JP4499388B2 - 分子ポンプおよび結合装置 - Google Patents

Description

本発明は、高速回転する回転体を内包する容器を他の容器に結合するための分子ポンプおよび結合装置に関する。

例えば、半導体製造装置や電子顕微鏡装置などで使用されている高真空が要求される真空容器の排気処理には、高い排気性能を有する分子ポンプが利用されている。このような分子ポンプには、例えば、ターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプなどの分子ポンプがある。
真空容器の排気処理は、分子ポンプの吸気口部を真空容器の排気口にボルトなどで取り付けられた状態で行われている。
これらの分子ポンプの内部には、ロータ部が回転自在に軸支されており、このロータ部は、モータの働きによって高速回転されるようになっている。また、分子ポンプの内部には、筐体に固定されたステータ部が設けられている。

分子ポンプは、ロータ部が高速回転することにより、ロータ部とステータ部が排気作用を発揮するようになっている。この排気作用により、分子ポンプの吸気口から気体が吸引され、排気口から排気される。
通常、分子流領域において排気処理を行う分子ポンプは、ロータ部を高速回転（例えば毎分３万回転）させて排気処理を行っている。

ところで、このようなロータ部が高速で回転する分子ポンプの運転中に、極度の外乱やロータ部またはステータ部の変形などのトラブルが発生し、ロータ部がステータ部などの固定部材と接触した場合には、筐体にロータ部の角運動量（運動量モーメント）が伝達してしまう。
これにより、分子ポンプ全体をロータ部の回転方向に回転させるトルクが発生する。このトルクは、分子ポンプが取り付けられている真空容器にも大きな応力を及ぼしてしまう。
従来、このような異常時に発生するトルクによる衝撃を緩和するための技術が、下記の特許文献に提案されている。

特開平８−１１４１９６号公報 特開１０−２７４１８９号公報

特許文献１には、ロータ部の破壊などによりターボ分子ポンプに生じたトルクを、ターボ分子ポンプと真空容器を接合するボルトをくの字状に塑性変形させることにより吸収する技術が提案されている。
このようにボルトを塑性変形させるために、ターボ分子ポンプ側のフランジのボルト穴は、ロータの回転方向に長穴状に形成されていると共に、長穴の底部付近にはボルトをくの字状に変形させるための爪状の薄板部が形成されている。

また、特許文献２には、ターボ分子ポンプに発生したトルクの衝撃を、ロータの回転方
向にフランジをスライドさせることによって緩衝させる技術が提案されている。
詳しくは、フランジの円弧に沿った長穴状のボルト穴をフランジに形成し、このボルト穴を介してターボ分子ポンプを真空容器に取り付ける。そして、長穴状のボルト穴を滑らせることによって真空容器と相対的にターボ分子ポンプを回転させ、その回転エネルギーとして衝撃エネルギーを消費させるようにしている。

しかしながら、特許文献１で提案されているターボ分子ポンプでは、ボルトを変形させることによって衝撃の吸収を行うようにしているが、このような構成においては、衝撃エネルギーの吸収に必要な十分なストローク（行程）を確保することが困難であった。
また、特許文献２で提案されているターボ分子ポンプでは、長穴状のボルト穴を滑らせる回転エネルギーだけでは、衝撃エネルギーを十分に吸収させることができないおそれがあった。
そこで、本発明は、簡単な構成で異常時に発生するトルクによる衝撃エネルギーを効果的に消費することができる分子ポンプおよび結合装置を提供することを目的とする。

請求項１記載の発明では、真空容器に取り付けられ、前記真空容器内の気体の排気処理を行う分子ポンプであって、吸気口と排気口を備えたケーシングと、前記ケーシング内に回転自在に軸支され、前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する気体移送機構が設けられたロータと、前記ロータを回転させるモータと、前記ケーシングの端部に形成され、その厚さ方向に貫通した締結穴と、前記締結穴から前記ロータの回転方向と逆方向に延びた長穴と、が形成されたフランジ状の取付部と、緩衝部と、前記緩衝部の一端に設けられ、締結穴を有する第１固定部と、前記緩衝部の他端に形成された第２固定部と、を有し、全ての前記取付部の締結穴に締結され、且つ、前記取付部の点対称の位置に設けられた緩衝部材と、前記取付部の締結穴と、前記緩衝部材の締結穴とを介して、前記緩衝部材および前記真空容器を締結する締結手段と、前記緩衝部材の前記第２固定部を前記取付部に固定する固定手段と、を備えることにより前記目的を達成する。
請求項２記載の発明では、請求項１記載の発明において、前記緩衝部材を、応力ひずみ特性の異なる複数の部材により構成することにより前記目的を達成する。
なお、請求項２に記載されている前記緩衝部材は、例えば応力の最大値に達するまでのひずみ量が異なる部材を組み合わせて構成するようにしてもよい。
請求項３記載の発明では、請求項１または請求項２記載の発明において、前記締結部材を、前記固定手段よりも高い強度を有するように形成することにより前記目的を達成する。
請求項４記載の発明では、請求項１、請求項２または請求項３記載の発明において、前記固定手段は、前記締結手段に対して前記長穴が形成されている側の逆側に配置することにより前記目的を達成する。
なお、請求項４に記載されている前記固定部を、前記締結部材に対しての前記ロータの回転方向と逆方向側に配置するようにしてもよい。
請求項５記載の発明では、請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載の発明において、前記締結手段および前記固定手段のうちの少なくとも一方が、終端にヘッド部を有するボルトによって構成され、前記ボルトのヘッド部と接触する前記緩衝部材の固定部は、前記ボルトのヘッド部とその全周に渡って接触することにより前記目的を達成する。
請求項６記載の発明では、請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５記載の発明において、前記緩衝部材は、前記取付部の、前記真空容器の下面側開口部が締結される面と反対側の面に備えられていることにより前記目的を達成する。
請求項７記載の発明では、回転体が内包された第１容器と、前記第１容器に取り付けられた第２容器とを結合する結合装置であって、前記第１容器の結合部に形成され、その厚さ方向に貫通した締結穴と、前記回転体の回転方向と逆方向に、前記締結穴から延びた長穴と、が形成されたフランジと、緩衝部と、前記緩衝部の一端に設けられ、締結穴を有する第１固定部と、前記緩衝部の他端に形成された第２固定部と、を有し、全ての前記フランジの締結穴に締結され、且つ、前記フランジの点対称の位置に設けられた緩衝部材と、前記フランジの締結穴と、前記緩衝部材の締結穴とを介して、前記第１容器と前記第２容器とを締結する締結手段と、前記緩衝部材の前記第２固定部を前記フランジに固定する固定手段と、を備えることにより前記目的を達成する。
なお、請求項７に記載されている前記緩衝部材は、例えば、応力ひずみ特性の異なる複数の部材により構成するようにしてもよい。前記締結手段は、例えば、前記固定手段よりも高い強度を有するようにしてもよい。さらに前記固定手段は、例えば、前記締結手段に対して前記長穴が形成されている側の逆側に配置するようにしてもよい。また、例えば、前記締結手段および前記固定手段のうちの少なくとも一方が、終端にヘッド部を有するボルトによって構成され、前記ボルトのヘッド部と接触する前記緩衝部材の固定部は、前記ボルトのヘッド部とその全周に渡って接触するように構成してもよい。

