JPH11201083A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH11201083A JPH11201083A JP10014826A JP1482698A JPH11201083A JP H11201083 A JPH11201083 A JP H11201083A JP 10014826 A JP10014826 A JP 10014826A JP 1482698 A JP1482698 A JP 1482698A JP H11201083 A JPH11201083 A JP H11201083A
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- Japan
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- turbo
- molecular pump
- friction reducing
- pump
- stator
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/057—Bearings hydrostatic; hydrodynamic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/059—Roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターボ分子ポンプに腐食性のあるガスを流し
た場合でも、摩擦低減構造体を構成するボールベアリン
グ又はころベアリングの腐食量を極力低減できるターボ
分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 ポンプケーシング１内部にロータＲとス
テータＳにより排気部（翼排気部Ｌ1及び溝排気部Ｌ2）
が構成され、該ステータＳとポンプケーシング１の間の
少なくとも一部にボールベアリング又はころベアリング
からなる摩擦低減構造体２２が設けられているターボ分
子ポンプにおいて、ボールベアリング又はころベアリン
グからなる摩擦低減構造体２２内の圧力雰囲気が極力タ
ーボ分子ポンプの低圧側圧力になるようにガス抜き孔２
３を設けた。
た場合でも、摩擦低減構造体を構成するボールベアリン
グ又はころベアリングの腐食量を極力低減できるターボ
分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 ポンプケーシング１内部にロータＲとス
テータＳにより排気部（翼排気部Ｌ1及び溝排気部Ｌ2）
が構成され、該ステータＳとポンプケーシング１の間の
少なくとも一部にボールベアリング又はころベアリング
からなる摩擦低減構造体２２が設けられているターボ分
子ポンプにおいて、ボールベアリング又はころベアリン
グからなる摩擦低減構造体２２内の圧力雰囲気が極力タ
ーボ分子ポンプの低圧側圧力になるようにガス抜き孔２
３を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速回転するロー
タにより排気を行なうようにしたターボ分子ポンプに関
するものである。
タにより排気を行なうようにしたターボ分子ポンプに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ポンプケーシング内部にロータと
ステータにより翼排気部及び溝排気部を構成したターボ
分子ポンプがある。このような構成のターボ分子ポンプ
において、ロータの偏心等により回転異常やそれに伴う
回転翼の破損等が生じた場合に、ロータやその破片がス
テータに衝突し、ポンプケーシング側に径方向や周方向
に多大な力が加わることがある。このような異常な力に
よりポンプケーシングや固定円筒部の破損或いはこれら
の接合部の破断、或いはこれらと外部との接合配管部の
破断等を生じる可能性がある。
ステータにより翼排気部及び溝排気部を構成したターボ
分子ポンプがある。このような構成のターボ分子ポンプ
において、ロータの偏心等により回転異常やそれに伴う
回転翼の破損等が生じた場合に、ロータやその破片がス
テータに衝突し、ポンプケーシング側に径方向や周方向
に多大な力が加わることがある。このような異常な力に
よりポンプケーシングや固定円筒部の破損或いはこれら
の接合部の破断、或いはこれらと外部との接合配管部の
