CN117588425A

CN117588425A - 真空泵

Info

Publication number: CN117588425A
Application number: CN202311678118.5A
Authority: CN
Inventors: 久野智司
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2017-04-03
Filing date: 2018-03-12
Publication date: 2024-02-23
Also published as: JP2018178733A; CN108691787A; JP7098882B2; US20180283386A1; US10837449B2

Abstract

本发明涉及一种真空泵，可减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。本发明的构造是在从涡轮排气部(TP)导入气体的螺杆槽排气部(SP)的导入路径中，通过带六角孔的螺栓(40)将螺杆定子(22)固定于基座(20)的上表面(20c)，所述带六角孔的螺栓(40)是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。本发明的真空泵能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。

Description

真空泵

本发明是2018年03月12日所提出的申请号为201810201907.2、发明名称为《真空泵》的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

以往，已知有如下真空泵，其包括：涡轮排气部，具有转子(rotor)叶片与定子(stator)叶片；以及螺杆槽排气部，具有导入来自涡轮排气部的气体的螺杆定子。

螺杆定子利用固定用的带头螺栓而安装于基座(base)。在从涡轮排气部导入气体的螺杆槽排气部的上部即螺杆定子的上表面，带头螺栓的头部从所述螺杆定子的上表面突出(例如参照专利文献1的图1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2015-31151号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在从涡轮排气部导入气体的螺杆槽排气部的导入口，带头螺栓的头部从螺杆定子的上表面突出，因此，生成物会堆积于带头螺栓的头部的与泵旋转方向相向的侧面。即，从螺杆定子的上表面突出的带头螺栓的头部会阻碍气体流动。

解决问题的技术手段

本发明的优选的第一方式的真空泵包括：基座；转子轴(rotor shaft)，可旋转地设置于所述基座；转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，所述带六角孔的螺栓是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。

另外，本发明的优选的第二方式的真空泵包括：基座；转子轴，可旋转地设置于所述基座；转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，在所述定子的上表面中设置有沉孔，所述带六角孔的螺栓的头部的至少一部分配置在所述沉孔内。

在更优选的方式中，第二方式中的所述带六角孔的螺栓的头部全部配置在所述沉孔内。

在更优选的方式中，所述各方式中的所述带六角孔的螺栓的头部中所设置的六角孔的深度符合使用国或国际组织的规定。

在更优选的方式中，所述各方式中的所述定子的上表面包括设为向所述转子轴下降的梯度的斜面的区域，配置所述带六角孔的螺栓的所述定子的上表面为平坦面。

发明的效果

根据本发明，能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。

附图说明

图1是将涡轮分子泵作为例子来表示本发明的真空泵的第一实施方式的剖面图。

图2是图1的虚线II所示的区域的放大图。

图3是图2的螺杆定子固定部区域的放大图。

图4是从涡轮排气部侧观察得到的螺杆定子的一部分的平面图。

图5是表示第一实施方式的变形例1的图。

图6是表示第一实施方式的变形例2的图。

图7(A)～图7(B)是表示第一实施方式的变形例3的图。

图8是表示本发明的第二实施方式的图。

图9是表示本发明的第三实施方式的图。

图10是表示本发明的第四实施方式的图。

【主要元件符号说明】

1：涡轮分子泵(真空泵) 10：转子

11：转子轴 12：转子叶片

13：转子圆筒部 20：基座

20a：主体部 20b：凸缘部

20c、22d：上表面 20d：母螺纹部

21：固定叶片 22：螺杆定子

22a：圆筒部 22b：凸缘

22c：外周侧部 22d1：内周侧内侧倾斜面

22d2：内周侧外侧倾斜面 22d3：平坦面

22e：沉孔 22f：贯穿孔

22g：螺杆槽 23：泵壳

26：排气管 29：间隔件

30：外壳 32：径向磁轴承

33：轴向磁轴承 34：马达

35a、35b：机械轴承 40：固定用螺栓(带六角孔的螺栓)

41：头部 42：六角孔

GS：流路(导入路径) II：虚线

R：曲线 SP：螺杆槽排气部

TP：涡轮排气部

具体实施方式

-第一实施方式-

以下，参照图1～图4对本发明的第一实施方式进行说明。图1是将涡轮分子泵作为例子来表示本发明的真空泵的第一实施方式的剖面图。图1所示的涡轮分子泵是磁悬浮式的涡轮分子泵，但本发明并不限定于磁悬浮式的涡轮分子泵。

