JP2002295581A

JP2002295581A - ダンパ、及び真空ポンプ

Info

Publication number: JP2002295581A
Application number: JP2001093191A
Authority: JP
Inventors: Hiroyoshi Namiki; 啓能並木
Original assignee: BOC Edwards Technologies Ltd
Current assignee: Edwards Japan Ltd
Priority date: 2001-03-28
Filing date: 2001-03-28
Publication date: 2002-10-09

Abstract

(57)【要約】【課題】設置スペースが小さくてコストが安く、かつ
振動減衰能力が高いダンパ及び真空ポンプを提供するこ
とである【解決手段】真空ポンプと前記真空ポンプにより排気
される装置の間に設置されるダンパであって、このダン
パは、真空ポンプの吸気口に接続するためのフランジと
真空ポンプによって排気される真空装置と接続するため
のフランジを有している。この２つのフランジは筒形に
形成された振動吸収部と、該振動吸収部の筒内に設置さ
れたベローズによって接続されている。振動吸収部は筒
形の弾性体を金属などで形成した筒形の質量部を介して
複数段直列に接合して構成されている。この複数段に弾
性体を直列に接続することにより、単一のダンパで複数
段のダンパを直列に接続した場合と同等の効果を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダンパ及びダンパ
を備えた真空ポンプに関し、例えば、電子顕微鏡装置の
チャンバに使用されるダンパ及びダンパを備えた真空ポ
ンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】真空ポンプを電気顕微鏡装置のチャンバ
などの振動の伝達が問題となる真空装置に接続する場
合、真空ポンプと真空装置の間に真空ポンプで発生した
振動を吸収するためのダンパを接続することが行われて
いる。この際に、振動の吸収を効果的に行うためにダン
パを複数個直列に接続して使用する場合がある。

【０００３】図２は、ターボ分子ポンプ６１と真空装置
６０が、従来のダンパ部７０により接続されている所を
示した図である。なお、図２では、ダンパ部７０の部分
は断面図となっている。真空装置６０は、例えば半導体
製造装置のチャンバや、電子顕微鏡の試料を設置するた
めのチャンバなど、排気や高真空を要すると共に、接続
された真空ポンプからの振動の伝播を抑制する必要のあ
る装置である。なお、図２では、波線により真空装置６
０の下部の一部を示してある。

【０００４】ターボ分子ポンプ６１は、ダンパ部７０を
介して真空装置６０に接続されており、真空装置６０内
のガスを排気する。ターボ分子ポンプ６１は、内部に磁
気軸受によって支持されたロータを有している。ロータ
からはロータ翼がロータの軸線から放射状に複数枚及び
複数段取り付けられている。また、これらのロータ翼
は、ロータの軸線に垂直な平面から所定の傾斜角をもっ
ている。ケーシングからは、ケーシング内部に向かって
放射状にステータ翼が、複数段に渡って取り付けられて
いる。これらのステータ翼は、ロータの軸線に垂直な平
面から所定の角度をもって、ロータ翼と互い違いになる
ように設置されている。

【０００５】ロータには、軸線方向の中程にモータ部が
設けられている。モータ部では、ロータに永久磁石が固
着してあり、その周囲に該永久磁石から所定のクリアラ
ンスを隔てて電磁石が複数個設置されている。このよう
にしてモータ部はＤＣブラシレスモータを形成してい
る。ロータは、機種やポンプサイズによって異なるが、
該ＤＣブラシレスモータにより毎分４万回転程度の高速
回転を行うことができるようになっている。ロータが回
転すると、これに伴ってロータに固定されたロータ翼が
回転し、ロータ翼とステータ翼の作用により、吸気口６
６からガスが吸引され、排気口６２から排出されるよう
になっている。

【０００６】ダンパ部７０は、２つのダンパ６８、６９
が直列に接続されている。これは、ダンパが１つではタ
ーボ分子ポンプ６１で発生する振動の吸収が十分でない
ために、ダンパを２つ直列に接続して振動の吸収機能を
高めたものである。ダンパ６９は、ゴム５５、フランジ
５６、５４、及びベローズ５８から構成されている。フ
ランジ５４、５６は、鉄やステンレスなどの金属で形成
されている。フランジ５６は、ターボ分子ポンプ６１の
フランジとボルトやクランパによって取り付けられてい
る。フランジ５６とターボ分子ポンプ６１のフランジの
間にはＯリング（オーリング）やガスケットがはさんで
ある。ボルトを締め付けるとＯリングがフランジ５６と
ターボ分子ポンプ６１のフランジに密着するので、Ｏリ
ングにより、ダンパ６９とターボ分子ポンプ６１の連接
部は真空シールされる。

