CN105275835B - 真空泵以及真空泵的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明是关于一种真空泵及真空泵的制造方法，所述真空泵可确实地避免作为高温部的定子与作为低温部的基座的接触。真空泵包括：圆筒状的转子圆筒部；圆筒状的定子(22)，与转子圆筒部协动而排出气体；以及筒状的基座(20)，固定有定子(22)；且定子(22)与基座(20)之间不具有嵌合构造，且以与基座(20)同心的状态固定于所述基座(20)。此时，径向间隙(G1)的部分并非嵌合构造，因此，可考虑定子(22)的热膨胀而设定为足够大的间隙，从而可确实地防止因热膨胀而定子(22)与基座(20)接触的情况。

Description

真空泵以及真空泵的制造方法

技术领域

本发明是有关于一种真空泵(pump)以及真空泵的制造方法。

背景技术

以往，在半导体制造装置或液晶制造装置等的腔室(chamber)排气时，使用有涡轮分子泵(turbo-molecular pump)等真空泵。在半导体制造装置或液晶制造装置的刻蚀制造过程(etching process)中，会产生反应产物堆积在真空泵的问题。因此，已知有利用加热单元使泵温度上升来抑制反应产物的堆积。例如，在专利文献1中所记载的真空泵中，因为反应产物容易堆积在包含圆筒状转子(rotor)与定子(stator)(螺纹定子)的排气部，所以将加热器(heater)埋入定子内以直接进行加热而升温。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2011-80407号公报

另外，在相对于定子以微小的间隙(gap)进行转子高速旋转的真空泵中，需要将转子与定子配置成同心状态。因此，当将定子固定于基座(base)时，在固定部，将定子侧的轴部与基座侧的孔部设为空隙(c l earance)为0.1mm左右的嵌合关系而进行定子的定位。

然而，如果如上所述般在定子设置加热器进行加热，会有如下问题：因热膨胀而空隙变小，轴部的整周会接触于孔部，作为高温部的定子的热会逸散到作为低温部的基座，从而定子温度下降。

发明内容

本发明的优选的实施方式的真空泵包括：圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；以及筒状的基座，固定有所述定子；且所述定子与所述基座之间不具有嵌合构造，且以与所述基座同心状态固定于该基座。

更优选的实施方式中，在所述定子及所述基座分别形成有销孔(pinhole)，所述销孔供定位销嵌入，所述定位销用于将所述定子及所述基座设为所述同心状态。

更优选的实施方式中，所述定子及所述基座分别具有抵接部，所述抵接部在所述同心状态下形成有径向间隙，且当所述定子的径向位置偏移时相互接触而阻止所述定子与所述转子的接触。

本发明的优选的实施方式的真空泵包括：圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；以及基座，与所述定子以同心状态固定；且在所述定子及所述基座分别设置有抵接部，所述抵接部在所述同心状态下形成有径向间隙，且当所述定子的径向位置偏移时相互接触而阻止所述定子与所述转子的接触。

本发明的优选的实施方式的真空泵的制造方法中，所述真空泵包括：圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；以及筒状的基座，固定有所述定子；所述真空泵的制造方法的特征在于：使用定位治具(jig)，将所述定子相对于所述基座定位成同心状态，在所述同心状态下将所述定子固定于所述基座，且在将所述定子固定于所述基座之后去除所述定位治具。

[发明的效果]