涡轮分子泵1包括转子10，此转子10形成有多段的转子叶片12及转子圆筒部13。在泵壳(pump casing)23的内侧，对应于所述多段的转子叶片12而层叠地配置有多段的固定叶片21。沿着转子轴方向层叠的多段的固定叶片21分别隔着间隔件(spacer)29而配置在基座20上。各转子叶片12包括多个涡轮叶片。各固定叶片21由均分状的一对固定叶片要素构成。多个转子叶片12及固定叶片21构成涡轮排气部TP。

在转子圆筒部13的外周侧，隔开微小间隙而配置有圆筒形状的螺杆定子22。螺杆定子22的凸缘(flange)22b通过固定用螺栓40(参照图2等)而固定于基座20。将螺杆定子22固定于基座20的构造将后述。在转子圆筒部13的外周面或螺杆定子22的内周面中的任一个面形成有螺杆槽22g，由转子圆筒部13与螺杆定子22构成螺杆槽排气部SP。在图1所示的例子中，在螺杆定子22上形成有螺杆槽22g。涡轮排气部TP所排出的气体通过螺杆槽排气部SP而进一步被压缩，最终由与基座20的排气管26连接的后泵(back pump)排出。

转子10固定于转子轴11，此转子轴11受到径向磁轴承32及轴向磁轴承33支撑，并通过马达(motor)34而受到旋转驱动。在径向磁轴承32、轴向磁轴承33不工作时，转子轴11受到机械轴承(mechanical bearing)35a、机械轴承35b支撑。径向磁轴承32、轴向磁轴承33、马达34及机械轴承35a、35b收纳在固定于基座20的外壳(housing)30中。

图2是图1的虚线II所示的区域的放大图，图3是图2的螺杆定子固定部区域的放大图，图4是从涡轮排气部侧观察得的螺杆定子的一部分的平面图。

图2所图示的标记有箭头的曲线R描绘了所排出的气体的流动。涡轮排气部TP所排出的气体进入至形成在涡轮排气部TP与螺杆槽排气部SP之间的流路GS，并进一步从所述流路GS流入至螺杆槽22g。即，流路GS是将从涡轮排气部TP排出的气体导入至螺杆槽22g的螺杆槽排气部SP的导入路径。

螺杆定子22包括圆筒部22a、与设置于所述圆筒部22a的上部侧即涡轮排气部TP侧的凸缘22b。在凸缘22b的外周缘部，从所述凸缘22b向涡轮排气部TP侧突出地形成有外周侧部22c。圆筒部22a、凸缘22b、外周侧部22c通过同一材料而一体成型。

基座20包括圆筒状的主体部20a、与设置于所述主体部20a的上部侧即涡轮排气部TP侧的凸缘部20b。主体部20a与凸缘部20b通过同一材料而一体成型。凸缘部20b的外周侧设为厚壁部，泵壳23固定于所述厚壁部的上表面。泵壳23与基座20的凸缘部20b隔着密封部件而被固定，与外部隔绝。在基座20的凸缘部20b的厚壁部的内周侧，凹陷地设置有用以设置螺杆定子22的设置部。所述设置部的上表面20c设为平坦面。螺杆定子22通过固定用螺栓40，将凸缘22b的下表面固定在设置部的上表面20c上，所述设置部设置于基座20的凸缘部20b。

如图3及图4所图示，在螺杆定子22的凸缘22b的上表面22d上，形成有内周侧内侧倾斜面22d1、内周侧外侧倾斜面22d2及配置在内周侧内侧倾斜面22d1与内周侧外侧倾斜面22d2之间的平坦面22d3。内周侧内侧倾斜面22d1及内周侧外侧倾斜面22d2形成为向转子轴11侧下降的梯度。梯度的角度可以各不相同，也可以相同。平坦面22d3在与转子轴11正交的向即大致水平的方向上形成为环状。再者，内周侧内侧倾斜面22d1及内周侧外侧倾斜面22d2不限于呈直线状倾斜，也可以形成为弯曲状。