本発明によれば、回転体が内包された第１容器と、前記第１容器に取り付けられた第２容器とを結合するために前記第１容器の結合部に備えられた緩衝部材を変形させることにより、回転体の異常動作時に発生するトルクによる衝撃エネルギーを効果的に消費することができる分子ポンプおよび結合装置を提供することができる。

以下、本発明の結合装置における好適な実施の形態について、図１から図１１を参照して詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の分子ポンプ１の真空容器２への結合形態の一例を示した図である。
分子ポンプ１は、高速回転するロータ部と、固定したステータ部との排気作用により、排気機能を発揮する真空ポンプであって、ターボ分子ポンプ、ねじ溝式ポンプ、あるいはこれら両方の構造を合わせ持った複合型ポンプなどがある。

分子ポンプ１は、ベース１０と共に筐体を構成する円筒形状のケーシング３を備え、ケーシング３には、吸気口と排気口１２が設けられている。
ケーシング３の内部には、分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物が収納されている。
これらの排気機能を発揮させる構造物は、大きく分けて回転自在に軸支されたロータ部とケーシング３に対して固定されたステータ部から構成されている。このロータ部は、モータの働きによって高速回転されるようになっている。
つまり、ケーシング３は、回転体が内包された容器を構成している。
また、ベース１０は、気体移送機構の一部を内包する容器を構成している。

ケーシング３の吸気口の端部には、ケーシング３の外周側に張り出したフランジ１１が形成されている。フランジ１１は、真空容器２に分子ポンプ１を結合する結合装置として用いられる。

真空容器２は、半導体製造装置や電子顕微鏡の鏡塔などの真空装置を構成しており、排気口が設けられている。
分子ポンプ１は、フランジ１１を介して真空容器２の排気口に、ボルトなどの締結手段によって結合されている。

図２は、図１のＡ部に示す結合部の構造を示した斜視図および正面図を示した図である。
なお、第１実施形態における分子ポンプには、図１のＡ部に示す結合部が複数ヶ所設けられている。
分子ポンプ１は、フランジ１１と真空容器２を終端にヘッド部を有するボルト４１で締結することにより真空容器２へ結合されている。このボルト４１は、真空容器２とケーシング３とを締結するための締結手段である。
真空容器２には、ボルト４１をねじ留め固定するためのボルト穴２１が設けられている。ボルト穴２１の内周には、ボルト４１を固定するためのねじ溝が設けられている。このボルト穴２１にボルト４１を固定することによって、フランジ１１と真空容器２とが接合される。

ボルト４１の座面とフランジ１１との間には、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２が挟装されている。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、フランジ１１側に第１緩衝部材３１が配置されるように重ねられている。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、その一端が、ボルト４１によって真空容器２に対して固定され、他端が終端にヘッド部を有するボルト４２によってフランジ１１に固定されている。
ボルト４２は、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２を、結合部であるフランジ１１に固定するための固定手段を構成する。

第１緩衝部材３１には、その中央部に長手方向に延びる長穴状の長穴３１１が設けられている。
長穴３１１は、ロータ部回転方向側の端部にボルト４２が、反対側の端部にボルト４１が貫入されるようになっている。つまり、長穴３１１の長手方向の両端部は、ボルト４１およびボルト４２を貫入させるためのボルト穴として機能している。
なお、長穴３１１の長手方向の両端部を含む第１緩衝部材３１の両端部は、第１緩衝部材３１をボルト４１およびボルト４２で固定するための固定部として機能する。ボルト４１側の固定部を第１固定部とし、ボルト４２側の固定部を第２固定部とする。

そのため、長穴３１１の長手方向の長さは、ボルト４１およびボルト４２が配置される間隔に基づいて決められている。例えば、ボルト４１およびボルト４２が配置される間隔に各ボルトの半径を加算し、さらにボルト貫入時のクリアランスを加算した長さとする。
なお、長穴３１１は、ねじ溝が設けられていないスルーホールによって形成されている。
第１緩衝部材３１は、長穴３１１の両側に形成された長手方向に延びる緩衝部３１２ａ、３１２ｂにおいて引張応力を発生する。
必要な引張応力に応じて、第１緩衝部材３１の材質、緩衝部３１２ａと緩衝部３１２ｂの断面積が決定される。

第２緩衝部材３２は、両端に設けられた座金部３２１および座金部３２２、座金部３２１との座金部３２２との間に設けられた緩衝部３２５によって構成されている。
なお、座金部３２１は、第２緩衝部材３２をボルト４１で固定するための第１固定部、座金部３２２は、第２緩衝部材３２をボルト４２で固定するための第２固定部として機能する。また、座金部３２１は、ボルト４１のヘッド部とその全周に渡って接触し、座金部３２２は、ボルト４２のヘッド部とその全周に渡って接触している。
座金部３２１および座金部３２２には、ボルト４１およびボルト４２を貫入するためのボルト穴３２３およびボルト穴３２４が設けられている。
ボルト穴３２３およびボルト穴３２４は円形状の穴であり、その径はボルト４１およびボルト４２の直径にボルト貫入時のクリアランスを加算した値となっている。
なお、ボルト穴３２３およびボルト穴３２４は、ねじ溝が設けられていないスルーホールによって形成されている。