根据本发明，可确实地避免作为高温部的定子与作为低温部的基座的接触。

附图说明

图1是表示本发明的真空泵的一种实施方式的图，且表示涡轮分子泵的剖面。

图2是从底面侧观察涡轮分子泵所得的图。

图3是图1的设置有定子加热部28的部分的放大图。

图4是图1的图示左侧的定子22与基座20的固定部的放大图。

图5是表示变形例1的图。

图6是表示变形例2的图。

图7是表示变形例3的图。

图8是表示变形例4的图。

图9是表示变形例5的图。

图10是表示可适用间隙G2的定位构造的另一例的图。

图11是对间隙G2的效果进行说明的图。

图12(a)、图12(b)是表示在定子22与隔热构件24之间形成间隙G2的情况的图。

【主要元件符号说明】

1：涡轮分子泵 10：转子

11：转子轴 12：旋转叶片

13：转子圆筒部 20：基座

20d、43b、43c：凸部 21：固定叶片

22：定子 22a：平面部

22b：台阶部

22c、201 a、201、400、421、430：内周面

23：泵壳 24：隔热构件

26：排气端口 27、280：加热器

28：定子加热部 29、210：间隔件

30：壳体 32：径向磁轴承

33：轴向磁轴承 34：马达

35a、35b：机械轴承 40～44：定位构件

42a、43a：贯通孔 42c：环状凸部

44a：平板部 44b：圆筒部

44c：圆柱部 200、205、221、286：销孔

202：环状部 203：温度传感器

209、222、282：螺栓 211、223：垫圈

220、281b：凸缘部

220a、401、420、431、440：外周面

220c：环状卡合部 281：加热器部件

281a：孔部 283：密封塞

284：密封构件 G、G0、G1、G2、G3：间隙

具体实施方式

以下，参照图对用以实施本发明的方式进行说明。图1是表示本发明的真空泵的一种实施方式的图，且表示涡轮分子泵的剖面。涡轮分子泵1包括转子10，所述转子10形成有多段旋转叶片12及转子圆筒部13。在泵壳(pump casing)23的内侧，与多段旋转叶片12相应地以层叠的方式配置有多段固定叶片21。沿泵轴向层叠的多段固定叶片21分别隔着间隔件(spacer)29而配置于基座20上。旋转叶片12及固定叶片21分别包含沿周向配置的多个涡轮(turbine)叶片。

在转子圆筒部13的外周侧，隔着间隙而配置有圆筒形状的定子22。本实施方式中，基座20为筒状的构件，定子22配置于基座20的内周侧，且螺固于基座20的上端面。在转子圆筒部13的外周面或定子22的内周面的任一面形成有螺纹槽，由转子圆筒部13与定子22构成螺纹槽泵。利用旋转叶片12及固定叶片21而排出的气体分子经螺纹槽泵部进一步压缩，最终从设于基座20的排气端口(port)26排出。

在转子10固定有转子轴(shaft)11，该转子轴11由径向(radial)磁轴承32及轴向(axial)磁轴承33支撑，且由马达(motor)34旋转驱动。当磁轴承32、磁轴承33未动作时，转子轴11由机械轴承(mechanical bearing)35a、机械轴承35b支撑。径向磁轴承32、轴向磁轴承33、马达34及机械轴承35b收纳在壳体(housing)30内，所述壳体30固定于基座20。

另外，在现有的涡轮分子泵中，也有将基座20与壳体30一体地形成而制成基座的构成，但在任一构成中均为在筒状的基座的内周侧配置定子22的构成。

在基座20设置有加热器27及温度传感器(sensor)203，所述加热器27用以对基座20进行加热，所述温度传感器203对基座20的温度进行检测。本实施方式的涡轮分子泵1可用于产生大量反应产物的工艺，在定子22的下部外周面，固定有对定子22进行加热的专用的定子加热部28。图2是从底面侧观察涡轮分子泵所得的图，且将一部分以破断面表示。定子加热部28是以将基座20的周面内外贯通的方式而设置。也可设置两个以上的定子加热部28。

图3是图1的设置有定子加热部28的部分的放大图。如图3所示，定子加热部28是在加热器部件(heater block)281安装有加热器280。加热器部件281利用螺栓(bolt)282而固定于定子22的外周面。在配置有螺栓282的孔部281a，设置有用以密封该孔部281a的密封塞283。而且，在加热器部件281的轴部(贯通基座20的部分)，设置有密封(seal)构件284作为真空密封件。利用该密封构件284而将贯通基座20的加热器部件281的轴部与基座20的间隙密封。

如图2所示，在定子22的外周面的一部分形成有平面部22a，使形成于加热器部件281的前端的平面接触于该平面部22a。

当将加热器部件281固定于定子22时，使用定位构件(例如，定位销)，以使加热器部件281的轴心与基座侧的贯通孔的轴心大致一致的方式进行加热器部件281的定位。在本实施方式中，使用定位销作为定位构件，在图2所示的加热器部件281，形成有供定位销卡合的销孔286。另一方面，在基座20，也形成有供定位销卡合的销孔205。通过使定位销卡合于销孔205、销孔286，而进行加热器部件281与基座侧贯通孔的定心。定位销在将加热器部件281螺固于定子22之后被去除。

另外，在本实施方式中，定子加热部28(加热器部件281)为未固定于基座20的构造。因此，如图2所示，为了确保转子破裂时的安全性，在加热器部件281的凸缘(flange)部281b设置有螺栓209。在螺栓209与基座20之间，配置有垫圈211及筒状的间隔件210。间隔件210的长度以如下方式设定，即，在垫圈211与加热器部件281之间形成有规定的间隙G。而且，间隔件210所贯通的凸缘部281b的贯通孔的孔径设定为比间隔件210的外径更大，以使间隔件210不接触于加热器部件281。

