JPH0868388A - ターボ分子真空ポンプ - Google Patents

ターボ分子真空ポンプ

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Publication number
JPH0868388A
JPH0868388A JP7210660A JP21066095A JPH0868388A JP H0868388 A JPH0868388 A JP H0868388A JP 7210660 A JP7210660 A JP 7210660A JP 21066095 A JP21066095 A JP 21066095A JP H0868388 A JPH0868388 A JP H0868388A
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JP
Japan
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rotor
drive motor
bell
shaft
shaped active
Prior art date
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Pending
Application number
JP7210660A
Other languages
English (en)
Inventor
Denis Perrillat-Amede
デニ・ペリラ−タメド
Didier Pierrejean
デイデイエ・ピエレジヤン
Francois Reverdy
フランソワ・レベルデイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
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Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel CIT SA filed Critical Alcatel CIT SA
Publication of JPH0868388A publication Critical patent/JPH0868388A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
    • F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
    • F04D25/0606—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven the electric motor being specially adapted for integration in the pump

Abstract

(57)【要約】 【課題】 剛性のあるロータを持ち、小型で、ガスの抜
けが少ないポンプを提供する。 【解決手段】 ステータ（６、８）とロータ（１）とを
含み、ロータが鐘型能動部分（３）と中央軸（５）とを
含み、ステータが、外側部（６）と、鐘型能動部分
（３）の空隙部（９）に入り駆動モータのステータ部分
（１０、１１）を支持する内側部（８）とを含み、ロー
タの軸（５）が駆動モータのロータ部分を支持するター
ボ分子真空ポンプであって、中央軸（５）とロータの鐘
型能動部分（３）とが組み立てる必要のない一体型であ
りかつ非磁性材質からなり、軸（５）が、円筒形永久磁
石（１２）から成る駆動モータのロータ部分を収納する
中央内径部（１３）を含むことを特徴とするターボ分子
真空ポンプ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ステータとロータ
とを含み、ロータが鐘型能動部分と中央軸とを含み、ス
テータが、外側部と、鐘型能動部分の空隙部に入り駆動
モータのステータ部分を支持する内側部とを含み、ロー
タの軸が駆動モータのロータ部分を支持するターボ分子
真空ポンプに関する。
【０００２】この種の既知のポンプにおいては、電気駆
動モータのロータは、ボルトにより固定されている能動
部自身に組み付けられている中央軸の周りに取り付けら
れており、電気モータのロータは、モータの種類によっ
ても異なるが、コイルか、鉄か、永久磁石から成る。通
常は、その効率、所要寸法、回転速度の安定性から、永
久磁石モータが好ましい。
【０００３】流量と圧縮比の性能は回転速度に比例する
ことがわかっており、よりすぐれた流量と圧縮比を得る
ためには機械の回転速度を上げる必要がある。
【０００４】回転速度はロータの材質の強度による制約
があると同時に、とくにロータの剛性に密接に関係する
ロータの動的働きによる制約もある。
【０００５】さらに、漏れ検出装置、ガス分析装置など
の機器の内部にポンプを組み込む場合には、ポンプをで
きるだけ小型化する必要がある。ガス抜きによりおおよ
その限界圧力が決まるので、ポンプの構成要素のガス抜
きも重要な要因であり、とくに吸気側でのガス抜きを最
小限に留めなければならない。
【０００６】
【従来の技術】既知のポンプのロータ構成部分は剛性が
低く、大型で、コストが高く、ガス抜きがむずかしい。
とくに、軸−能動部の組立部の良好な剛性と、遠心力に
対する永久磁石の良好な強度とを得ることはむずかし
い。磁石を補強する必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、剛性のある
ロータをもち、小型で、ガスの抜けが少ないポンプを提
供することを目的とする。剛性のあるロータとは、第一
たわみモード周波数がポンプの回転周波数よりもはるか
に高いロータのことを指す。
【０００８】
【課題を解決するための手段】したがって本発明は、中
央軸とロータの鐘型能動部分とが組み立てる必要のない
一体型でありかつ非磁性材質からなり、軸が、円筒形永
久磁石から成る、前記駆動モータのロータ部分を収納す
る中央内径部を含むことを特徴とする、前記に記載のよ
うなターボ分子真空ポンプを対象とする。
【０００９】永久磁石は、直径上において対向する位置
にある２つの平面をともなった円形断面をもつことが好
ましい。この配置により、磁石を軸の内径部に挿入する
際、排気を行うことが可能となる。
【００１０】次に、図を参照しながら本発明の実施例に
ついて説明する。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１について説明する。図の例は
ウィング型ターボ分子真空ポンプである。同ポンプはロ
ータ１とステータ２とを含む。ロータ１は、鐘型の形状
をもちウィング４を含む能動部３と中央軸５とを含む。
ウィング４をもつ能動部３と中央軸５とは、組み立てる
必要がなく非磁性材質から成る単体部品を形成してい
る。ステータ２は、接合された２つの部分、すなわち固
定ウィング段７が取り付けられている外側部６と、ロー
タ１の鐘型能動部３の空隙部９内に入る内側部８とから
成る。
【００１２】ステータの内側部８は、磁気回路１０と巻
線１１とを含む電気駆動モータのステータ部分を支承し
ている。駆動モータのロータ部分は、中央軸５の中央内
径１３の底部に挿入された単一の円筒形多極永久磁石１
２から成る。
【００１３】永久磁石１２は、図３に示すように円形断
面をもつが、磁石を軸の内径１３に挿入する際、排気を
行えるようにするため、直径上において対向する位置に
ある２つの平面１４、１５をもつ。
【００１４】ロータ１は、ステータ内で２つの軸受１
６、１７によって支持されている。スペーサ１８によ
り、ステータの内部８の直径を、軸受１６の外部リング
１９の直径に合わせることができる。
【００１５】軸受１６の外部リング１９の直径が磁気回
路１０の直径よりも大きい場合には、図３に示すよう
に、スペーサ１８をなくすことが可能である。
【００１６】記載のポンプはウィング・ポンプである
が、本発明は、ドラム付きホルベック型分子ポンプにも
応用され、ここで使用するターボ分子ポンプという用語
はウィング・ポンプもホルベック型ポンプも包含する。
【００１７】このように本発明によるポンプは、接合部
のない一体型ロータによることと、駆動モータのロータ
が中央軸を中心とするところに位置するのではなく、中
央軸の内径部内に収納され、単一の円筒形永久磁石から
成ることとにより、回転部のすぐれた剛性と、より小さ
な所要寸法とより安価な費用を実現することが可能であ
り、また吸気側のポンプの内部ガス抜けを最低限に抑え
ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるターボ分子真空ポンプの軸断面図
である。
【図２】電気駆動モータのロータとして使用される永久
磁石の断面図である。
【図３】組立ての若干の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１ ロータ ２ ステータ ３ 能動部 ４ ウィング ５ 中央部 ６ 外側部 ８ 内側部 １２ 永久磁石