緩衝部３２５は、引張応力を発生させて衝撃を緩衝させるための緩衝機構であり、少なくとも座金部３２１および座金部３２２よりもひずみ応力の低い部材によって形成されている。
そのため、過度の衝撃が発生した場合には、座金部３２１および座金部３２２よりも早い時期に緩衝部３２５が変形の限界に到達するようになっている。
座金部３２１、座金部３２２および緩衝部３２５を全て同一の部材によって形成することが可能である。この場合には、緩衝部３２５の厚み、幅等を変更することによって適切な応力特性を得られるように調整する。

ここで、上述した第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２の有する応力特性について説明する。
図３は、第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２、および第１緩衝部材３１と第２緩衝部材３２の合成体の応力ひずみ特性を示したグラフである。
図３に示すように、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は異なる応力ひずみ特性を有する部材によって形成されている。
なお、グラフに示されている応力とは、外力つまり衝撃によるトルクを受けた部材の内部に発生する外力に抵抗する力のことである。第１実施形態では、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２に対して引張作用が働くため、この応力は引張応力を示す。

第１緩衝部材３１は、ひずみの初期段階における応力が第２緩衝部材３２よりも小さいが、応力の最大値Ｐａに達するまでのひずみ量は第２緩衝部材３２が応力の最大値Ｐｂに達するまでよりも大きい。
このような応力特性の異なる部材を組み合わせ、お互いの優性部を利用することにより、第１緩衝部材３１と第２緩衝部材３２の合成体の応力ひずみ特性（波線）を得ることができる。

合成体の応力ひずみ特性からわかるように、ひずみの初期段階から大きな応力を発生することができる。そして、第２緩衝部材が応力の最大値Ｐｂに達して破断した後も、第１の緩衝部材によって応力を発生させることができる。
このように、ひずみ量の広範囲に渡って大きな応力を発生することができるため、限られたひずみ量において、大きな外力により与えられたエネルギーつまり衝撃によるエネルギーを消費することができる。
応力特性は、緩衝部材の材質や形状によって異なる。適切な応力特性を得るために、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２を、アルミ、鉄、銅などの金属だけでなく強化プラスチックなどの樹脂製の部材によって形成するようにしてもよい。

図２に示されるように、フランジ１１には、ボルト４１が貫入されるボルト穴１１１が形成されている。このボルト穴は、真空容器２とケーシング３とを締結するための締結手段であるボルト４１が挿通される締結穴である。
さらに、このボルト穴１１１からロータの回転方向と逆方向に延びる長穴１１３が形成されている。
なお、フランジ１１に形成される長穴は、少なくともこのボルト穴１１１からロータの回転方向と逆方向に延びる長穴１１３を含む穴であれば、ボルト穴１１１から双方向に延びる長穴によって構成されるようにしてもよい。
また、フランジ１１には、ボルト４２をねじ留め固定するためのボルト穴１１２が設けられている。ボルト穴１１２は、ボルト穴１１１のロータの回転方向側に設けられている。
なお、ボルト穴２１の内周には、ボルト４１を固定するためのねじ溝が設けられている。
ボルト穴１１１、長穴３１１のロータ部回転方向の反対側の端部およびボルト穴３２３は全て、ボルト穴２１の同心軸上に設けられている。
また、長穴３１１のロータ部回転方向側の端部およびボルト穴３２４も、ボルト穴１１２の同心軸上に設けられている。

第１実施形態では、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、ボルト４１の座面とフランジ１１とに挟装されるように配置されている。これらの第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、真空容器２とフランジ１１との間に配置するようにしてもよい。この場合には、真空容器２とケーシング３の接合部における気密性が確保できるような構造を用いる。
第１実施形態では、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、ボルト４２によってフランジ１１に固定されている。しかし、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２をフランジ１１に固定する固定手段として、例えば、かしめ処理や溶接処理を用いるようにしてもよい。

第１実施形態では、ボルト４１をボルト穴２１にねじ留め固定することによって真空容器２にフランジ１１を固定するようにしている。しかし、例えば、真空容器２の排気口にフランジ１１と同様のフランジ部が設けられている場合には、真空容器２のフランジ部にスルーホールを設け、このスルーホールとボルト穴１１１を介してボルトおよびナットを用いて固定するようにしてもよい。
この場合には、ボルトおよびナットが真空容器２とケーシング３を締結する締結手段として機能する。
また、ヘッド部を有するボルトを用いずに、双方向からナットを用いて真空容器２とケーシング３を締結するようにしてもよい。なお、この場合には、第２緩衝部材と接触するナットを、緩衝部材と接触するヘッドとする。

次に、このように構成された結合部における緩衝機能について説明する。
分子ポンプ１の運転中に、つまりロータ部の高速回転時において、極度の外乱やロータ部やステータ部の変形などのトラブルが発生し、ロータ部がステータ部などの固定部材と接触すると、分子ポンプ１の全体をロータ部の回転方向に回転させようとするトルクによる衝撃が発生する。
このトルクによる衝撃は、分子ポンプ１が結合されている真空容器２に対しても大きな応力を及ぼす。

図４は、異常時の衝撃が発生する前の、図１のＡ部に示す結合部をＸ−Ｘ’部で切断した断面図を示した図である。
また、図５は、異常時の衝撃が発生した後の、図１のＡ部に示す結合部をＸ−Ｘ’部で切断した断面図を示した図である。
分子ポンプ１の全体をロータ部の回転方向に回転させようとするトルクによる衝撃が発生すると、この衝撃によりフランジ１１が真空容器２に対してロータ部の回転方向に滑って回転する。
この時、ボルト４１の位置は真空容器２のボルト穴２１で固定されているため、フランジ１１は長穴１１３に沿ってロータ部の回転方向に移動する。
つまり、真空容器２は、フランジ１１に対して相対的に逆方向に移動する。従って、長穴１１３は、フランジ１１に対して真空容器２が相対的に移動する方向にボルト穴１１１から延びるように形成されている。

