JPS59101596A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS59101596A JPS59101596A JP21181282A JP21181282A JPS59101596A JP S59101596 A JPS59101596 A JP S59101596A JP 21181282 A JP21181282 A JP 21181282A JP 21181282 A JP21181282 A JP 21181282A JP S59101596 A JPS59101596 A JP S59101596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- thrust
- bearing
- molecular pump
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はターボ分子ポンプに関するものである。
ターボ分子ポンプは＃ＩＪＫと固定翼とを交互に数段な
いし数十段組み合せ、＃］翼を数カｒｐｍの回転数で回
転させることにより、気体分子を一方向に移すコさせ、
品冥至を得る装置である。従来、切Ａを担持するロータ
を文水する軸受として転り１．ｌ［ＩＩ受が使用されて
きたが、潤１′＃刑の漏洩ないし蒸発、波紋による真空
の汚染を避けるために磁気軸受を使用したものも知らｎ
ている。
いし数十段組み合せ、＃］翼を数カｒｐｍの回転数で回
転させることにより、気体分子を一方向に移すコさせ、
品冥至を得る装置である。従来、切Ａを担持するロータ
を文水する軸受として転り１．ｌ［ＩＩ受が使用されて
きたが、潤１′＃刑の漏洩ないし蒸発、波紋による真空
の汚染を避けるために磁気軸受を使用したものも知らｎ
ている。
第７図は磁気軸受を便用したターボ分子ポンプの一例を
示す。この公知のターボ分子ボンブでは、ロータ１１１
が、鉛直に固定された一定軸（２）に磁気的なスラスト
軸受１３ノおよびラジアルｌ１ｑＩｌ受（４）を介して
支承されており、スラスト軸受（３）ならびにラジアル
軸受＋４１は、中空ロータＩｌｌによってｌ４された低
真空空１ｔｊｔｌ １５１内に位置している。
示す。この公知のターボ分子ボンブでは、ロータ１１１
が、鉛直に固定された一定軸（２）に磁気的なスラスト
軸受１３ノおよびラジアルｌ１ｑＩｌ受（４）を介して
支承されており、スラスト軸受（３）ならびにラジアル
軸受＋４１は、中空ロータＩｌｌによってｌ４された低
真空空１ｔｊｔｌ １５１内に位置している。
しかしながら、電電の大きなスラスト磁気軸受全体がロ
ータによって囲１絖された低真碧空面内に配ｄさｎてＡ
るため、ロータの軸方向重心がコケ所のラジアル１１１
１］受に対して一方よりに大きく偏り、ロータ回転（通
常コルＪ万ｒｐｍ ）時に上・下ラジアル磁−Ａ軸受の
うらスラスト軸受に近い方の軸受負イａｊがＪｊ４虜に
大きくなり、ロータ回転が不安定となり易い。そｎ故当
該ラジアル磁気軸受の犬績化が必要となる。加えてこの
公知のタルボ分子ポンプは、／個所のスラスト軸受の電
磁力全ロータ自重と釣合わせるように制御することによ
り、スラスト軸受の置能を果す偉遣であるため、ロータ
の回伝軸を水平に設置して横−＠でｌ走用することは不
ｉＪ Ｔｈｅである。
ータによって囲１絖された低真碧空面内に配ｄさｎてＡ
るため、ロータの軸方向重心がコケ所のラジアル１１１
１］受に対して一方よりに大きく偏り、ロータ回転（通
常コルＪ万ｒｐｍ ）時に上・下ラジアル磁−Ａ軸受の
うらスラスト軸受に近い方の軸受負イａｊがＪｊ４虜に
大きくなり、ロータ回転が不安定となり易い。そｎ故当
該ラジアル磁気軸受の犬績化が必要となる。加えてこの
公知のタルボ分子ポンプは、／個所のスラスト軸受の電
磁力全ロータ自重と釣合わせるように制御することによ
り、スラスト軸受の置能を果す偉遣であるため、ロータ
の回伝軸を水平に設置して横−＠でｌ走用することは不
ｉＪ Ｔｈｅである。
コノ発明はロータの一方回瓢心がコケ所のラジアルｌ１
