JP2000205183A - タ―ボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大容量、大型のターボ分子ポンプであって
も、高速回転中の回転体が万一破壊しても、ケーシング
側に伝達される回転エネルギ、つまり破壊の運動エネル
ギを減衰あるいは吸収させ、ターボ分子ポンプの固定、
支持部材（装置）の二次的破壊、あるいは変形の発生を
未然に防止したターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 回転軸に連結され動翼及びねじ溝ポンプ
段が設けられたロータと、ケーシングに固定されて動翼
とともに翼段を構成する静翼と、前記ねじ溝ポンプ段の
外周に微小間隙を介して設けられたシールリングとを備
えたターボ分子ポンプにおいて、前記回転軸の上端部に
設けられて、前記ロータの中心上部を前記回転軸に固定
して、ロータ破壊の上方への飛散を低減するストッパ部
材とともに、前記ロータを軸支する支持筒の外周に固定
されて前記ねじ溝ポンプ段の下部内周に摺接してねじ溝
ポンプ段の傾きを阻止する環状のストッパリングを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置等に
装備され、上部ケーシング内に設けられた静翼とロータ
に設けられた動翼とで構成された動静翼段を備え、吸気
口からのガスを排気口へ真空排気するターボ分子ポンプ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２は従来のターボ分子ポンプの１例
を示し、図１２において、１及び１６は、ボルト２１に
よりＯリング１５を介して一体的に組付けられている上
部ケーシング及び下部ケーシングである。該上部ケーシ
ング１の上部開口はガス吸気口２となすとともに、その
内側には複数のスペーサ１３が軸方向に連設されてい
る。該スペーサ１３は上端を前記上部ケーシング１の内
端面に当接され、下端を前記下部ケーシング１６の上端
部にインロー嵌合されており、各スペーサ１３の間には
静翼４がその外周部を挟持固定されて、多段状に設けら
れている。

【０００３】６はロータで、該ロータ６には動翼５が多
段状に設けられ、各動翼５と静翼４とが交互に設けられ
ての翼段を構成している。前記ロータ６の下部にはねじ
溝ポンプ段８が設けられている。１４はせん断され難い
複数のボルト１８により前記下部ケーシング１６の上面
に固定されたテーパ状のシールリングで、前記ねじ溝ポ
ンプ段８の外周と微小間隙を介して対向配置され、圧縮
効果を上げている。

【０００４】前記下部ケーシング１６の下方側部には排
気口３が開口され、前記ねじ溝ポンプ段８を通ってきた
流体が該排気口３から外部に送出されるようになってい
る。１７は前記下部ケーシング１６の支持筒であり、該
支持筒１７の内周には上部から順に、玉軸受からなる上
部保護軸受１９、ラジアル軸受である上部磁気軸受９、
モータ１２のステータ部１２ａ、ラジアル軸受である下
部磁気軸受１０、玉軸受からなる下部保護軸受２０、並
びに後述する回転軸７の下端のスラストディスク７ａを
挟んで設けられたスラスト磁気軸受１１が配設されてい
る。

【０００５】７は回転軸で、上部から順に、上部磁気軸
受９及び下部磁気軸受１０に、半径方向荷重をそれぞれ
支承され、下端に設けられた円盤状の磁性板からなるス
ラストディスク７ａが前記スラスト磁気軸受１１に挟ま
れて、スラスト方向（軸心方向）の位置制御を行なって
いる。

【０００６】前記ロータ６及び回転軸７は、前記上部磁
気軸受９と下部磁気軸受１０との間に設けられた前記モ
ータ１２のステータ１２ａに対向して回転子１２ｂが固
着されている。

【０００７】また、該回転軸７の前記上部磁気軸受９の
上側は、前記上部保護軸受１９が設けられて該回転軸７
と上部保護軸受１９とのラジアル方向の間隔を所要値に
設定している。さらに、該回転軸７の前記下部磁気軸受
１０の下側は、前記下部保護軸受２０が設けられて、該
回転軸７と下部保護軸受２０とのラジアル方向及びスラ
スト方向の間隔を所要値に設定している。

【０００８】次に上部磁気軸受９及び下部磁気軸受１０
は、回転軸７の軸心（Ｚ軸）と直交する面内において、
左右（Ｘ軸）及び前後（Ｙ軸）方向に夫々一対づつ配設
され、前記回転軸７が倒れを生じることなく中心軸線上
に維持可能に構成されている。従って、該回転軸７は、
該上部磁気軸受９及び下部磁気軸受１０により左右（Ｘ
軸）及び前後（Ｙ軸）方向を、前記スラスト磁気軸受１
１により軸心（Ｚ軸）方向を、つまり５軸方向を支持、
かつ制御されて回転することとなる。

【０００９】そして、前記上・下部磁気軸受９、１０及
びスラスト磁気軸受１１の磁気制御に異常をきたし、前
記回転軸７が片側に偏心した際には、前記上部保護軸受
１９もしくは下部保護軸受２０に該回転軸７の外周が当
接することにより、該回転軸７及びロータ６を保護す
る。

【００１０】上記のように構成されたターボ分子ポンプ
の運転時において、前記各磁気軸受９、１０、１１に通
電し回転軸７、動翼５を有するロータ６等のポンプ回転
部を浮上した状態で、モータ１２を駆動し、前記ポンプ
回転部を例えば10,000〜100,000r.p.m.で高速回転させ
る。該ポンプ回転部の高速回転により動翼５が静翼４の
間を回転し、かつねじ溝ポンプ段８がテーパ状のシール
リング１４の内周面と対面しながら回転することによっ
て、真空排気されるガスが上方のガス吸気口２から動翼
５と静翼４との間で第１段の圧縮がなされた後、ねじ溝
ポンプ段８の螺旋状溝通路で第２段階圧縮がなされ、ポ
ンプ内ガス通路を経て排気口３の方向に流れることによ
って、ガス吸気口２側が高真空に保持される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】かかるターボ分子ポン
プにあっては、大容量、大型化するにつれて、ロータ
６、回転軸７、ねじ溝ポンプ段８等の回転体の質量がこ
れに比例して大きくなり、前記のように10,000〜100,00
0 r.p.m.という高速回転中には前記回転体が極めて大き
な回転エネルギで以って回転する。