破断等を生じる可能性がある。
【０００３】上記のような破断は、ターボ分子ポンプが
用いられている真空処理装置全体の真空を破壊し、真空
処理装置自体や処理途中の製品への損害をもたらす他、
処理ガスの外部放出を招く事故に繋がりかねない。この
対策として、本出願人が先に出願し、現在公知となって
いないターボ分子ポンプがある（特願平９−１８７６８
１号）。このターボ分子ポンプは上記のように周方向の
多大な力をポンプケーシング側や外部接合部に極力伝達
させないようにするために、ロータからステータに周方
向に多大な力が加わった時、ステータがポンプケーシン
グ内部で滑りながら回転することによって回転エネルギ
ーを消失させるようにしたものである。この回転エネル
ギーを消失させる手段として、ステータとポンプケーシ
ングの間にボールベアリング又はころベアリングからな
る摩擦低減構造体を設け、この摩擦低減構造体の回転に
より回転エネルギーを消失させている。
用いられている真空処理装置全体の真空を破壊し、真空
処理装置自体や処理途中の製品への損害をもたらす他、
処理ガスの外部放出を招く事故に繋がりかねない。この
対策として、本出願人が先に出願し、現在公知となって
いないターボ分子ポンプがある（特願平９−１８７６８
１号）。このターボ分子ポンプは上記のように周方向の
多大な力をポンプケーシング側や外部接合部に極力伝達
させないようにするために、ロータからステータに周方
向に多大な力が加わった時、ステータがポンプケーシン
グ内部で滑りながら回転することによって回転エネルギ
ーを消失させるようにしたものである。この回転エネル
ギーを消失させる手段として、ステータとポンプケーシ
ングの間にボールベアリング又はころベアリングからな
る摩擦低減構造体を設け、この摩擦低減構造体の回転に
より回転エネルギーを消失させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにステータ
とポンプケーシングの間に摩擦低減構造体を設けたター
ボ分子ポンプにおいて、摩擦低減構造体を構成するボー
ルベアリング又はころベアリングをガス漏れのない完全
に密閉された空間内に置くと、ターボ分子ポンプが運転
されモータの発熱やポンピング作用で発生する圧縮熱や
ロータのガスとの摩擦熱等により温度が上昇し、当初か
らボールベアリング又はころベアリング内の空間部にあ
ったガスの圧力が上昇し破裂等の危険がある。
とポンプケーシングの間に摩擦低減構造体を設けたター
ボ分子ポンプにおいて、摩擦低減構造体を構成するボー
ルベアリング又はころベアリングをガス漏れのない完全
に密閉された空間内に置くと、ターボ分子ポンプが運転
されモータの発熱やポンピング作用で発生する圧縮熱や
ロータのガスとの摩擦熱等により温度が上昇し、当初か
らボールベアリング又はころベアリング内の空間部にあ
ったガスの圧力が上昇し破裂等の危険がある。
【０００５】また、密閉された空間はガス溜りとなり、
ターボ分子ポンプの到達圧力等のポンプ性能に悪影響を
与えるという問題もある。従って、ボールベアリング又
はころベアリングはガス漏れのない完全密閉された空間
内に置くことができない。そのため腐食性のあるガスを
ターボ分子ポンプに流す場合は、ボールベアリング又は
ころベアリングはその腐食ガスの環境下におかれること
になり、腐食が進み、場合によっては摩擦低減構造体が
正常に作用しなくなる恐れもある。
ターボ分子ポンプの到達圧力等のポンプ性能に悪影響を
与えるという問題もある。従って、ボールベアリング又
はころベアリングはガス漏れのない完全密閉された空間
内に置くことができない。そのため腐食性のあるガスを
ターボ分子ポンプに流す場合は、ボールベアリング又は
ころベアリングはその腐食ガスの環境下におかれること
になり、腐食が進み、場合によっては摩擦低減構造体が
正常に作用しなくなる恐れもある。
【０００６】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、ターボ分子ポンプに腐食性のあるガスを流した場合
でも、摩擦低減構造体を構成するボールベアリング又は
ころベアリングの腐食量を極力低減できるターボ分子ポ
ンプを提供することを目的とする。
で、ターボ分子ポンプに腐食性のあるガスを流した場合
でも、摩擦低減構造体を構成するボールベアリング又は
ころベアリングの腐食量を極力低減できるターボ分子ポ
ンプを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、ポンプケーシング内部にロー
タとステータにより排気部が構成され、該ステータとポ
ンプケーシングの間の少なくとも一部にボールベアリン
グ又はころベアリングからなる摩擦低減構造体が設けら
れているターボ分子ポンプにおいて、ボールベアリング
又はころベアリングからなる摩擦低減構造体内の圧力雰
囲気が極力ターボ分子ポンプの低圧側圧力になるように
ガス抜き孔を設けたことを特徴とする。
請求項１に記載の発明は、ポンプケーシング内部にロー
タとステータにより排気部が構成され、該ステータとポ
ンプケーシングの間の少なくとも一部にボールベアリン
グ又はころベアリングからなる摩擦低減構造体が設けら
れているターボ分子ポンプにおいて、ボールベアリング
又はころベアリングからなる摩擦低減構造体内の圧力雰
囲気が極力ターボ分子ポンプの低圧側圧力になるように
ガス抜き孔を設けたことを特徴とする。
【０００８】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のターボ分子ポンプにおいて、ロータとステータ
により構成される排気部は翼排気部及び溝排気部からな
ることを特徴とする。
に記載のターボ分子ポンプにおいて、ロータとステータ
により構成される排気部は翼排気部及び溝排気部からな
ることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明のターボ分子ポン
プの構造を示す断面図である。本ターボ分子ポンプはロ
ータ（回転部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより構成さ
れている。ステータ（固定部）Ｓはポンプケーシング１
と基部２と固定筒状部３が一体となって主に構成され、
ロータＲは主軸４と回転筒状部５とから主に構成され
る。ポンプケーシング１は吸気側ケーシング１Ａと排気
側ケーシング１Ｂとに分割され、これを連結して構成さ
れている。ポンプケーシング１の内部にロータ（回転
部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより翼排気部Ｌ1及び
溝排気部Ｌ2が構成されている。
面に基づいて説明する。図１は本発明のターボ分子ポン
プの構造を示す断面図である。本ターボ分子ポンプはロ
ータ（回転部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより構成さ
れている。ステータ（固定部）Ｓはポンプケーシング１
と基部２と固定筒状部３が一体となって主に構成され、
ロータＲは主軸４と回転筒状部５とから主に構成され
る。ポンプケーシング１は吸気側ケーシング１Ａと排気
側ケーシング１Ｂとに分割され、これを連結して構成さ
れている。ポンプケーシング１の内部にロータ（回転
部）Ｒとステータ（固定部）Ｓにより翼排気部Ｌ1及び
溝排気部Ｌ2が構成されている。
【００１０】主軸４と固定筒状部３の間に駆動用モータ
６と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）７及び
下部ラジアル軸受（磁気軸受）８が設けられ、そして主
軸４の下部にはターゲットディスク９とステータＳ側に
設けられた上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有するアキシ
ャル軸受１１が配置されている。このような構成によっ
てロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速で回転す
るようになっている。
６と、その上下に上部ラジアル軸受（磁気軸受）７及び
下部ラジアル軸受（磁気軸受）８が設けられ、そして主
軸４の下部にはターゲットディスク９とステータＳ側に
設けられた上下の電磁石１０ａ、１０ｂを有するアキシ
ャル軸受１１が配置されている。このような構成によっ
てロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速で回転す
るようになっている。
【００１１】回転筒状部５の上部外周部には、回転翼１
２が一体に設けられて羽根車を構成し、吸気側ケーシン
グ１Ａの内面には、回転翼１２と交互に配置された固定
翼１３が設けられている。該固定翼１３はその縁部を上