以下表示在螺杆定子22的凸缘22b上形成内周侧内侧倾斜面22d1及内周侧外侧倾斜面22d2的理由。

认为流路GS内的压力会成为分子流、粘性流(viscous flow)、分子流与粘性流中间的任一者，但在分子流区域中，与气体分子彼此的碰撞相比，气体分子与壁面之间的碰撞占主导，与壁面碰撞后的气体分子的分散方向的分布遵循余弦定律。从涡轮排气部TP流入至流路GS的气体分子的一部分直接射入至螺杆槽22g，但剩余的大部分射入至包围流路GS的部件的外表面，并基于余弦定律而分散。若螺杆定子22的上表面22d水平，则如下的概率升高，所述概率是指流入至流路GS内的气体分子射入至螺杆定子22的上表面22d或最下段的转子叶片12，沿着与转子轴11的轴方向平行的方向分散，并在流路GS中倒流。因此，将流入至流路GS的气体分子导入至螺杆槽22g会耗费时间。相对于此，在本第一实施方式中，在螺杆定子22的凸缘22b的上表面22d上，形成有向转子轴11侧下降的梯度的内周侧内侧倾斜面22d1及内周侧外侧倾斜面22d2。因此，射入至螺杆定子22的凸缘22b的上表面22d的气体分子向转子轴侧分散的概率升高。由此，流入至流路GS的气体分子会被迅速导入至螺杆槽22g。在粘性流的情况下，气体分子彼此的碰撞占主导，但通过设置倾斜，能够无延迟地迅速将气体分子导入至螺杆槽22g。因此，能够抑制流路GS内的生成物的堆积。

在平坦面22d3中，沿着圆周方向隔开地形成有多个沉孔22e。在沉孔22e的底面，形成有在厚度方向上贯穿凸缘22b的贯穿孔22f。贯穿孔22f的轴心与沉孔22e的轴心同轴。在基座20的主体部20a中形成有母螺纹部20d。同轴地配置螺杆定子22与转子圆筒部13，并严格地设定螺杆槽排气部SP的通路尺寸。

固定用螺栓40是头部41形成有六角孔42的带六角孔的螺栓。带六角孔的螺栓是符合JIS B 1176的规定的螺栓(规格产品)、或头部41的高度(厚度)比规格产品更低(薄)的螺栓。带六角孔的螺栓的头部41的高度与沉孔22e的深度大致相同。再者，在使用头部41的高度比JIS B 1176的规定更低的螺栓作为固定用螺栓40的情况下，一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JIS B 1176的规定。

为了将螺杆定子22固定于基座20，将螺杆定子22的贯穿孔22f的位置对准基座20的母螺纹部20d，并将固定用螺栓40紧固于基座20的母螺纹部20d。由此，成为如下状态，即，固定用螺栓40的头部41进入至螺杆定子22的沉孔22e内而对沉孔22e的底面进行加压，螺杆定子22固定于基座20。螺杆定子22的凸缘22b中所形成的沉孔22e的底面与凸缘22b的平坦面22d3平行，沉孔22e的深度与固定用螺栓40的头部41的高度大致相同。因此，在固定用螺栓40的头部41对螺杆定子22的沉孔22e的底面进行加压的状态下，固定用螺栓40的头部41的上表面成为与螺杆定子22的平坦面22d3的上表面大致相同的面。

从涡轮排气部TP排出的气体在进入至流路GS，并进一步从所述流路GS流入至螺杆槽22g时，在固定用螺栓40的头部41上方通过。此时，在固定用螺栓40的头部41从螺杆定子22的上表面22d突出的现有构造中，固定用螺栓40的头部41会妨碍从涡轮排气部TP排出并流经流路GS的气体的流动。相对于此，在第一实施方式中，固定用螺栓40的头部41呈不从螺杆定子22的上表面22d突出的构造。因此，固定用螺栓40的头部41不会妨碍流经流路GS的气体的流动。

另外，在固定用螺栓40的头部41从螺杆定子22的上表面22d突出的现有构造中，生成物会堆积于固定用螺栓40的头部41的外周侧面，特别是固定用螺栓40的头部41的与泵旋转方向相向的侧面。所述生成物的堆积会进一步妨碍从涡轮排气部TP流入并流经流路GS的气体的流动。相对于此，在第一实施方式中，固定用螺栓40的头部41呈不从螺杆定子22的上表面22d突出的构造，因此，生成物也不会堆积于固定用螺栓40的头部41的外周侧面。因此，根据第一实施方式，能够提高涡轮分子泵1的排气性能。另外，因为生成物不会堆积于固定用螺栓40的头部41的外周侧面，所以无需进行去除生成物的作业，维护管理变得容易。