フランジ１１に固定されているボルト４２は、ロータ部の回転方向に移動する。
その際ボルト４２は、長穴３１１のロータ部回転方向側の端部、およびボルト穴３２４に対して、ロータ部回転方向に力を加えながら移動する。また、ボルト４１によって、ボルト４２が加えた力と同等の力が、長穴３１１のロータ部回転方向と逆側の端部、およびボルト穴３２３に対して、ロータ部回転と逆方向に加えられる。
そして、長穴３１１の両側に形成された長手方向に延びる緩衝部および緩衝部３２５は、ボルト４１およびボルト４２により加えられる力によって、引っ張られるため引張応力が作用（発生）する。引張応力が作用すると、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は塑性変形する。

具体的には、第１緩衝部材３１は、長穴３１１の両側に形成された長手方向に延びる緩衝部が延びるため、長穴３１１の長手方向の長さが増加し、それに伴い厚みが減少する。
また、第２緩衝部材３２は、緩衝部３２５が応力の最大値Ｐｂに達し、中央付近において破断する。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２が塑性変形する過程において、分子ポンプ１を回転させるエネルギーが第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２で消費され、これにより衝撃が緩和される。

図６（ａ）〜（ｃ）は、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２の形状の変形例を示した図である。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、それぞれ図６（ａ）〜（ｃ）に示すような形状の部材によって構成することができる。

（ａ）に示す緩衝部材は、両端に設けられた座金部５１および座金部５２、座金部５１と座金部５２との間に設けられた緩衝部５３によって構成されている。
なお、座金部５１および座金部５２は、緩衝部材をボルト４１およびボルト４２で固定するための固定部として機能する。また、座金部５１および座金部５２は、ボルトのヘッド部とその全周に渡って接触している。
座金部５１および座金部５２には、ボルト４１およびボルト４２を貫入するためのボルト穴５１１およびボルト穴５２１が設けられている。
ボルト穴５１１およびボルト穴５２１は円形状の穴であり、その径はボルト４１およびボルト４２の直径にボルト貫入時のクリアランスを加算した値となっている。
なお、ボルト穴５１１およびボルト穴５２１は、ねじ溝が設けられていないスルーホールによって形成されている。

緩衝部５３は、引張応力を発生させて衝撃を緩衝させるための緩衝機構であり、少なくとも座金部５１および座金部５２よりもひずみ応力が低くなるような形状となっている。
緩衝部５３において、衝撃のエネルギーが吸収されやすい構造になっている。詳しくは、緩衝部５３は、座金部５１および座金部５２よりも短手方向が短い帯状をしている。
つまり、変形例（ａ）に示す緩衝部材は、その両端部にボルト穴が形成された座金部を備え、前記座金部との間に前記座金部よりも短手方向が短い帯状の緩衝部が形成されている。
なお、緩衝部５３の応力特性は、長手方向と幅方向の長さ、および部材の板厚を変えることによって適正値に調整することができる。

（ｂ）に示す緩衝部材は、両端に設けられた座金部６１および座金部６２、座金部６１と座金部６２との間に設けられた緩衝部６３によって構成されている。
なお、座金部６１および座金部６２は、緩衝部材をボルト４１およびボルト４２で固定するための固定部として機能する。また、座金部６１および座金部６２は、ボルトのヘッド部とその全周に渡って接触している。
座金部６１および座金部６２には、ボルト４１およびボルト４２を貫入するためのボルト穴６１１およびボルト穴６２１が設けられている。
ボルト穴６１１およびボルト穴６２１は円形状の穴であり、その径はボルト４１およびボルト４２の直径にボルト貫入時のクリアランスを加算した値となっている。
なお、ボルト穴６１１およびボルト穴６２１は、ねじ溝が設けられていないスルーホールによって形成されている。

緩衝部６３は、引張応力を発生させて衝撃を緩衝させるための緩衝機構であり、長手方向の両辺側から交互に対面する辺に向けて切り込み（スリット）が設けられている。
つまり、変形例（ｂ）に示す緩衝部材は、その両端部にボルト穴が形成された座金部を備え、前記座金部との間に長手方向の両辺側から交互に対面する辺に向けて切り込み（スリット）が設けられ緩衝部が形成されている。
なお、緩衝部６３の応力特性は、部材の板厚、切り込みの長さおよび切り込みの数を変えることによって適正値に調整することができる。

（ｃ）に示す緩衝部材は、両端に設けられた座金部７１および座金部７２が設けられ、座金部７１と座金部７２との間には、長穴７３が設けられている。
なお、座金部７１および座金部７２は、緩衝部材をボルト４１およびボルト４２で固定するための固定部として機能する。また、座金部７１および座金部７２は、ボルトのヘッド部とその全周に渡って接触している。
座金部７１および座金部７２には、ボルト４１およびボルト４２を貫入するためのボルト穴７１１およびボルト穴７２１が設けられている。
ボルト穴７１１およびボルト穴７２１は円形状の穴であり、その径はボルト４１およびボルト４２の直径にボルト貫入時のクリアランスを加算した値となっている。
なお、ボルト穴７１１およびボルト穴７２１は、ねじ溝が設けられていないスルーホールによって形成されている。

（ｃ）に示す緩衝部材では、第１緩衝部材３１と同様に、長穴７３の両側に形成された長手方向に延びる緩衝部において引張応力を発生させて衝撃を緩衝させる。
つまり、変形例（ｃ）に示す緩衝部材は、その両端部にボルト穴が形成された座金部を備え、前記座金部との間に長手方向に延びる長穴が形成されている。
なお、長穴７３の両側に形成された長手方向に延びる緩衝部の応力特性は、長穴７３の長さ、または幅を変えることによって適正値に調整することができる。