【００１２】かかる高速回転をするターボ分子ポンプに
おいては、ポンプの外部からの許容値を超える異常振動
が発生した場合や、ポンプ内部で異常事態が発生した場
合には、前記のように大きな回転エネルギを持った回転
体が破壊して飛散し、この飛散片が上部ケーシングに大
きな衝撃力を与えてこれを変形あるいは破壊させ、また
ターボ分子ポンプ取付用のボルトが破断するという事故
の発生をみる。

【００１３】しかしながら図１２に示される従来技術に
係るターボ分子ポンプにあっては、かかる回転体の破壊
に対する上記ケーシング類や取付ボルトの変形あるい破
損防止策が充分になされていないのが実態である。

【００１４】そこで本発明の発明者らは、特願平９−２
２３６０６号にて、前記回転体の破壊時における外部ケ
ーシングや取付ボルトの変形あるいは破損を防止する手
段を提案した。

【００１５】かかる発明は、内側に静翼を備えた上部ケ
ーシングを二重ケーシング構造とし、動翼が固定されて
いるロータが破壊してその破片が内部に飛散しても、こ
れらの破片を内部ケーシングに当てて破片の運動エネル
ギを吸収し、外部ケーシングを保護するように構成され
ている。

【００１６】しかしながら、かかる発明の場合は、ケー
シングを二重構造としているために動翼を含むロータの
温度が高くなり、該ロータの強度が低下し、また二重ケ
ーシングであるので、ケーシングの外径が大きくなり装
置が大型化してコスト高となる、等の問題点がある。

【００１７】本発明はかかる従来技術の課題に鑑み、大
容量、大型のターボ分子ポンプであっても、高速回転中
の回転体が万一破壊しても、ケーシング側に伝達される
回転エネルギ、つまり破壊の運動エネルギを減衰あるい
は吸収させ、ケーシング類や取付ボルト類の二次的破
壊、あるいは変形の発生を未然に防止したターボ分子ポ
ンプを提供することを目的とする。

【００１８】本発明の他の目的はロータ温度の上昇が抑
制されてロータの耐久性が保持され、ケーシング外径が
小さくなって低コストなるターボ分子ポンプを提供する
ことを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題を解
決するため、本発明は、モータにより回転駆動される回
転軸と、該回転軸に連結され外周の軸方向に沿って動翼
及びねじ溝ポンプ段が設けられたロータと、ケーシング
の内側に固定されて前記動翼とともに翼段を構成する静
翼と、前記ねじ溝ポンプ段の外周に微小間隙を介して設
けられたシールリングとを備えたターボ分子ポンプであ
って、前記ターボ分子ポンプにおいて前記ロータを軸支
する支持筒の外周に固定されて前記ねじ溝ポンプ段の下
部内周に微小間隙を介して対向する環状のストッパリン
グを備え、そしてより好ましくは該ストッパリングと、
前記回転軸の上端部に設けられて前記ロータの中心上部
を前記回転軸に固定するストッパ部材とを併設してなる
ことを特徴とするターボ分子ポンプを提案する。なお、
前記支持筒と前記ストッパリングとは一体化されている
が、別体に構成しても良い。

【００２０】かかる発明によれば、ターボ分子ポンプの
運転中、許容値を超える振動等の異常事態によってロー
タが破壊すると、ロータの破片は上方に飛び出そうとす
るが、ロータの上部中央部がストッパ部材によって堅固
に回転軸に固定されてロータを押さえているので、上方
への飛散が低減され、ロータは半径方向に飛散あるいは
変形して該ロータのねじ溝ポンプ段の外周がこれと微小
間隙のシールリングに衝突する。

【００２１】これにより、ロータの運動エネルギは、シ
ールリングとねじ溝ポンプ段との接触によって該シール
リングに吸収され、シールリングに回転を生じ、シール
リングの取付用ボルトにせん断力を付与し、該ボルトの
破断によって前記運動エネルギを吸収する。従って、前
記ロータ破片の上部ケーシング側への飛散及びエネルギ
伝達が低減される。

【００２２】従ってかかる発明によれば、ロータの中央
上部をストッパ部材によって回転軸に堅固に固定してロ
ータを押さえているので、ロータ破壊時の破片が上方に
飛散するのが低減されるとともに、ロータ端部のねじ溝
ポンプ段がこれと微小間隙で以って設けられたシールリ
ングに接触して、破壊による運動エネルギをシールリン
グに伝達し、最終的にシールリングの変形、シールリン
グ取付用ボルトの切断及びシールリングが下部ケーシン
グに摩擦しながら回転することによって吸収させること
ができる。

【００２３】また、かかる発明によれば、ロータの一部
であるねじ溝ポンプ段の下端内周が、支持筒に固定され
たストッパリングの外周に微小間隙を介して対向してい
るので、ロータの破壊時に、ねじ溝ポンプ段の内周面が
ストッパリングの外周面と衝突することによって、ロー
タ破片が傾斜するのが阻止されるとともに、前記衝突に
よってロータの運動エネルギが吸収される。

【００２４】これにより、ロータ破片の上部ケーシング
側への飛散が低減するとともに、シールリング部でエネ
ルギ吸収されるので、上部ケーシングへのエネルギ伝達
が軽減され、安全性が確保される。又シールリング部よ
り上の破片は上部ケーシングに飛散するが、飛散するに
は破片が動翼とねじ溝ポンプ段の境界で破断する必要が
あり、直接的に飛散することを防止し、エネルギを少し
でも消費させる事が出来、やはり安全性が確保される。

【００２５】又前記ストッパ部材は、その下面に環状の
突起部が設けられ、該突起部を前記ロータに設けられた
溝内に嵌入して構成するのがよい。

【００２６】かかる発明によれば、ストッパ部材の下面
に設けた環状の突起物をロータに設けた溝内に嵌入させ
ているので、該突起部が、ロータの破壊時において、そ
の破片が外周側に飛散するときの抵抗となって、ロータ
の破壊による半径方向への運動エネルギーを吸収し、ロ
ータの半径方向への飛散を低減できるとともに、エネル
ギ吸収され、安全性が確保される。

【００２７】更に請求項５に記載のように、前記回転軸
と前記ロータとの夫々の接触面上に、回転軸線と同心上
にリング円状の嵌合溝と嵌合凸部を設け、該嵌合溝と嵌
合凸部を嵌着して前記回転軸と前記ロータとの連結を図
ることによっても、ロータの破壊時において、前記嵌合
部が抵抗となって、ロータの破壊による半径方向への運
動エネルギーを吸収し、ロータの半径方向への飛散を低
減できるとともに、エネルギ吸収され、安全性が確保さ
れる。