根据第一实施方式，产生下述效果。

(1)在从涡轮排气部TP导入气体的螺杆槽排气部SP的导入路径中，通过带六角孔的螺栓将螺杆定子22固定于基座20的上表面20c，在此构造中，在螺杆定子22的从涡轮排气部TP导入气体的上表面22d中设置沉孔22e，使带六角孔的螺栓的头部41的上表面成为与螺杆定子22的上表面22d大致相同的面。因此，螺杆定子22的上表面22d与最下段的转子叶片12之间的间隙不会因固定用螺栓40的头部41的部分而变窄，所以固定用螺栓40的头部41不会妨碍流经流路GS的气体的流动。另外，生成物也不会堆积于固定用螺栓40的头部41的外周侧面。另外，因为生成物不会堆积于固定用螺栓40的头部41的外周侧面，所以无需进行去除生成物的作业，维护管理变得容易。

(2)设为如下构造，即，即使在使用了头部41的高度比规格产品更低的固定用螺栓40作为将螺杆定子22固定于基座20的固定用螺栓40的情况下，仍使用固定用螺栓40的六角孔42的深度符合JIS B 1176的规定的带六角孔的螺栓。因此，在通过工具来对带六角孔的螺栓进行紧固时，工具与带六角孔的螺栓的六角孔42之间的接触面的面积与规格产品相同。因此，会产生如下效果，即，与工具之间的接触面不会受损，能够以充分的紧固力来对带六角孔的螺栓进行紧固。

(3)螺杆定子22的上表面22d包括向转子轴11下降的梯度的内周侧内侧倾斜面22d1及内周侧外侧倾斜面22d2。因此，射入至螺杆定子22的上表面22d的气体分子向转子轴11侧分散的概率升高，流入至流路GS的气体分子会被迅速导入至螺杆槽22g。由此，能够抑制流路GS内的生成物的堆积。

-第一实施方式的变形例1-

图5是表示第一实施方式的变形例1的图，且是相当于图3的图。

图5所图示的变形例1包括如下构造，即，配置在沉孔22e内的带六角孔的螺栓的头部41的上部从螺杆定子22的平坦面22d3突出。即，在所述构造中，带六角孔的螺栓的头部41的高度(厚度)形成得比设置于螺杆定子22的沉孔22e的深度更高(厚)。带六角孔的螺栓的头部41的高度符合或低于JIS B1176的规定。因此，带六角孔的螺栓的头部41的上部从螺杆定子22的平坦面22d3突出的高度低于规格产品的头部从螺杆定子22的平坦面22d3突出的高度。即，在变形例1所示的构造中，因为带六角孔的螺栓的头部41配置在沉孔22e内，所以带六角孔的螺栓的头部41的上表面从螺杆定子22的平坦面22d3突出的高度比未形成有沉孔22e的现有构造更小。再者，在使用头部41的高度比JIS B 1176的规定更低的螺栓作为固定用螺栓40的情况下，一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JIS B1176的规定。

变形例1的其他结构与所述第一实施方式相同，对相同部件附上相同符号并省略说明。

变形例1是带六角孔的螺栓的头部41的上部从螺杆定子22的平坦面22d3突出的构造。因此，与所述第一实施方式相比，带六角孔的螺栓的头部41与最下段的转子叶片12之间的间隙仅减小了带六角孔的螺栓的头部41从螺杆定子22的平坦面22d3突出的部分。但是，因为带六角孔的螺栓的头部41的高度与规格产品相同或低于规格产品，所以与现有构造相比，能够增大带六角孔的螺栓的头部41与最下段的转子叶片12之间的间隙。因此，会产生与第一实施方式相同的效果。

-第一实施方式的变形例2-

图6是表示第一实施方式的变形例2的图，且是相当于图3的图。

图6所图示的变形例2包括如下构造，即，未在螺杆定子22的上表面22d中设置沉孔22e，而是将带六角孔的螺栓的头部41抵接固定于螺杆定子22的上表面22d的平坦面22d3。在所述变形例2中，使用了头部41的高度(厚度)比JIS B 1176所规定的带六角孔的螺栓更低(薄)的带六角孔的螺栓。再者，只要相对于头部41的外径的头部的高度低于JIS B 1176的规定，则一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JIS B 1176的规定。