ｉｌｌｌ受に対して一方よシに閾らず、従ってラジアル
嫌気軸受に作用する力が均一化し、スラスト軸受に近い
方のラジアル軸受の、従ってまたターボ分子ポンプ全体
の、小型・軽量化の図れるターボ分子ポンプを提供せん
とするものである。
ｉｌｌｌ受に対して一方よシに閾らず、従ってラジアル
嫌気軸受に作用する力が均一化し、スラスト軸受に近い
方のラジアル軸受の、従ってまたターボ分子ポンプ全体
の、小型・軽量化の図れるターボ分子ポンプを提供せん
とするものである。
史に、この発明は縦置き、横置きの何れにても使用でき
るターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
るターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
このためにこの発明は、１１］＾ヲ（ハ持するロータを
、固定翼を備えるハクジングに固定した軸に磁気的なス
ラストｈ−よびラジアル軸受を介して支承してなるター
ボ分子ポンプに２いて、ハクジング側に固設した＋１制
御電磁石と、これに対応してロータの高真２Ｉ！呈側踊
部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受＊＊ｙするもので
ある。
、固定翼を備えるハクジングに固定した軸に磁気的なス
ラストｈ−よびラジアル軸受を介して支承してなるター
ボ分子ポンプに２いて、ハクジング側に固設した＋１制
御電磁石と、これに対応してロータの高真２Ｉ！呈側踊
部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受＊＊ｙするもので
ある。
またこの発明は、ロータの低臭′ＪＩ！呈側端部に継妖
ｔ−設けるとともに、これに対応してハクジング側に・
螺磁石ｔ−設けてもう７つのスフスト軸受ｔ″４１１成
するものである。
ｔ−設けるとともに、これに対応してハクジング側に・
螺磁石ｔ−設けてもう７つのスフスト軸受ｔ″４１１成
するものである。
史にこの発明の／実施例によると、高真′！Ｉ！憲測に
設け７ヒスラストＩＩＩＩＩＩ受のｂｊｌＪ御４磁石の
コイルを非磁性金属部材を用いて督封しである。
設け７ヒスラストＩＩＩＩＩＩ受のｂｊｌＪ御４磁石の
コイルを非磁性金属部材を用いて督封しである。
図面に示す実施例につき説明すると次の通りである。
第２図において、ターボ分子ポンプはハクジング（１１
）に固定した固定ｄｔ１２１と、回転目在のロータＵ樽
に担持された動翼圓を・ぼし、−短翼＋１２１に対する
動翼１１４１の回転により、気体分子を品真空ヱ１１５
１から低Ａ空室ｌＪＱへ嵌送する。気体分子は接続部Ｑ
ηを経て補助Ａ空ポンプ（図示せず）により排気される
。
）に固定した固定ｄｔ１２１と、回転目在のロータＵ樽
に担持された動翼圓を・ぼし、−短翼＋１２１に対する
動翼１１４１の回転により、気体分子を品真空ヱ１１５
１から低Ａ空室ｌＪＱへ嵌送する。気体分子は接続部Ｑ
ηを経て補助Ａ空ポンプ（図示せず）により排気される
。
＠翼圓を１旦神すめロータ州はラジアル方向、スラスト
方向共に＠′Ａ軸受によって支承され、尚核ターボ分子
ポンプの汀幼なポンプ特性を得るためにおよそ周速、２
００ｍ／θｅＱ以上で回転する０このロータ州の駆助は
、１ｇＩ定輔帖に収り付はノヒステータｋｌｉｌｌと回
転部材刊）とから収る電動モータで行う。
方向共に＠′Ａ軸受によって支承され、尚核ターボ分子
ポンプの汀幼なポンプ特性を得るためにおよそ周速、２
００ｍ／θｅＱ以上で回転する０このロータ州の駆助は
、１ｇＩ定輔帖に収り付はノヒステータｋｌｉｌｌと回
転部材刊）とから収る電動モータで行う。
ロータＶｌａｌの生性方向の１ＩＩＩｉｌ承を受は持つ
ラジアル軸受は一定１ｌｌＩ！１ｌＩ８１に設けた′４
磁石スυとこれに対応してロータ内径都に設けた継鉄＠
、およびラジアル方向位置センサムで構威し、位置セン
サで検出したロータの偏心量が減少するように電磁石２
υの電流を−」御することにより、ロータ（Ｉａｌをラ
ジアル方向適所に支承する。スラスト軸受はハクジング
［１１１側に一般した哨御這磁石１詞と、これに対応し