【００２８】更に、前記シールリングを厚肉に形成する
とともに、その外周に環状突起部を設け、該環状突起部
を下部ケーシングにインロー嵌合し、さらに前記シール
リングをせん断強度の小さいボルトにより前記下部ケー
シングに取付けてなる。

【００２９】かかる発明によれば、シールリングが厚
肉、大形であるので、シールリングはロータとの接触に
よってそれ自体の変形が少なくなって、破壊による運動
エネルギを少ない変形で吸収し、環状突起部をガイドと
して回転し、かかる回転によって、小径のボルトが切断
される。従って、かかる発明によれば、シールリングの
変形を少なくして、ロータの破壊の運動エネルギの殆ど
をシールリングの変形、ボルトの切断及びシールリング
が下部ケーシングに摩擦しながら回転することによって
吸収できる。なお、当然のことながら、シールリングが
外周側に変形してもすぐさま拘束されないように、下部
ケーシングとの隙間を十分確保している。

【００３０】請求項６〜１１記載の手段は、本発明の第
２発明にかかるもので、モータにより回転駆動される回
転軸と、該回転軸に連結され外周の軸方向に沿って動翼
及びねじ溝ポンプ段が設けられたロータと、ケーシング
の内側に固定されて前記動翼とともに翼段を構成する静
翼と、前記ねじ溝ポンプ段の外周に微小間隙を介して設
けられたシールリングとを備えたターボ分子ポンプであ
って、前記シールリングは、その内周の内径が、上端部
あるいはその近傍で最も小さく、下部になるに従がい大
きくなるような下部側が拡開したテーパ状に形成される
とともに、前記ロータのねじ溝ポンプ段は、前記シール
リングの内周に対向する外周の外径が上部近傍で最も小
さく下部になるに従がい大きくなるように構成されてな
ることを特徴とする。この場合、前記シールリングは、
その円周方向において２つ割りにされた半円環状体を押
え板及びボルトによって締着してなるのがよい。

【００３１】かかる発明によれば、ターボ分子ポンプの
運転中、許容値を超える振動等の異常事態によってロー
タが破壊すると、ロータの破片は上方に跳び出そうとす
るが、該ロータの破片はねじ溝ポンプ段部において最も
間隙の小さいシールリングの内周面に接触する。然るに
シールリングの内周面とこれに対向するねじ溝ポンプ段
の外周面とは、上部が小径の逆テーパに形成されている
ので、ロータはシールリングとの上記接触部において上
方への飛散が低減されるとともに、ロータ破片の運動エ
ネルギはシールリングとの衝突及びシールリングの変形
によって吸収される。これにより、ロータ破片の上部ケ
ーシングへの飛散は低減されるとともに安全性が確保さ
れる。

【００３２】そして前記発明は、好ましくは前記シール
リングに加えて、前記ロータを軸支する支持筒の外周に
固定されて前記ねじ溝ポンプ段の下部内周に微小間隙を
介して対向する環状のストッパリングを備えてなるのが
よい。

【００３３】かかる発明によれば、ロータの一部である
ポンプ段の下端内周が、支持筒に固定されたストッパリ
ングの外周に微小間隙を介して対向しているので、ロー
タの破壊時にねじ溝ポンプ段の内周面がストッパリング
の外周面と衝突することによって、ロータ破片が傾斜す
るのが阻止されるとともに、前記衝突によってロータの
運動エネルギが吸収される。

【００３４】又本発明は前記ターボ分子ポンプにおい
て、前記ロータを軸支する支持筒の外周に、前記ねじ溝
ポンプ段の下部内周と微小間隙を介してストッパ部を設
けるとともに、前記ねじ溝ポンプ段の下端部には、前記
ロータが上方へ移動したとき前記ストッパ部に当接可能
にされた凸部が設けられてなるように構成する事も出来
る。そして、前記ストッパ部が、前記支持筒の外周に固
定されたリング部材からなるのがよい。

【００３５】更に、前記シールリングを厚肉に形成する
とともに、その外周に環状突起部を設け、該環状突起部
を下部ケーシングにインロー嵌合し、さらに前記シール
リングをせん断強度の小さいボルトにより前記下部ケー
シングに取付けてなるのがよい。

【００３６】かかる発明によれば、ロータの破壊時に、
該ロータが上方に飛び出そうとした際、ねじ溝ポンプ段
下部の凸部がストッパ部に衝突してロータの上方への飛
散が低減されるとともに、ロータ破片の運動エネルギは
前記衝突により支持筒側に吸収され、安全性が確保され
る。

【００３７】また、前記ロータの破壊時に該ロータが半
径方向に飛び出すと、微小間隙のねじ溝ポンプ段の外周
とシールリングの内周とが衝突し、これにより、ロータ
の運動エネルギはシールリングとねじ溝ポンプ段との衝
突によって該シールリングに吸収され、シールリングに
吸収され、シールリングに回転を生じ、シールリングの
取付用ボルトにせん断力を付与し、該ボルトの破断とシ
ールリングが摩擦しながら回転することによって前記運
動エネルギを吸収する。

【００３８】従って、かかる発明によれば、ロータの破
壊時において、ねじ溝ポンプ段の凸部とストッパ部との
衝突によりロータ破片の上方への飛散が低減され、前記
厚肉大形のシールリングとねじ溝ポンプ段との衝突及び
該シールリングの回転に伴なうボルトの切断によりロー
タ破片の上部ケーシングへの直接的な飛散が阻止され
る。これにより、外部にあるケーシングや取付ボルト類
への上記破片による運動エネルギの伝達が低減され、タ
ーボ分子ポンプの固定、支持部材（装置）をコンパクト
にできる。

【００３９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施形態を例示的に詳しく説明する。但しこの実施
形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、そ
の相対的配置等は特に特定的な記載がないかぎりは、こ
の発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説
明例にすぎない。

【００４０】図１は本発明の第１実施形態に係るターボ
分子ポンプの縦断面図、図２は図１のＺ部拡大図であ
る。図１において、１及び１６は、複数のボルト２１に
よりＯリング１５を介して一体的に組付けられている上
部ケーシングおよび下部ケーシングである。これにより
上部・下部ケーシング１、１６内は完全な密閉空間に保
持されている。該上部ケーシング１の上部開口はガス吸
気口２となすとともに、その内側には複数のスペーサ１
３が軸方向に連設されている。該スペーサ１３は上端
を、前記上部ケーシング１の内端面に当接され、下端を
前記下部ケーシング１６の上端部にインロー嵌合されて
おり、各スペーサ１３の間には静翼４が外周部を挟持固
定されて、多段状に設けられている。

