577798B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
KR102450928B1 (ko) | 진공 펌프와 이에 이용되는 스테이터 칼럼과 그 제조 방법 | |
JP6594602B2 (ja) | ロータ、真空ポンプ、及び、真空ポンプの組立方法 | |
JP7378697B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP6393978B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP5136262B2 (ja) | 回転真空ポンプ | |
JP2000220596A (ja) | 分子ポンプ | |
JP2015127525A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2003172290A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2003155997A (ja) | 真空ポンプ | |
WO2008012565A1 (en) | Molecular drag pumping mechanism | |
JP2002349472A (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200120 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200420 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200702 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6758865 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |