JPH09236096A - 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造 - Google Patents
磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造Info
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- JPH09236096A JPH09236096A JP8043184A JP4318496A JPH09236096A JP H09236096 A JPH09236096 A JP H09236096A JP 8043184 A JP8043184 A JP 8043184A JP 4318496 A JP4318496 A JP 4318496A JP H09236096 A JPH09236096 A JP H09236096A
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- Japan
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- bearing
- magnetic
- molecular pump
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/02—Relieving load on bearings using mechanical means
-
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/14—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load
- F16C19/16—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls
- F16C19/163—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls with angular contact
- F16C19/166—Four-point-contact ball bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Abstract
(57)【要約】
【課題】 タッチダウン軸受の焼付きや磨耗を防止する
ことができ、しかも、タッチダウン軸受のコンパクト化
及び低コスト化を図る。 【解決手段】 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸
１と、該ロータ軸１を非接触で支持する磁気軸受２と、
ロータ軸１と磁気軸受２との間に配置されロータ軸１が
軸方向に移動した際に該軸方向の荷重を内輪を介して受
け止めるタッチダウン軸受とを備えた磁気浮上式ターボ
分子ポンプのロータ軸支持構造において、タッチダウン
軸受として、外輪２つ割れの４点接触玉軸受３を用い
る。
ことができ、しかも、タッチダウン軸受のコンパクト化
及び低コスト化を図る。 【解決手段】 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸
１と、該ロータ軸１を非接触で支持する磁気軸受２と、
ロータ軸１と磁気軸受２との間に配置されロータ軸１が
軸方向に移動した際に該軸方向の荷重を内輪を介して受
け止めるタッチダウン軸受とを備えた磁気浮上式ターボ
分子ポンプのロータ軸支持構造において、タッチダウン
軸受として、外輪２つ割れの４点接触玉軸受３を用い
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気浮上式ターボ
分子ポンプのロータ軸支持構造に関する。
分子ポンプのロータ軸支持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のロータ軸支持構造として
は、図８に示すものが知られている。このロータ軸支持
構造は、磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸ａと該
ロータ軸ａの下端を非接触で支持する磁気軸受ｂとの間
に配置されたタッチダウン軸受ｃを備える。タッチダウ
ン軸受ｃは、停電等により磁気軸受ｂがその機能を失っ
た場合に、ロータ軸ａの下端を磁気軸受ｂに代わって支
持することにより相対回転する部材同志の接触・破損を
防止するためのもので、ラジアル荷重及び両方向のアキ
シャル荷重を受けることができる２個組合せアンギュラ
玉軸受ｄ，ｅによって構成されている。
は、図８に示すものが知られている。このロータ軸支持
構造は、磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸ａと該
ロータ軸ａの下端を非接触で支持する磁気軸受ｂとの間
に配置されたタッチダウン軸受ｃを備える。タッチダウ
ン軸受ｃは、停電等により磁気軸受ｂがその機能を失っ
た場合に、ロータ軸ａの下端を磁気軸受ｂに代わって支
持することにより相対回転する部材同志の接触・破損を
防止するためのもので、ラジアル荷重及び両方向のアキ
シャル荷重を受けることができる２個組合せアンギュラ
玉軸受ｄ，ｅによって構成されている。
【０００３】２個組合せアンギュラ玉軸受ｄ，ｅは、外
輪ｆが磁気軸受ｂのハウジングｇに保持されており、ま
た、内輪ｈが磁気軸受ｂの機能喪失によって上下動する
ロータ軸ａの肩部ｉに当接して該ロータ軸ａの軸方向荷
重を受け止めると同時に、上述した機能喪失後も惰性に
より高速で回転するロータ軸ａを支持するようにされて
いる。
輪ｆが磁気軸受ｂのハウジングｇに保持されており、ま
た、内輪ｈが磁気軸受ｂの機能喪失によって上下動する
ロータ軸ａの肩部ｉに当接して該ロータ軸ａの軸方向荷
重を受け止めると同時に、上述した機能喪失後も惰性に
より高速で回転するロータ軸ａを支持するようにされて
いる。
【０００４】ところで、２個組合せアンギュラ玉軸受
ｄ，ｅは、ロータ軸ａの軸方向荷重を受け止めることか
ら、２個組合せアンギュラ玉軸受ｄ，ｅの上下に配置さ
れるロータ軸ａの肩部ｉと各内輪ｈとのすき間ΔＸ1 ，
ΔＸ2 の調整を行う必要がある。この場合、上側のアン
ギュラ玉軸受ｄと下側のアンギュラ玉軸受ｅとを背面合
せとすると、図９に示すように、下側のアンギュラ玉軸
受ｅの内輪ｈのカウンターボアｊが上側に配置されるの
で、該内輪ｈが自重により滑って外輪ｆから下方に出っ
張ってしまってすき間ΔＸ1 の調整ができない。従っ
て、図１０に示すように、２個組合せアンギュラ玉軸受
ｄ，ｅを正面合せとして下側のアンギュラ玉軸受ｅの内
輪ｈのカウンターボアｊを下側に配置し、これにより下
側のアンギュラ玉軸受ｅの内輪ｈが下方に出っ張らない
ようにしてすき間ΔＸ1 ，ΔＸ2 の調整を可能にしてい
る。
ｄ，ｅは、ロータ軸ａの軸方向荷重を受け止めることか
ら、２個組合せアンギュラ玉軸受ｄ，ｅの上下に配置さ
れるロータ軸ａの肩部ｉと各内輪ｈとのすき間ΔＸ1 ，
ΔＸ2 の調整を行う必要がある。この場合、上側のアン
ギュラ玉軸受ｄと下側のアンギュラ玉軸受ｅとを背面合
せとすると、図９に示すように、下側のアンギュラ玉軸
受ｅの内輪ｈのカウンターボアｊが上側に配置されるの
で、該内輪ｈが自重により滑って外輪ｆから下方に出っ
張ってしまってすき間ΔＸ1 の調整ができない。従っ
て、図１０に示すように、２個組合せアンギュラ玉軸受
ｄ，ｅを正面合せとして下側のアンギュラ玉軸受ｅの内
輪ｈのカウンターボアｊを下側に配置し、これにより下
側のアンギュラ玉軸受ｅの内輪ｈが下方に出っ張らない
ようにしてすき間ΔＸ1 ，ΔＸ2 の調整を可能にしてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】かかる磁気浮上式ター
ボ分子ポンプのロータ軸支持構造においては、２個組合
せアンギュラ玉軸受ｄ，ｅを正面合せとしているため、
高速回転するロータ軸ａが停電等により下降してその肩
部ｉが上側のアンギュラ玉軸受ｄの内輪ｈに当接する
と、軸方向荷重は図１０で矢印で示すように上側のアン
ギュラ玉軸受ｄの内輪ｈから下側のアンギュラ玉軸受ｅ
の内輪ｈ、転動体ｋ及び外輪ｆを経てハウジングｇによ
って受け止められる。
ボ分子ポンプのロータ軸支持構造においては、２個組合
せアンギュラ玉軸受ｄ，ｅを正面合せとしているため、
高速回転するロータ軸ａが停電等により下降してその肩
部ｉが上側のアンギュラ玉軸受ｄの内輪ｈに当接する
と、軸方向荷重は図１０で矢印で示すように上側のアン
ギュラ玉軸受ｄの内輪ｈから下側のアンギュラ玉軸受ｅ
の内輪ｈ、転動体ｋ及び外輪ｆを経てハウジングｇによ
って受け止められる。
【０００６】しかしながら、このような軸方向荷重の支
持状態だと、上側のアンギュラ玉軸受ｄの外輪ｆに荷重
が作用しないため、上側のアンギュラ玉軸受ｄの内輪ｈ
と転動体ｋとの接触面にスピン運動による大きな滑りが
発生すると共に、上下のアンギュラ玉軸受ｄ，ｅの各内
輪ｈの端面同志が急激に接触して発熱の原因となり、ま
た、瞬時の回転追従性により焼付や磨耗等の原因となる
可能性がある。
持状態だと、上側のアンギュラ玉軸受ｄの外輪ｆに荷重
が作用しないため、上側のアンギュラ玉軸受ｄの内輪ｈ
と転動体ｋとの接触面にスピン運動による大きな滑りが
発生すると共に、上下のアンギュラ玉軸受ｄ，ｅの各内
輪ｈの端面同志が急激に接触して発熱の原因となり、ま
た、瞬時の回転追従性により焼付や磨耗等の原因となる
可能性がある。
【０００７】本発明はかかる不都合を解消するためにな
されたものであり、タッチダウン軸受の焼付きや磨耗を
防止することができ、しかも、タッチダウン軸受のコン
パクト化及び低コスト化を図ることができる磁気浮上式
ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造を提供することを