例如，当因转子破裂而定子22也破裂时，有定子加热部28从基座20飞出的担忧。在本实施方式的情况下，即便在这种情况下，也可利用螺栓209而阻止定子加热部28从基座20飞出。另外，因为设置有间隙G，所以即便定子22或加热器部件281等热膨胀，螺栓209与加热器部件281也不会接触。

回到图1，定子22利用螺栓222而固定于基座20，且在定子22与基座20之间配置有隔热构件24(例如，圆筒状的隔热构件)。因此，定子22在轴向上由隔热构件24支撑，在定子22的凸缘部220的底面与基座20的上表面之间形成有间隙。

在本实施方式的涡轮分子泵1中，如上所述，利用定子加热部件28对载置于隔热构件24上的定子22直接进行加热。而且，通过控制定子加热部件28的加热，而将定子22的温度维持为比以往更高的温度(例如，100℃以上)，从而确实地防止反应产物堆积在定子22。以下，将该堆积防止温度表示为Ts。实际上，堆积防止温度Ts具有规定的温度区域(Ts1～Ts2)，所谓将定子22维持为堆积防止温度Ts，是指维持在温度范围(Ts1～Ts2)内。即，以使定子22的温度成为温度范围(Ts1～Ts2)的方式对加热器280进行控制。

在本实施方式中，定子22未接触于基座20，从定子22向基座20的热移动大致仅经由隔热构件24而进行。因此，如果基座20与定子22的温度差大，经由隔热构件24从定子22向基座20的传热量会变得显著。于是，根据隔热构件24的隔热性能，利用加热器27对基座20进行加热而使基座20与定子22的温度差不会变大，从而抑制经由隔热构件24从定子22向基座20的热移动。

螺栓222的垫圈由导热率比基座构件小的构件形成，且作为抑制从定子22向基座20的热移动的隔热构件而发挥功能。例如，当基座20使用铝材时，垫圈223使用导热率比铝材小的材料(例如，不锈钢材)。另外，在本实施方式中，使如图3所示的隔热构件24介于定子22与基座20之间而谋求隔热，但隔热构造并不限于此。例如，也可为如下构成：使隔热构件介于定子22的凸缘部220与基座20之间。

如上所述，本实施方式的涡轮分子泵为如下构成：利用定子加热部28对定子22直接进行加热，且尽量减少利用隔热构件24从定子22向基座20的散热。因此，实现如下设计：即便在因温度上升而定子22膨胀变形的情况下，定子22与基座20也不会接触。

图4是图1的图示左侧的定子22与基座20的固定部的放大图。如图4所示，在配置于基座20的内周侧的定子22与基座20之间，配置有隔热构件24。因此，在定子22的凸缘部220与基座20的上表面之间形成有间隙，从而凸缘部220的底面未接触于基座。而且，就定子22的径向外周面而言，形成有如图4所示的间隙G1～间隙G3(间隙尺寸也设为G1、G2、G3)。

本实施方式中，当将定子22螺固于基座20时，使用销进行定心，之后，利用图1所示的螺栓222将定子22固定于基座20。在螺固后，将用于定心的销去除。如图4所示，在基座20形成有两处以上的销孔200。另一方面，在定子22中，在基座20的各销孔200所对向的位置分别形成有销孔221。

当将定子22固定于基座20时，例如，将定位销装设于基座20的各销孔200，然后，以定位销卡合于销孔221的方式将定子22载置于基座20上(实际上为隔热构件24上)。另外，也可在将定子22载置于基座20之后，使定位销穿过销孔200及销孔221。之后，利用螺栓222将定子22固定于基座20。定子22对基座20的螺固完成后，从销孔200、销孔221卸除定位销。

另外，在螺固后将定位销卸除的理由是防止经由定位销从定子22向基座20的热移动。而且，因为定位销与销孔200、销孔221为可动嵌合，所以也有预防定位销脱落而落入泵内的目的。当然，如果是隔热性高且具有充分强度的定位销，也可设为将定位销打入基座20的销孔200内的构造，而设为残留定位销的构成。