上述した第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２および変形例（ａ）〜（ｃ）を、異常時に発生する衝撃の緩衝部材として単体で用いてもよい。
ただし、第１緩衝部材３１のような長穴の両端部にボルトを貫入するような構成の緩衝部材は、ボルトの座面と長穴が重なり合ってしまうために、衝撃を受けてフランジ１１が移動する際に、各ボルトの頭部が長穴の中心方向に傾きやすい構造となっている。
従って、第１緩衝部材３１のようにボルト４１およびボルト４２の座面を安定させるための座金部が設けられていない緩衝部材を単体で用いる場合には、緩衝部材とは別にボルト４１およびボルト４２に対して個々に専用の座金を設けることが好ましい。
なお、第１緩衝部材３１のような緩衝部材を複数重ねて用いる場合にも、緩衝部材とは別にボルト４１およびボルト４２に対して個々に専用の座金を設けることが好ましい。

また、第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２および変形例（ａ）〜（ｃ）から複数を選択して組み合わせたり、同じ緩衝部材を複数重ねたりして用いるようにしてもよい。
なお、このような場合には、ボルト４１およびボルト４２の座面を安定させるための座金部が設けられている緩衝部材が外側になるように、つまりボルトの頭部と接触する位置になるように配置することが好ましい。

また、第１実施形態に係る分子ポンプ１では、少なくともボルト４１の強度が、ボルト４２の強度よりも大きくなるように構成されている。
これにより、衝撃を受けた際にボルト４１がボルト４２よりも早く破断してしまうことを抑制することができる。従って、取り付けられている全てのボルト４１が破断してしまうまでに、十分に衝撃のエネルギーを吸収することができる。
また、ボルト４２が破損、つまり変形する際に、ボルト４２に変形の過程において衝撃のエネルギーを吸収することができる。

第１実施形態では、ボルト穴１１２をボルト穴１１１のロータの回転方向（矢印方向）側に設け、異常時に生じる衝撃のエネルギーを第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２に作用する引張応力に消費させるようにしている。
この異常時に生じる衝撃のエネルギーを、ボルト穴１１２をボルト穴１１１のロータの回転方向と逆側に設けて第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２に縮み応力を発生させ、この縮み応力に消費させるようしてもよい。

この場合も、応力縮み特性の異なる複数の部材によって、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２を構成し、縮みによるひずみ量の広範囲に渡って大きな応力を発生することができるようにする。
このように第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２に縮み応力を作用させることにより、これらの部材が塑性変形する過程において、分子ポンプ１を回転させるエネルギーが消費され衝撃を緩和することができる。

第１実施形態によれば、分子ポンプ１の内部構造を問わず、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２といった簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる。
また、第１実施形態によれば、フランジ１１に設けられた長穴１１３の長手方向の距離に依存する分子ポンプ１の回転移動距離（ストローク）の範囲内で十分に引張応力または縮み応力を作用させることが可能であれば、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２をプラスチック製の部材によって形成することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、第１実施形態と重複する箇所については、第１実施形態と同一の符号を用い詳細な説明は省略する。
図７は、第２実施形態の分子ポンプ１の真空容器２への結合形態の一例を示した図である。
分子ポンプ１は、第１実施形態で説明した分子ポンプ１と同様の真空ポンプである。
ケーシング３の吸気口の端部には、ケーシング３の外周側に張り出したフランジ１１’が形成されている。フランジ１１’は、真空容器２に分子ポンプ１を結合する際の結合装置として用いられる。

真空容器２は、半導体製造装置や電子顕微鏡の鏡塔などの真空装置を構成しており、排気口が設けられている。この排気口の端部には、分子ポンプ１と同様の排気口の外周側に張り出したフランジ２２が形成されている。フランジ２２は、真空容器２に分子ポンプ１を結合する際の結合装置として用いられる。
分子ポンプ１は、フランジ１１’およびフランジ２２を介して真空容器２の排気口に、ボルトなどの締結手段によって結合されている。

図８は、図７のＢ部に示す結合部の構造を示した斜視図および正面図を示した図である。
なお、第２実施形態における分子ポンプには、図７のＢ部に示す結合部が複数ヶ所設けられている。
分子ポンプ１は、終端にヘッド部を有するボルト４１でフランジ２２をフランジ１１’に締結することにより真空容器２へ結合されている。このボルト４１は、真空容器２とケーシング３とを締結するための締結手段である。
フランジ１１’には、ボルト４１をねじ留め固定するためのボルト穴１１４が設けられている。ボルト穴１１４の内周には、ボルト４１を固定するためのねじ溝が設けられている。このボルト穴１１４にボルト４１を固定することによって、フランジ２２と分子ポンプ１のケーシング３とが接合される。

ボルト４１の座面とフランジ２２との間には、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２が挟装されている。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、ボルト４１の座面側に第２緩衝部材３２が配置され、フランジ２２側に第１緩衝部材３１が配置されるように重ねてられている。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、その一端が、ボルト４１によって分子ポンプ１のフランジ１１’に対して固定され、他端が終端にヘッド部を有するボルト４２によって真空容器２のフランジ２２に固定されている。
ボルト４２は、第１緩衝部材および第２緩衝部材を、結合部であるフランジ２２に固定するための固定手段を構成する。
なお、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、第１実施形態で説明した部材と同一構成を有するため詳細な説明を省略する。

フランジ２２には、ボルト４１が貫入されるボルト穴２２１が形成されている。このボルト穴２２１は、真空容器２とケーシング３とを締結するための締結手段であるボルト４１が挿通される締結穴である。
さらに、このボルト穴２２１からロータの回転方向に延びる長穴２２３が形成されている。
なお、フランジ２２に形成される長穴は、少なくともこのボルト穴２２１からロータの回転方向に延びる長穴２２３を含む穴であれば、ボルト穴２２１から双方向に延びる長穴によって構成されるようにしてもよい。
また、フランジ２２には、ボルト４２をねじ留め固定するためのボルト穴２２２が設けられている。ボルト穴２２２は、ボルト穴２２１のロータの回転方向の逆側に設けられている。
なお、ボルト穴１１４の内周には、ボルト４１を固定するためのねじ溝が設けられている。
ボルト穴２２１、長穴３１１のロータ部回転方向側の端部およびボルト穴３２３は全て、ボルト穴１１４の同心軸上に設けられている。
また、長穴３１１のロータ部回転方向の逆側の端部およびボルト穴３２４も、ボルト穴２２２の同心軸上に設けられている。

第２実施形態では、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、ボルト４１の座面とフランジ２２とに挟装されるように配置されている。これらの第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、フランジ２２とフランジ１１’との間に配置するようにしてもよい。この場合には、真空容器２とケーシング３の接合部における気密性が確保できるような構造を用いる。
第２実施形態では、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は、ボルト４２によってフランジ２２に固定されている。しかし、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２をフランジ２２に固定する固定手段として、例えば、かしめ処理や溶接処理を用いるようにしてもよい。

第２実施形態では、ボルト４１をボルト穴１１４にねじ留め固定することによって真空容器２にフランジ１１’を固定するようにしている。しかし、例えば、フランジ１１’にスルーホールを設け、このスルーホールとボルト穴２２１を介してボルトおよびナットを用いて固定するようにしてもよい。
この場合には、ボルトおよびナットが真空容器２とケーシング３を締結する締結手段として機能する。
また、ヘッド部を有するボルトを用いずに、双方向からナットを用いて真空容器２とケーシング３を締結するようにしてもよい。なお、この場合には、第２緩衝部材と接触するナットを、緩衝部材と接触するヘッドとする。

次に、このように構成された結合部における緩衝機能について説明する。
図９は、異常時の衝撃が発生する前の、図７のＢ部に示す結合部をＹ−Ｙ’部で切断した断面図を示した図である。
また、図１０は、異常時の衝撃が発生した後の、図７のＢ部に示す結合部をＹ−Ｙ’部で切断した断面図を示した図である。
分子ポンプ１の全体をロータ部の回転方向に回転させようとするトルクによる衝撃が発生すると、この衝撃によりフランジ１１’がフランジ２２に対してロータ部の回転方向に滑って回転する。
つまり、フランジ２２は、フランジ１１’に対して相対的に逆方向に移動する。従って、長穴２２３は、フランジ２２に対してフランジ１１’が相対的に移動する方向にボルト穴２２１から延びるように形成されている。

ボルト４１はフランジ１１’のボルト穴１１４で固定されているため、フランジ１１’の移動に伴って長穴２２３に沿ってロータ部の回転方向に移動する。
フランジ２２はフランジ１１’に対して相対的に逆方向に移動する。従って、ボルト４２は、フランジ１１’に対して相対的に見た場合、長穴３１１のロータ部回転方向の逆側の端部、およびボルト穴３２４に対して、ロータ部回転方向の逆方向に力を加えながら移動する。また、ボルト４１によって、ボルト４２が加えた力と同等の力が、長穴３１１のロータ部回転方向側の端部、およびボルト穴３２３に対して、ロータ部回転方向に加えられる。

そして、長穴３１１の両側に形成された長手方向に延びる緩衝部および緩衝部３２５は、ボルト４１およびボルト４２により加えられる力によって、引っ張られるため引張応力が作用（発生）する。引張応力が作用すると、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２は塑性変形する。
第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２が塑性変形する過程において、分子ポンプ１を回転させるエネルギーが第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２で消費され、これにより衝撃が緩和される。
また、第１実施形態で示した第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２においても、第１実施形態の図６（ａ）〜（ｃ）に示した変形例を適応することができる。

第１実施形態と同様に変形例（ａ）〜（ｃ）を、異常時に発生する衝撃の緩衝部材として単体で用いてもよい。
ただし、第１緩衝部材３１のような長穴の両端部にボルトを貫入するような構成の緩衝部材は、ボルトの座面と長穴が重なり合ってしまうために、衝撃を受けてフランジ２２がフランジ１１’に対して相対的に移動する際に、各ボルトの頭部が長穴の中心方向に傾きやすい構造となっている。
従って、第１緩衝部材３１のようにボルト４１およびボルト４２の座面を安定させるための座金部が設けられていない緩衝部材を単体で用いる場合には、緩衝部材とは別にボルト４１およびボルト４２に対して個々に専用の座金を設けることが好ましい。
なお、第１緩衝部材３１のような緩衝部材を複数重ねて用いる場合にも、緩衝部材とは別にボルト４１およびボルト４２に対して個々に専用の座金を設けることが好ましい。

また、第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２および変形例（ａ）〜（ｃ）から複数を選択して組み合わせたり、同じ緩衝部材を複数重ねたりして用いるようにしてもよい。
なお、このような場合には、ボルト４１およびボルト４２の座面を安定させるための座金部が設けられている緩衝部材が外側になるように、つまりボルトの頭部と接触する位置になるように配置することが好ましい。

第２実施形態においても、少なくともボルト４１の強度が、ボルト４２の強度よりも大きくなるように構成されている。
これにより、衝撃を受けた際にボルト４１がボルト４２よりも早く破断してしまうことを抑制することができる。従って、取り付けられている全てのボルト４１が破断してしまうまでに、十分に衝撃のエネルギーを吸収することができる。
また、ボルト４２が破損、つまり変形する際に、ボルト４２に変形の過程において衝撃のエネルギーを吸収することができる。

第２実施形態においても、異常時に生じる衝撃のエネルギーを、ボルト穴２２２をボルト穴１１４のロータの回転方向側に設けて第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２に縮み応力を発生させ、この縮み応力に消費させるようしてもよい。
この場合も、応力縮み特性の異なる複数の部材によって、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２を構成し、縮みによるひずみ量の広範囲に渡って大きな応力を発生することができるようにする。
このように第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２に縮み応力を作用させることにより、これらの部材が塑性変形する過程において、分子ポンプ１を回転させるエネルギーが消費され衝撃を緩和することができる。

第２実施形態によれば、分子ポンプ１の内部構造を問わず、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２といった簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる。
また、第２実施形態によれば、フランジ２２に設けられた長穴２２３の長手方向の距離に依存する分子ポンプ１の回転移動距離（ストローク）の範囲内で十分に引張応力または縮み応力を作用させることが可能であれば、第１緩衝部材３１および第２緩衝部材３２をプラスチック製の部材によって形成することができる。

また、第２実施形態で示した真空容器２とケーシング３との結合部の構成と併用して、第１実施形態で示した真空容器２とケーシング３との結合部の構成を用いるようにしてもよい。
この場合には、第２実施形態で示したフランジ２２が第１実施形態で示した真空容器２に対応するように第１実施形態の結合部を構成する。
また、ボルト４１はヘッド部を有するボルトを用いずに、双方向からナットを用いて真空容器２とケーシング３を締結する締結部材によって構成し、第１実施形態に示す結合部および第２実施形態に示す結合部においてボルト４１を共用するように構成する。

第２実施形態に示すように、吸気口と排気口を備えたケーシングと、前記ケーシング内に回転自在に軸支され、前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する気体移送機構が設けられたロータと、前記ロータを回転させるモータと、を備えた気体の排気処理を行う分子ポンプが結合された真空容器において、前記分子ポンプとの接合部に形成され、その厚さ方向に貫通した締結穴と、前記締結穴から前記ロータの回転方向に延びた長穴と、が形成されたフランジ状の結合部と、緩衝部と、前記緩衝部の一端に設けられ、締結穴を有する第１固定部と、前記緩衝部の他端に形成された第２固定部と、を有する緩衝部材と、前記結合部の前記締結穴と、前記緩衝部材の締結穴とを介して、前記緩衝部材および前記ケーシングを締結する締結手段と、前記緩衝部材の前記第２固定部を前記結合部に固定する固定手段と、を備えることによって簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる真空容器を提供することができる。

図１１は、第１実施形態および第２実施形態で示した真空容器２と分子ポンプ１とを結合する結合装置の変形例の説明図である。
図１１に示す、図１に示した分子ポンプ１のケーシング３をロータの軸線方向に２分割したケーシング８およびケーシング９の結合部（Ｃ部）、ケーシング９またはケーシング３と、分子ポンプ１の筐体を構成するベース１０との結合部（Ｂ部）においても第１実施形態および第２実施形態で示した締結方法と同様の構成を用いることができる。

図１１のＣ部に示す結合部について説明する。
ケーシング８には、ベース１０側の端部に外周側に張り出したフランジ８１が形成されている。また、ケーシング９には、吸気口側の端部に外周側に張り出したフランジ９１が形成されている。
ケーシング８とケーシング９の内部には、モータの働きによって高速回転されるロータ部が設けられている。
つまり、ケーシング８およびケーシング９は、回転体が内包された容器を構成している。
ここでは、上述したような異常時の衝撃が発生した場合に、ケーシング８の方がケーシング９よりも大きな衝撃を受けると仮定する。これは、例えば、ロータ部の吸気口側がターボ分子ポンプによって形成され、ベース１０側にねじ溝ポンプが形成されるような場合が想定されている。

第１実施形態で示した結合方法の構成を応用する場合には、ケーシング８を第１実施形態で示したケーシング３と見なし、ケーシング９を第１実施形態で示した真空容器２と見なす。つまり、フランジ８１が、第１実施形態で示したフランジ１１に相当し、フランジ９１が真空容器２に相当する。
従って、フランジ８１とフランジ９１を第１実施形態で示したフランジ１１と真空容器２に対応させ、その状態において第１実施形態で示した構成と同様の構成を用いる。

詳しくは、フランジ８１にボルト穴１１２、ボルト穴１１１および長穴１１３と対応する穴を、フランジ９１にボルト穴２１に対応する穴をそれぞれロータ部の回転方向と対応する位置に設ける。そして、第１実施形態と同様に第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２、ボルト４１およびボルト４２を配置する。
このようにしてケーシング８およびケーシング９の結合部（Ｃ部）を構成することにより、簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる。

第２実施形態で示した結合方法の構成を応用する場合には、ケーシング８を第２実施形態で示したケーシング３と見なし、ケーシング９を第２実施形態で示した真空容器２と見なす。つまり、フランジ８１が、第２実施形態で示したフランジ１１’に相当し、フランジ９１がフランジ２２に相当する。
従って、フランジ８１とフランジ９１を第２実施形態で示したフランジ１１’とフランジ２２に対応させ、その状態において第２実施形態で示した構成と同様の構成を用いる。

詳しくは、フランジ８１にボルト穴１１４と対応する穴を、フランジ９１にボルト穴２２１、ボルト穴２２１および長穴２２３に対応する穴をそれぞれロータ部の回転方向と対応する位置に設ける。そして、第２実施形態と同様に第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２、ボルト４１およびボルト４２を配置する。
このようにしてケーシング８およびケーシング９の結合部（Ｃ部）を構成することにより、簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる。

図１１のＤ部に示す結合部について説明する。
ケーシング９には、ベース１０側の端部に外周側に張り出したフランジ９２が形成されている。また、ベース１０には、吸気口側の端部に外周側に張り出したフランジ１０１が形成されている。
ケーシング８とケーシング９の内部には、モータの働きによって高速回転されるロータ部が設けられている。
なお、ケーシング９は、分割されたケーシングであっても、図１に示すような分割されていないケーシング３であってもよい。

第１実施形態で示した結合方法の構成を応用する場合には、ケーシング８を第１実施形態で示したケーシング３と見なし、ベース１０を第１実施形態で示した真空容器２と見なす。つまり、フランジ９２が、第１実施形態で示したフランジ１１に相当し、フランジ１０１が真空容器２に相当する。
従って、フランジ９２とフランジ１０１を第１実施形態で示したフランジ１１と真空容器２に対応させ、その状態において第１実施形態で示した構成と同様の構成を用いる。

詳しくは、フランジ９２にボルト穴１１２、ボルト穴１１１および長穴１１３と対応する穴を、フランジ１０１にボルト穴２１に対応する穴をそれぞれロータ部の回転方向と対応する位置に設ける。そして、第１実施形態と同様に第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２、ボルト４１およびボルト４２を配置する。
なお、ベース１０にフランジ１０１を設けずに、直接ベース１０にフランジ９２を結合するようにしてもよい。
このようにしてケーシング８およびベース１０の結合部（Ｃ部）を構成することにより、簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる。