【０００７】ゴム５５は、円筒状の形状を有しており、
フランジ５６とフランジ５４にはさまれている。ゴム５
５はターボ分子ポンプ６１にで生じた振動を吸収すると
共にターボ分子ポンプ６１による真空引きの力に耐える
のに十分な強度を備えている。

【０００８】ベローズ５８は、ステンレスなどによって
形成された、ひだ状の連続断面を有した肉薄の管であ
る。また、ベローズ５８は、ゴム５５と同心状にゴム５
５の内側に挿入されている。ベローズ５８は、山形に形
成された側面が伸び縮みすることにより弾力性を発揮
し、ターボ分子ポンプ６１で生じた振動を吸収して減衰
させる。また、ベローズ５８とフランジ５６及びベロー
ズ５８とフランジ５４は、例えばろう付け又は溶接され
ており、ベローズ５８とフランジ５６及びベローズ５８
とフランジ５４の連接部から外気が進入しないようにな
っている。

【０００９】ダンパ６９のばね定数はベローズ５８とゴ
ム５５のばね定数が合成されたものである。通常、ゴム
のばね定数は、ベローズのばね定数より大きく設定され
ている。そのため、ダンパ６９の気密性はベローズ５８
により実現され、振動の吸収は主にゴム５５により行わ
れる構成になっている。

【００１０】ダンパ６８は、ゴム５２、フランジ５１、
５３及びベローズ５７から構成され、ダンパ６９と同じ
構造をしている。フランジ５３は、フランジ５４とＯリ
ングやガスケットをはさんでボルトやクランパによって
固定されている。このようにして、フランジ５３とフラ
ンジ５４の連接部から外気が進入しないようになってい
ると共にターボ分子ポンプ６１の振動に対して十分な強
度を保つようになっている。フランジ５１は真空装置６
０の排気口６５に接続されている。この接続は、真空装
置６０とフランジ５１の間にＯリングをはさんで、フラ
ンジ５１を真空装置６０にボルトやクランパによって固
定することによりなされている。この連接部は、外気に
対して気密性を保つと共にターボ分子ポンプ６１の振動
に対して十分な強度を備えている。この従来例では、ダ
ンパを２個直列に接続しているが、更に多くのダンパを
直列に接続する場合もある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このように、
ダンパを複数段重ねて用いると、設置スペースが大きく
なると共に製造コストが高くなるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、設置スペースが小さくてコス
トが安く、かつ振動減衰能力が高いダンパ及び該ダンパ
を備えた真空ポンプを提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、真空ポンプと連接する第１の取り付け部
材と、前記第１の取り付け部材と連接する第１の弾性部
材と、前記真空ポンプにより排気される装置と連接する
第２の取り付け部材と、前記第２の取り付け部材と連接
する第２の弾性部材と、前記第１の弾性部材と前記第２
の弾性部材よりも剛性の高い中継部材と、を具備してな
り、前記第１の取り付け部材が、少なくとも前記第１の
弾性部材とを介して前記中継部材の一端に連接し、前記
第２の取り付け部材が少なくとも前記第２の弾性部材と
を介して前記中継部材の他端に連接することを特徴とす
るダンパを提供する（第１の構成）。ここで、第１の構
成のダンパの前記第１の取り付け部材と前記第２の取り
付け部材は、ベローズを介して連接するように構成する
ことができる（第２の構成）。更に、第１の構成又は第
２の構成の内の何れかの１の構成において、前記第１の
弾性部材と前記第２の弾性部材の内、少なくとも一方が
ゴムにより形成されるように構成することができる（第
３の構成）。加えて、第１の構成から第３の構成の内の
何れかの構成は、前記中継部材が少なくとも金属により
構成されているように構成することができる（第４の構
成）また、本発明は、前記目的を達成するために、第１
の構成から第４の構成の何れかの１の構成に係るダンパ
を具備してなり、前記第１の取り付け部材を吸気口に連
接したことを特徴とする真空ポンプを提供する（第５の
構成）。更に、第５の構成に係る真空ポンプは、一端の
側に吸気口及が形成され、他端の側に排気口が形成され
た外装体と、前記外装体の内側に回転自在に軸支された
ロータと、前記ロータを回転させるモータと、前記ロー
タの周囲に配設されたステータと、を更に具備するよう
に構成することができる（第６の構成）。また、第５の
構成、又は第６の構成の前記真空ポンプは、ターボ分子
ポンプにより構成することができる（第７の構成）。更
に、本発明は、前記目的を達成するために、真空ポンプ
と前記真空ポンプにより排気される装置の間に設置され
るダンパであって、前記ダンパは、前記真空ポンプとの
連接を行う第１の取り付け部材と、前記装置との連接を
行う第２の取り付け部材と、前記第１の取り付け部材と
前記第２の取り付け部材とを連接する振動吸収部と、か
らなり、前記振動吸収部は、弾性体が前記弾性体より剛
性の大きい中継部材を介して複数段直列に接続された振
動吸収部材によって構成されていることを特徴とするダ
ンパを提供する（第１の構成の変形）。これにより、単
一のダンパで複数のダンパを直列接続したのと同等の効
果が得られる。また、第１の構成の変形において、前記
弾性体と前記中継部材は筒状の形状を有しており、前記
弾性体と前記中継部材を直列に接続することによって筒
状に形成された前記振動吸収部材の内側に、ベローズを
更に備えるように構成することができる。これによって
弾性体が複数段であるのに対しベローズは一体ものとす
ることができるので、従来のベローズより長さが長くな
り、ばね定数を小さくすることができる。更に、第１の
構成の変形における前記弾性体は少なくともゴムで、質
量部は少なくとも金属でそれぞれ構成することができ
る。また、本発明は、前記目的を達成するために、吸気
口に第１の構成の変形における前記ダンパを備えた真空
ポンプを提供する。また、この真空ポンプはターボ分子
ポンプとすることができる。このように、構成すること
により真空ポンプの設置が容易になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、図１を参照して詳細に説明する。図１は、本
実施の形態に係る一例のダンパ部１９を備えたターボ分
子ポンプ１８を示した図であり、ターボ分子ポンプ１８
のロータ軸線方向の断面を示している。なお、図１は模
式図であり、断面より紙面裏側にあって本来見える線、
例えば吸気口６の縁の線などは記していない。また、図
１には、ターボ分子ポンプ１８に接続された真空装置５
の一部も示してある。