接下来，对间隙G1～间隙G3进行说明。间隙G1是定子22的凸缘部220的外周面220a与基座20的内周面201的间隙。间隙G2是形成于凸缘部底面的台阶部22b的外周面、与基座内周面201a的间隙。间隙G3是定子22的筒部外周面与隔热构件24的内周面的间隙。如果定子22被加热至高温(例如，100℃以上)，定子22会沿径向热膨胀，由此，各间隙G1～间隙G3会变小。

在现有的涡轮分子泵中，通常将定子22的凸缘部220的外周面220a与基座20的内周面201设为嵌合构造，而进行定子22对基座20的定位。进行该定位是为了使转子圆筒部13与定子22的轴心为同轴，且使转子圆筒部13与定子22的间隙均匀。转子圆筒部13与定子22的间隙为1mm左右，因此，将外周面220a与内周面201嵌合的空隙，即，图4的间隙G1的尺寸设为0.1mm左右。

如上所述，因为外周面220a与内周面201为嵌合构成，所以一部分接触。另外，即便在假设完全为同心状态且两者之间形成有间隙的情况下，该间隙也小，为0.1mm左右。因此，当因定子22的热膨胀而凸缘部220的外径尺寸变大时，有凸缘部220的外周面220a与基座20接触的担忧，此时，定子22的热会向基座20逸散。

另一方面，本实施方式中，定子22对基座20的定位是利用定位销而进行，因此，外周面220a与内周面201无需设为嵌合构造，可将间隙G1设定为足够大。因此，当定子22热膨胀时，可确实地防止凸缘部220的外周面220a接触于基座20的内周面201。

另外，当将定子22固定的螺栓222发生松动时，有定子22相对于基座20向径向横向偏移的担忧。本实施方式中，如上所述，为了防止因热膨胀所引起的接触，而将间隙G1的尺寸设定为足够大。因此，为了防止定子22横向偏移时定子22与转子圆筒部13接触，而设置有比间隙G1更小的间隙G2。当将转子圆筒部13与定子22的间隙设为G0时，间隙G2以“G0＞G2”的方式而设定，且设定为比定子22的因热膨胀而引起的径向尺寸变化更大。另外，定子22的圆筒部外周面与隔热构件24的内周面的间隙G3设定为比G2更大。通过设为此种构成，即便在定子22横向偏移的情况下，通过定子22的台阶部22b与基座20的内周面201a抵接，也可防止定子22与转子圆筒部13接触。

在所述实施方式中，通过使定位销卡合于销孔221、销孔200，而将定子22相对于基座20进行定位，但也可如图5～图9所示的变形例1～变形例5一样使用销以外的定位构件。

(变形例1)

图5是表示变形例1的图，且与图4的情况同样地是定子22的局部的放大图。图5表示在基座20的内周面与定子22的凸缘部220的外周面进行定位的情况。此时，定位构件40的形状既可为圆筒状，也可使用两个例如将圆筒状构件沿周向分割成四份而成的构件。以下，将定位构件40设为圆筒状而进行说明。定位构件40的外周面401与基座20的内周面201为嵌合关系(可动嵌合)，首先，将定位构件40配置于基座20。

然后，将定子22配置于定位构件40的内周侧。定子22的凸缘部220的外周面220a与定位构件40的内周面400为嵌合关系(可动嵌合)，通过将定子22配置于定位构件40的内周侧，而定位成定子22相对于基座20成为同心状态。接着，利用螺栓222将定子22固定于基座20。之后，通过卸除定位构件40，定子22对基座20的固定作业结束。

(变形例2)

图6是表示变形例2的图。变形例2中，在设于基座20的环状部202的外周面与定子22的凸缘部220的外周面进行定位。此时，使用圆筒状的定位构件41进行定位。另外，定位构件41并不限于圆筒状，例如，也可为如下构件：使用两个将圆筒状构件沿周向分割成四份而成的构件，且将它们利用水平板(plate)连接而成的构件。环状部202的外径与凸缘部220的外径被设定为相同，环状部202及凸缘部220的外周面与定位构件41的内周面400为嵌合关系(可动嵌合)。利用定位构件41进行定子22的定位后，利用螺栓222将定子22固定于基座20。将定子22螺固于基座20后，卸除定位构件41。

另外，在图6所示的变形例中，表示出了环状部202的外径与凸缘部220的外径相等的情况下的定位构件41，但例如在为凸缘部220的外径如图5般到外周面220a为止般的形状的情况下，设为如虚线所示的定位构件41即可。此时，也是在定子22的外周面与环状部202的外周面进行定位。

(变形例3)