【００４１】６はロータで、該ロータ６の上部には動翼
５が多段状に設けられ、各動翼５と静翼４とが交互に設
けられて複数の翼段を構成している。前記ロータ６の下
部にはねじ溝ポンプ段８が設けられている。１４０は複
数のボルト３４により前記下部ケーシング１６に固定さ
れたテーパ状のシールリングで、前記ねじ溝ポンプ段８
の外周と微小間隙を介して対向配置され、圧縮効果を上
げている。該シールリング１４０の詳細については後述
する。

【００４２】前記下部ケーシング１６の下方側部には排
気口３が開口され、前記ねじ溝ポンプ段８を通ってきた
流体が該排気口３から外部に送出されるようになってい
る。

【００４３】１７は前記下部ケーシング１６の支持筒で
あり、該支持筒１７の内周には、上部から順に、玉軸受
からなる上部保護軸受１９、ラジアル軸受である上部磁
気軸受９、モータ１２のステータ部１２ａ、ラジアル軸
受である下部磁気軸受１０、玉軸受からなる下部保護軸
受２０、並びに後述する回転軸７の下端のスラストディ
スク７ａを挟んで設けられたスラスト磁気軸受１１が配
設されている。

【００４４】７は前記ロータ６の上部中心に後述する手
段にて固定された回転軸で、上部から順に、上部磁気軸
受９及び下部磁気軸受１０に、半径方向荷重をそれぞれ
支承され、下端に設けられた円盤状の磁性板からなるス
ラストディスク７ａがスラスト磁気軸受１１に挟まれ
て、スラスト方向（軸心方向）の位置制御を行なってい
る。

【００４５】前記ロータ６及び回転軸７は、前記上部磁
気軸受９と下部磁気軸受１０との間に設けられた前記モ
ータ１２のステータ１２ａに対向して回転子１２ｂが固
着されている。

【００４６】前記上部磁気軸受９及び下部磁気軸受１０
は、回転軸７の軸心（Ｚ軸）と直交する面内において、
左右（Ｘ軸）及び前後（Ｙ軸）方向に夫々一対づつ配設
され、前記回転軸７が倒れを生じることなく中心軸線上
に維持可能に構成されている。従って、該回転軸７は、
該上部磁気軸受９及び下部磁気軸受１０により左右（Ｘ
軸）及び前後（Ｙ軸）方向を、前記スラスト磁気軸受１
１により軸心（Ｚ軸）方向を、つまり５軸方向を支持か
つ制御されて回転することとなる。

【００４７】また、該回転軸７の前記上部磁気軸受９の
上側は、前記上部保護軸受１９が設けられて該回転軸７
と上部保護軸受１９とのラジアル方向の間隔を所要値に
設定している。さらに該回転軸７の前記下部磁気軸受１
０の下側は、前記下部保護軸受２０が設けられて該回転
軸７と下部保護軸受２０とのラジアル方向及びスラスト
方向の間隔を所要値に設定している。

【００４８】そして、前記上・下部磁気軸受９、１０及
びスラスト磁気軸受１１の磁気制御に異常をきたし、前
記回転軸７が片側に偏心した際には、前記上部保護軸受
１９もしくは下部保護軸受２０に該回転軸７の外周が当
接することにより、該回転軸７及びロータ６を保護す
る。以上に示すターボ分子ポンプの基本構成はシールリ
ング１４０を除いて図１２に示す従来技術と同様であ
る。

【００４９】７ｂは前記回転軸７の上端部の前記上部保
護軸受１９の取付部から上方に延設された嵌合部で、該
嵌合部７ｂが前記ロータ６の嵌合穴６ａに嵌合されてい
る。

【００５０】３１は上部ストッパで、前記回転軸７の嵌
合部７ｂからさらに上方に延設された軸部７ｃに嵌合さ
れた環状体からなり、３２のナットで締め付けている。
２２は前記ロータ６と回転軸７との締結用ボルトであ
る。

【００５１】３３は環状のストッパリングで、図２に示
すように、前記支持筒１７の外周の、前記ねじ溝ポンプ
段８の下端部に対向する位置に圧入されている。１７ａ
は前記支持筒１７に設けられた該ストッパリング３３の
係止部である。また前記ねじ溝ポンプ段８の内周面８ａ
と前記ストッパリング３３の外周面３３ａとの間には微
小間隙ｔ（０．５ｍｍ〜１．０ｍｍが好適）が形成さ
れ、前記ロータ６の破壊時において、該ロータ６が傾こ
うとした際にねじ溝ポンプ段８の下端部円周面８ａがス
トッパリング３３の外周面３３ａに衝突するようになっ
ている。なお、３３のストッパリングは支持筒１７と一
体形成されていてもよい。

【００５２】また前記シールリング１４０は図１２に示
す従来技術に較べて大形かつ厚肉に形成されている。即
ち、図１において、１４０は前記ねじ溝ポンプ段８の外
周と対向して配置されたシールリングで、前記下部ケー
シング１６の取付面１６ａに当接されるとともに、その
外周下部に設けられた軟剛性の環状突起部１４１を前記
下部ケーシング１６の上部に設けられた嵌合部３６にイ
ンロー嵌合し、複数のボルト３４によって下部ケーシン
グ１６に固定されている。前記ボルト３４はせん断に必
要なエネルギが小さくて済むように、小径に構成されて
いる。

【００５３】かかる構成からなるターボ分子ポンプの運
転時において、前記各磁気軸受９、１０、１１に通電
し、回転軸７、動翼５を有するロータ６等のポンプ回転
部を浮上した状態で、モータ１２を駆動し、前記ポンプ
回転部を例えば、10,000〜100,000 r.p.m.で高速回転さ
せる。該ポンプ回転部の高速回転により動翼５が静翼４
の間を回転し、かつねじ溝ポンプ段８がテーパ状のシー
ルリング１４０の内周面と対面しながら回転することに
よって、真空排気されるガスが上方のガス吸気口２から
動翼５と静翼４との間で第１段の圧縮がなされた後、ね
じ溝ポンプ段８の螺旋状溝通路で第２段階圧縮がなさ
れ、ポンプ内ガス通路を経て排気口３の方向に流れるこ
とによって、ガス吸気口２側が高真空に保持される。