【００１４】ターボ分子ポンプ１８は、例えば半導体製
造装置からプロセスガスを排気したり、その他高真空を
要する真空装置に用いられる。ターボ分子ポンプ１８の
外筐を形成するケーシング１６は円筒状の形状をしてお
り、その中心にロータ１１が設置されている。

【００１５】ロータ１１の軸線方向の上部と下部及び底
部には、それぞれ磁気軸受部８、１２、２０が設けられ
ている。ロータ１１は、磁気軸受部８、１２によってラ
ジアル方向（ロータ１１の径方向）に非接触で支持さ
れ、磁気軸受部２０によってスラスト方向（ロータ１１
の軸方向）に非接触で支持されている。これらの磁気軸
受部は、いわゆる５軸制御型の磁気軸受を構成してお
り、ロータ１１はロータ１１の軸線周りに回転するよう
になっている。

【００１６】磁気軸受部８では、４つの電磁石がロータ
１１の周囲に、９０°ごとに対向するように配置されて
いる。ロータ１１は、高透磁率材（鉄など）などにより
形成され、これらの電磁石の磁力により吸引されるよう
になっている。変位センサ９は、ロータ１１のラジアル
方向の変位を検出する。図示しない制御部は、変位セン
サ９からの変位信号によってロータ１１がラジアル方向
に所定の位置から変位したことを検出すると、各電磁石
の磁力を調節してロータ１１を所定の位置に戻すように
動作する。この電磁石の磁力の調節は、各電磁石の励磁
電流をフィードバック制御することにより行われる。