てロータＯＩ璃具空呈１１１ＩＩ喘部に設けた強磁性体
の継鉄四、２よびスラスト位置センサ圀で構成し、高真
ｐｇ−内に位置する。
ラジアル軸受は一定１ｌｌＩ！１ｌＩ８１に設けた′４
磁石スυとこれに対応してロータ内径都に設けた継鉄＠
、およびラジアル方向位置センサムで構威し、位置セン
サで検出したロータの偏心量が減少するように電磁石２
υの電流を−」御することにより、ロータ（Ｉａｌをラ
ジアル方向適所に支承する。スラスト軸受はハクジング
［１１１側に一般した哨御這磁石１詞と、これに対応し
てロータＯＩ璃具空呈１１１ＩＩ喘部に設けた強磁性体
の継鉄四、２よびスラスト位置センサ圀で構成し、高真
ｐｇ−内に位置する。
スラスト磁気軸受を高真′！Ｅ、室に配置することは、
従来、コイル被榎材のガス放出の理由から不利であると
されてきたが、■ｕ御屯磁石＋２４１のコイル１２７１
を密封してしまうことによりこの間鴫は解決できる。例
えＶｉ第２図の実施例では、非磁性金属部材ｄとターボ
分子ポンプの性能を害するガスを放出させないシール部
材四とでコイル２７１１ｇ 密封する。別の実泥例とし
ては、第３図に示すように、レーザービーム溶接技術或
いは電子ビーム６接技術を利用し、電磁石＋２！４に非
磁性金ｙ＝ ｌ：＋ｕｌをド接してコイル＋２７１を密
罰することもできる。岨１は溶接部を示す。向、非磁性
金属を用いる理由は、磁気ループに影響を与えることな
くかかる密封を行うためである。
従来、コイル被榎材のガス放出の理由から不利であると
されてきたが、■ｕ御屯磁石＋２４１のコイル１２７１
を密封してしまうことによりこの間鴫は解決できる。例
えＶｉ第２図の実施例では、非磁性金属部材ｄとターボ
分子ポンプの性能を害するガスを放出させないシール部
材四とでコイル２７１１ｇ 密封する。別の実泥例とし
ては、第３図に示すように、レーザービーム溶接技術或
いは電子ビーム６接技術を利用し、電磁石＋２！４に非
磁性金ｙ＝ ｌ：＋ｕｌをド接してコイル＋２７１を密
罰することもできる。岨１は溶接部を示す。向、非磁性
金属を用いる理由は、磁気ループに影響を与えることな
くかかる密封を行うためである。
更に、低臭望虱囮側において、ロータ霞の下端部にスラ
スト磁気軸受を設けることもできる。例えば、ハ９ジン
グ（１１）に固設した電磁６關とこれに対応してローフ
端部に形成し次傭磁性体の継鉄間とでスラスト磁気軸受
を構成する。この場合、ロータの回転１．ｌｌ１１１に
鉛直方間に設置して使用するときには電磁石−４に通′
鴫せず、吸引力がロータ口直と釣合うようにスラスト磁
気軸受をｉｄ制御し、またロータの回転軸を水平にした
状憑でロータθを回伝させるときに−ま峨磁石βカに堰
′槻してロータ目旭Ｖｃ相当する電磁吸引力を与える。
スト磁気軸受を設けることもできる。例えば、ハ９ジン
グ（１１）に固設した電磁６關とこれに対応してローフ
端部に形成し次傭磁性体の継鉄間とでスラスト磁気軸受
を構成する。この場合、ロータの回転１．ｌｌ１１１に
鉛直方間に設置して使用するときには電磁石−４に通′
鴫せず、吸引力がロータ口直と釣合うようにスラスト磁
気軸受をｉｄ制御し、またロータの回転軸を水平にした
状憑でロータθを回伝させるときに−ま峨磁石βカに堰
′槻してロータ目旭Ｖｃ相当する電磁吸引力を与える。
尚、スラスト磁気軸受ｔＪ １２５１の゛電磁力制御範
囲が十分大なる場合に−よ、°−磁石肋の朋゛螺作鯛状
思でロータ縦直運転が口■匝である。
囲が十分大なる場合に−よ、°−磁石肋の朋゛螺作鯛状
思でロータ縦直運転が口■匝である。
唸り軸覚隻秀ｆｉ典常時の保ｉ用であって、磁気軸受に
異′ｍが生じた場合に幡蛍外輪がロータＵａ＋に接触し
て伝り軸受としての機能を果すものである。
異′ｍが生じた場合に幡蛍外輪がロータＵａ＋に接触し
て伝り軸受としての機能を果すものである。
以上説明しＩヒようにこの発１月のターボ分子ポンプは
、動Ｒを担持するロータを、固定翼を備えるハウジング
に固定した軸に磁気的なスラストおよびラジアル軸受を
イトして支承してなるターボ分子ポンプにおいて、ハウ
ジング側に固設した制御電磁石と、これに対応してロー