图7是表示变形例3的图。变形例3中，在基座20的内周面201与定子22的内周面22c进行定位。首先，将定子22配置于基座20上。然后，将环状的定位构件42配置于定子22上。定位构件42的外周面420与基座20的内周面201为嵌合关系(可动嵌合)。另一方面，设于定位构件42的环状凸部42c的内周面421与定子22的内周面22c为嵌合关系(可动嵌合)。因此，通过外周面420与内周面201、及外周面421与内周面22c嵌合，而进行定子22对基座20的定位。

定子22利用螺栓222而固定于基座20，在定位构件42中与螺栓222相向的部分，分别形成有贯通孔42a。因此，利用定位构件42完成定子22的定位后，经由贯通孔42a而利用螺栓222进行紧固作业。完成利用螺栓222将定子22固定于基座20后，卸除定位构件42。

(变形例4)

图8是表示变形例4的图。变形例4中，在设于基座20的环状部202的外周面与定子22的内周面22c进行定位。定位构件43为环状的构件，且在底面侧形成有环状的凸部43b、凸部43c。当进行定子22的定位时，使外周侧的凸部43b的内周面430与基座20的环状部202的外周面嵌合，且使内周侧的凸部43c的外周面431与定子22的内周面22c嵌合。结果为，进行定子22对基座20的定位。然后，经由形成于定位构件43的贯通孔43a将螺栓222紧固，而将定子22固定于基座20。之后，卸除定位构件43。

(变形例5)

图9是表示变形例5的图。变形例5中，在定子22的内周面22c与固定于壳体30的机械轴承35a的内周面之间进行定位。图9中，示意性表示设置有机械轴承35a的壳体30的一部分，在图示的关系上，壳体30与固定有该壳体30的基座20的位置关系与实际不同。

定位构件44包含：平板部44a；圆筒部44b，以从平板部44a向图示下方突出的方式设置；以及圆柱部44c，从平板部44a向图示下方突出，且与圆筒部44b同心地形成。圆柱部44c的外径与机械轴承35a的内径被设定为嵌合(可动嵌合)的关系。而且，定位构件44的圆筒部44b的外周面440与定子22的内周面22c处于可动嵌合的关系。另外，也可代替圆筒部44b而设置两个例如将圆筒部44b沿周向分割成四份而成者。

当进行基座20与定子22的定位时，以圆柱部44c插入机械轴承35a的内周侧的方式将定位构件44载置于壳体30上。然后，以定位构件44的圆筒部44b插入定子22的内周侧的方式将定子22载置于基座20上。结果为，进行定子22对基座20的定位。接着，使用螺栓222将定子22固定于基座20，之后，将定位构件44从壳体30卸除。

如以上所说明，本实施方式的真空泵包括：圆筒状的转子圆筒部13；圆筒状的定子22，与转子圆筒部13协动而排出气体；以及筒状的基座20，固定有定子22；且定子22与基座20之间不具有嵌合构造，且以与基座20同心的状态固定于该基座20。此时，径向间隙G1的部分并非嵌合构造，因此，可考虑定子22的热膨胀而设定为足够大的间隙。结果为，可确实地防止因热膨胀而定子22与基座20接触的情况。

作为用于将定子22与基座20设为同心状态的定位治具，例如有定位销，通过使该定位销卡合于基座20的销孔200及定子22的销孔221，而可将定子22与基座20设为同心状态。优选为在将定子22螺固于基座20之后去除定位销。

进而，优选为定子22及基座20分别包括抵接部(对应于基座20的内周面201a与定子22的台阶部22b)，该抵接部在同心状态下形成有径向间隙，且当定子22的径向位置偏移时相互接触而阻止定子22与转子圆筒部13的接触。此时，因为间隙G2小于间隙G0，所以如图11所示，即便定子22横向偏移而基座20的内周面201a与定子22的台阶部22b相互接触，定子22与转子圆筒部13也不会接触。

另外，所述实施方式中，在定子22与基座20隔着非嵌合构造的径向间隙G1等而配置，且利用在螺固后去除的定位治具而设为同心状态的构成中，设置有具有间隙G2的抵接部。然而，具有间隙G2的抵接部也可应用于如图10所示的定位构造。