变形例2的其他结构与所述第一实施方式相同，对相同部件附上相同符号并省略说明。

变形例2在通过带六角孔的螺栓将螺杆定子22固定于基座20的上表面20c的构造中，使用了头部的高度比JIS B 1176所规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。因此，与使用符合JIS B 1176的规定的带六角孔的螺栓的现有构造相比，能够增大带六角孔的螺栓的头部41与最下段的转子叶片12之间的间隙。因此，会产生与第一实施方式相同的效果。

-第一实施方式的变形例3-

图7(A)～图7(B)是表示第一实施方式的变形例3的图，且是相当于图3的图。

在图7(A)～图7(B)所图示的变形例3中，螺杆定子22的上表面22d的整体设为向转子轴11下降的梯度的斜面，且不包括与转子轴11正交的平坦面。另外，将螺杆定子22固定于基座20的上表面20c的带六角孔的螺栓的头部41的整体配置在沉孔22e内。即，在沉孔22e的最靠转子轴侧的端部位置，即沉孔22e的深度最浅的位置，带六角孔的螺栓的头部41的高度也比沉孔22e的深度薄。带六角孔的螺栓的头部41的高度符合或低于JIS B 1176。再者，在使用头部41的高度比JIS B 1176的规定更低的螺栓作为固定用螺栓40的情况下，一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JIS B 1176的规定。

变形例3的其他结构与所述第一实施方式相同，对相同部件附上相同符号并省略说明。

变形例3在如下构造中，在螺杆定子22的从涡轮排气部TP导入气体的上表面22d中设置沉孔22e，并使带六角孔的螺栓的头部41的上表面低于螺杆定子22的上表面22d，所述构造是指在从涡轮排气部TP导入气体的螺杆槽排气部SP的导入路径中，通过带六角孔的螺栓将螺杆定子22固定于基座20的上表面20c。因此，螺杆定子22的上表面22d与最下段的转子叶片12之间的间隙不会因带六角孔的螺栓的头部41的部分而变窄。由此，变形例3也会产生与第一实施方式相同的效果。

再者，在变形例3中，将螺杆定子22的整个上表面22d设为倾斜面，无需在倾斜面的中间形成环状的平坦面，因此，螺杆定子22的生产性良好，且能够减少成本。

-第二实施方式-

图8是表示本发明的第二实施方式的图，且是相当于图3的图。

在图8所示的第二实施方式中，螺杆定子22的上表面22d设为整体沿着与转子轴11大致正交的方向配置的平坦面，不包括向转子轴11下降的梯度的斜面。另外，作为将螺杆定子22固定于基座20的固定用螺栓40的带六角孔的螺栓的头部41的下表面固定在螺杆定子22的上表面22d上。

带六角孔的螺栓使用了头部41的高度(厚度)比JIS B 1176所规定的带六角孔的螺栓更低(薄)的螺栓。再者，只要相对于头部41的外径的头部的高度低于JIS B 1176的规定，则一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JIS B 1176的规定。

第二实施方式的其他结构与所述第一实施方式相同，对相同部件附上相同符号并省略说明。

第二实施方式在通过带六角孔的螺栓将螺杆定子22固定于基座20的上表面20c的构造中，使用了头部的高度比JIS B 1176所规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。因此，与使用JIS B 1176所规定的带六角孔的螺栓的现有构造相比，能够增大带六角孔的螺栓的头部41与最下段的转子叶片12之间的间隙。因此，会产生与第一实施方式相同的效果。

再者，在第二实施方式中，因为螺杆定子22的凸缘22b的整个上表面22d为平坦面，所以与第一实施方式相比，螺杆定子22的生产性良好，且能够减少成本。

-第三实施方式-

图9是表示本发明的第三实施方式的图，且是相当于图3的图。

第三实施方式与图8所示的第二实施方式的不同点在于：在螺杆定子22中设置了沉孔22e，并将固定用螺栓40的头部41配置在沉孔22e内。第三实施方式例示为如下构造，即，使带六角孔的螺栓的头部41的高度比沉孔22e的深度更薄，将带六角孔的螺栓的头部41整体配置在沉孔22e内。因此，带六角孔的螺栓的头部41的上表面配置在比螺杆定子22的上表面22d更低的位置。

带六角孔的螺栓是符合JIS B 1176的规定的螺栓(规格产品)、或头部41的高度(厚度)比规格产品更低(薄)的螺栓。再者，在使用头部41的高度比JIS B 1176的规定更低的螺栓作为固定用螺栓40的情况下，一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JIS B 1176的规定。