第２実施形態で示した結合方法の構成を応用する場合には、ケーシング９を第２実施形態で示したケーシング３と見なし、ベース１０を第２実施形態で示した真空容器２と見なす。つまり、フランジ９２が、第２実施形態で示したフランジ１１’に相当し、フランジ１０１がフランジ２２に相当する。
従って、フランジ９２とフランジ１０１を第２実施形態で示したフランジ１１’とフランジ２２に対応させ、その状態において第２実施形態で示した構成と同様の構成を用いる。

詳しくは、フランジ９２にボルト穴１１４と対応する穴を、フランジ９１にボルト穴２２１、ボルト穴２２１および長穴２２３に対応する穴をそれぞれロータ部の回転方向と対応する位置に設ける。そして、第２実施形態と同様に第１緩衝部材３１、第２緩衝部材３２、ボルト４１およびボルト４２を配置する。
このようにしてケーシング９およびベース１０の結合部（Ｄ部）を構成することにより、簡単かつ安価な構造を用いることにより効果的に破壊トルクの衝撃を消費することができる。

第１実施形態および第２実施形態に示した結合構成は、真空容器２とケーシング３との結合部、分割されたケーシング８とケーシング９との結合部、およびケーシング３またはケーシング９とベース１０との結合部において用いることができる。
第１実施形態および第２実施形態に示した結合構成は、これらの結合部のいずれかの部に対して単独で用いるようにしても、これらの結合部の全てに対して用いるようにしてもよい。
また、これらの結合部から複数選択し、選択した結合部に対して用いるようにしてもよい。例えば、真空容器２とケーシング３との結合部とケーシング３とベース１０との結合部に用いたり、真空容器２とケーシング３との結合部とケーシング８とケーシング９との結合部に用いたり、また、ケーシング８とケーシング９との結合部とケーシング３とベース１０との結合部に用いたり等、適用部の組合せを変えることができる。

第１実施形態の分子ポンプの真空容器への結合形態の一例を示した図である。 図１のＡ部に示す結合部の構造を示した斜視図および正面図を示した図である。 第１緩衝部材、第２緩衝部材、および第１緩衝部材と第２緩衝部材の合成体の応力ひずみ特性を示したグラフである。 異常時の衝撃が発生する前の、図１のＡ部に示す結合部をＸ−Ｘ’部で切断した断面を示した図である。 異常時の衝撃が発生した後の、図１のＡ部に示す結合部をＸ−Ｘ’部で切断した断面を示した図である。 第１緩衝部材および第２緩衝部材の形状の変形例を示した図である。 第２実施形態の分子ポンプの真空容器への結合形態の一例を示した図である。 図７のＢ部に示す結合部の構造を示した斜視図および正面図を示した図である。 異常時の衝撃が発生する前の、図７のＢ部に示す結合部をＹ−Ｙ’部で切断した断面を示した図である。 異常時の衝撃が発生した後の、図７のＢ部に示す結合部をＹ−Ｙ’部で切断した断面を示した図である。 第１実施形態および第２実施形態で示した真空容器と分子ポンプとを結合する結合装置の変形例の説明図である。

符号の説明

１ 分子ポンプ
２ 真空容器
１１ フランジ
１２ 排気口
３１ 第１緩衝部材
３２ 第２緩衝部材
４１、４２ ボルト

Claims (7)

1. 真空容器に取り付けられ、前記真空容器内の気体の排気処理を行う分子ポンプであって、
   吸気口と排気口を備えたケーシングと、
   前記ケーシング内に回転自在に軸支され、前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する気体移送機構が設けられたロータと、
   前記ロータを回転させるモータと、
   前記ケーシングの端部に形成され、その厚さ方向に貫通した締結穴と、前記締結穴から前記ロータの回転方向と逆方向に延びた長穴と、が形成されたフランジ状の取付部と、
   緩衝部と、前記緩衝部の一端に設けられ、締結穴を有する第１固定部と、前記緩衝部の他端に形成された第２固定部と、を有し、全ての前記取付部の締結穴に締結され、且つ、前記取付部の点対称の位置に設けられた緩衝部材と、
   前記取付部の締結穴と、前記緩衝部材の締結穴とを介して、前記緩衝部材および前記真空容器を締結する締結手段と、
   前記緩衝部材の前記第２固定部を前記取付部に固定する固定手段と、
   を備えたことを特徴とする分子ポンプ。
2. 前記緩衝部材は、応力ひずみ特性の異なる複数の部材により構成されていることを特徴とする請求項１記載の分子ポンプ。
3. 前記締結手段は、前記固定手段よりも高い強度を有することを特徴とする請求項１または請求項２記載の分子ポンプ。
4. 前記固定手段は、前記締結手段に対して前記長穴が形成されている側の逆側に配置されていることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３記載の分子ポンプ。
5. 前記締結手段および前記固定手段のうちの少なくとも一方が、終端にヘッド部を有するボルトによって構成され、
   前記ボルトのヘッド部と接触する前記緩衝部材の固定部は、前記ボルトのヘッド部とその全周に渡って接触していることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載の分子ポンプ。
6. 前記緩衝部材は、前記取付部の、前記真空容器の下面側開口部が締結される面と反対側の面に備えられていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５記載の分子ポンプ。
7. 回転体が内包された第１容器と、前記第１容器に取り付けられた第２容器とを結合する結合装置であって、
   前記第１容器の結合部に形成され、その厚さ方向に貫通した締結穴と、前記回転体の回転方向と逆方向に、前記締結穴から延びた長穴と、が形成されたフランジと、
   緩衝部と、前記緩衝部の一端に設けられ、締結穴を有する第１固定部と、前記緩衝部の他端に形成された第２固定部と、を有し、全ての前記フランジの締結穴に締結され、且つ、前記フランジの点対称の位置に設けられた緩衝部材と、
   前記フランジの締結穴と、前記緩衝部材の締結穴とを介して、前記第１容器と前記第２容器とを締結する締結手段と、
   前記緩衝部材の前記第２固定部を前記フランジに固定する固定手段と、
   を備えたことを特徴とする結合装置。

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