【００１７】制御部は、変位センサ９の信号に基づいて
磁気軸受部８をフィードバック制御し、これによってロ
ータ１１は、磁気軸受部８において電磁石から所定のク
リアランスを隔ててラジアル方向に磁気浮上し、空間中
に非接触で保持される。磁気軸受部１２の構成と作用
は、磁気軸受部８と同様である。磁気軸受部１２では、
ロータ１１の周囲に、９０°ごとに電磁石が４つ配置さ
れており、これらの電磁石の磁力の吸引力により、ロー
タ１１は、磁気軸受部１２でラジアル方向に非接触で保
持される。

【００１８】変位センサ１３は、ロータ１１のラジアル
方向の変位を検出する。図示しない制御部は、変位セン
サ１３からロータ１１のラジアル方向の変位信号を受け
ると、この変位を修正してロータ１１を所定の位置に保
持するように電磁石の励磁電流をフィードバック制御す
る。制御部は、変位センサ１３の信号に基づいて磁気軸
受部１３をフィードバック制御し、これによってロータ
１１は、磁気軸受部１２でラジアル方向に磁気浮上し、
空間中に非接触で保持される。このように、ロータ１１
は、磁気軸受部８、１２の２カ所でラジアル方向に保持
されるので、ロータ１１はラジアル方向に所定の位置で
保持される。

【００１９】ロータ１１の下端に設けられた磁気軸受部
２０は、円板状の金属ディスク３１、電磁石１４、１
５、変位センサ１７によって構成され、ロータ１１をス
ラスト方向に保持する金属ディスク３１は、鉄などの高
透磁率材で構成されており、その中心においてロータ１
１に垂直に固定されている。金属ディスク３１の上には
電磁石１４が設置され、下には電磁石１５が設置されて
いる。電磁石１４は、磁力により金属ディスク３１を上
方に吸引し、電磁石１５は、金属ディスク３１を下方に
吸引する。制御部は、この電磁石１４、１５が金属ディ
スク３１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ１１をス
ラスト方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するよ
うになっている。

【００２０】変位センサ１７は、ロータ１１のスラスト
方向の変位を検出する。制御部は、変位センサ１３から
の変位検出信号によりロータ１１のスラスト方向の変位
を検出する。ロータ１１がスラスト方向のどちらかに移
動して所定の位置から変位した場合、制御部は、この変
位を修正すように電磁石１４、１５の励磁電流をフィー
ドバック制御して磁力を調節し、ロータ１１を所定の位
置に戻すように動作する。制御部によるこのフィードバ
ック制御により、ロータ１１はスラスト方向に所定の位
置で磁気浮上し、保持される。以上に説明したように、
ロータ１１は、磁気軸受部８、１２によりラジアル方向
に保持され、磁気軸受部２０によりスラスト方向に保持
されるため、ロータ１１の軸線周りに回転するようにな
っている。

【００２１】ロータ１１には、磁気軸受部８、１２の間
にモータ部１０が設けてある。本実施の形態では、一例
としてモータ部１０は以下のように構成されたＤＣブラ
シレスモータであるとする。モータ部１０では、ロータ
１１の周囲に永久磁石が固着してある。この永久磁石
は、例えばロータ１１の周りにＮ極とＳ極が１８０°ご
とに配置されるように固定されている。この永久磁石の
周囲には、ロータ１１から所定のクリアランスを経て、
例えば６個の電磁石が６０°ごとにロータ１１の軸線に
対して対称的に対向するように配置されている。

【００２２】また、ロータ軸１１の下端には、回転数セ
ンサが取り付けられている。制御部は、回転数センサの
検出信号によりロータ軸１１の回転数を検出することが
できるようになっている。また、例えば変位センサ１３
近傍に、ロータ軸１１の回転の位相を検出する図示しな
いセンサが取り付けてあり、制御装置は、該センサと回
転数センサの検出信号を共に用いて永久磁石の位置を検
出するようになっている。制御部は、検出した磁極の位
置に従って、ロータの回転が持続するように電磁石の電
流を次々に切り替える。即ち、制御部は、６つの電磁石
の励磁電流を切り替えることによりロータ１１に固定さ
れた永久磁石の周りに回転磁界を生成し、永久磁石をこ
の回転磁界に追従させることによりロータ１１を回転さ
せる。