第三实施方式的其他结构与所述第二实施方式相同，对相同部件附上相同符号并省略说明。

在第三实施方式中，固定用螺栓40的头部41的上表面配置在比螺杆定子22的上表面22d更低的位置，螺杆定子22的上表面22d与最下段的转子叶片12之间的间隙不会因固定用螺栓40的头部41的部分而变窄。因此，会产生与第一实施方式的效果相同的效果。

-第四实施方式-

图10是表示本发明的第四实施方式的图，且是相当于图3的图。

图10所图示的第四实施方式与第三实施方式的不同点在于如下构造，即，作为固定用螺栓40的带六角孔的螺栓的头部41的上部比螺杆定子22的上表面22d更突出。

即，在所述构造中，带六角孔的螺栓的头部41的高度(厚度)形成得比设置于螺杆定子22的沉孔22e的深度更高(厚)。带六角孔的螺栓的头部41的高度符合或低于JIS B1176的规定。因此，带六角孔的螺栓的头部41的上部从螺杆定子22的上表面22d突出的高度低于规格产品的头部从螺杆定子22的上表面22d突出的高度。

即，在第四实施方式所示的构造中，因为带六角孔的螺栓的头部41配置在沉孔22e内，所以带六角孔的螺栓的头部41的上表面从螺杆定子22的上表面22d突出的高度比未形成有沉孔22e的现有构造更小。再者，在使用头部41的高度比JIS B 1176的规定更低的螺栓作为固定用螺栓40的情况下，一部分的部位的尺寸也可以与JIS B 1176的规定不同。但是，即使在此情况下，为了确保固定用螺栓40的紧固力，较理想的是六角孔42的深度仍符合JISB 1176的规定。

第四实施方式的其他结构与所述第二实施方式、第三实施方式相同，对相同部件附上相同符号并省略说明。

第四实施方式为如下构造，即，带六角孔的螺栓的头部41的上部从螺杆定子22的上表面22d突出。因此，与所述第三实施方式相比，带六角孔的螺栓的头部41与最下段的转子叶片12之间的间隙仅减小了带六角孔的螺栓的头部41从螺杆定子22的上表面22d突出的部分。但是，因为带六角孔的螺栓的头部41的高度与规格产品相同或低于规格产品，所以与现有构造相比，能够增大带六角孔的螺栓的头部41与最下段的转子叶片12之间的间隙。因此，会产生与第一实施方式相同的效果。

再者，在所述各实施方式中，说明了固定用螺栓40除了头部41的高度以外，符合JIS(日本工业规格)。但是，固定用螺栓40也可以除了头部41的高度以外，符合ISO规格(国际标准化组织)、ANISI规格(美国)、GB规格(中国)、KS规格(韩国)、DIN规格(德国)等使用国(包含生产国、销售国)或国际组织的规格。

所述各实施例也可以分别单独地使用，或组合地使用。原因在于：能够单独或相乘地产生各个实施例的效果。另外，只要不影响本发明的特征，则本发明完全不限定于所述实施方式。

Claims

1.一种真空泵，其特征在于包括：

基座；

转子轴，可旋转地设置于所述基座；

转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；

固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；

定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及

带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，

在所述定子的上表面中设置有沉孔，

经由所述带六角孔的螺栓的头部的至少一部分配置在所述沉孔内，使所述带六角孔的螺栓的头部的上表面成为与所述定子的上表面大致相同的面，防止所述带六角孔的螺栓的头部妨碍气体的流动，且相较于所述六角孔的螺栓的头部没有配置在所述沉孔内，能够抑制生成物的堆积，

所述定子的上表面上，形成有内周侧内侧倾斜面、内周侧外侧倾斜面及配置在所述内周侧内侧倾斜面与所述内周侧外侧倾斜面之间的平坦面，所述内周侧内侧倾斜面及所述内周侧外侧倾斜面形成为向所述转子轴侧下降的梯度，所述平坦面在与所述转子轴正交的向即大致水平的方向上形成为环状，配置所述带六角孔的螺栓的所述定子的上表面为所述平坦面，

所述内周侧内侧倾斜面的外周端与所述平坦面的内周端在旋转轴线方向上一致，以及

所述内周外倾斜面的内周端与所述平坦面的外周端在旋转轴线方向上一致。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述带六角孔的螺栓的头部全部配置在所述沉孔内。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述带六角孔的螺栓的头部中所设置的六角孔的深度符合使用国或国际组织的规定。