JP2010031678A - 回転真空ポンプ - Google Patents
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- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
Abstract
【解決手段】回転円筒部32を有するロータ3と、回転円筒部32の周囲に配設され、回転円筒部32との間でガス通路PA2を形成する固定円筒24と、固定円筒24を支持する支持部材1とを備える。支持部材1のロータ回転軸方向の端部には、固定円筒24が取り付けられる凹部10が設けられ、凹部10の内周面とこれに対向する固定円筒24の外周面との間の隙間が、固定円筒24の取付方向反対側にかけて徐々に増大する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプの全体構成を示す断面図であり、図2は、図1の要部拡大図である。このターボ分子ポンプは、例えば半導体製造装置に用いられる真空ポンプである。なお、説明の便宜上、以下では図1に示すようにターボ分子ポンプの上下方向を定義する。
(1)ベース1の上端面に、固定円筒24の取付用の凹部10を設け、凹部10にテーパ部11と嵌合部12を形成して、凹部10(テーパ部11)の内周面とこれに対向する固定円筒24(リング部26)の外周面との間の隙間が上方にかけて徐々に増加するようにした。これによりロータ破壊時に固定円筒24が上方に持ち上げられ、テーパ部11によって周囲を拘束されながらベース内を回転するので、ロータ破壊の衝撃がベース1に作用することを防ぐことができ、ロータ破壊時のエネルギーを効果的に吸収できる。固定円筒24が上昇するにしたがいテーパ部11とリング部26の間の最小隙間が徐々に大きくなるので、ベース1からの拘束力が小さくなって固定円筒24が回転しやすくなるとともに、固定円筒24の回転トルクがベース1に伝わりにくくなり、ベース1に作用する衝撃力を低減できる。
(3)ベース1と固定円筒24の間に径方向に隙間SPを設けるようにしたので、ロータ3の飛散物の衝突により固定円筒24が変形した際に、その衝撃力がベース1側に伝達されるのを防ぐことができる。
(4)隙間SPの径方向の長さL2を固定円筒24の嵌合長さL1よりも長くしたので、固定円筒24がロータ飛散物からの衝撃によりベース1内で傾いた場合であっても、ベース1に衝撃力が作用することを防ぐことができる。
2 ケーシング
3 ロータ
10 凹部
11 テーパ部
12 嵌合部
21 固定翼
24 固定円筒
31 回転翼
32 回転円筒部
SP 隙間
Claims (6)
- 回転円筒部を有するロータと、
前記回転円筒部の周囲に配設され、前記回転円筒部との間でガス通路を形成する固定円筒と、
前記固定円筒を支持する支持部材とを備え、
前記支持部材のロータ回転軸方向の端部には、前記固定円筒が取り付けられる凹部が設けられ、
前記凹部の内周面とこれに対向する前記固定円筒の外周面との間の隙間が、固定円筒の取付方向反対側のロータ回転軸方向にかけて徐々に増大することを特徴とする回転真空ポンプ。 - 請求項1に記載の回転真空ポンプにおいて、
前記凹部は、前記固定円筒がロータ回転軸方向に嵌合する嵌合部を有することを特徴とする回転真空ポンプ。 - 請求項2に記載の回転真空ポンプにおいて、
前記凹部は、前記嵌合部に連なり、前記固定円筒の取付方向反対側のロータ回転軸方向にかけて徐々に径が大きくなるテーパ部を有することを特徴とする回転真空ポンプ。 - 請求項2または3に記載の回転真空ポンプにおいて、
前記固定円筒の外周面とこれに対向する前記支持部材の内周面との間に、前記固定円筒の変形用の隙間が設けられることを特徴とする回転真空ポンプ。 - 請求項4に記載の回転真空ポンプにおいて、
前記隙間の径方向の長さは、前記嵌合部における前記固定円筒のロータ回転軸方向の嵌合長さよりも長いことを特徴とする回転真空ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の回転真空ポンプにおいて、
前記ロータは、ガスの吸い込み側に複数段の回転翼部を有し、この回転翼部の周囲に複数段の固定翼が設けられ、
前記支持部材は、前記ロータを回転可能に支持するベース部材であり、
前記ベース部材の端面に、前記静止翼の周囲を覆うケース部材が取り付けられることを特徴とする回転真空ポンプ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP5136262B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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2008
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