在图10所示的例中，形成于定子22的凸缘部220的环状卡合部220c的内周面与基座20的环状部202的外周面为嵌合的关系。因此，如果定子22热膨胀，环状卡合部220c的内周面与基座20的环状部202的外周面的间隙会增大。因此，防止从定子22向基座20的热移动。另一方面，当固定定子22的螺栓222松动时，有可能定子22横向偏移相当于凸缘部220的螺栓用贯通孔与螺栓222的空隙的量。但是，即便在发生此种横向偏移的情况下，也可通过基座20的内周面201a与定子22的台阶部22b抵接，而防止转子圆筒部13与定子22接触。

所述实施方式中，如图11所示，利用定子22的台阶部22b与基座20的内周面201a的间隙G2(＜G0、G1、G3)，而防止定子22横向偏移时定子22与转子圆筒部13接触。作为此种接触防止构造，也可为如图12(a)、图12(b)所示的构成。在图12(a)所示的例中，以与隔热构件24的内周面相向的方式形成定子22的台阶部22b。台阶部22b与隔热构件24的间隙尺寸被设定为G2。因此，即便在螺固松动而定子22沿轴向偏移的情况下，台阶部22b也会抵接于隔热构件24，而可防止定子22与转子圆筒部13的接触。

隔热构件24由导热率比定子22或基座20更小的材料形成。例如，当以铝合金形成定子22及基座20，以不锈钢材料形成隔热构件时，因温度上升时的热膨胀，基座20的凸部20d(与隔热构件外周面为嵌合构造)与隔热构件外周面的间隙会变大，另一方面，间隙G2会变小。因此，即便在因热膨胀而凸部20d与隔热构件24的间隙变大，载置有定子22的隔热构件24本身发生横向偏移的情况下，也因为如上所述般间隙G2变小而定子22相对于隔热构件24的横向偏移量变小，所以定子22的横向偏移量可抑制在与热膨胀之前的间隙G2相同的程度。结果为，可防止定子22与转子圆筒部13的接触。另外，如图12(b)所示，与隔热构件24的外周面为嵌合构造的基座20的凸部20d也可在隔热构件24的下端部分成为嵌合构造。

所述各实施方式可分别单独使用，或者组合而使用。这是因为各个实施方式的效果可单独发挥或可相乘发挥。另外，在无损本发明的特征的范围内，本发明不受所述实施方式任何限定。

例如，所述实施方式中，使用以贯通基座20的方式设置的定子加热部件28对定子22进行加热，但也可为如将加热器埋设于定子22的构成。另外，构成为：通过设为利用定子加热部28对定子22直接加热的构造，而使定子温度成为比基座温度更高的温度，但本发明也可应用于如下情况：利用气体排出时的气体的散热而使定子温度变得比基座温度更高。

另外，本发明并不限于涡轮分子泵，也可应用于包括圆筒状的转子及定子的真空泵。

Claims (4)

1.一种真空泵，其特征在于包括：

圆筒状的转子；

圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；

筒状的基座，固定有所述定子；以及

加热部，固定于所述定子，对所述定子进行加热；

且所述定子以与所述基座同心状态固定于所述基座，

形成在所述定子的外周面与所述基座的内周面的间隙，设定为比所述定子的因热膨胀而引起的径向尺寸变化更大，以在所述定子热膨胀时，防止所述定子的所述外周面接触于所述基座的所述内周面的方式设定。

2.一种真空泵，其特征在于：

圆筒状的转子；

圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；

以及筒状的基座，固定有所述定子；

且所述定子与所述基座之间不具有嵌合构造，且以与所述基座同心状态固定于所述基座，在所述定子的凸缘部，以贯通所述凸缘部的两侧的方式形成有供定位销嵌入的定子侧销孔及在所述基座形成有供所述定位销嵌入的基座侧销孔，在所述定位销从所述销孔移除的状态下，所述定子设置在所述基座上，从而防止经由所述定位销从所述定子向所述基座的热移动。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：所述定子及所述基座分别包括抵接部，所述抵接部在所述同心状态下形成有径向间隙，且当所述定子的径向位置偏移时相互接触而阻止所述定子与所述转子的接触。

4.一种真空泵，其特征在于包括：

圆筒状的转子；

圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；

以及基座，与所述定子以同心状态固定；

且在所述定子及所述基座分别设置有抵接部，所述抵接部在所述同心状态下形成有径向间隙，且当所述定子的径向位置偏移时相互接触而阻止所述定子与所述转子的接触，

将分别设置在所述定子及所述基座的所述抵接部之间的间隙以小于所述转子与所述定子之间的间隙的方式而设定，且设定为比所述定子的因热膨胀而引起的径向尺寸变化更大。