【００５４】かかるターボ分子ポンプの運転時におい
て、許容値を超える過大振動や内部での異常状態によっ
て大きな運動エネルギを持ったロータ６が破壊すると、
該ロータ６の破片は上方に飛び出そうとするが、該ロー
タ６の中央部が上部ストッパ３１によって堅固に回転軸
７に固定されてロータ６を押さえているので、上方（上
部ケーシング）への直接的な飛散が阻止され、ロータ６
は半径方向に飛散あるいは変形して、該ロータ６のねじ
溝ポンプ段８の外周が、これと対向して微小間隙で以っ
て配設されているシールリング１４０の内周に衝突す
る。

【００５５】これにより、ロータ６の運動エネルギはシ
ールリング１４０とねじ溝ポンプ段８との接触によって
シールリング１４０に伝達される。該シールリング１４
０は、前記のように、厚肉、大形に構成されているため
それ自体は大きく変形せず、環状突起部１４１をガイド
として回転する。

【００５６】かかる回転によって、ボルト３４にせん断
力が作用し、該せん断力によって破断し易いように小径
に構成されたボルト３４は切断される。かかるシールリ
ング１４０の変形、ボルト３４の切断及び下部ケーシン
グ１６に適度に摩擦しながら回転することにより、前記
ロータ６の破壊による運動エネルギが吸収され、外部の
上部ケーシング１や下部ケーシング１６及び取付用のボ
ルト２１等へのエネルギ伝達が低減される。

【００５７】また、前記ねじ溝ポンプ段８の下端部内周
面８ａは、支持筒１７に圧入されたストッパリング３３
の外周面３３ａに微小間隙ｔを介して対向しているの
で、ロータ６の破壊時において該ロータ６が傾斜しよう
とした際に、前記ねじ溝ポンプ段８の下端の内周面８ａ
がストッパリング３３の外周面３３ａに衝突することに
よって、該ロータ６の傾斜が阻止されるとともに、前記
ストッパリング３３への衝突によってロータ６の運動エ
ネルギが吸収される。

【００５８】図３は本発明の第２実施形態を示す要部拡
大断面図である。この実施形態においては、第１実施形
態における上部ストッパを改良している。

【００５９】即ち図３において、４１は上部ストッパで
回転軸７の上端７ｂに組み付け、ロック用のナット３２
により締め付けられている点は第１実施形態と同様であ
るが、外周部に環状の突起部４１ａを設けている。一方
ロータ６の上面には環状の溝４２が刻設され、該溝４２
内に前記突起部４１ａが嵌入されている。

【００６０】かかる実施形態において、ロータ６が破壊
されると、該上部ストッパ４１によってロータ６の中央
部を堅固に固定しているので、該ロータ６の破片が上方
へ飛散するのを低減できる点は第１実施形態と同様であ
るが、この実施形態においては、上部ストッパ４１に突
起部４１ａを設け、ロータ６の溝４２に嵌入しているの
で、該突起部４１ａがロータ６の破片が外周側に飛散す
るときの抵抗となり、該突起部４１ａと溝４２との嵌合
部にてロータ６の破片の半径方向への運動エネルギを吸
収する。

【００６１】かかる実施形態においては、上部ストッパ
４１に突起部４１ａを設け、これをロータ６の溝４２に
嵌入することによって前記ロータ６の破片の半径方向へ
の飛散を低減することが可能となる。

【００６２】図４は本発明の第３実施形態を示す要部拡
大断面図である。この実施形態においては、第３実施形
態における回転軸とロータとの結合状態を改良してい
る。本実施形態において、図３の実施形態との相違点の
み説明するに、締結用ボルト２２が締め付けられる回転
軸７のフランジ７ｄ上面内周側には、回転軸線と同心上
にリング円状の嵌合溝７ｅを設ける。又前記ロータ６の
回転軸７と嵌合する部位の下面の、前記嵌合溝７ｅと対
向する位置にリング円状の嵌合凹部６ｂを設け、該嵌合
溝７ｅと嵌合凸部６ｂがきっちり嵌着可能に構成する。

【００６３】かかる構成によれば、前記回転軸７のフラ
ンジ７ｄ上面と前記ロータ６内周側下面の夫々の接触面
上に設けた、嵌合溝７ｅと嵌合凸部６ｂとを嵌着して前
記回転軸７と前記ロータ６との連結を図ることによって
も、ロータ６の破壊時において、前記嵌合部７ｅと６ｂ
が抵抗となって、ロータ６の破壊による半径方向への運
動エネルギーを吸収し、ロータ６の半径方向への飛散を
低減できるとともに、エネルギ吸収され、安全性が確保
される。

【００６４】図５は本発明の第４実施形態に係るターボ
分子ポンプの縦断面図、図６は図５のＡ−Ａ矢視図で外
郭部を省略した図、図７は図５のＹ部拡大図、図８は図
５のＸ部拡大図である。図５において、図１２に示す従
来技術との差異を中心に説明する。

【００６５】８は前記ロータ６の下部に形成されたねじ
溝ポンプ段で、該ねじ溝ポンプ段８の外側には環状のシ
ールリング１５０が設置されている。該ねじ溝ポンプ段
８は、その外周面が、図１２に示す従来技術のものとは
逆に上部で小さく下部になるに従がい大きくなる、いわ
ゆる逆テーパ状に形成されている。

【００６６】そして、前記シールリング１５０は、その
内周面と前記ねじ溝ポンプ段８との間に微小間隙を介し
て配設されるとともに、該内周面が前記ねじ溝ポンプ段
８と同方向のテーパ、即ち、その上端部の内径が最も小
さく、下部になるに従がい内径が大きくなるような逆テ
ーパに形成されている。尚、気体を流すねじ溝は、ねじ
溝ポンプ段８のロータ外周に設けてもシールリング１５
０の内周に設けてもよい。

【００６７】前記シールリング１５０は、前記のように
逆テーパに形成されていることから、ターボ分子ポンプ
内への組み込みを可能とするため、図６に示すように半
環状の２つのピース１５０ａ、１５０ｂを接合面１５０
ｃにて接合してなる２つ割りのリングに構成されてい
る。４５は前記２つ割りのピース１５０ａと１５０ｂと
を締着するためのボルトであり、該ボルト４５を締める
ことによって前記ピース１５０ａと１５０ｂとが接合面
１５０ｃにて圧接され、環状のシールリング１５０を形
成している。