下の固定翼スペーサ１４、１５により上下から押さえ、
ボルト１６で順次締結して固定している。なお、ボルト
１６は所定以上のトルクが加わると破断するようにその
強度は定めている。また、固定翼スペーサ１５と吸気側
ケーシング１Ａの間には摩擦低減構造体１７が設けられ
ている。高速回転する回転翼１２と静止している固定翼
１３との相互作用によって排気を行なう前記翼排気部Ｌ
1を構成している。
２が一体に設けられて羽根車を構成し、吸気側ケーシン
グ１Ａの内面には、回転翼１２と交互に配置された固定
翼１３が設けられている。該固定翼１３はその縁部を上
下の固定翼スペーサ１４、１５により上下から押さえ、
ボルト１６で順次締結して固定している。なお、ボルト
１６は所定以上のトルクが加わると破断するようにその
強度は定めている。また、固定翼スペーサ１５と吸気側
ケーシング１Ａの間には摩擦低減構造体１７が設けられ
ている。高速回転する回転翼１２と静止している固定翼
１３との相互作用によって排気を行なう前記翼排気部Ｌ
1を構成している。
【００１２】更に、翼排気部Ｌ1の下方に前記溝排気部
Ｌ2が設けられている。即ち、回転筒状部５には、外周
面にねじ溝１８ａが形成されたねじ溝部１８が固定筒状
部３を囲むように設けられ、一方、ステータＳにはこの
ねじ溝部１８の外周を囲むねじ溝部スペーサ１９が配置
されている。溝排気部Ｌ2は高速回転するねじ溝部１８
のねじ溝１８ａのドラッグ作用によって排気を行なう。
Ｌ2が設けられている。即ち、回転筒状部５には、外周
面にねじ溝１８ａが形成されたねじ溝部１８が固定筒状
部３を囲むように設けられ、一方、ステータＳにはこの
ねじ溝部１８の外周を囲むねじ溝部スペーサ１９が配置
されている。溝排気部Ｌ2は高速回転するねじ溝部１８
のねじ溝１８ａのドラッグ作用によって排気を行なう。
【００１３】排気側ケーシング１Ｂの上端に段差面２０
が設けられ、ねじ溝部スペーサ１９にはこの段差と係合
するフランジ１９ａが形成され、これらがボルト２１に
より締結され、ねじ溝部スペーサ１９が排気側ケーシン
グ１Ｂに固定されている。なお、ボルト２１は所定以上
のトルクが加わると破断するようにその強度は定めてい
る。また、ねじ溝部スペーサ１９と排気側ケーシング１
Ｂとの間にはボールベアリング又はころベアリングから
なる摩擦低減構造体２２が設けられている。
が設けられ、ねじ溝部スペーサ１９にはこの段差と係合
するフランジ１９ａが形成され、これらがボルト２１に
より締結され、ねじ溝部スペーサ１９が排気側ケーシン
グ１Ｂに固定されている。なお、ボルト２１は所定以上
のトルクが加わると破断するようにその強度は定めてい
る。また、ねじ溝部スペーサ１９と排気側ケーシング１
Ｂとの間にはボールベアリング又はころベアリングから
なる摩擦低減構造体２２が設けられている。
【００１４】上記摩擦低減構造体１７及び摩擦低減構造
体２２は、ロータＲの偏心等により回転異常やそれに伴
う回転翼１２の破損等が生じ、固定翼１３に所定以上の
トルクが加わり、ボルト１６及び２１が破断した場合
に、ロータＲやその破片がステータＳに衝突し、ポンプ
ケーシング１の径方向や周方向に多大な力が加わった
時、摩擦低減構造体１７及び摩擦低減構造体２２がケー
シング内部で滑りながら回転することによって回転エネ
ルギーを消失させるために設けたものである。
体２２は、ロータＲの偏心等により回転異常やそれに伴
う回転翼１２の破損等が生じ、固定翼１３に所定以上の
トルクが加わり、ボルト１６及び２１が破断した場合
に、ロータＲやその破片がステータＳに衝突し、ポンプ
ケーシング１の径方向や周方向に多大な力が加わった
時、摩擦低減構造体１７及び摩擦低減構造体２２がケー
シング内部で滑りながら回転することによって回転エネ
ルギーを消失させるために設けたものである。
【００１５】ところで、ボールベアリング又はころベア
リングからなる摩擦低減構造体２２は、上記の理由によ
りその内部をガス漏れのない完全密閉された空間とする
ことはできない。従って、本ターボ分子ポンプを使用す
る真空処理装置等で腐食性のあるガスを使用した場合、
該本ターボ分子ポンプの内部にこの腐食性のガスが流れ
こむ。この腐食性のガスに摩擦低減構造体２２のボール
ベアリング又はころベアリングがさらされることにな
り、腐食するという恐れがある。
リングからなる摩擦低減構造体２２は、上記の理由によ
りその内部をガス漏れのない完全密閉された空間とする