タの高真空室側端部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受
を構成したから、ロータ輔方向坂心がノブ所のラジアル
軸受に対して一方にかたよらず、ラジアル１ＩＩＩｊＩ
受に作用する力が均一化し、従ってスラスト軸受に近い
方のラジアル１ｉｌＩｉＩ受の、延いては当該ターボ分
子ポンプ全体の、小型・軽量化を図ることができる。
、動Ｒを担持するロータを、固定翼を備えるハウジング
に固定した軸に磁気的なスラストおよびラジアル軸受を
イトして支承してなるターボ分子ポンプにおいて、ハウ
ジング側に固設した制御電磁石と、これに対応してロー
タの高真空室側端部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受
を構成したから、ロータ輔方向坂心がノブ所のラジアル
軸受に対して一方にかたよらず、ラジアル１ＩＩＩｊＩ
受に作用する力が均一化し、従ってスラスト軸受に近い
方のラジアル１ｉｌＩｉＩ受の、延いては当該ターボ分
子ポンプ全体の、小型・軽量化を図ることができる。
更にこの発明のターボ分子ポンプは、前記ロータの低臭
′！！！室側Ｘｌ１ｉｉｌ都に継鉄を設けるとともに、
これｉＣ対応してハウジング側に屯磁石ｌｔ設けてもう
１つのスラスト軸受を構成したから、通常の縦直のみな
らずロータ横１での運転も可能Ｉｌ！：なり、当該ター
ボ分子ポンプの使用条件が大きく拡大される。
′！！！室側Ｘｌ１ｉｉｌ都に継鉄を設けるとともに、
これｉＣ対応してハウジング側に屯磁石ｌｔ設けてもう
１つのスラスト軸受を構成したから、通常の縦直のみな
らずロータ横１での運転も可能Ｉｌ！：なり、当該ター
ボ分子ポンプの使用条件が大きく拡大される。
第１図は従来のターボ分子ポンプの立鹸面図、第２図は
本発明の一夫施例たるターボ分子ポンプの軸方同断面図
、第３図ｔｉ第２図に示すターボ分子ポンプの改変例を
示す部分図である。 ＋１１１−・ハウジング、１１２１・・固定翼、瞥・−
ロータ、１１４１・・動翼、１１５１嗜ｅ高真空虱、賭
・・低臭２１！！尾、賭・・１ｄ定軸、曲・・′電磁石
、磯・・継鉄、１２ａｌ＠・ラジアル方向位置センサ、
Ｑ！ｌＩ２２１□□□・・ラジアル磁気軸受、１７！４
１・−電磁石、噛・・継鉄、処・・スラスト方向位置セ
ンサ、Ｉ’１４４破四・・スラスト磁気軸受、乃）・・
コイル、１２ａ−・・井磁性金属部相、四・・シール部
材、β力・・電磁石、關・ｅ継鉄。 特許出顔人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリンク１
チーＮ±第１ｖＡ
本発明の一夫施例たるターボ分子ポンプの軸方同断面図
、第３図ｔｉ第２図に示すターボ分子ポンプの改変例を
示す部分図である。 ＋１１１−・ハウジング、１１２１・・固定翼、瞥・−
ロータ、１１４１・・動翼、１１５１嗜ｅ高真空虱、賭
・・低臭２１！！尾、賭・・１ｄ定軸、曲・・′電磁石
、磯・・継鉄、１２ａｌ＠・ラジアル方向位置センサ、
Ｑ！ｌＩ２２１□□□・・ラジアル磁気軸受、１７！４
１・−電磁石、噛・・継鉄、処・・スラスト方向位置セ
ンサ、Ｉ’１４４破四・・スラスト磁気軸受、乃）・・
コイル、１２ａ−・・井磁性金属部相、四・・シール部
材、β力・・電磁石、關・ｅ継鉄。 特許出顔人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリンク１
チーＮ±第１ｖＡ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉｌｌ ｉｌ］翼を担持するロータを、固定翼を備え
るハクジングにｌＩ！ｉ１足した軸に磁気的なスラスト
およびラジアル軸受を介して支承してなるターボ分子ポ
ンプに２いて、ノ）クジング側に固設した制御電磁石と
、これに対応してロータの筒真空室側端部に設けた継鉄
とでｉす記スラスト軸受を構成したことを特徴とするタ
ーボ分子ポンプ（２） 動萬を担持するロータを、−
足翼を１捕えるハクジングに１疋した軸に磁気円なスラ
