JP6414401B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
さらに好ましい実施形態では、前記流路に面する前記ステータの壁面が前記傾斜面とされる。
さらに好ましい実施形態では、前記ステータが固定されるベースを備え、前記流路に面する前記ベースの壁面が前記傾斜面とされる。
本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、複数の固定翼段および回転翼段を有するターボポンプ部と、円筒ロータおよびステータを有し、前記円筒ロータおよび前記ステータのいずれか一方にネジ溝が形成されたネジ溝ポンプ部と、前記ターボポンプ部から排出された気体分子を前記ネジ溝ポンプ部へと導く流路と、前記ステータが固定されるベースと、前記ターボポンプ部の最下流側に配置された回転翼の先端に対向する面を有し、前記ベースに固定されるリング状部材と、を備え、前記流路には、前記円筒ロータ方向に下り傾斜となっている傾斜面が設けられ、前記流路に面する前記ステータの壁面および前記流路に面する前記リング状部材の壁面が前記傾斜面とされる。
図5は、本実施の形態の第1の変形例を示す図である。図2に示した例では、ベース20の上端面およびステータ22の上端面を、図5の二点鎖線201aで示すような傾斜角が一定な傾斜面(円錐面と同様の形状)とした。一方、図5に示す変形例では、流路200に面する壁面の内、ベース20の上端面201およびステータ22の上端面221を、傾斜面201aに対して図示下側に窪むような凹面としている。どちらの凹面(上端面201,221)も、ロータ円筒部13に向かって下り傾斜となっており、上端面201,221の法線nはロータ軸側に傾いている。そのため、図2の場合と同様の効果を得ることができる。
図6は、本実施の形態の第2の変形例を示す図である。図5に示す変形例では、流路200に面する壁面の内、ベース20の上端面201およびステータ22の上端面221を、傾斜角が一定な傾斜面201aに対して図示上側に突出するような凸面としている。どちらの凸面(上端面201,221)も、ロータ円筒部13に向かって下り傾斜となっており、上端面201,221の法線nはロータ軸側に傾いている。そのため、図2の場合と同様の効果を得ることができる。
図7は、本実施の形態の第3の変形例を示す図である。第3の変形例では、ベース20上にリング状部材40が配置されており、そのリング状部材40の流路200に面する面401を、ロータ円筒部13に向かって下り傾斜となっている傾斜面としている。また、ステータ22の上端面221は、図2の場合と同様の傾斜面となっている。このように、
ベース20上にステータ22の他にリング状部材40のような部材を配置する場合には、その部材の流路200に面する面の形状を、ロータ円筒部13に向かって下り傾斜となっている傾斜面とすることで、図2の構成の場合と同様の効果を奏することができる。
Claims (1)
- 複数の固定翼段および回転翼段を有するターボポンプ部と、
円筒ロータおよびステータを有し、前記円筒ロータおよび前記ステータのいずれか一方にネジ溝が形成されたネジ溝ポンプ部と、
前記ターボポンプ部から排出された気体分子を前記ネジ溝ポンプ部へと導く流路と、
前記ステータが固定されるベースと、
前記ターボポンプ部の最下流側に配置された回転翼の先端に対向する面を有し、前記ベースに固定されるリング状部材と、を備え、
前記流路には、前記円筒ロータ方向に下り傾斜となっている傾斜面が設けられ、
前記流路に面する前記ステータの壁面および前記流路に面する前記リング状部材の壁面が前記傾斜面とされる、ターボ分子ポンプ。
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