ことはできない。従って、本ターボ分子ポンプを使用す
る真空処理装置等で腐食性のあるガスを使用した場合、
該本ターボ分子ポンプの内部にこの腐食性のガスが流れ
こむ。この腐食性のガスに摩擦低減構造体２２のボール
ベアリング又はころベアリングがさらされることにな
り、腐食するという恐れがある。
【００１６】そこで、ここでは摩擦低減構造体２２のボ
ールベアリング又はころベアリングが腐食性の高いガス
環境下にさらされるのを防ぐ為、ねじ溝部スペーサ１９
に摩擦低減構造体２２の内部に連通するガス抜き孔２３
を設けている。
ールベアリング又はころベアリングが腐食性の高いガス
環境下にさらされるのを防ぐ為、ねじ溝部スペーサ１９
に摩擦低減構造体２２の内部に連通するガス抜き孔２３
を設けている。
【００１７】上記構成のターボ分子ポンプにおいて、翼
排気部Ｌ1は高速回転する回転翼１２と静止している固
定翼１３との相互作用により、溝排気部Ｌ2は高速回転
し、ねじ溝部１８のねじ溝１８ａのドラッグ作用によっ
てそれぞれ排気を行なっている。従って、溝排気部Ｌ2
の上部Ａは高圧側となり、下部Ｂは低圧側となる。上記
のねじ溝部スペーサ１９に摩擦低減構造体２２の内部に
連通するガス抜き孔２３を設けることにより、摩擦低減
構造体２２内の圧力雰囲気が低圧側圧力となる。
排気部Ｌ1は高速回転する回転翼１２と静止している固
定翼１３との相互作用により、溝排気部Ｌ2は高速回転
し、ねじ溝部１８のねじ溝１８ａのドラッグ作用によっ
てそれぞれ排気を行なっている。従って、溝排気部Ｌ2
の上部Ａは高圧側となり、下部Ｂは低圧側となる。上記
のねじ溝部スペーサ１９に摩擦低減構造体２２の内部に
連通するガス抜き孔２３を設けることにより、摩擦低減
構造体２２内の圧力雰囲気が低圧側圧力となる。
【００１８】このように摩擦低減構造体２２の内部に連
通するガス抜き孔２３を設けることにより、本ターボ分
子ポンプを使用する真空処理装置で腐食性ガスを用い、
該腐食性ガスがターボ分子ポンプ内に流れ込んでも、摩
擦低減構造体２２を構成するボールベアリング又はころ
ベアリングがこの腐食性ガスにさらされることが少なく
腐食量を極力低減できる。
通するガス抜き孔２３を設けることにより、本ターボ分
子ポンプを使用する真空処理装置で腐食性ガスを用い、
該腐食性ガスがターボ分子ポンプ内に流れ込んでも、摩
擦低減構造体２２を構成するボールベアリング又はころ
ベアリングがこの腐食性ガスにさらされることが少なく
腐食量を極力低減できる。
【００１９】なお、上記実施の形態例では、翼排気部Ｌ
1と溝排気部Ｌ2を有する広域型のターボ分子ポンプを例
に説明したが、本発明はこのような広域型のターボ分子
ポンプに限定されるものではなく、要はポンプケーシン
グ内部にロータとステータにより排気部が構成され、該
ステータとポンプケーシングの間の少なくとも一部にボ
ールベアリング又はころベアリングからなる摩擦低減構
造体が設けられているターボ分子ポンプに適用できるこ
とは当然である。
1と溝排気部Ｌ2を有する広域型のターボ分子ポンプを例
に説明したが、本発明はこのような広域型のターボ分子
ポンプに限定されるものではなく、要はポンプケーシン
グ内部にロータとステータにより排気部が構成され、該
ステータとポンプケーシングの間の少なくとも一部にボ
ールベアリング又はころベアリングからなる摩擦低減構
造体が設けられているターボ分子ポンプに適用できるこ
とは当然である。
【００２０】また、上記実施の形態例では、ねじ溝部ス
ペーサ１９と排気側ケーシング１Ｂとの間にはボールベ
アリング又はころベアリングからなる摩擦低減構造体２
２を設けた場合を示したが、固定翼スペーサ１５と吸気
側ケーシング１Ａの間に設けた摩擦低減構造体１７もボ
ールベアリング又はころベアリングで構成された場合、
当然適用できる。
ペーサ１９と排気側ケーシング１Ｂとの間にはボールベ
アリング又はころベアリングからなる摩擦低減構造体２
２を設けた場合を示したが、固定翼スペーサ１５と吸気
側ケーシング１Ａの間に設けた摩擦低減構造体１７もボ
ールベアリング又はころベアリングで構成された場合、
当然適用できる。
【００２１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
下記のような優れた効果が得られる。 （１）ボールベアリング又はころベアリングからなる摩