ストお−よびラジアル軸受をづトして支承してなるター
ボ分子ポンプに１−いて、ノ・クジング側に固設した制
御電磁石と、これに対応してロータの高真空室側端部に
設けた継鉄とで前記スラストｌｌ１ｌｌ］受を構成し、
ＬつＸ ｍｉＪ記ロータの低真空室側端部に継鉄を設け
るとともに、これに対応してノ・クジング測に電磁石を
設けてもう７つのスラスト軸受を構成したことを特徴と
するターボ分子ポンプ。 （３）高真２Ｉ！ｍ側ｌＣ設けた前記スラスト軸受のｕ
ｉｌ記制御ｉｌ也磁石のコイルを、非磁性金属部材を用
＾て密封したことを特徴とする特許ｌｉ＃米の範囲の已
載／またはコのターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21181282A JPS59101596A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21181282A JPS59101596A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59101596A true JPS59101596A (ja) | 1984-06-12 |
Family
ID=16611997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21181282A Pending JPS59101596A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59101596A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
| JP2011529542A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-08 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
| JP2017148406A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 富士フイルム株式会社 | 内視鏡 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038811A (ja) * | 1973-07-21 | 1975-04-10 | ||
| JPS5160005A (ja) * | 1974-09-27 | 1976-05-25 | Barutsuerusu Patento Unto Beta |
-
1982
- 1982-12-01 JP JP21181282A patent/JPS59101596A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038811A (ja) * | 1973-07-21 | 1975-04-10 | ||
| JPS5160005A (ja) * | 1974-09-27 | 1976-05-25 | Barutsuerusu Patento Unto Beta |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
| JP2011529542A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-08 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
| US8814542B2 (en) | 2008-07-31 | 2014-08-26 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
| JP2017148406A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 富士フイルム株式会社 | 内視鏡 |
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