目的とする。
されたものであり、タッチダウン軸受の焼付きや磨耗を
防止することができ、しかも、タッチダウン軸受のコン
パクト化及び低コスト化を図ることができる磁気浮上式
ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明に係る磁気浮上式ターボ分子ポンプのロー
タ軸支持構造は、磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ
軸と、該ロータ軸を非接触で支持する磁気軸受と、前記
ロータ軸と前記磁気軸受との間に配置され前記ロータ軸
が軸方向に移動した際に該軸方向の荷重を受け止めるタ
ッチダウン軸受とを備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプ
のロータ軸支持構造において、前記タッチダウン軸受と
して、４点又は３点接触玉軸受を用いることを特徴とす
る。
めに、本発明に係る磁気浮上式ターボ分子ポンプのロー
タ軸支持構造は、磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ
軸と、該ロータ軸を非接触で支持する磁気軸受と、前記
ロータ軸と前記磁気軸受との間に配置され前記ロータ軸
が軸方向に移動した際に該軸方向の荷重を受け止めるタ
ッチダウン軸受とを備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプ
のロータ軸支持構造において、前記タッチダウン軸受と
して、４点又は３点接触玉軸受を用いることを特徴とす
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図１及び図２を参照して説明する。図１は本発明の実
施の形態の一例である磁気浮上式ターボ分子ポンプの内
輪タッチ式のロータ軸支持構造を説明するための説明的
断面図、図２はタッチダウン軸受の作動を説明するため
の説明的断面図である。
を図１及び図２を参照して説明する。図１は本発明の実
施の形態の一例である磁気浮上式ターボ分子ポンプの内
輪タッチ式のロータ軸支持構造を説明するための説明的
断面図、図２はタッチダウン軸受の作動を説明するため
の説明的断面図である。
【００１０】まず、図１を参照して構成を説明すると、
磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造は、磁
気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸１と該ロータ軸１
の下端を非接触で支持する磁気軸受２との間に配置され
るタッチダウン軸受として、ラジアル荷重及び両方向の
アキシャル荷重を受けることができる４点接触玉軸受３
を使用したものである。尚、この実施の形態では、保持
器を使わない総ボールの場合を例に採るが、これに限定
されず、保持器を使用する場合にも本発明を適用できる
ことはいうまでもない。
磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造は、磁
気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸１と該ロータ軸１
の下端を非接触で支持する磁気軸受２との間に配置され
るタッチダウン軸受として、ラジアル荷重及び両方向の
アキシャル荷重を受けることができる４点接触玉軸受３
を使用したものである。尚、この実施の形態では、保持
器を使わない総ボールの場合を例に採るが、これに限定
されず、保持器を使用する場合にも本発明を適用できる
ことはいうまでもない。
【００１１】４点接触玉軸受３は、外輪と内輪５とから
なり、外輪は該外輪の幅方向のほぼ中央部で軸方向に直
角に２つに分割されて外輪４ａ，４ｂとされ、且つ、内
外輪の溝形状はゴシック溝となっている。外輪４ａ，４
ｂは磁気軸受２のハウジング６に保持され、また、内輪
５は磁気軸受２の機能喪失によって上下動するロータ軸
１の肩部１ａに当接して該ロータ軸１の軸方向荷重を受
け止めると同時に、機能喪失後も惰性により高速で回転
するロータ軸１を支持するようにされている。
なり、外輪は該外輪の幅方向のほぼ中央部で軸方向に直
角に２つに分割されて外輪４ａ，４ｂとされ、且つ、内
外輪の溝形状はゴシック溝となっている。外輪４ａ，４
ｂは磁気軸受２のハウジング６に保持され、また、内輪
５は磁気軸受２の機能喪失によって上下動するロータ軸
１の肩部１ａに当接して該ロータ軸１の軸方向荷重を受
け止めると同時に、機能喪失後も惰性により高速で回転
するロータ軸１を支持するようにされている。
【００１２】かかる磁気浮上式ターボ分子ポンプのロー
タ軸支持構造においては、高速回転するロータ軸１が停
電等による機能の喪失により下降してその肩部１ａが４
点接触玉軸受３の内輪５に当接すると、軸方向荷重は、
図２で矢印で示すように、内輪５から転動体７及び下側