【００２３】ロータ１１には、ロータ翼２１が、ロータ
１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して、
ロータ１１から放射状に複数段取り付けてある。ロータ
翼２１は、ロータ１１に固着されており、ロータ１１と
共に高速回転するようになっている。また、ケーシング
１６には、ステータ翼２２が、ロータ１１の軸線に垂直
な平面から所定の角度だけ傾斜して、ケーシング１６の
内側に向けて、ロータ翼２１の段と互い違いに固定され
てる。ロータ１１がモータ部１０により駆動されて回転
すると、ロータ翼２１はロータ１１と共に回転する。す
ると、ロータ翼２１とステータ翼２２の作用により、ガ
スが吸気口６から吸引され、排気口２９から排気される
ようになっている。

【００２４】真空装置５は、例えば電子顕微鏡の観察試
料を設置するチャンバなどの高真空を要するものであ
り、ターボ分子ポンプ１８で発生した振動の伝播が好ま
しくない真空装置である。ターボ分子ポンプ１８は、ダ
ンパ部１９を介して真空装置５に接続されている。ダン
パ部１９は、ターボ分子ポンプ１８で発生した振動を吸
収する目的で設置されている。ターボ分子ポンプ１８を
直接真空装置５に接続すると、ターボ分子ポンプ１８で
発生した振動が真空装置５に伝播してしまい、真空装置
５での、例えば電子顕微鏡での観察などの作業に支障を
与えることがある。ダンパ部１９は、ターボ分子ポンプ
１８と真空装置５の間に設置されることにより、この振
動の伝播を緩和することができる。

【００２５】ダンパ部１９は、フランジ２４、２５、ゴ
ム２、３、質量部１及びベローズ４から構成されてい
る。フランジ２５は、ステンレスなどの金属により形成
され、ガスを通過させるための穴を中央に明けた円板状
の形状をしている。フランジ２５は、ターボ分子ポンプ
１８の開口部６に設けられたフランジ２６とボルト２７
により結合されている。フランジ２５とフランジ２６の
連接した面の片方には円形の溝が形成してあり、その溝
にＯリングがはさんである。このＯリングは、ボルト２
７の締め付けにより、フランジ２５、２６に密着し、フ
ランジ２５とフランジ２６の連接部の気密性を確保す
る。なお、この連接部の接続は溶接など、他の方法によ
り行うこともできる。

【００２６】フランジ２４は、ステンレスなどの金属に
より形成され、ガスを通過させるための穴を中央に明け
た円板状の形状をしている。フランジ２４は、真空装置
５の開口部７にボルト２８やクランパなどにより結合さ
れている。フランジ２４と真空装置５の接合面の片方に
は円形の溝が形成してあり、その溝にＯリングがはさん
である。このＯリングは、ボルト２８の締め付けによ
り、フランジ２４と真空装置５に密着し、フランジ２４
と真空装置５の接合部の気密性を確保する。なお、この
接合部も、溶接など、他の方法により行うこともでき
る。

【００２７】ベローズ４は、ステンレスなどによって形
成された、ひだ状のなめらかな山形の連続断面を有した
肉薄の管である。ベローズ４は、山形に形成された側面
が伸び縮みすることにより弾力性を発揮し、ターボ分子
ポンプ１８で生じた振動を吸収して減衰させる。また、
ベローズ４とフランジ２５及びベローズ４とフランジ２
４は、例えばろう付け又は溶接されており、ベローズ４
とフランジ２５及びベローズ４とフランジ２４の接合部
から外気が進入しないようになっている。またこれらの
接合部はターボ分子ポンプ１８の振動に対して十分な強
度を保つようになっている。

【００２８】ゴム２、３及び質量部１は、それぞれ円筒
形の形状を有しており、質量部１の内径はベローズ４の
外径より大きくなっている。質量部１は、例えば鉄やス
テンレスなどの剛性がありかつ密度がゴム２、３に比べ
て大きい物質によって構成されている。質量部１の質量
は大きいほどダンパ部１９の振動吸収能力は大きくな
る。ゴム２、３は、質量部１を介して直列に連接され、
振動吸収部３０を構成している。ゴム２、３と質量部１
の接合は、はさむだけでも良いし、接着剤や専用の金具
などを用いて行っても良い。