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 鐘型能動部分（３）と中央軸（５）とを
    含むロータ（１）と、外側部（６）と、前記鐘型能動部
    分（３）の空隙部（９）に入り駆動モータのステータ部
    分（１０、１１）を支持する内側部（８）とを含むステ
    ータ（６，８）とを備えており、前記ロータの軸（５）
    が前記駆動モータのロータ部分を支持するターボ分子真
    空ポンプであって、前記中央軸（５）とロータの鐘型能
    動部分（３）とが組み立てる必要のない一体型でありか
    つ非磁性材質からなり、前記軸（５）が、円筒形永久磁
    石（１２）から成る、前記駆動モータのロータ部分を収
    納する中央内径部（１３）を含むことを特徴とするター
    ボ分子真空ポンプ。
  2. 【請求項２】 前記永久磁石（１２）が、直径上におい
    て対向する位置にある２つの平面（１４、１５）をとも
    なった円形断面をもつことを特徴とする請求項１に記載
    のターボ分子真空ポンプ。
JP7210660A 1994-08-19 1995-08-18 ターボ分子真空ポンプ Pending JPH0868388A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9410147A FR2723767B1 (fr) 1994-08-19 1994-08-19 Pompe a vide turbomoleculaire
FR9410147 1994-08-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0868388A true JPH0868388A (ja) 1996-03-12

Family

ID=9466397

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7210660A Pending JPH0868388A (ja) 1994-08-19 1995-08-18 ターボ分子真空ポンプ

Country Status (5)

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US (1) US5542825A (ja)
EP (1) EP0697524B1 (ja)
JP (1) JPH0868388A (ja)
DE (1) DE69508163T2 (ja)
FR (1) FR2723767B1 (ja)

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US5542825A (en) 1996-08-06
DE69508163D1 (de) 1999-04-15
DE69508163T2 (de) 1999-08-05
EP0697524B1 (fr) 1999-03-10
FR2723767A1 (fr) 1996-02-23
EP0697524A1 (fr) 1996-02-21
FR2723767B1 (fr) 1997-01-03

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