【００６８】図５、図６、図８において、３９は円環状
の押え板で、該押え板３９は、前記２つ割りのシールリ
ング１５０を組立後、該シールリング１５０の外周に嵌
挿され、円周方向に沿って複数個（この側では４個）設
けられたボルト４６を前記下部ケーシング１６にねじ込
み、その下面で前記シールリング１５０の肩部１５０ｄ
を押さえることにより、該シールリング１５０を下部ケ
ーシング１６に固定している。

【００６９】３３は環状のストッパリングで、図７に示
すように、前記支持筒１７の外周の、前記ねじ溝ポンプ
段８の下端部に対向する位置に圧入されている。１７ａ
は前記支持筒１７に設けられた該ストッパリング３３の
係止部である。また前記ねじ溝ポンプ段８の内周面８ａ
と前記ストッパリング３３の外周面３３ａとの間には微
小間隙ｔ（０．５ｍｍ〜１．０ｍｍが好適）が形成さ
れ、前記ロータ６の破壊時において、該ロータ６が傾こ
うとした際にねじ溝ポンプ段８の下端部内周面８ａがス
トッパリング３３の外周面３３ａに衝突するようになっ
ている。

【００７０】かかる構成からなるターボ分子ポンプの運
転時において、前記各磁気軸受９、１０、１１に通電
し、回転軸７、動翼５を有するロータ６等のポンプ回転
部を浮上した状態で、モータ１２を駆動し、前記ポンプ
回転部を例えば、10,000〜100,000 r.p.m.で高速回転さ
せる。該ポンプ回転部の高速回転により動翼５が静翼４
の間を回転し、かつねじ溝ポンプ段８がこれと微小間隙
を介して設けられたシールリング１５０の内周面と対面
しながら回転することによって、真空排気されるガスが
上方のガス吸気口２から動翼５と静翼４との間で第１段
の圧縮がなされた後、ねじ溝ポンプ段８の螺旋状溝通路
で第２段階圧縮がなされ、ポンプ内ガス通路を経て排気
口３の方向に流れることによって、ガス吸気口２側が高
真空に保持される。

【００７１】かかるターボ分子ポンプの運転時におい
て、許容値を超える過大振動や内部での異常状態によっ
て大きな運動エネルギを持ったロータ６が破壊すると、
上方に飛び出そうとするロータ６の破片は、ねじ溝ポン
プ段８部において、最も間隙の小さいシールリング１５
０の内周面に接触する。然るに前記シールリング１５０
の内周面とこれに対するねじ溝ポンプ段８の外周面と
は、上部が小径で下部になるほど大径となるような逆テ
ーパに形成されているので、ロータ６は上記シールリン
グ１５０との上記接触部において、上方（上部ケーシン
グ）への直接的な飛散が阻止される。

【００７２】これにより、ロータ６破片の運動エネルギ
はシールリング１５０との上記衝突及びシールリング１
５０の変形によって吸収され、外部にある上部ケーシン
グ１や下部ケーシング１６及び取付用のボルト２１等へ
のエネルギ伝達が低減され、ターボ分子ポンプの固定、
支持部材（装置）をコンパクトにできる。

【００７３】また、前記ねじ溝ポンプ段８の下端部内周
面８ａは、支持筒１７に圧入されたストッパリング３３
の外周面３３ａに微小間隙ｔを介して対向しているの
で、ロータ６の破壊時において該ロータ６が傾斜しよう
とした際に、前記ねじ溝ポンプ段８の下端の内周面８ａ
がストッパリング３３の外周面３３ａに衝突することに
よって、該ロータ６の傾斜が阻止されるとともに、前記
ストッパリング３３への衝突によってロータ６の運動エ
ネルギが吸収される。

【００７４】図９〜図１１は本発明の第５実施形態を示
し、図９はターボ分子ポンプの要部縦断面図（回転軸心
に対し半分の断面図）、図１０は図９のＶ部拡大図、図
１１は他の例を示す上記Ｖ部拡大図である。

【００７５】図９〜図１１において、１６０はねじ溝ポ
ンプ段８の外周と対向して配置されたシールリングで図
８に示す従来技術に較べて厚肉、大形に形成されてい
る。該シールリング１６０は、前記下部ケーシング１６
の取付面１６ａに当接されるとともに、その外周下部に
設けられた軟剛性の環状突起部１６１を前記下部ケーシ
ング１６の上部に設けられた嵌合部３６ａにインロー嵌
合し、複数のボルト３４によって下部ケーシング１６に
固定されている。前記ボルト３４はせん断に必要なエネ
ルギが小さくて済むように、小径に構成されている。

【００７６】５１は前記支持筒１７の外周に形成された
ストッパ部で、前記ロータ６のねじ溝ポンプ段８の下端
近傍内周に対向して設けられている。また、図１０に示
すように、前記ねじ溝ポンプ段８の前記ストッパ部５１
の外周直下部に該ねじ溝ポンプ段８の内周面８ａから内
周側に突出した凸部８ｂが設けられている。該凸部８ｂ
は、前記ストッパ部５１の下側面から微小距離ｂ（１ｍ
ｍ以下）の位置に設けられ、その内周面８ｃと前記スト
ッパ部５１の外周面５１ａとの間には組み立てに要する
微小間隙（０．１〜０．２ｍｍ程度）ｔを設けている。

【００７７】かかる実施形態において、ロータ６が破壊
した際に、該ロータ６が上方に飛び出そうとすると、ね
じ溝ポンプ８下端部に設けられた凸部８ｂが前記ストッ
パ部５１に衝突し、ロータ６の上方への飛散が低減さ
れ、ロータ破片の運動エネルギは前記衝突により支持筒
１７側に吸収される。

【００７８】この場合、ロータ６の組み立てのための間
隙ｔが設けられているが、該ロータ６の破壊時には、ロ
ータ破片は前記間隙ｔ（０．１〜０．２ｍｍ）以上半径
方向に移動するので、前記凸部８ｂとストッパ部５１と
は確実に衝突する。

【００７９】また、前記ロータ６の破壊により破片が半
径方向に飛び出すと、ねじ溝ポンプ段８の外周とシール
リング１６０の内周とが衝突する。これにより、ロータ
６の運動エネルギは、前記シールリング１６０とねじ溝
ポンプ段８との接触によってシールリング１６０に伝達
される。該シールリング１６０は、前記のように、厚
肉、大形に構成されているため、それ自体は大きく変形
せず、環状突起部１６１をガイドとして回転する。