【００２９】振動吸収部３０は、ベローズ４の外側に同
心状に配置され、その両端はそれぞれフランジ２４、２
５に固定ないしははさまれている。ゴム２、３とフラン
ジ２４、２５との接合ははさむだけでも良いし、接着剤
や専用の取り付け具によって固定しても良い。ゴム２、
３、質量部１、フランジ２４、２５を接合した各接合部
は、ターボ分子ポンプ１８の振動に対して十分な強度を
持つようになっている。また、ダンパ部１９の気密性は
ベローズ４によって確保されているので、振動吸収部３
０の接合部は気密にする必要はない。

【００３０】以上のように構成されたターボ分子ポンプ
１８が作動すると、ロータ１１は、磁気軸受部８、１
２、２０により、所定位置に浮上する。次いでモータ部
１０により、ロータ１１が駆動されて、ロータ軸線の周
りに回転する。ロータ翼２１は、ロータ１１に固定され
ているため、ロータ１１と共に回転し、ロータ翼２１と
ステータ翼２２の作用により、真空装置５内のガスが開
口部７からダンパ部１９を経て吸気口６に吸引される。
吸気口６から吸引されたガスは排気口２９から排出され
る。ターボ分子ポンプ１８で発生した振動は、以下のよ
うにしてダンパ部１９で吸収される。

【００３１】ダンパ部１９は、ベローズ４は一体もので
あるのに対して振動吸収部３０は、ゴム２、３が質量部
１をはさんで２段に連接された構成となっている。この
ような構成をとると、質量部１とゴム３で従来のダンパ
１個分程度の振動低減を達成する。更に、質量１とゴム
３で小さくなった振動がゴム２で減衰される。このよう
にして、ダンパ部１９は、ダンパを２段直列に接続した
場合と同程度の振動減衰効果がある。

【００３２】また、従来のダンパを直列に接続した場
合、ベローズもダンパの数だけ分割されていた。即ち、
例えばダンパを２つ直列に接続した場合、短いベローズ
が２つ直列接続されていた。ベローズは短くなるほどば
ね定数が大きくなり、振動減衰に不利であった。しか
し、ダンパ部１９では、ゴムが２段であるのに対しベロ
ーズは従来のベローズより長いベローズ４を１つだけ設
置すれば良い。このように、１つのベローズの長さが長
くなるため、ベローズのばね定数が小さくなり、ベロー
ズを伝わって真空装置に伝播する振動が小さくなる。な
お、本実施の形態では、ばね定数を、ばねに限らずゴム
２、３やベローズ４などの弾性体に応力が作用した場合
に、該弾性体に生じるひずみと該応力との比例定数（弾
性係数）をも意味するものとする。

【００３３】以上に説明したように、本実施の形態で
は、単一のダンパ部１９により、２つのダンパを直列接
続したのと同程度の減衰効果が得られる。また、ベロー
ズ４のばね定数が従来のダンパのベローズのばね定数よ
り小さくなるため、２つのダンパを直列に接続した場合
と同等のばね定数で良い場合は、ベローズを短くできる
ので、ダンパ部１９の長さを短くすることができる。こ
のため、ダンパ部１９の設置スペースの縮小及び製造コ
ストの低減を図ることができる。

【００３４】ベローズ４のばね定数が従来のダンパのベ
ローズより小さくなるため、ダンパ部１９のばね定数は
主に振動吸収部３０に依存するようになり、振動解析等
を用いた設計が容易になる。即ちベローズ４の振動減衰
効果に対する寄与は相対的に小さくなるため、ダンパ部
１９の振動を解析する際に主に振動吸収部３０を用いて
解析すれば良い。

【００３５】更に、質量部１の質量、大きさ、またゴム
２、３の堅さや大きさを様々に組み合わせることができ
るので、振動減衰能力及びサイズを最適化するこれらの
組み合わせを得ることができる。加えて、従来は２本の
ベローズの両端の合計４箇所の溶接部があったが、これ
を２箇所に減らせるため、製造コストの低減を図ること
ができる。

【００３６】本実施の形態では、真空ポンプとしてター
ボ分子ポンプ１８を用いたが、これに限定するものでは
なく、例えばロータリーポンプやクライオポンプなどの
振動を伴うポンプに適用できる。また、質量部１は、金
属の他に樹脂や石材又はこれらの組み合わせを用いるこ
とができる。また、質量部１は、円筒状の形状に限定す
るものではなく、質量部をはさんだ弾性体を複数個用意
し、ベローズ４の周りの所定の位置に配置した構成にし
ても良い。また、減衰効果を更に高めたい場合は、ゴム
及び質量部の段数を増やせば良い。