の外輪４ｂを経てハウジング６によって受け止められ
る。
タ軸支持構造においては、高速回転するロータ軸１が停
電等による機能の喪失により下降してその肩部１ａが４
点接触玉軸受３の内輪５に当接すると、軸方向荷重は、
図２で矢印で示すように、内輪５から転動体７及び下側
の外輪４ｂを経てハウジング６によって受け止められ
る。
【００１３】このようにこの実施の形態では、タッチダ
ウン軸受として、一個の軸受でラジアル荷重と両方向の
アキシャル荷重を受けることができる４点接触玉軸受を
用いているので、従来の用いていた２個組合せアンギュ
ラ玉軸受のように、内輪ｈと転動体ｋとの接触面にスピ
ン運動による大きな滑りの発生や上下のアンギュラ玉軸
受ｄ，ｅの各内輪ｈの端面同志の急激な接触による発熱
を心配しなくて済み、また、反負荷側の内輪ｈを介する
必要がなく瞬時の回転追従性も改善されるため、タッチ
ダウン軸受の焼付や磨耗等を良好に防止することができ
る。
ウン軸受として、一個の軸受でラジアル荷重と両方向の
アキシャル荷重を受けることができる４点接触玉軸受を
用いているので、従来の用いていた２個組合せアンギュ
ラ玉軸受のように、内輪ｈと転動体ｋとの接触面にスピ
ン運動による大きな滑りの発生や上下のアンギュラ玉軸
受ｄ，ｅの各内輪ｈの端面同志の急激な接触による発熱
を心配しなくて済み、また、反負荷側の内輪ｈを介する
必要がなく瞬時の回転追従性も改善されるため、タッチ
ダウン軸受の焼付や磨耗等を良好に防止することができ
る。
【００１４】また、タッチダウン軸受が一個で足りるた
め、従来に比べて、軸受部のコンパクト化とコスト低減
を図ることができる。尚、上記実施の形態では、タッチ
ダウン軸受として４点接触玉軸受３を例に採ったが、こ
れに代えて、例えば図３に示すように外輪が軸方向に２
つに分割されて外輪１０ａ，１０ｂとされた外輪２つ割
れ３点接触玉軸受１０又は図６に示すように外輪１５ａ
にゴシック溝１５が形成された外輪２つ割れ３点接触玉
軸受１６でもよい。ゴシック溝にすることにより、アキ
シャルすき間も調整することができる。
め、従来に比べて、軸受部のコンパクト化とコスト低減
を図ることができる。尚、上記実施の形態では、タッチ
ダウン軸受として４点接触玉軸受３を例に採ったが、こ
れに代えて、例えば図３に示すように外輪が軸方向に２
つに分割されて外輪１０ａ，１０ｂとされた外輪２つ割
れ３点接触玉軸受１０又は図６に示すように外輪１５ａ
にゴシック溝１５が形成された外輪２つ割れ３点接触玉
軸受１６でもよい。ゴシック溝にすることにより、アキ
シャルすき間も調整することができる。
【００１５】また、図４に示すように、外輪２つ割れ３
点接触玉軸受１０（又は４点接触玉軸受３）の外輪にス
リーブ１１を圧入により外嵌して外輪１０ａ，１０ｂ
（又は４ａ，４ｂ）のばれを防止するようにしてもよ
く、更に、図５に示すように、外輪２つ割れ３点接触玉
軸受１０（又は４点接触玉軸受３）の外輪１０ａ，１０
ｂ（又は４ａ，４ｂ）を止め具１３により連結して外輪
１０ａ，１０ｂ（又は４ａ，４ｂ）のばれを防止するよ
うにしてもよい。尚、止め具１３は周方向に複数個或い
は全周に配置する。
点接触玉軸受１０（又は４点接触玉軸受３）の外輪にス
リーブ１１を圧入により外嵌して外輪１０ａ，１０ｂ
（又は４ａ，４ｂ）のばれを防止するようにしてもよ
く、更に、図５に示すように、外輪２つ割れ３点接触玉
軸受１０（又は４点接触玉軸受３）の外輪１０ａ，１０
ｂ（又は４ａ，４ｂ）を止め具１３により連結して外輪
１０ａ，１０ｂ（又は４ａ，４ｂ）のばれを防止するよ
うにしてもよい。尚、止め具１３は周方向に複数個或い
は全周に配置する。
【００１６】さらに、上記実施の形態では、内輪タッチ
式のロータ軸支持構造を例に採ったが、図７に示すよう
に、ロータ軸１７が外輪により支承される外輪タッチ式
のロータ軸支持構造においては、ステータ１８に保持さ
れる内輪１９ａ，１９ｂが２つ割れで、ロータ軸１７を
受け止める外輪２０が一体の構造となる。なお、作用効
果は内輪タッチ式の場合と同様であるのでその説明を省
略する。
式のロータ軸支持構造を例に採ったが、図７に示すよう
に、ロータ軸１７が外輪により支承される外輪タッチ式
のロータ軸支持構造においては、ステータ１８に保持さ
れる内輪１９ａ，１９ｂが２つ割れで、ロータ軸１７を
受け止める外輪２０が一体の構造となる。なお、作用効
果は内輪タッチ式の場合と同様であるのでその説明を省
略する。
【００１７】
【発明の効果】上記の説明から明らかなように、本発明
では、一個の軸受でラジアル荷重と両方向のアキシャル
荷重を受けることができる４点又は３点接触玉軸受を用
いているので、従来の用いていた２個組合せアンギュラ
玉軸受のように、内輪と転動体との接触面にスピン運動
による大きな滑りの発生や上下のアンギュラ玉軸受の各
内輪の端面同志の急激な接触による発熱を心配しなくて
済み、また、反負荷側の内輪を介する必要がなく瞬時の
回転追従性も改善されるため、タッチダウン軸受の焼付