【００８０】かかる回転によって、ボルト３４にせん断
力が作用し、該せん断力によって破断しやすいように小
径に構成されたボルト３４は切断される。かかるボルト
３４の切断、及びシールリング１６０が摩擦しながら回
転することで前記ロータ６の破壊による運動エネルギが
吸収される。

【００８１】従って、かかる実施形態によればロータ６
の破壊時において、ねじ溝ポンプ段８の凸部８ｂとスト
ッパ部５１との衝突によりロータ破片の上方への飛散が
低減され、前記厚肉大形のシールリング１６０へのねじ
溝ポンプ段８の衝突及び該シールリング１６０の回転に
よるボルト３４の切断、及びシールリング１６０が摩擦
しながら回転することで運動エネルギが吸収され、ロー
タ破片の上部ケーシング１への直接的な飛散が阻止され
る。

【００８２】これにより、外部にある上部ケーシング１
や下部ケーシング１６及び取付用のボルト２１等への上
記運動エネルギの伝達が低減され、ターボ分子ポンプの
固定、支持部材（装置）をコンパクトにできる。上記以
外の構成は前記第１実施形態と同様であり、これと同一
の部材は同一の符号にて示す。

【００８３】図１１は前記第５実施形態におけるストッ
パ部５１の変形例で、該ストッパ部５１に代えて、図２
と同様なストッパリング３３を支持筒１７に圧入してい
る。その他の構成は図１０の例と同様であり、これと同
一の部材は同一の符号にて示す。

【００８４】尚、上記第５実施形態におけるシールリン
グ１６０に代えて、図１２に示される従来技術と同様な
シールリング１４を用いてもよい。

【００８５】

【発明の効果】以上記載のごとく本発明の請求項１及び
２記載の発明によれば、ロータの破壊時にねじ溝ポンプ
段の内周面がストッパリングの外周面と衝突することに
よって、ロータが傾斜するのを阻止することができると
ともに、前記衝突によってロータの運動エネルギを吸収
することができる。

【００８６】而も請求項２記載の発明によれば、ロータ
の中央上部をストッパ部材によって回転軸に堅固に固定
してロータを押さえているので、ロータ破壊時の破片が
上方（上部ケーシング）に直接的に飛散するのが阻止さ
れるとともに、ロータ端部のねじ溝ポンプ段がこれと微
小間隙で以って設けられたシールリングに接触して、破
壊による運動エネルギをシールリングに伝達し、最終的
にシールリングの変形、シールリング取付用ボルトの切
断及びシールリングが下部ケーシングに摩擦しながら回
転することによって吸収させることができ、これによ
り、ロータ破片の上部ケーシング側への直接的な飛散が
防止され、上部ケーシングへのエネルギ伝達が軽減され
て安全性が確保される。

【００８７】また請求項３の記載の発明によれば、スト
ッパ部材に設けた環状の突起部をロータの溝内に固定す
ることにより、ロータの破壊時においてその破片が外周
側に飛散するときの抵抗となり、ロータ破壊による半径
方向への運動エネルギを吸収し、ロータの半径方向への
飛散が低減でき、安全性が確保できる。

【００８８】さらに請求項４記載の発明によれば、シー
ルリングを厚肉、大形とすることにより、それ自体の変
形が少なくなる。これにより、ロータとの接触によって
破壊による運動エネルギが環状突起部をガイドとして該
シールリングを回転させ、小径のボルトを切断させるこ
とにより、該運動エネルギを吸収することができる。

【００８９】更に請求項５記載の発明によれば、前記回
転軸と前記ロータに設けた嵌合溝と嵌合凸部を嵌着して
前記回転軸と前記ロータとの連結を図ることによって、
ロータの破壊時において、前記嵌合部が抵抗となって、
ロータの破壊による半径方向への運動エネルギーを吸収
し、ロータの半径方向への飛散を低減できるとともに、
エネルギ吸収され、安全性が確保される。

【００９０】更に請求項６乃至７記載の発明によれば、
シールリングの内周面とこれに対向するねじ溝ポンプ段
の外周面とが、下部側が拡開した逆テーパ状に形成され
ているので、ロータの破壊時において、該ロータはシー
ルリングとねじ溝ポンプ段との接触（衝突）によって上
方（上部ケーシング）への直接的な飛散が阻止され、該
接触によって破片の運動エネルギが吸収される。

【００９１】また、動翼の外側は、従来技術と同様に静
翼支持用のスペーサと外部ケーシングとよりなるので、
内部ケーシングを用いた二重ケーシングのポンプのよう
な温度上昇を伴なうことなく、またケーシングの外形を
大きくすることなく、外部のケーシングやボルト類への
破片による運動エネルギの伝達が低減される。

【００９２】また、特に請求項８記載の発明によれば、
ロータの破壊時に、ねじ溝ポンプ段の内周面がストッパ
リングの外周面と衝突することによって、ロータが傾斜
するのを阻止することができるとともに、前記衝突によ
ってロータの運動エネルギを吸収することができる。

【００９３】また請求項９乃至１１記載の発明によれ
ば、ロータの破壊時に、ねじ溝ポンプ段下部に設けられ
た凸部と支持筒に固定されたストッパ部との衝突によっ
てロータの上方への飛散が低減され、ロータ破片の運動
エネルギは前記衝突により支持筒側に吸収される。ま
た、厚肉大形のシールリングとねじ溝ポンプ段との衝突
及びシールリングの回転に伴なうボルトの切断により、
ロータ破片の半径方向への飛散の低減が図れる。これに
よりロータ破片の上部ケーシング（上方向及び半径方
向）への直接的な飛散が防止され、ケーシング、ボルト
等の外郭部材へのロータ破片による運動エネルギの伝達
が低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態に係るターボ分子ポン
プの縦断面図である。