【００３７】更に、ゴム２、３の他にバネやダッシュポ
ットなどの他の弾性体や減衰装置を使用しても良い。ま
た、ベローズ２の代わりに他の材料を用いて真空の保持
及び振動の吸収を行っても良い。本実施の形態では、タ
ーボ分子ポンプ１８とダンパ部１９は組立式としたがこ
れに限定するものではなく、ターボ分子ポンプ１８とダ
ンパ部１９を一体物として形成しても良い。また、本実
施の形態では、一例として５軸制御型磁気軸受式ターボ
分子ポンプについて説明したが、これは真空ポンプの軸
受方式や電流制御方式、モータ方式などを限定するもの
ではない。

【００３８】

【発明の効果】本発明によれば、ダンパは、質量部をは
さんで弾性体を複数段直列に接続するので、単一のダン
パで複数個のダンパを直列に接続した場合と同程度の振
動減衰効果が得られる。また、筒状に形成した弾性体の
内側にベローズを設けることにより、ベローズの長さを
従来のダンパのベローズより長くでき、ベローズを伝わ
る振動が小さくなる。或いは、従来と同等の振動減衰効
果で良ければ、ベローズを従来より短くし、更に小型に
できる。また、弾性体としてゴムを使用し、質量部とし
て金属を使用することにより、安価なで効果的、しかも
制作が容易なダンパを提供することができる。また、当
該ダンパをターボ分子ポンプなどの真空ポンプと一体も
のとすることにより、現場での当該真空ポンプの取り付
けが容易になる。また、ダンパの設置スペースを小さく
することができると共に、製造コストを下げることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本実施の形態に係る一例のダンパ部を
備えたターボ分子ポンプを示した図である。

【図２】ターボ分子ポンプと真空装置が、従来のダンパ
により接続されている所を示した図である。

【符号の説明】

１質量部２ゴム３ゴム４ベローズ５真空装置６吸気口７開口部８磁気軸受部９変位センサ１０モータ部１１ロータ１２磁気軸受部１３変位センサ１４電磁石１５電磁石１６ケーシング１７変位センサ１８ターボ分子ポンプ１９ダンパ部２１ロータ翼２２ステータ翼２４フランジ２５フランジ２６フランジ２７ボルト２８ボルト２９排気口３０振動吸収部３１金属ディスク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空ポンプと連接する第１の取り付け部
材と、前記第１の取り付け部材と連接する第１の弾性部材と、前記真空ポンプにより排気される装置と連接する第２の
取り付け部材と、前記第２の取り付け部材と連接する第２の弾性部材と、前記第１の弾性部材と前記第２の弾性部材よりも剛性の
高い中継部材と、を具備してなり、前記第１の取り付け部材が、少なくとも前記第１の弾性
部材とを介して前記中継部材の一端に連接し、前記第２
の取り付け部材が少なくとも前記第２の弾性部材とを介
して前記中継部材の他端に連接することを特徴とするダ
ンパ。
【請求項２】前記第１の取り付け部材と前記第２の取
り付け部材は、ベローズを介して連接したことを特徴と
する請求項１に記載のダンパ。
【請求項３】前記第１の弾性部材と前記第２の弾性部
材の内、少なくとも一方がゴムにより形成されたことを
特徴とする請求項１又は請求項２の内の何れかの１の請
求項に記載のダンパ。
【請求項４】前記中継部材が少なくとも金属により構
成されていることを特徴とする請求項１、請求項２又は
請求項３の内の何れかの１の請求項に記載のダンパ。
【請求項５】請求項１から請求項４までの内の何れか
の１の請求項に記載のダンパを具備してなり、前記第１
の取り付け部材を吸気口に連接したことを特徴とする真
空ポンプ。
【請求項６】一端の側に吸気口及が形成され、他端の
側に排気口が形成された外装体と、前記外装体の内側に回転自在に軸支されたロータと、前記ロータを回転させるモータと、前記ロータの周囲に配設されたステータと、を更に具備したことを特徴とする請求項５に記載の真空
ポンプ。
【請求項７】前記真空ポンプは、ターボ分子ポンプに
より構成されていることを特徴とする請求項５、又は請
求項６の内の何れかの１の請求項に記載の真空ポンプ。