や磨耗等を良好に防止することができるという効果が得
られる。
では、一個の軸受でラジアル荷重と両方向のアキシャル
荷重を受けることができる４点又は３点接触玉軸受を用
いているので、従来の用いていた２個組合せアンギュラ
玉軸受のように、内輪と転動体との接触面にスピン運動
による大きな滑りの発生や上下のアンギュラ玉軸受の各
内輪の端面同志の急激な接触による発熱を心配しなくて
済み、また、反負荷側の内輪を介する必要がなく瞬時の
回転追従性も改善されるため、タッチダウン軸受の焼付
や磨耗等を良好に防止することができるという効果が得
られる。
【００１８】また、タッチダウン軸受が一個で足りるた
め、従来に比べて、軸受部のコンパクト化とコスト低減
を図ることができるという効果が得られる。
め、従来に比べて、軸受部のコンパクト化とコスト低減
を図ることができるという効果が得られる。
【図１】本発明の実施の形態の一例である磁気浮上式タ
ーボ分子ポンプのロータ軸支持構造を説明するための説
明的断面図である。
ーボ分子ポンプのロータ軸支持構造を説明するための説
明的断面図である。
【図２】タッチダウン軸受の作動を説明するための説明
的断面図である。
的断面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態を説明するための説明
的断面図である。
的断面図である。
【図４】タッチダウン軸受の変形例を説明するための説
明的断面図である。
明的断面図である。
【図５】タッチダウン軸受の変形例を説明するための説
明的断面図である。
明的断面図である。
【図６】タッチダウン軸受の変形例を説明するための説
明的断面図である。
明的断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態を説明するための説明
的断面図である。
的断面図である。
【図８】従来の磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸
支持構造を説明するための説明的断面図である。
支持構造を説明するための説明的断面図である。
【図９】従来のタッチダウン軸受を説明するための説明
的断面図である。
的断面図である。
【図１０】従来のタッチダウン軸受を説明するための説
明的断面図である。
明的断面図である。
１…ロータ軸 ２…磁気軸受 ３…４点接触玉軸受（タッチダウン軸受）
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸
と、該ロータ軸を非接触で支持する磁気軸受と、前記ロ
ータ軸と前記磁気軸受との間に配置され前記ロータ軸が
軸方向に移動した際に該軸方向の荷重を受け止めるタッ
チダウン軸受とを備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプの
ロータ軸支持構造において、 前記タッチダウン軸受として、４点又は３点接触玉軸受
を用いることを特徴とする磁気浮上式ターボ分子ポンプ
のロータ軸支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8043184A JPH09236096A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8043184A JPH09236096A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236096A true JPH09236096A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12656830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8043184A Pending JPH09236096A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 磁気浮上式ターボ分子ポンプのロータ軸支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236096A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
| US6617733B1 (en) * | 1999-03-31 | 2003-09-09 | Seiko Instruments Inc. | Magnetic bearing apparatus and vacuum pump having magnetic bearing apparatus |
| EP1903230B2 (en) † | 2006-09-25 | 2013-02-27 | Jtekt Corporation | Rolling bearing apparatus |
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