擦低減構造体内の圧力雰囲気が極力ターボ分子ポンプの
低圧側圧力になるようにガス抜き孔を設けたので、ター
ボ分子ポンプ内に腐食性のガスが流れ込んだ場合でも、
ボールベアリング又はころベアリングはこの腐食性のガ
スによる影響が小さいから、該ボールベアリング又はこ
ろベアリングに耐食性を持たせる必要性がなく、また該
ボールベアリング又はころベアリングが腐食することが
無いか又は腐食量が極めて小さい。
下記のような優れた効果が得られる。 （１）ボールベアリング又はころベアリングからなる摩
擦低減構造体内の圧力雰囲気が極力ターボ分子ポンプの
低圧側圧力になるようにガス抜き孔を設けたので、ター
ボ分子ポンプ内に腐食性のガスが流れ込んだ場合でも、
ボールベアリング又はころベアリングはこの腐食性のガ
スによる影響が小さいから、該ボールベアリング又はこ
ろベアリングに耐食性を持たせる必要性がなく、また該
ボールベアリング又はころベアリングが腐食することが
無いか又は腐食量が極めて小さい。
【００２２】（２）また、万一ロータ側に異常が発生し
異常トルクがステータに作用した際にも摩擦低減構造体
が正確に作用し、ポンプケーシング側の破損や真空系の
破壊に繋がらない安全性の高いターボ分子ポンプを提供
できる。
異常トルクがステータに作用した際にも摩擦低減構造体
が正確に作用し、ポンプケーシング側の破損や真空系の
破壊に繋がらない安全性の高いターボ分子ポンプを提供
できる。
【図１】本発明のターボ分子ポンプの構造を示す断面図
である。
である。
１ ポンプケーシング ２ 基部 ３ 固定筒状部 ４ 主軸 ５ 回転筒状部 ６ 駆動用モータ ７ 上部ラジアル軸受 ８ 下部ラジアル軸受 ９ ターゲットディスク １０ａ，ｂ 電磁石 １１ アキシャル軸受 １２ 回転翼 １３ 固定翼 １４ 固定翼スペーサ １５ 固定翼スペーサ １６ ボルト １７ 摩擦低減構造体 １８ ねじ溝部 １９ ねじ溝部スペーサ ２０ 段差面 ２１ ボルト ２２ 摩擦低減構造体 ２３ ガス抜き孔 Ｒ ロータ Ｓ ステータ Ｌ1 翼排気部 Ｌ2 溝排気部
Claims (2)
- 【請求項１】 ポンプケーシング内部にロータとステー
タにより排気部が構成され、該ステータとポンプケーシ
ングの間の少なくとも一部にボールベアリング又はころ
ベアリングからなる摩擦低減構造体が設けられているタ
ーボ分子ポンプにおいて、 前記ボールベアリング又はころベアリングからなる摩擦
低減構造体内の圧力雰囲気が極力ターボ分子ポンプの低
圧側圧力になるようにガス抜き孔を設けたことを特徴と
するターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記ロータとステータにより構成される
排気部は翼排気部及び溝排気部からなることを特徴とす
る請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01482698A JP3748323B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01482698A JP3748323B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201083A true JPH11201083A (ja) | 1999-07-27 |
| JP3748323B2 JP3748323B2 (ja) | 2006-02-22 |
Family
ID=11871857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100702948B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2007-04-03 | 삼성테크윈 주식회사 | 터보 분자 펌프 |
| JP2005537418A (ja) * | 2002-08-29 | 2005-12-08 | アルカテル | 真空ポンプを固定させるための装置 |
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| CN106460856A (zh) * | 2014-03-31 | 2017-02-22 | 埃地沃兹日本有限公司 | 排气口零件及真空泵 |
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