【図２】 図１のＺ部拡大図である。

【図３】 本発明の第２実施形態を示すターボ分子ポン
プの要部縦断面図である。

【図４】 本発明の第３実施形態を示すターボ分子ポン
プの要部縦断面図である。

【図５】 本発明の第４実施形態に係るターボ分子ポン
プの縦断面図である。

【図６】 図５のＡ−Ａ矢視図で、押え板及びシールリ
ングを示した図である。

【図７】 図５のＹ部拡大図である。

【図８】 図５のＸ部拡大図である。

【図９】 本発明の第５実施形態に係るターボ分子ポン
プの要部縦断面図である。

【図１０】 図９のＶ部拡大図の第１例である。

【図１１】 図９のＶ部拡大図の第２例である。

【図１２】 従来技術に係るターボ分子ポンプの縦断面
図である。

【符号の説明】

１ 上部ケーシング ２ ガス吸気口 ３ 排気口 ４ 静翼 ５ 動翼 ６ ロータ ７ 回転軸 ８ ねじ溝ポンプ段 ８ｂ 凸部 ９ 上部磁気軸受 １０ 下部磁気軸受 １１ スラスト磁気軸受 １２ モータ １４、１４０、１５０、１６０ シールリング １６ 下部ケーシング １７ 支持筒 １９ 上部保護軸受 ２０ 下部保護軸受 ２１、２２、３４、４５、４６ ボルト ３１、４１ 上部ストッパ ３２ ナット ３３ ストッパリング ３６ 嵌合部 ３９ 押え板 ４１ａ 突起部 ４２ 溝 ５１ ストッパ部 １６１ 環状突起部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡村 知明 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱 重工業株式会社広島製作所内 Ｆターム(参考） 3H031 DA01 DA02 DA07 EA01 EA09 FA01 FA04 FA32 FA39

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モータにより回転駆動される回転軸と、
   該回転軸に連結され外周の軸方向に沿って動翼及びねじ
   溝ポンプ段が設けられたロータと、 ケーシングの内側に固定されて前記動翼とともに翼段を
   構成する静翼と、前記ねじ溝ポンプ段の外周に微小間隙
   を介して設けられたシールリングとを備えたターボ分子
   ポンプにおいて、 前記ロータを軸支する支持筒の外周に固定されて前記ね
   じ溝ポンプ段の下部内周に微小間隙を介して対向する環
   状のストッパリングを備えたことを特徴とするターボ分
   子ポンプ。
2. 【請求項２】 モータにより回転駆動される回転軸と、
   該回転軸に連結され外周の軸方向に沿って動翼及びねじ
   溝ポンプ段が設けられたロータと、 ケーシングの内側に固定されて前記動翼とともに翼段を
   構成する静翼と、前記ねじ溝ポンプ段の外周に微小間隙
   を介して設けられたシールリングとを備えたターボ分子
   ポンプにおいて、 前記回転軸の上端部に設けられて、前記ロータの中心上
   部を前記回転軸に固定するストッパ部材と、前記ロータ
   を軸支する支持筒の外周に固定されて前記ねじ溝ポンプ
   段の下部内周に微小間隙を介して対向する環状のストッ
   パリングとを備えたことを特徴とするターボ分子ポン
   プ。
3. 【請求項３】 前記ストッパ部材は、その下面に環状の
   突起部が設けられ、該突起部を前記ロータに設けられた
   溝内に嵌入してなる請求項２記載のターボ分子ポンプ。
4. 【請求項４】 前記シールリングを厚肉に形成するとと
   もに、その外周に環状突起部を設け、該環状突起部を下
   部ケーシングにインロー嵌合し、さらに前記シールリン
   グをせん断強度の小さいボルトにより前記下部ケーシン
   グに取付けてなる請求項１乃至３の何れか１つに記載の
   ターボ分子ポンプ。
5. 【請求項５】 前記回転軸と前記ロータとの夫々の接触
   面上に、回転軸線と同心上にリング円状の嵌合溝と嵌合
   凸部を設け、該嵌合溝と嵌合凸部を嵌着して前記回転軸
   と前記ロータとの連結を図ったことを特徴とする請求項
   １乃至４記載のターボ分子ポンプ。
6. 【請求項６】 モータにより回転駆動される回転軸と、
   該回転軸に連結され外周の軸方向に沿って動翼及びねじ
   溝ポンプ段が設けられたロータと、 ケーシングの内側に固定されて前記動翼とともに翼段を
   構成する静翼と、前記ねじ溝ポンプ段の外周に微小間隙
   を介して設けられたシールリングとを備えたターボ分子
   ポンプにおいて、 前記シールリングは、その内周の内径が、上端部あるい
   はその近傍で最も小さく下部になるに従がい大きくなる
   ような下部側が拡開したテーパ状に形成されるととも
   に、 前記ロータのねじ溝ポンプ段は、前記シールリングの内
   周に対向する外周の外径が上部近傍で最も小さく、下部
   になるに従がい大きくなるように構成されてなることを
   特徴とするターボ分子ポンプ。
7. 【請求項７】 前記シールリングは、その円周方向にお
   いて、２つ割りにされた半円環状体を押え板及びボルト
   によって締着してなる請求項１記載のターボ分子ポン
   プ。
8. 【請求項８】 前記ロータの軸支する支持筒の外周に固
   定されて前記ねじ溝ポンプ段の下部内周に微小間隙を介
   して対向する環状のストッパリングを備えてなる請求項
   ６または７に記載のターボ分子ポンプ。
9. 【請求項９】 モータにより回転駆動される回転軸と、
   該回転軸に連結され外周の軸方向に沿って動翼及びねじ
   溝ポンプ段が設けられたロータと、 ケーシングの内側に固定されて前記動翼とともに翼段を
   構成する静翼と、前記ねじ溝ポンプ段の外周に微小間隙
   を介して設けられたシールリングとを備えたターボ分子
   ポンプにおいて、 前記ロータを軸支する支持筒の外周に、前記ねじ溝ポン
   プ段の下部内周と微小間隙を介してストッパ部を設ける
   とともに、前記ねじ溝ポンプ段の下端部には、前記ロー
   タが上方へ移動したとき前記ストッパ部に当接可能にさ
   れた凸部が設けられてなることを特徴とするターボ分子
   ポンプ。
10. 【請求項１０】 前記ストッパ部が、前記支持筒の外周
    に固定されたリング部材からなる請求項９記載のターボ
    分子ポンプ。
11. 【請求項１１】 前記シールリングを厚肉に形成すると
    ともに、その外周に環状突起部を設け、 該環状突起部を外部ケーシングにインロー嵌合し、さら
    に前記シールリングを充分にせん断強度の小さいボルト
    により前記外部ケーシングに取付けてなる請求項９また
    は１０記載のターボ分子ポンプ。